JPS60166889A - Vacuum vessel inner-wall maintaining device - Google Patents

Vacuum vessel inner-wall maintaining device

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Publication number
JPS60166889A
JPS60166889A JP59023243A JP2324384A JPS60166889A JP S60166889 A JPS60166889 A JP S60166889A JP 59023243 A JP59023243 A JP 59023243A JP 2324384 A JP2324384 A JP 2324384A JP S60166889 A JPS60166889 A JP S60166889A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
titanium
tip
vacuum container
image guide
Prior art date
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Pending
Application number
JP59023243A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
神代 哲哉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPS60166889A publication Critical patent/JPS60166889A/en
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10Nuclear fusion reactors

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  • Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、たとえば核融合炉の真空容器等において真
空容器の内壁のメインテナンス作業を実行するだめの装
置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an apparatus for performing maintenance work on the inner wall of a vacuum vessel of, for example, a nuclear fusion reactor.

〔従来技術〕[Prior art]

この種の真空容器の内壁にはチタンコーティングが施さ
れていて、従来の内壁メインテナンス作業では、真空容
器内の所定の位置に保持したチタンボールに高電圧大電
流を加えてこれを溶融、拡散させ、チタンコーティング
の損傷部を補修していた。チタンボールは軸状構造物の
先端部に装着しである。真空容器内の真空雰囲気を保つ
ため、軸状構造物の外側は管状案内ガイドで囲まれ、こ
の管状案内ガイドを真空容器の所定部分に連結して真空
容器と管状案内ガイドを連結した内部を真空雰囲気にし
た状態で、管状案内ガイドの上部に設けられた駆動機構
によって、軸状構造物を管状案内ガイド内に吊9下げた
形で上下駆動して、チタンコーティングを行う時は軸状
構造物の先端部に装着したチタンボールを真空容器内の
上記所定の位置まで降下し、チタンコーティング終了後
、軸状構造物とチタンボールとを再び管状案内ガイド内
に収納した。チタンボールへはこれに通電するための高
圧導線アセンブリが接続されているが、高圧導線アセン
ブリと軸状構造物との電気的絶縁のため高圧導線アセン
ブリの外側は無機の絶縁物で被覆されていた。
The inner wall of this type of vacuum container is coated with titanium, and conventional inner wall maintenance work involves melting and diffusing the titanium ball by applying high voltage and large current to the titanium ball held in a predetermined position inside the vacuum container. , the damaged part of the titanium coating was repaired. The titanium ball is attached to the tip of the shaft-like structure. In order to maintain a vacuum atmosphere inside the vacuum container, the outside of the shaft-shaped structure is surrounded by a tubular guide, and this tubular guide is connected to a predetermined part of the vacuum container to create a vacuum inside the vacuum container and the tubular guide. When applying titanium coating, the shaft-shaped structure is suspended in the tubular guide and driven up and down by a drive mechanism installed at the top of the tubular guide in an atmosphere. The titanium ball attached to the tip of the tube was lowered to the predetermined position in the vacuum container, and after the titanium coating was completed, the shaft-like structure and the titanium ball were placed back into the tubular guide. A high-voltage conductor assembly is connected to the titanium ball to supply electricity to it, but the outside of the high-voltage conductor assembly is coated with an inorganic insulator to electrically insulate the high-voltage conductor assembly from the shaft-shaped structure. .

