JPS60168076A - Vacuum vessel inner-wall maintaining device - Google Patents
Vacuum vessel inner-wall maintaining deviceInfo
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- JPS60168076A JPS60168076A JP59023272A JP2327284A JPS60168076A JP S60168076 A JPS60168076 A JP S60168076A JP 59023272 A JP59023272 A JP 59023272A JP 2327284 A JP2327284 A JP 2327284A JP S60168076 A JPS60168076 A JP S60168076A
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
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- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、たとえば核融合炉の真空容器等において真
空容器の内壁のメインテナンス作業を実行するための装
置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a device for performing maintenance work on the inner wall of a vacuum vessel, such as a vacuum vessel of a nuclear fusion reactor.
この柚の真空容器の内壁にはチタンコーティングが施さ
れていて、従来の内壁メインテナンス作業では、真空容
器内の所定の位置に保持したチタンボールに高電圧大電
流を加えてこれを溶融、拡散ぜせ、チタンコーティング
の損傷部を補修していた。チタンボールは軸状構造物の
先端部に装着しである。真空容器内の真21囲気を保つ
ため、軸状構造物の外側は管状案内ガイドで囲まれ、こ
の管状案内カイトを真空容器の所定部分に連結して真空
容器と管状案内ガイドを連結した内部を真空雰囲気にし
た状態で、管状案内ガイドの上部に設けられた駆動機構
によって、軸状構造物を管状案内ガイド内に(イ)り下
げた形で上下駆動して、チタンコーティングを行う時は
軸状構造物の先端部に装着したチタンボールを真空容器
内の上記所定の位置まで降下し、チタンコーティング終
了後、軸状構造物とチタンボールとを再び管状案内ガイ
ド内に収納した。チタンボールへはこれに通′屯するた
めの高圧導線アセンブリが接続されているが、高圧導線
アセンブリと軸状構造物との電気的絶縁のため高圧24
線アセンブリの外側は無機の絶縁物で被覆されている。The inner wall of this Yuzu vacuum container is coated with titanium, and in conventional inner wall maintenance work, high voltage and large current are applied to titanium balls held in a predetermined position inside the vacuum container to melt and diffuse the coating. The damaged part of the titanium coating was repaired. The titanium ball is attached to the tip of the shaft-like structure. In order to maintain a true atmosphere inside the vacuum vessel, the outside of the shaft-shaped structure is surrounded by a tubular guide, and this tubular guide kite is connected to a predetermined part of the vacuum vessel to connect the inside of the vacuum vessel and the tubular guide. In a vacuum atmosphere, the shaft-shaped structure is lowered into the tubular guide by driving it up and down (a) using the drive mechanism installed at the top of the tubular guide. When applying titanium coating, the shaft is The titanium ball attached to the tip of the shaft-shaped structure was lowered to the above-mentioned predetermined position in the vacuum container, and after the titanium coating was completed, the shaft-shaped structure and the titanium ball were again housed in the tubular guide. A high voltage conductor assembly is connected to the titanium ball to communicate with it.
The outside of the wire assembly is coated with an inorganic insulation.
従来の装置は上述のように構成され、チタンボールを真
空容器内の所定の1個所でしか溶融、拡散することがで
きず、真空容器内のコーティングを補修することが必要
な部分だけを選択して局部的なチタンコーティングを行
うことはできなかった。また、真空容器内の状態を観奨
する手段を備えていなかった。したがって、必要以上の
チタンポール量を消費することとな9、かつコーテング
のだめの作業時間も長く、チタンボールの取換えを何回
も行う必要があシ、経済性の点で問題があると共に、コ
ーテイング後の状況を把握することができないという欠
点があった。The conventional device is configured as described above, and the titanium balls can be melted and diffused only at one predetermined location within the vacuum container, and only the portion of the vacuum container where the coating needs to be repaired is selected. It was not possible to apply a localized titanium coating. Furthermore, there was no means for observing the condition inside the vacuum container. Therefore, the amount of titanium poles that are more than necessary is consumed9, and the work time required for coating is long, and it is necessary to replace the titanium balls many times, which is problematic in terms of economic efficiency. There was a drawback that it was not possible to grasp the situation after coating.
