JPS60155947A - 円筒孔内の黒色酸化膜検知装置 - Google Patents
円筒孔内の黒色酸化膜検知装置Info
- Publication number
- JPS60155947A JPS60155947A JP1260784A JP1260784A JPS60155947A JP S60155947 A JPS60155947 A JP S60155947A JP 1260784 A JP1260784 A JP 1260784A JP 1260784 A JP1260784 A JP 1260784A JP S60155947 A JPS60155947 A JP S60155947A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- oxide film
- probe body
- black oxide
- infrared rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/954—Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は円筒状の孔の内面に削り残った黒色酸化膜を検
知する装置に−する。
知する装置に−する。
高速増殖炉におけるＳ／Ｇ伝熱管等の管のスリーブ補修
に伴う゛管′内面゛の研磨度を検知するに際し、従来で
は小型ＩＴＶ−（白黒）あるいはファイバスコープを管
内に挿入して管内面を観察するという方法をとっていた
。
に伴う゛管′内面゛の研磨度を検知するに際し、従来で
は小型ＩＴＶ−（白黒）あるいはファイバスコープを管
内に挿入して管内面を観察するという方法をとっていた
。
しかしながら、これら゛の方法では研磨面、非研磨面の
いずれの部分も′釡属光沢を呈して見えるため、管内面
に削忙残った僅かな酸化膜（通常、黒色）を検出するこ
とは極めて困難であった。
いずれの部分も′釡属光沢を呈して見えるため、管内面
に削忙残った僅かな酸化膜（通常、黒色）を検出するこ
とは極めて困難であった。
本発明の目的は、各種□管゛体の内面のような円筒状の
一孔の内面に削れ残った黒色酸化膜を確実に検知するこ
とができる円筒孔内の黒色酸化膜検出□装置を提供する
ことである。
一孔の内面に削れ残った黒色酸化膜を確実に検知するこ
とができる円筒孔内の黒色酸化膜検出□装置を提供する
ことである。
本発明の黒色酸化膜検知装置は、円筒状の孔にほぼ同軸
′的に挿入された中空円筒状のプローブ本体と、この、
プローブ本体の周部に周方向はぼ全周に厘゛り形成され
上窓と、前記プローブ本体内にこのプローブ本体の軸回
りに回転可能に配置され、前記孔の内面から放射され前
記窓を通って前記プローブ本体内に入射した赤外線を前
記プローブ本体の中心軸方向に反射させる反射鏡と、こ
の反射鏡を回転させるともにその回転角を検知する機構
と、前゛記プローブ本体内に配置され、前記□反射鏡で
反射された赤外線の強度を検出する赤外線強・度検出器
とを具備したことを特徴とするものである。
′的に挿入された中空円筒状のプローブ本体と、この、
プローブ本体の周部に周方向はぼ全周に厘゛り形成され
上窓と、前記プローブ本体内にこのプローブ本体の軸回
りに回転可能に配置され、前記孔の内面から放射され前
記窓を通って前記プローブ本体内に入射した赤外線を前
記プローブ本体の中心軸方向に反射させる反射鏡と、こ
の反射鏡を回転させるともにその回転角を検知する機構
と、前゛記プローブ本体内に配置され、前記□反射鏡で
反射された赤外線の強度を検出する赤外線強・度検出器
とを具備したことを特徴とするものである。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第
１図および第２図は検知対象となる孔の軸方向に沿う断
面図であり、第１図と第２図とは互いに直角方向に断面
した状態を示している。また、第３図は第２図のＡ−Ａ
矢視断面図を示したものである。
１図および第２図は検知対象となる孔の軸方向に沿う断
面図であり、第１図と第２図とは互いに直角方向に断面
した状態を示している。また、第３図は第２図のＡ−Ａ
矢視断面図を示したものである。
図において、１は内面が研磨された孔であり、１ａは研
磨時に削れ残った黒色酸化膜を示している。この孔１内
に中空円筒状をなすプローブ本体が２がほぼ同軸的に挿
入されている。このプローブ本体２の両端には、例えば
耐摩耗性のナイロン等で形成されたフィン３ａ、、３ｂ
が孔１の軸心線上に位置するように取付けられている。
磨時に削れ残った黒色酸化膜を示している。この孔１内
に中空円筒状をなすプローブ本体が２がほぼ同軸的に挿
入されている。このプローブ本体２の両端には、例えば
耐摩耗性のナイロン等で形成されたフィン３ａ、、３ｂ
が孔１の軸心線上に位置するように取付けられている。
フィン３ａ、３ｂにはエンドキャップ４ａ、４ｂが取付
けられ、一方のエンドキャップ４ｂには孔１内を挿通し
た連結棒またはフレキシブルチューブ５が保持されてい