従来の装置は上述のように構成され、チタンボールを真
空容器内の所定の1個所でしか溶融、拡散することがで
きず、真空容器内のコーティングを補修することが必要
な部分だけを選択して局部的なチタンコーティングを行
うことはできなかった。また、真空容器内の状態を観察
する手段を備えていなかった。したがうて、必要以上の
チタンポール量を消費することとなシ、かつコーティン
グのだめの作業時間も長く、チタンボールの取換えを何
回も哲う必−雫があり、経済性の点で問題があると共に
、コーテイング後の状況を把握することができないとい
う欠点があった。
The conventional device is configured as described above, and the titanium balls can be melted and diffused only at one predetermined location within the vacuum container, and only the portion of the vacuum container where the coating needs to be repaired is selected. It was not possible to apply a localized titanium coating. Furthermore, it did not have a means for observing the state inside the vacuum container. Therefore, it is not necessary to consume more titanium balls than necessary, and the work time required for coating is long, and it is necessary to replace the titanium balls many times, which poses problems in terms of economic efficiency. In addition, there was a drawback that the situation after coating could not be grasped.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、この発明では真空容器に連結する
管状構造物の軸心方向を2軸とするx−y−z直角座標
軸を想定し、Z軸方向に上下することが可能であってか
つZ軸に直角な方向に突出してZ軸を中心にしてX−Y
平面内で回転可能なアーム先端部を設け、このアーム先
端部上にその長さの方向に自由に移動することができる
可動ブロックを架装し、この可動ブロックにチタン蒸着
源を装着することによって、チタン蒸着源を、真空容器
内の所定範囲内ではx−y−z座標軸の任意の座標位置
において、溶融、拡散できるようにし、かつアーム先端
部に装着したイメージガイド撮像部とライトガイド放射
端とによシ真空容器内部の状況を観察することができる
ようにしたものである。
This invention was made in order to eliminate the drawbacks of the conventional ones as described above, and this invention assumes x-y-z orthogonal coordinate axes with two axes in the axial direction of the tubular structure connected to the vacuum container. It is capable of moving up and down in the Z-axis direction, protrudes in the direction perpendicular to the Z-axis, and moves X-Y around the Z-axis.
By providing an arm tip that can rotate within a plane, mounting a movable block on the arm tip that can freely move in the direction of its length, and attaching a titanium evaporation source to this movable block. , a titanium evaporation source can be melted and diffused at any coordinate position on the x-y-z coordinate axes within a predetermined range within the vacuum container, and an image guide imaging unit and a light guide radiation end attached to the tip of the arm are provided. This allows observation of the situation inside the Toyoshi vacuum container.

史に、チタン蒸着源に電流を流すだめの高圧導線アセン
ブリとイメージガイド撮像部からのイメージガイド及び
ライトガイド放射端に到るライトガイドのたるみを巻取
ることができる巻取機構を設け、かつ高圧導線アセンブ
リとイメージガイド及びライトガイドのX−’Y平面内
での位置を固定することができる中継支持部を設けて、
チタン蒸着源の位置移動に際しての各駆動系の動作を容
易にし、かつイメージガイド撮像部とライトガイド放射
端の光線を透過する表向にチタンが蒸着することを防止
するチタン蒸着防止機構と、真空容器の内壁に蒸着され
たチタン層の厚さを推定するため、観測容易な位置にチ
タン蒸着量モニタ板を設けて、真空容器内壁メインテナ
ンス装置としての操作性及び信頼性を向上したものであ
る。
In history, a high-voltage conductor assembly for supplying current to the titanium deposition source, a winding mechanism capable of winding up the slack of the image guide from the image guide imaging section and the light guide reaching the light guide emission end were installed, and the high-voltage A relay support part capable of fixing the positions of the conductor assembly, the image guide, and the light guide in the X-'Y plane is provided,
A titanium deposition prevention mechanism that facilitates the operation of each drive system when moving the position of the titanium deposition source and prevents titanium from being deposited on the surface of the image guide imaging section and light guide radiation end that transmits the light beam, and a vacuum In order to estimate the thickness of the titanium layer deposited on the inner wall of the container, a titanium deposition amount monitor plate is provided in a position where it can be easily observed, improving operability and reliability as a vacuum container inner wall maintenance device.

〔発明の寮施例〕[Invention dormitory example]

以下この発明の実施例を図面について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図はこの発明の一実施例を示す説明図であシ、図に
おいて(1)は駆動部、(2)は管状構造物、(3)は
ゲートバルブ、(4)は真空容器、(5)は真空容器(
4)に接続されたボートである。ゲートバルブ(3)の
開閉によって真空容器(4)及びボート(5)と管状構
造物(2)の内部雰囲気が通気し又はしゃ断される。(
6)紘アーム本体部、(7)はアーム回転部、(8)は
アーム先端部、(8a)は駆動ワイヤ、(8b)は中継
支持部、(9)はチタン蒸着源、uOは高圧4緋アセン
ブリ、αのは高圧導線支持リング、(6)はイメージガ
イド撮像部、(12a)はイメージガイド、13は真空
ポンプユニット、α4は操作盤、αυは巻取機構箱、U
Sは巻取ドラム、αηは光コネクタ、Q8はテレビジ、
ンヵメラ、曲はモニタ受像機である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing one embodiment of the present invention, in which (1) is a drive unit, (2) is a tubular structure, (3) is a gate valve, (4) is a vacuum container, ( 5) is a vacuum container (
4) is a boat connected to By opening and closing the gate valve (3), the vacuum container (4), the boat (5), and the internal atmosphere of the tubular structure (2) are ventilated or cut off. (
6) Hiro arm main body, (7) arm rotation part, (8) arm tip, (8a) drive wire, (8b) relay support part, (9) titanium evaporation source, uO high voltage 4 Scarlet assembly, α is the high-voltage conductor support ring, (6) is the image guide imaging section, (12a) is the image guide, 13 is the vacuum pump unit, α4 is the operation panel, αυ is the winding mechanism box, U
S is the winding drum, αη is the optical connector, Q8 is the television set,
camera, the song is on a monitor receiver.