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされ/こもので、この発明では真空容器に連結す
る管状構造物の軸心方向をZ軸とするx−y−z直角座
標軸を想定し、Z軸方向に上下することが可能であって
かつZ軸に直角な方向に突出してZ軸を中心にしてX−
Y平面内で回転可能なアーム先端部を設け、このアーム
先端部上にその長さの方向に自由に移動することができ
る可動ブロックを架装し、この可動ブロックにチタン蒸
着源を装着することによって、チタン蒸着源を、真空容
器内の所定範囲内ではX−Y−Z座標軸の任意の座標位
置において、溶融、拡散できるようにし、かつアーム先
端部に装着したイメージガイド撮像部により真空容器内
部の状況を観察することができるようにした。This invention was made in order to eliminate the drawbacks of the conventional ones as described above, and this invention assumes an x-y-z rectangular coordinate axis with the Z axis being the axial direction of the tubular structure connected to the vacuum container. It can move up and down in the Z-axis direction, protrudes in a direction perpendicular to the Z-axis, and moves along the X-axis with the Z-axis as the center.
An arm tip that is rotatable in the Y plane is provided, a movable block that can move freely in the length direction is mounted on the arm tip, and a titanium evaporation source is attached to this movable block. The titanium evaporation source can be melted and diffused at any coordinate position on the X-Y-Z coordinate axes within a predetermined range within the vacuum vessel, and the interior of the vacuum vessel can be detected using the image guide imaging unit attached to the tip of the arm. This made it possible to observe the situation.
更に、チタン蒸着源に’RLmをかLすための高圧導線
アセンブリとイメージガイド撮像部からのイメージガイ
ドのたるみを巻取ることができる巻取機構を設け、かつ
高圧導線アセンブリとイメージガイドとのX−Y平面内
での位IMを固定することができる中継支持部を設けて
、チタン蒸着源の位置移動に際しての各駆動系の動作金
容易にした。Furthermore, the titanium evaporation source is provided with a high-voltage conductor assembly for ``RLm'' and a winding mechanism capable of winding up the slack of the image guide from the image guide imaging section, and the high-voltage conductor assembly and the image guide are - A relay support part capable of fixing the position IM within the Y plane was provided to facilitate the operation of each drive system when moving the position of the titanium vapor deposition source.
以下この発明の実施例を図面について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図はこの発明の一実施例を示す説明図であり、図に
おいて(1)は駆動部、(2)は管状構造物、(3)は
ゲートバルブ、(4)は真空容器、(5;は真空容器(
41に設けられたポートである。ゲートバルブ(3)の
開閉によって真空容器(4)及びポート5)と管状構造
物(2)の内部雰囲気が通気し又はしゃ断される。(6
)はアーム本体部、(7)はアーム回転部、(81はア
ーム先端部、(8a)は駆動ワイヤ、(8りは中継支持
部、(9)はチタン蒸発源、曲)は高圧導線アセンブリ
、tillは高圧導線支持リング、02はイメージガイ
ド撮像部、(12a)はイメージガイド、(l:1は真
空ポンプユニット、α→は操作盤、Qυは巻取機構箱、
四は巻取ドラム、ケア)は光コネクタ、(181はテレ
ビジョンカメラ、霞はモニタ受像機である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing one embodiment of the present invention, in which (1) is a drive unit, (2) is a tubular structure, (3) is a gate valve, (4) is a vacuum container, and (5) is a ; is a vacuum container (
41. By opening and closing the gate valve (3), the vacuum container (4) and port 5) and the internal atmosphere of the tubular structure (2) are ventilated or cut off. (6
) is the arm body, (7) is the arm rotation part, (81 is the arm tip, (8a) is the drive wire, (8 is the relay support part, (9) is the titanium evaporation source, and (curved) is the high voltage conductor assembly. , till is a high-voltage conductor support ring, 02 is an image guide imaging unit, (12a) is an image guide, (l:1 is a vacuum pump unit, α→ is an operation panel, Qυ is a winding mechanism box,
4 is a winding drum, care) is an optical connector, (181 is a television camera, and Kasumi is a monitor receiver).