る。フィン３ａ、３ｂは胴６に連結されている。
けられ、一方のエンドキャップ４ｂには孔１内を挿通し
た連結棒またはフレキシブルチューブ５が保持されてい
る。フィン３ａ、３ｂは胴６に連結されている。
胴６は軸方向中央部に支持枠７（ここでは、支持枠７は
１２０ｆ！間隔で設けられているものとする。）で軸方
向に３分割された窓８を有し、この窓８には透明なガラ
ス板９がはめ込まれている。
１２０ｆ！間隔で設けられているものとする。）で軸方
向に３分割された窓８を有し、この窓８には透明なガラ
ス板９がはめ込まれている。
また、胴６には回転機構としてのマイクロモータ１０が
支持固定され、このマイクロモータ１０の回転軸上の前
記窓８に対応した位置に、全反射型の反射鏡１１がその
反射面を孔１の軸心線に対しほぼ４５度傾斜させて取付
けられている。さらに、このマイクロモータ１０には反
射鏡１１の回転角４ を検出するための回転角検出用エ
ンコーダ１２が取付けられている。
支持固定され、このマイクロモータ１０の回転軸上の前
記窓８に対応した位置に、全反射型の反射鏡１１がその
反射面を孔１の軸心線に対しほぼ４５度傾斜させて取付
けられている。さらに、このマイクロモータ１０には反
射鏡１１の回転角４ を検出するための回転角検出用エ
ンコーダ１２が取付けられている。
一方、胴６の内部にはシェル１３が取付けられ工おゆ、
Ｌ （７） 、ｘ ）Ｉｔ １３１ＣＬ／アオ、４およ
いヵ、１線強度検出器１５が組込まれている。この赤外
線強度検出器１５は、孔１の内面がら放射されて窓８を
通過した後反射鏡１１で反射され、レンズ１４を介して
入射した赤外線の強度を検出するためのもので、その前
面に置かれ相駆動コイル１６で振動される振動子片１７
の先端のチップ１８により光入力が一定周波数で断続さ
れるものとなっている。
Ｌ （７） 、ｘ ）Ｉｔ １３１ＣＬ／アオ、４およ
いヵ、１線強度検出器１５が組込まれている。この赤外
線強度検出器１５は、孔１の内面がら放射されて窓８を
通過した後反射鏡１１で反射され、レンズ１４を介して
入射した赤外線の強度を検出するためのもので、その前
面に置かれ相駆動コイル１６で振動される振動子片１７
の先端のチップ１８により光入力が一定周波数で断続さ
れるものとなっている。
ここで、赤外線強度検出器１５は特に長波長領域の光に
対して有効な検出特性を有する、例えばサーミスタボロ
メータ、焦電型検出器等を用いるものとし、反射鏡１１
およびレンズ１４の材質もこれによく適合する特性を有
するもの、例えばシリコン、ゲルマニウム等の長波長光
に対する透過特性の良好な材質であることが望ましい。
対して有効な検出特性を有する、例えばサーミスタボロ
メータ、焦電型検出器等を用いるものとし、反射鏡１１
およびレンズ１４の材質もこれによく適合する特性を有
するもの、例えばシリコン、ゲルマニウム等の長波長光
に対する透過特性の良好な材質であることが望ましい。
次に、この実施例の黒色酸化膜検知装置の作用を説明す
る。
る。
マイクロモータ１０を適当な速度で回転させると、赤外
線強度検出器１５は反射＃Ｒ１１の回転によって孔１の
内面を走査する。すなわち、孔１の内面の周方向各部の
局部的な領域から放射された赤外線が、窓９を通って反
射鏡８で反射され、さらにレンズ１４で集光された後、
振動子片１７先端のチップ１８により断続されて赤外線
強度検出器１５に導かれ、その強度に対応した電気信号
出力が得られる。
線強度検出器１５は反射＃Ｒ１１の回転によって孔１の
内面を走査する。すなわち、孔１の内面の周方向各部の
局部的な領域から放射された赤外線が、窓９を通って反
射鏡８で反射され、さらにレンズ１４で集光された後、
振動子片１７先端のチップ１８により断続されて赤外線
強度検出器１５に導かれ、その強度に対応した電気信号
出力が得られる。
第４図はこの様子を説明するための図である。
第４図において、（ａ）は孔１の内面状況を表わしたも
ので、良好に研磨された領域を２１とし、研磨不十分で
削れ残った黒色酸化膜の存在する領域を２・２とすると
、同図（ｂ）に示すように領域２１では赤外線放射率が
低いのに対し、領域２２では黒色酸化膜の影響で赤外線
放射率が高い。このため、同図（Ｃ）に示すように領域
２１がら放射される赤外線強度は低く、領域２２がら放
射される赤外線強度は高くなるので、赤外線強度検出器
１５の出力は同図（ｄ）に示すように領域２１に対応す
る区間で小さく、領域２２に対応する区間で大きくなる
。なお、同図（ｄ）においてｔは振動子片１７先端のチ
ップ１８の振動周期、つまり赤外線強度検出器１５の光
入力の断続周期を示し、Ｖｌ 、ｖ２はそれぞれ孔１内
面の領域２１゜２２からの赤外線とチップ１８の裏面か
らの赤外線との強度差を示している。
ので、良好に研磨された領域を２１とし、研磨不十分で
削れ残った黒色酸化膜の存在する領域を２・２とすると
、同図（ｂ）に示すように領域２１では赤外線放射率が
低いのに対し、領域２２では黒色酸化膜の影響で赤外線