次に第2図はイメージガイド(12a)の原理を示す説
明図で、02は第1図の同符号と同じくイメージガイド
撮像部、翰は受像部、シ9は画像、(ハ)は被写体であ
る。また、第3図は第1図のアーム先端部(8)の近傍
の詳細説明図であって、第1図と同一符号は同一部分を
示し、(財)は可動ブロック、(ハ)はカムフォロワ、
(ハ)はライトガイド放射端、(25a)はチタン蒸着
防止機構1. (25b)はチタン蒸発量モニタ板であ
る。
Next, Fig. 2 is an explanatory diagram showing the principle of the image guide (12a), where 02 is the image guide imaging section like the same reference numerals in Fig. 1, the handle is the image receiving section, the cy 9 is the image, and the (c) is the subject. be. Moreover, FIG. 3 is a detailed explanatory diagram of the vicinity of the arm tip (8) in FIG. 1, where the same reference numerals as in FIG. ,
(c) is the light guide radiation end, (25a) is the titanium deposition prevention mechanism 1. (25b) is a titanium evaporation amount monitor plate.

イメージガイド(12m)はたとえば極細の石英系光フ
ァイバが数万本整列配置されて構成され、その一端がイ
メージガイド撮像部(2)を構成し、イメージガイド撮
像部(2)の各光ファイバの端に入射された光がイメー
ジガイド(12m)によって伝送され光コネクタ(2)
を介してテ゛レビジ、ンヵメラα峰で受像され、モニタ
テレビジ嘗ン受像機a場に表示される。
The image guide (12 m) is composed of, for example, tens of thousands of ultra-fine silica-based optical fibers arranged in an array, one end of which constitutes the image guide imaging section (2), and each optical fiber of the image guide imaging section (2) The light incident on the end is transmitted by the image guide (12m) and connected to the optical connector (2).
The image is received by the television camera and camera α, and displayed on the monitor television receiver A.

ライトガイド(第1図及び第3図にはライトガイドは図
示せず、第3図にライトガイドの一端であるライトガイ
ド放射端(ハ)だけを示す)はイメージガイド(12a
)と類似の構成をもち光源(図示せず)からの光がライ
トガイドを経てライトガイド放射端(ハ)から放射され
て真空容器(4)の内壁を照明する。イメージガイド受
像部(2)及びライトガイド放射端qの光線を透過する
表面にチタンが蒸着してはいけないので、これを防止す
るため、蒸着作業中、イメージガイド受像部(2)とラ
イトガイド放射端■を遮蔽するチタン蒸着防止機構(2
5a)が設けられ、真空容器(4)の内壁に蒸着したチ
タン量を把握するためにチタン蒸着量モニタ板(25b
)が設けられる。
The light guide (the light guide is not shown in FIGS. 1 and 3, and only the light guide radiation end (c), which is one end of the light guide, is shown in FIG.
), and light from a light source (not shown) passes through the light guide and is emitted from the light guide radiation end (c) to illuminate the inner wall of the vacuum container (4). Since titanium must not be deposited on the light-transmitting surfaces of the image guide receiving section (2) and the light guide emitting end q, to prevent this, the image guide receiving section (2) and the light guide emitting end q should not be deposited on the surface of the image guide receiving section (2) and the light guide emitting end q. Titanium deposition prevention mechanism (2
5a) is provided, and a titanium deposition amount monitor plate (25b) is provided to monitor the amount of titanium deposited on the inner wall of the vacuum vessel (4).
) is provided.

駆動部(1)はアーム本体部(6)を管状構造物(2)
及びボート(5)内で上下方向に駆動し、かつアーム先
端部(8)の軸心が2軸に一致している状態(図示せず
)とその軸心がx−y平面円にある状態(第1図に示す
状態)との両状態間で角度変更を行い、アーム回転部(
5)を介しアーム先端部(8)を2軸のまわりに回転し
、駆動ワイヤ(8a)をカムフロヮ(ハ)を介して巻取
ることによって可動ブロック(ホ)に装着したチタン蒸
着源(9)のアーム先端部(8)内での位置を変化する
The drive part (1) connects the arm body part (6) to the tubular structure (2).
and a state in which it is driven vertically within the boat (5), and the axes of the arm tip (8) coincide with two axes (not shown), and a state in which the axes lie in a circle on the x-y plane. (the state shown in Figure 1) and the arm rotating part (
The titanium evaporation source (9) is attached to the movable block (E) by rotating the arm tip (8) around two axes through the cam flow (5) and winding the drive wire (8a) through the cam flow (C). the position within the arm tip (8).