次に第2図はイメージガイド(12a )の原理を示す
説明図で、0つは第1図の同符号と同じくイメージガイ
ド撮像部、し0は受像部、(2りは画1床、(22)は
被写体である。また、第3図は第1図のアーム先端部(
81の近傍の詳a説明図であって、第1図と同一符号は
同一部分を示し、(23)は可動ブロック・(24)は
カムフォロワ、(25)はライトガイドである。Next, FIG. 2 is an explanatory diagram showing the principle of the image guide (12a), where 0 is the image guide imaging section as with the same reference numerals in FIG. 1, 0 is the image receiving section, (2 is 1 image floor, ( 22) is the subject. Also, Figure 3 shows the tip of the arm in Figure 1 (
81, the same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same parts, (23) is a movable block, (24) is a cam follower, and (25) is a light guide.
イメージガイド(12a)はたとえは極細の石英糸光フ
ァイバが数万本整列配置されて構成され、その一端がイ
メージガイド撮像部α諺を構成し、イメージガイド撮像
部(2)の各光ファイバの端に入射された光がイメージ
ガイド(12a)によって伝送され光コネクタ(Iηを
介してテレビジョンカメラ(舟で受像され、モニタテレ
ビジョン受像機(I9に表示される。The image guide (12a) is composed of, for example, tens of thousands of ultra-fine quartz thread optical fibers arranged in an array, one end of which constitutes the image guide imaging section α, and each optical fiber of the image guide imaging section (2). The light incident on the end is transmitted by the image guide (12a), is received by the television camera (boat) via the optical connector (Iη), and is displayed on the monitor television receiver (I9).
駆動部(1)はアーム本体部(6)を管状構造物(2)
及びボート(5)内で上下方向に駆動し、かつアーム先
端部(81の軸心が2軸に一致している状態(図示せず
とその軸心がX−Y平面内にある状態(第1図に示す状
態少との両状態間で角度変更を行いアーム回転部(5)
を介しアーム先端部+S+をZ軸のまわりに回転し、駆
動ワイヤ(8a)をカムフォロワ(24)を介して巻取
ることによって可動ブロック(23)に装着したチタン
蒸着源(9)のアーム先端部18)内での位置を変化す
る。貞」動ブロック(23)の位置が変化した場合面圧
導線アセンブ!J 1101がその絶縁を保ちなから容
易に伸縮することができるように^圧導森支持すングU
υが設けられている。The drive part (1) connects the arm body part (6) to the tubular structure (2).
and a state in which the axis of the arm tip (81) coincides with two axes (not shown) and a state in which the axis lies within the X-Y plane (the The arm rotating part (5) changes the angle between the low and low states shown in Figure 1.
The arm tip of the titanium evaporation source (9) is attached to the movable block (23) by rotating the arm tip +S+ around the Z axis through the cam follower (24) and winding the drive wire (8a) through the cam follower (24). 18) Change the position within. If the position of the moving block (23) changes, contact the surface pressure conductor assembly! In order for the J1101 to maintain its insulation and be able to expand and contract easily, the pressure conductor is supported by
υ is provided.
管状構造物(2)をボート+51に連結し、操作盤αゆ
がら駆動郡山を制御して可動ブロック(23)の位置を
所定の位置に整定し、操作盤a4がら真空ポンプユニッ
l−(1:31を制御して真空容器+41内を真空雰囲
気にした後、チタン蒸着源(9)に電流を流して溶融、
拡散させる。またアーム先端部(8)に固定されたイメ
ージガイド撮像部(2)によシ真空容器(41内全域を
監視することができる。ライトガイド(25)はイメー
ジガイド(12a)と同様光ファイバを応用して光源か
らの光を伝送し、真空容器(41内を照明する。Connect the tubular structure (2) to the boat +51, control the operating panel α to control the movable block (23) to a predetermined position, and move the vacuum pump unit l-(1: 31 to create a vacuum atmosphere inside the vacuum container +41, a current is applied to the titanium vapor deposition source (9) to melt it.