放射率が高い。このため、同図（Ｃ）に示すように領域
２１がら放射される赤外線強度は低く、領域２２がら放
射される赤外線強度は高くなるので、赤外線強度検出器
１５の出力は同図（ｄ）に示すように領域２１に対応す
る区間で小さく、領域２２に対応する区間で大きくなる
。なお、同図（ｄ）においてｔは振動子片１７先端のチ
ップ１８の振動周期、つまり赤外線強度検出器１５の光
入力の断続周期を示し、Ｖｌ 、ｖ２はそれぞれ孔１内
面の領域２１゜２２からの赤外線とチップ１８の裏面か
らの赤外線との強度差を示している。
従って、エンコーダ１２から発生される第４図（ｅ）に
示す回転角検出信号によって孔１の内面に対する走査状
況を把握するとともに、プローブ本体２をゆっくりと孔
１内で軸方向に移動させ、そのときの赤外線強度検出器
１５の出力変化を監視することにより、孔１内面の研磨
時に削れ残った黒色酸化膜の有無を検知でき、もって孔
１の内面が十分に研磨されたかどうかを知ることが可能
となる。
示す回転角検出信号によって孔１の内面に対する走査状
況を把握するとともに、プローブ本体２をゆっくりと孔
１内で軸方向に移動させ、そのときの赤外線強度検出器
１５の出力変化を監視することにより、孔１内面の研磨
時に削れ残った黒色酸化膜の有無を検知でき、もって孔
１の内面が十分に研磨されたかどうかを知ることが可能
となる。
以上説明したように、本発明によれば孔内面自体から放
射される赤外線の強度を検出することによって、研磨等
に際し削れ残った黒色酸化膜を検知するため、孔内面を
照明しその反射光を小型ＩＴＶやファイバスコープを用
いて検出する方法のように、照明の質や入射方法、観察
角度等の影響を受けることがない。すなわち、被観察部
である孔内面そのものを一種の光源として観察を行なう
ものであるから、従来の方法のように外部からの照明条
件や観察条件等によって黒色酸化膜を検知できないとい
う欠点が解消され、管体内部等の孔内における黒色酸化
膜の削れ残り状態を確実に検知できるという利点がある
。
射される赤外線の強度を検出することによって、研磨等
に際し削れ残った黒色酸化膜を検知するため、孔内面を
照明しその反射光を小型ＩＴＶやファイバスコープを用
いて検出する方法のように、照明の質や入射方法、観察
角度等の影響を受けることがない。すなわち、被観察部
である孔内面そのものを一種の光源として観察を行なう
ものであるから、従来の方法のように外部からの照明条
件や観察条件等によって黒色酸化膜を検知できないとい
う欠点が解消され、管体内部等の孔内における黒色酸化
膜の削れ残り状態を確実に検知できるという利点がある
。
また、本発明においては赤外線強度検出器自体はプロー
ブ本体内に固定し、反射鏡をプローブ本体の軸回りに回
転させることで孔内面を全周に亙り走査していることか
ら、赤外線強度検出器の出力信号を外部に取出すために
スリップリング等を使用する必要がなくなり、出力信号
のＳ／Ｎ向上と、信頼性の向上を図ることができる。
ブ本体内に固定し、反射鏡をプローブ本体の軸回りに回
転させることで孔内面を全周に亙り走査していることか
ら、赤外線強度検出器の出力信号を外部に取出すために
スリップリング等を使用する必要がなくなり、出力信号
のＳ／Ｎ向上と、信頼性の向上を図ることができる。
第１図は本発明の一実施例の黒色酸化膜検知装置の孔の
軸方向に沿う断面図、第２図は同装置の第１図と直角方
向における軸方向に沿う断面図、第３図は同装置のＡ−
Ａ矢視断面図、第４図は同装置の作用を説明するための
タイムチャートであ ｌる。 １・・・孔、２・・・プローブ本体、３ａ、３ｂ・・・
フィン、４ａ、４ｂ・・・エンドキャップ、５・・・連
結棒またはフレキシブルチューブ、６・・・胴、７・・
・支持枠、８・・・窓、９・・・透明ガラス板、１０・
・・マイクロモータ、１１・・・反射鏡、１２・・・エ
ンコーダ、１３・・・シェル、１４・・・レンズ、１５
・・・赤外線強度検出器、１６・・・駆動コイル、１７
・・・振動子片、１８・・・チップ。 出願人復代理人 弁理士 鈴江武彦
軸方向に沿う断面図、第２図は同装置の第１図と直角方
向における軸方向に沿う断面図、第３図は同装置のＡ−
Ａ矢視断面図、第４図は同装置の作用を説明するための
タイムチャートであ ｌる。 １・・・孔、２・・・プローブ本体、３ａ、３ｂ・・・
フィン、４ａ、４ｂ・・・エンドキャップ、５・・・連
結棒またはフレキシブルチューブ、６・・・胴、７・・
・支持枠、８・・・窓、９・・・透明ガラス板、１０・
・・マイクロモータ、１１・・・反射鏡、１２・・・エ
ンコーダ、１３・・・シェル、１４・・・レンズ、１５
・・・赤外線強度検出器、１６・・・駆動コイル、１７
・・・振動子片、１８・・・チップ。 出願人復代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (1)
- 円筒状の孔の内面に削れ残った黒色酸化膜を検知する装
置であって、前記孔にほぼ同軸的に挿入された中空円筒
状のプローブ本体と、このプローブ本体の周部に周方向