可動ブロック翰の位置が変化した場合高圧導線アセンブ
リαOがその絶縁を保ちなから容易に伸縮することがで
きるように高圧導線支持リングαυが設けられている。
A high voltage conductor support ring αυ is provided so that the high voltage conductor assembly αO can easily expand and contract while maintaining its insulation when the position of the movable block bracket changes.

管状構造物(2)をボート(5)に連結し、操作盤α尋
がら駆動部filを制御して可動ブロック(ハ)の位置
を所定の位置に整定し、操作盤a4から真空ポンプユニ
ット03を制御して真空容器(4)内を真空雰囲気にし
た後、チタン蒸着源(9)に電流を流して溶融、拡散さ
せる。またアーム先端部(8)に固定されたイメージガ
イド撮像部α2によシ真空容器(4)内金域を監視する
ことができる。ライトガイドはイメージガイド(12a
)と同様光ファイバを応用して光源からの光を伝送し、
真空容器(4)内を照明する。
The tubular structure (2) is connected to the boat (5), the movable block (c) is set at a predetermined position by controlling the drive unit fil from the operation panel a4, and the vacuum pump unit 03 is controlled from the operation panel a4. After controlling the vacuum chamber (4) to create a vacuum atmosphere, a current is applied to the titanium vapor deposition source (9) to melt and diffuse the titanium. Further, the inner metal area of the vacuum container (4) can be monitored by the image guide imaging unit α2 fixed to the arm tip (8). The light guide is an image guide (12a
), the light from the light source is transmitted using optical fiber,
Illuminate the inside of the vacuum container (4).

被写体(イ)としてイメージガイド撮像部(6)に人り
た真空容器(4)内の状況はイメージガイド(12a)
で伝送され、イメージガイド受像部四に到ると、ここで
テレビジ、ンカメラOυによシミ気信号に変換されモニ
タ受像機0嘩の映像として表示される。
The image guide (12a) shows the situation inside the vacuum container (4) where the subject (a) is placed in the image guide imaging unit (6).
When the signal reaches the image guide receiver section 4, it is converted into a smudge signal by the television camera and displayed as an image on the monitor receiver.

以上のようにして局部的なチタンコーティングの補修と
、この補修前後における真空容器内の状況の観察とが可
能となる。
As described above, it is possible to locally repair the titanium coating and observe the situation inside the vacuum vessel before and after the repair.

第4図は第1図の巻取機構箱の内部の構成を示す説明図
で、図において第1図と同一符号は同一部分を示しく4
)は巻取ドラムαQのドラム軸、に)はドラム軸(2)
の軸受、(7)は軸シール、四、(7)は減速歯車、く
3υはドラム軸(2)駆動用のモータ、θ望は電線貫通
部である。巻取機構箱(至)の内部は軸シールに)、電
線貫通部64及び光コネクタαηの接続機構によって外
気との間の気密が保たれ、管状樽状物(2)との間が高
圧4線アセンブリ叫及びイメージガイド(12a)を通
すことができるように連結される。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the internal structure of the winding mechanism box in FIG. 1. In the figure, the same symbols as in FIG. 1 indicate the same parts.
) is the drum shaft of the winding drum αQ, and ) is the drum shaft (2)
(7) is the shaft seal, (4) and (7) are the reduction gears, (3) is the motor for driving the drum shaft (2), and (3) is the electric wire penetration part. The inside of the winding mechanism box (to) is kept airtight with the outside air by the shaft seal), the wire penetration part 64, and the connection mechanism of the optical connector αη, and the high pressure 4 is maintained between the winding mechanism box and the tubular barrel (2). A wire assembly and an image guide (12a) are connected for passage therethrough.

アーム本体部(6)が駆動部illによって2軸方向に
移動する場合、アーム本体部(6)からアーム先端部(
8)に削って設けられている高圧導線アセンブリαO及
びイメージガイド(ハ)ならびにライトガイドにたるみ
を生じ又は張力が作用するので、たるみを生ぜず、かつ
不当な張力が加わることのないよう、アーム本体部(6
)の上下に従ってドラム軸(ハ)を回転し、巻取ドラム
uOへの巻取り又は巻戻しを行う。
When the arm body (6) is moved in two axial directions by the drive unit ill, the arm tip (6) is moved from the arm body (6) to the arm tip (
8) The high-voltage conductor assembly αO, the image guide (c), and the light guide, which are provided by cutting, may be sagging or tension may be applied to the arm. Main body (6
), the drum shaft (c) is rotated to perform winding or unwinding onto the winding drum uO.