Spread it. In addition, the entire area inside the vacuum vessel (41) can be monitored by the image guide imaging unit (2) fixed to the arm tip (8).The light guide (25) uses an optical fiber like the image guide (12a). The light from the light source is transmitted to illuminate the inside of the vacuum container (41).
被写体(22)としてイメージガイド撮像部a→に入り
た真空容器(41内の状況はイメージガイド(12a)
で伝送され、イメージガイド受像部(20)に到ると、
ここでテレビジョンカメラ(18)により電気信号に変
換されモニタ受像機(19)の映像として表示される。The subject (22) entered the vacuum container (41) in the image guide imaging section a → the image guide (12a)
and when it reaches the image guide receiver (20),
Here, it is converted into an electrical signal by a television camera (18) and displayed as an image on a monitor receiver (19).
以上のようにして局部的なチタンコーティングの補修と
、この補修前後における真空容器内の状況の観察とが可
能となる。As described above, it is possible to locally repair the titanium coating and observe the situation inside the vacuum vessel before and after the repair.
第4図は第1図の巻取機構箱の内部の構成を示す説明図
で、図において第1図と同一符号は同一部分を示しく2
6)は巻取ドラム(16)のドラム軸、(27)はドラ
ム軸(26)の軸受、(28)は軸シール、(29)。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the internal structure of the winding mechanism box in FIG. 1. In the figure, the same symbols as in FIG. 1 indicate the same parts.
6) is the drum shaft of the winding drum (16), (27) is the bearing of the drum shaft (26), (28) is the shaft seal, and (29).
(30)は減速歯車、(31)はドラ合軸(26)駆動
用のモータ、(32)は電線貫通部である。巻取機構箱
(至)の内部は軸シール(28)、電線貫通部(32)
及び光コネクタ(I7)の接続機構によって外気との間
の気密が保たれ、管状構造物(2)との間が商工導線ア
センブリ面及びイメージガイド(12a)を通すことが
できるように連結される。(30) is a reduction gear, (31) is a motor for driving the drive shaft (26), and (32) is an electric wire penetration portion. The inside of the winding mechanism box (to) is a shaft seal (28) and a wire penetration part (32).
The connecting mechanism of the optical connector (I7) maintains airtightness with the outside air, and connects the tubular structure (2) so that the chamber conductor assembly surface and the image guide (12a) can pass through. .
アーム本体部(61が駆動部(1)によってZ軸方向に
移動する場合、アーム本体部(6)からアーム先端部(
81に沿って設けられている高圧導線アセンブIJ t
lUl及びイメージガイドOaにたるみを生じ又は張力
が作用するので、たるみを生ぜず、かつ不当な張力が加
わることのないよう、アーム本体部+61の上下に従っ
てドラム軸(26)を回転し、巻取ドラム(IQへの巻
取り又は巻戻しを行う。このような巻取機構を設けたこ
とによって、アーム駆動系の駆動特性を向上させ、高圧
導線アセンブリ(+(I)及びイメージガイド(12a
)の劣化を防止することができる。When the arm body (61) moves in the Z-axis direction by the drive unit (1), the arm tip (61) moves from the arm body (6) to the arm tip (
High voltage conductor assembly IJ t provided along 81
Since slack or tension is applied to lUl and the image guide Oa, the drum shaft (26) is rotated according to the up and down of the arm body +61 to prevent slack and to avoid applying undue tension. The drum (IQ) is used for winding or unwinding. By providing such a winding mechanism, the drive characteristics of the arm drive system are improved, and the high voltage conductor assembly (+(I) and image guide (12a)
) deterioration can be prevented.