このような巻取機構を設けたことによって、アーム駆動
系の駆動特性を向上させ、高圧導線アセンブリαO及び
イメージガイド(12a)、ライトガイドの劣化を防止
することができる。
By providing such a winding mechanism, it is possible to improve the drive characteristics of the arm drive system and prevent deterioration of the high voltage conductor assembly αO, the image guide (12a), and the light guide.

第5図は第1図の中継支持部(8b)の一部断両立向図
である。図において第1図と同一符号は同一部分を示し
、(ト)はガイドローラ、(ロ)はバネ、(へ)は固定
用金具、(至)は固定用金具(至)の支点、0力は中継
支持部駆動ワイヤである。中継支持部(8b)は円筒状
の構造を持ち、その外周面に設けられたガイドローラ(
イ)がバネ(ロ)によって常にボート(5)の内面に接
触し、中継支持部駆動ワイヤ67)を介して駆動部(1
)から2軸方向に駆動される。中継支持部(8b)の軸
方向(すなわちZ軸方向)にはアーム本体部(6)、高
圧導線アセンブリu+J % イメージガイド(12a
)及びライトガイドがそれぞれ滑動自在に貫通するそれ
ぞれの貫通孔が設けられている。また、高圧導線アセン
ブリαG、イメージガイド(12a)を巻取ドラムαG
で巻取る場合、この中継支持部(8b)の位置において
、X−Y平面内での高圧導線アセンブリ00及びイメー
ジガイドの位置を固定するため駆動ワイヤ(8a)によ
シ固定金具(ト)を動作させて、ボート(5)内の所望
の位置で中継支持部(8b)を固定する。高圧導線アセ
ンブリa1及びイメージガイド(12a)のX−Y平面
内における位置が中継支持部(8b)の軸方向の長さの
間にわたシ固定されていることによって、巻取ドラムu
Qにおける巻取がきわめて容易になる。
FIG. 5 is a partially cutaway oriented view of the relay support part (8b) of FIG. 1. In the figure, the same symbols as in Figure 1 indicate the same parts, (G) is the guide roller, (B) is the spring, (F) is the fixing bracket, (TO) is the fulcrum of the fixing bracket (TO), and zero force. is the relay support drive wire. The relay support part (8b) has a cylindrical structure, and a guide roller (
A) is always in contact with the inner surface of the boat (5) by the spring (B), and the drive part (1) is connected via the relay support part drive wire 67).
) is driven in two axial directions. In the axial direction (i.e. Z-axis direction) of the relay support part (8b), the arm main body part (6) and the high voltage conductor assembly u+J% image guide (12a
) and a light guide are provided with respective through holes through which the light guides can slide freely. In addition, the high voltage conductor assembly αG and the image guide (12a) are attached to the winding drum αG.
When winding the drive wire (8a) at the position of the relay support part (8b), a fixing metal fitting (G) is attached to the drive wire (8a) in order to fix the position of the high voltage conductor assembly 00 and the image guide in the X-Y plane. The relay support (8b) is fixed at a desired position within the boat (5) by operation. By fixing the positions of the high voltage conductor assembly a1 and the image guide (12a) in the XY plane between the axial length of the relay support part (8b), the winding drum u
Winding in Q becomes extremely easy.