第5図は第1図の中継支持部(8b)の一部断両立面図
である。図において第1図と同一符号は同一部分を示し
、(33)はガイドローラ、(34)はバネ、(35)
は固定用金具、(36)は固定用金具(35)の支点、
(37)は中継支持部駆動ワイヤである。中継支持部(
8b)は円筒状の構造を持ち、その外周面に設けられた
ガイドローラ(33)がバネ(34)によって常にポー
ト5)の内向に接触し、中継支持部駆動ワイヤ(37)
を介して駆動部tl+から2軸方向に駆動される。中継
支持部(8b)の軸方向(すなわちZ軸方向)にはアー
ム本体部(6)、高圧導線アセンブリ110)、イメー
ジガイド(12a)がそれぞれ滑動自在に貫通するそれ
ぞれの貫通孔が設けられている。また、高圧導線アセン
ブリ曲、イメージガイド(12a )を巻取ドラムu0
で巻取る場合、この中継支持部(8りの位置において、
X−Y平面円での高圧導線アセンブリ(IO)及びイメ
ージガイドの位置を固定するため駆動ワイヤ(8a)に
より固定金具(35)を動作させて、ポート(5)内の
所望の位置で中継支持部(8b)を固定する。高圧等線
アセンブリ曲)及びイメージガイド(12a)のX−Y
平面内における位置が中継支持部(8b)の軸方向の長
さの間にわたり固定されていることによって、巻取ドラ
ム(IQにおける巻取がきわめて容易になる。FIG. 5 is a partially cutaway elevational view of the relay support part (8b) of FIG. 1. In the figure, the same symbols as in Figure 1 indicate the same parts, (33) is a guide roller, (34) is a spring, (35)
is the fixing metal fitting, (36) is the fulcrum of the fixing metal fitting (35),
(37) is a relay support part drive wire. Relay support part (
8b) has a cylindrical structure, and a guide roller (33) provided on its outer circumferential surface is constantly in contact with the port 5) inwardly by a spring (34), and the relay support drive wire (37)
It is driven in two axial directions from the drive unit tl+ via the drive unit tl+. In the axial direction (that is, the Z-axis direction) of the relay support part (8b), through holes are provided through which the arm body part (6), the high voltage conductor assembly 110), and the image guide (12a) can slide. There is. In addition, the high voltage conductor assembly and image guide (12a) are taken up on the drum u0.
When winding with
In order to fix the position of the high voltage conductor assembly (IO) and the image guide in the X-Y plane circle, the fixing bracket (35) is operated by the drive wire (8a), and the relay support is placed at the desired position in the port (5). (8b) is fixed. X-Y of high voltage isoline assembly curve) and image guide (12a)
The fixed position in the plane over the axial length of the intermediate support (8b) greatly facilitates winding on the winding drum (IQ).
なお、以上はこの発明を核融合炉に応用する場合につい
て説明したが、この発明の装置は軽水炉及び高速増殖等
にも応用することができる。In addition, although the case where this invention is applied to a nuclear fusion reactor was explained above, the apparatus of this invention can also be applied to a light water reactor, a fast breeder, etc.
以上のようにこの発明によれば、チタン蒸着源を真空容
器内の所定の範囲内では任意の位置において溶融、拡散
することができるように構成し、かつ容器内観察機能を
も付与したので、真空容器の内壁のメインテナンス作業
の効率を高め、かつ技術的信頼度を向上することができ
る。また、巻取機構と中継支持部とを設けたので高圧導
線アセンブリ及びイメージガイドの配役及び巻取りが容
易になった。As described above, according to the present invention, the titanium evaporation source is configured so that it can be melted and diffused at any position within a predetermined range within the vacuum container, and is also provided with a function for observing the inside of the container. It is possible to increase the efficiency of maintenance work on the inner wall of the vacuum container and improve technical reliability. Further, since the winding mechanism and the relay support section are provided, it becomes easy to arrange and wind up the high voltage conductor assembly and the image guide.