第6図は第3図のチタン蒸着防止機構(25&)及びチ
タン蒸着量モニタ& (25b)の構成を示す一部断両
立面図であって、第3図と同一符号は同一部分を示し、
に)はスクリーン、すなわちイメージガイド撮像部(2
)及びライトガイド放射端−の光線が透過する面で、に
)は筒状のベローズ、(39a)はベローズ(得の一端
に設けられた固定フランジ、(39b)はベローズ端の
他端に設けられた可動フランジ、(40)はチタン蒸着
防止機構用ワイヤ、(41)はカムフォロワ、(42)
はチタン装着モニタ支持架台である。真空容器(4)の
内壁を観察する場合はワイヤ(40)に張力を加え、可
動フランジ(39b) を固定フランジ(39a)の方
に引きよせベローズ端を短縮してスクリーン(至)に入
る光線をさえぎることのない位置に置き、チタン蒸着源
(9)に′電流を流してチタンを溶融して蒸着作業を行
っている間はワイヤ(40)の張力をゆるめベローズ端
が延びて可動フランジ(39b)が第6図に示す位置ま
で帰り、スクリーンμsにチタンが蒸着することを防止
する。
6 is a partially cutaway elevational view showing the structure of the titanium deposition prevention mechanism (25&) and the titanium deposition amount monitor (25b) in FIG. 3, where the same reference numerals as in FIG. 3 indicate the same parts;
) is a screen, that is, an image guide imaging section (2
) and the light guide radiation end - are the surfaces through which the light rays pass, 2) is a cylindrical bellows, (39a) is a fixed flange provided at one end of the bellows, and (39b) is a fixed flange provided at the other end of the bellows. movable flange, (40) is wire for titanium deposition prevention mechanism, (41) is cam follower, (42)
is a titanium-mounted monitor support frame. When observing the inner wall of the vacuum container (4), tension is applied to the wire (40) and the movable flange (39b) is pulled toward the fixed flange (39a), shortening the bellows end and causing the light beam to enter the screen (toward). While the titanium evaporation source (9) is being melted and evaporated by applying current to the titanium evaporation source (9), the tension on the wire (40) is loosened so that the bellows end extends and the movable flange ( 39b) returns to the position shown in FIG. 6 to prevent titanium from being deposited on the screen μs.

また、真空容器(4)の内壁に蒸着されたチタンの量を
実、測することは困難であるので、支持架台(42)に
、たとえば、モニタ板(25b)を2面取付けておき、
このモニタ板(25b)に蒸着したチタンの貴から真空
容器(4)の内壁部へのチタン蒸着量を推定する。
In addition, since it is difficult to actually measure the amount of titanium deposited on the inner wall of the vacuum container (4), for example, two monitor plates (25b) are attached to the support frame (42).
The amount of titanium deposited on the inner wall of the vacuum container (4) is estimated from the amount of titanium deposited on the monitor plate (25b).

以上の説明においてJ第5図の中継支持部駆動ワイヤ9
カの駆動、及び固定用金具(至)の位置駆動、ならびに
チタン蒸着防止機構用ワイヤ(40)の駆動は駆動部i
l+によυ制御°される。
In the above explanation, the relay support portion drive wire 9 in FIG.
The driving part i
It is υ controlled by l+.

なお、以上はこの発明を核融合炉に応用する場合につい
て説明したが、この発明の装置は軽水炉及び高速増殖炉
等にも応用することができる。
In addition, although the case where this invention is applied to a nuclear fusion reactor was described above, the apparatus of this invention can also be applied to a light water reactor, a fast breeder reactor, etc.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のようにこの発明によれば、チタン蒸着源を真空容
器内の所定の範囲内では任意の位置において溶融、拡散
することができるように構成し、かつ容器内観察機能を
も付与したので、真空容器の内壁のメインテナンス作業
の効率を高め、かつ技術的信頼度を向上することができ
る。
As described above, according to the present invention, the titanium evaporation source is configured so that it can be melted and diffused at any position within a predetermined range within the vacuum container, and is also provided with a function for observing the inside of the container. It is possible to increase the efficiency of maintenance work on the inner wall of the vacuum container and improve technical reliability.

また、巻取機構を設けることによって高圧導線アセンブ
リ、イメージガイド等の配役が容易となり、その耐久性
を向上することができ、中継支持部を設けることによっ
てl1jA動系を構成するアーム本体部及び管状構造物
の構造を簡単化することができた。
In addition, by providing a winding mechanism, it is easy to arrange the high-voltage conductor assembly, image guide, etc., and its durability can be improved. The structure of the structure could be simplified.