第1図はこの発明の一実施例を示す説明図、第2図は第
1図のイメージガイドの原理を示す説明図、第3図は第
1図のアーム先端部の近傍の詳細を示す説明図、第4図
は第1図の巻取機構箱の内部の構成を示す説明図、ツ・
5図は第1図の中継支持部の一部断両立面図である。
(1)・・・駆動部、12)・・・管状構造物、(3)
・・・ゲートバルブ、(4)・・・真空容器、(5)・
・・ポート、(6)・・・アーム本体部、(71・・・
アーム回転部、(8)・・・アーム先端部、(8b)・
・・中継支持部、(9)・・・チタン蒸着源、10)・
・・高圧導線アセンブリ、けυ・・・高圧導線支持リン
グ、(6)・・・イメージガイド撮像部、(12a)・
・・イメージガイド、(131・・・真空ポンプユニッ
ト、αυ・・・巻取機構箱、(23)・・・可動ブロッ
ク。
尚、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
代理人 大 岩 増 雄
第1図
第2図
第4図Fig. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram showing the principle of the image guide in Fig. 1, and Fig. 3 is an explanatory diagram showing details of the vicinity of the arm tip in Fig. 1. Figure 4 is an explanatory diagram showing the internal configuration of the winding mechanism box in Figure 1.
FIG. 5 is a partially cutaway elevational view of the relay support section of FIG. 1. (1)... Drive unit, 12)... Tubular structure, (3)
...gate valve, (4) ...vacuum container, (5).
...Port, (6)...Arm body, (71...
Arm rotation part, (8)... Arm tip part, (8b).
・Relay support part, (9) ・Titanium deposition source, 10)・
・・High voltage conductor assembly, ke υ ・High voltage conductor support ring, (6) ・・Image guide imaging section, (12a)・
...Image guide, (131... Vacuum pump unit, αυ... Winding mechanism box, (23)... Movable block. In addition, the same reference numerals in each figure indicate the same or equivalent parts. Agent Masuo Oiwa Figure 1 Figure 2 Figure 4
Claims (1)
気体の流通がゲートバルブによシ遮蔽され又は開放され
る管状構造物、この管状構造物が上記真空容器に連結さ
れた状態において外気との間が気密に保たれた真空容器
の内部を真空状態にするだめの真空ポンプユニット、上
記管状構造物の軸心を2軸とするX−Y−Z直角座標を
想定したとき、上記管状構造物の内部を2軸方向に上下
することのできる棒状のアーム本体部、このアーム本体
部の下端から延長されその延長方向が上記アーム本体部
の軸方向に対して変化できるように構成された棒状のア
ーム先端部、このアーム先端部を上記Z軸を中心にして
回転するためのアーム回転部、上記アーム先端部に架装
され上記アーム先端部の長さの方向に沿って移動するこ
とのできる可動ブロック、この可動ブロックに装着され
るチタン蒸着源、このチタン蒸着源に電流を流すため上
記管状構造物の中を経て上記チタン蒸着源まで配設され
る高圧導線アセンブリ、上記高圧導線アセンブリの上記
アーム先端部に沿った複数の部分を保持し、上記可動ブ
ロックの上記アーム先端部の長さの方向に沿っての移動
にともない上記アーム先端部上を滑動する複数個の高圧
導線支持リング、上記アーム本体部のZ軸方向の上下運
動と、上記アーム先端部の長さの方向と上d上アーム本
体部の長さの方向との間の角度の変更と、上記アーム回
転部を介しての上記アーム先端部のZ軸を中心とする回
転運動と、上記可動ブロックの上記アーム先端部の長さ
の方向に沿っての移動とを駆動する駆動部、上記真空容
器の内壁からの光線が入射するよう上記アーム先端部に
装着されたイメージガイド撮像部、このイメージガイド
撮像部に入射された光線を所定の場所まで伝送するよう
に設けられたイメージガイド、上記アーム本体部の上記
Z軸方向における移動にともない上記高圧導線アセンブ
リ及び上記イメージガイドを巻取り又は巻戻すための巻
取機構が設けられ、上記管状構造物に連結されて外気に
対しては気密性が保たれる構造を有する巻取機構箱、こ
の巻取機構箱に設けられ上記イメージガイドに光学的に
結合するコネクタ、上記巻取機構箱に設けられ上記高圧
導線アセンブリが貫通する電線貫通部、上記ボート内を
2軸方向に移動しかつ上記Z軸方向の任意の位置におい
て停止できるように構成され、その軸方向に上記アーム
本体部、上記商工導線アセンブリ及び上記イメージガイ
ドが滑動自在に頁辿するそれぞれの貫通孔が設けられた
中継支持部、この中継支持部の上記移動及び移動防止の
ための固定用金具の位置移動を上記駆動部から駆動する
手段を備えた真空容器内壁メインテナンス装置。A tubular structure connected to the boat part of a vacuum vessel, and gas flow between the vacuum vessel and the vacuum vessel is blocked or opened by a gate valve; when this tubular structure is connected to the vacuum vessel, outside air is Assuming an X-Y-Z rectangular coordinate with two axes as the axes of the tubular structure, A rod-shaped arm main body that can move up and down in two axial directions inside the structure, and is extended from the lower end of the arm main body so that the direction of extension can be changed with respect to the axial direction of the arm main body. a rod-shaped arm tip; an arm rotating part for rotating the arm tip around the Z-axis; a movable block, a titanium deposition source mounted on the movable block, a high-voltage conductor assembly disposed through the tubular structure to the titanium deposition source for supplying current to the titanium deposition source, and the high-voltage conductor assembly. a plurality of high voltage conductor support rings that hold a plurality of parts along the arm tip and slide over the arm tip as the movable block moves along the length of the arm tip; vertical movement of the arm main body in the Z-axis direction, change of the angle between the length direction of the arm tip and the length of the upper arm main body, and A drive unit that drives rotational movement of the arm tip of the arm around the Z-axis and movement of the movable block along the length direction of the arm tip, and a drive unit that drives a light beam from the inner wall of the vacuum container an image guide imaging unit attached to the tip of the arm so that the light beam enters the image guide imaging unit; an image guide provided to transmit the light beam incident on the image guide imaging unit to a predetermined location; and an image guide installed in the Z-axis direction of the arm main body. A winding mechanism is provided for winding up or unwinding the high-voltage conductor assembly and the image guide as they move, and the winding is connected to the tubular structure and has a structure that maintains airtightness from outside air. a take-up mechanism box; a connector provided in the take-up mechanism box and optically coupled to the image guide; an electric wire penetration part provided in the take-up mechanism box through which the high-voltage conductor assembly passes; It is configured to be able to move and stop at any position in the Z-axis direction, and has through holes in the axial direction through which the arm main body, the commercial conductor assembly, and the image guide can slide freely. A vacuum vessel inner wall maintenance device comprising: a relay support section; and means for driving the movement of the relay support section and the positional movement of a fixing fitting for preventing the movement from the drive section.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59023272A JPS60168076A (en) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | Vacuum vessel inner-wall maintaining device |
EP19850300886 EP0152299B1 (en) | 1984-02-09 | 1985-02-11 | Apparatus for executing maintenance work on the wall of vacuum vessel |
DE8585300886T DE3569619D1 (en) | 1984-02-09 | 1985-02-11 | Apparatus for executing maintenance work on the wall of vacuum vessel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59023272A JPS60168076A (en) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | Vacuum vessel inner-wall maintaining device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60168076A true JPS60168076A (en) | 1985-08-31 |
Family
ID=12105963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59023272A Pending JPS60168076A (en) | 1984-02-09 | 1984-02-10 | Vacuum vessel inner-wall maintaining device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60168076A (en) |
-
1984
- 1984-02-10 JP JP59023272A patent/JPS60168076A/en active Pending
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