さらに、チタン蒸着防止機構によって真空容器の内壁を
観察する機能の劣化を防止し、また、真空容器の内壁へ
のチタン蒸着量を推定することが従来困難であったとい
う問題をチタン蒸着量モニタ板を設けることによって解
決し、チタン蒸着作業の結果を評価するための重要なデ
ータが得られることになった。
Furthermore, the titanium deposition prevention mechanism prevents the deterioration of the function for observing the inner wall of the vacuum container, and the titanium deposition amount monitor board also solves the problem of conventional difficulty in estimating the amount of titanium deposited on the inner wall of the vacuum container. The problem was solved by providing a system that provided important data for evaluating the results of titanium deposition operations.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を示す説明図、第2図は第
1図のイメージガイドの原理を示す説明図、第3図は第
1図のアーム先端部の近傍の詳細を示す説明図、第4図
は第1図の巻取機構箱の内部の構成を示す説明図、第5
図は第1図の中継支持部の一部断両立面図、第6図は第
3図のチタン蒸着防止機構及びチタン蒸着量モニタ板の
構成を示す一部断両立面図である。 (1)・・・駆動部、(2)・・・管状構造物、(3)
用ゲートバルブ、(4)・・・真空容器、(5]・・・
ボー)、(61・・・アーム本体部、(7)・・・アー
ム回転部、(8)・・・アーム先端部、(8b)・・・
中継支持部、(9)・・・チタン蒸着源、叫・・・高圧
導線アセンブリ、0ト・・高圧導線支持リング、(2)
・・・イメージガイド撮像部、(12a)・・・イメー
ジガイド、α3・・・真空ポンプユニット、aυ・・・
巻取機構箱、be・・・巻取ドラム、αη・・・光コネ
クタ、α→・・・テレビジ、ンヵメラ、α9・・・モニ
タテレビジョン受像機、翰・・・可動ブロック、翰・・
・ライトガイド放射端、(25a)・・・チタン蒸着防
止機構、(25b)・・・チタン蒸着量モニタ板、Oa
・・・電線貫通部、Q・・・ガイドローラ、(ロ)・・
・バネ、0り・・・固定用金具、μs・・・スクリーン
、(ト)・・・ベローズ。 尚、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人大岩増雄 第1図 第2図 5 9 to II 第4図 第5図 第6図
Fig. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram showing the principle of the image guide in Fig. 1, and Fig. 3 is an explanatory diagram showing details of the vicinity of the arm tip in Fig. 1. Figure 4 is an explanatory diagram showing the internal configuration of the winding mechanism box in Figure 1, Figure 5 is
6 is a partially sectional elevational view of the relay support section of FIG. 1, and FIG. 6 is a partially sectional elevational view showing the structure of the titanium deposition prevention mechanism and titanium deposition amount monitor plate of FIG. 3. (1)... Drive unit, (2)... Tubular structure, (3)
gate valve, (4)...vacuum container, (5)...
bow), (61... arm main body part, (7)... arm rotation part, (8)... arm tip part, (8b)...
Relay support part, (9)...Titanium vapor deposition source,...High voltage conductor assembly, 0T...High voltage conductor support ring, (2)
...Image guide imaging unit, (12a)...Image guide, α3...Vacuum pump unit, aυ...
Winding mechanism box, be... Winding drum, αη... Optical connector, α→... Television, camera, α9... Monitor television receiver, wire... Movable block, wire...
・Light guide radiation end, (25a)...Titanium deposition prevention mechanism, (25b)...Titanium deposition amount monitor plate, Oa
...Wire penetration part, Q...Guide roller, (B)...
・Spring, zero...fixing metal fittings, μs...screen, (g)...bellows. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Agent Masuo Oiwa Figure 1 Figure 2 Figure 5 9 to II Figure 4 Figure 5 Figure 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 真空容器のボートの部分に連結され、真空容器との間の
気体の流通がゲ″−トバルブにより遮蔽され又は開放さ
れる管状構造物、この管状構造物が上記真空容器に連結
された状態において外気との間が気密に保たれた真空容
器の内部を真空状態にするだめの真空ポンプユニット、
上記管状構造物の軸心を2軸とするX−Y−Z直角座標
を想定したとき、上記管状構造物の内部を2軸方向に上
下するととのできる棒状のアーム本体部、このアーム本
体部の下端から延長されその延長方向が上記アーム本体
部の軸方向に対して変化できるように構成された棒状の
アーム先端部、このアーム先端部を上記2軸を中心にし
て回転するだめのアーム回転部、上記アーム先端部に架
装され上記アーム先端部の長さの方向に沿って移動する
ことのできる可動ブロック、この可動ブロックに装着さ
れるチタン蒸着源、このチタン蒸着源に電流を流すため
上記管状構造物の中を経て上記チタン蒸着源まで配設さ
れる高圧導線アセンブリ、上記高圧導線アセンブリの上
記アーム先端部に清う部分を複数個所において保持し、
上記可動ブロックの上記アーム先端部の長さの方向に沿
っての移動にともない上記アーム先端部上を滑動する複
数個の高圧導線支持リング、上記真空容器の内壁からの
光線が入射するよう上記アーム先端部に装着されたイメ
ージガイド撮像部、このイメージガイド撮像部に入射さ
れた光線を所定の場所まで伝送するように設けられたイ
メージガイド、上記アーム先端部に装着され上記真空容
器の内壁を照明する光線を放射するライトガイド放射端
、このライトガイド放射端まで光を伝送するライトガイ
ド、上記高圧導線アセンブリ及び上記イメージガイドな
らびに上記ライトガイドを巻取シ又は巻戻すだめの巻取
機構が設けられ、上記管状構造物に連結されて外気に対
しては気密性が保たれる構造を有する巻取機構箱、この
巻取機構箱に設けられ上記イメージガイドに光学的に結
合するコネクタ、上記巻取機構箱に設けられ上記高圧導
線アセンブリが貫通する電線貫通部、上記ボート内を2
軸方向に移動しかつ上記2軸方向の任意の位置において
停止できるように構成され、その軸方向に上記アーム本
体部、上記高圧4線アセンブリ及び上記イメージガイド
ならびに上記ライトガイドが滑動自在に貫通するそれぞ
れの貫通孔が設けられた中継支持部、上記イメージガイ
ド撮像部及び上記ライトガイド放射端の光線透過表面に
チタンが蒸着しないようにチタンの溶融拡張動作中上記
光線透過表面を筒状のベローズにより遮蔽するチタン蒸
着防止機構、上記アーム先端部に装着されるチタン蒸着
量モニタ板、上記アーム本体部の2軸方向の上下運動と
、上記アーム先端部の長さの方向と2軸方向とのなす角
度を変更する角度変更運動と、上記アーム回転部を介し
ての上記アーム先端部のX−Y平面内での回転運動と、
上記可動ブロックの上記アーム先端部の長さの方向に浴
っての移動と、上記チタン蒸着防止機構のベローズの開
閉、及び上記中継支持部の2軸方向の移動ならびに移動
防止のための固定用金具の位置移動とを駆動する駆動部
を備えた真空容器内壁メインテナンス装置゛。
A tubular structure connected to the boat part of a vacuum container, and gas flow between the vacuum container and the vacuum container is blocked or opened by a gate valve, and when this tubular structure is connected to the vacuum container, outside air is A vacuum pump unit that creates a vacuum inside the vacuum container that is kept airtight between the
Assuming X-Y-Z orthogonal coordinates with the axis of the tubular structure as two axes, a rod-shaped arm main body that can move up and down inside the tubular structure in two axial directions; a rod-shaped arm tip extending from the lower end and configured such that its direction of extension can be changed with respect to the axial direction of the arm main body; an arm rotation device that rotates the arm tip around the two axes; a movable block mounted on the arm tip and movable along the length of the arm tip, a titanium deposition source attached to the movable block, and a source for supplying current to the titanium deposition source; A high-voltage conductor assembly disposed through the tubular structure to the titanium evaporation source, a cleaning portion being held at a plurality of locations at the tip of the arm of the high-voltage conductor assembly;
A plurality of high-voltage conductor support rings slide on the arm tip as the movable block moves along the length of the arm tip, and the arm is configured to allow light from the inner wall of the vacuum vessel to enter the arm. An image guide imaging unit attached to the tip of the arm, an image guide installed to transmit the light beam incident on the image guide imaging unit to a predetermined location, and an image guide attached to the tip of the arm to illuminate the inner wall of the vacuum container. A light guide emitting end that emits a light beam, a light guide that transmits light to the light guide emitting end, a winding mechanism for winding or unwinding the high voltage conductor assembly, the image guide, and the light guide. , a winding mechanism box connected to the tubular structure and having a structure that maintains airtightness from the outside air, a connector provided on the winding mechanism box and optically coupled to the image guide, and the winding mechanism box. An electric wire penetration part provided in the mechanism box and through which the high voltage conductor assembly passes through,
It is configured to be able to move in the axial direction and stop at any position in the two axial directions, and the arm main body, the high voltage 4-wire assembly, the image guide, and the light guide slidably pass through the arm body in the axial direction. During the melting and expansion operation of titanium, the light transmitting surfaces are covered with a cylindrical bellows to prevent titanium from being deposited on the light transmitting surfaces of the relay support section provided with each through hole, the image guide imaging section, and the light guide radiation end. A shielding titanium deposition prevention mechanism, a titanium deposition amount monitor plate attached to the tip of the arm, vertical movement of the arm main body in two axes, and a combination of the longitudinal direction of the arm tip and the two axes. an angle changing movement for changing the angle; and a rotational movement of the arm tip in the X-Y plane via the arm rotating section;
Movement of the movable block in the length direction of the arm tip, opening and closing of the bellows of the titanium vapor deposition prevention mechanism, movement of the relay support part in two axial directions, and fixing to prevent movement. A vacuum container inner wall maintenance device equipped with a drive unit that moves the position of the metal fittings.
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