はぼ全周゛に亙り・形成された窓と、前記プローブ本体
内にこのプローブ本体の軸回りに回転可能に配置され、
−前記孔の内・面から放射され前記窓を通って前記プロ
ーブ本体□内に・入射した赤外線を前記プローブ本体の
中心軸方向に反射させる反射鏡と、この反射鏡を回転さ
せるともにその回転角を検知する機構と、前記プローブ
本体内に配置され、前記反射鏡で反射された赤外線の強
度を検出する赤外線強度検出器とを具備したことを特徴
とする円筒孔内の黒色酸化膜検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1260784A JPS60155947A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 円筒孔内の黒色酸化膜検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1260784A JPS60155947A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 円筒孔内の黒色酸化膜検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60155947A true JPS60155947A (ja) | 1985-08-16 |
Family
ID=11810039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1260784A Pending JPS60155947A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 円筒孔内の黒色酸化膜検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60155947A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289351U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-16 | ||
| US5345339A (en) * | 1993-01-29 | 1994-09-06 | Welch Allyn, Inc. | Motorized mirror assembly |
-
1984
- 1984-01-26 JP JP1260784A patent/JPS60155947A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289351U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-16 | ||
| US5345339A (en) * | 1993-01-29 | 1994-09-06 | Welch Allyn, Inc. | Motorized mirror assembly |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6791101B2 (en) | Scanning apparatus | |
| US5078507A (en) | Temperature sensor | |
| US3153723A (en) | Internal mirror drum scanning device | |
| JPS6184961A (ja) | 放射線画像情報をテレビジヨン信号系列に変換する装置 | |
| JPS60155947A (ja) | 円筒孔内の黒色酸化膜検知装置 | |
| CN113906288A (zh) | 圆筒内表面检查装置 | |
| JP2650231B2 (ja) | 光線・偏向装置 | |
| US5125274A (en) | Tube testing apparatus | |
| JPS6358135A (ja) | 管内面形状測定装置 | |
| JPH0544008B2 (ja) | ||
| US4156142A (en) | Optical-mechanical scanner mirror for an infrared viewing system | |
| JPS5915379A (ja) | 熱赤外撮像カメラ | |
| JP2737419B2 (ja) | 曲面物体の表面温度分布測定装置 | |
| JPH078821U (ja) | 内視鏡 | |
| JPS6358131A (ja) | 管内面形状測定装置 | |
| JP2794576B2 (ja) | 筒状体のピンホール検出装置 | |
| SU1739347A1 (ru) | Оптическа сканирующа система | |
| SU842513A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл ОбНАРужЕНи дЕфЕКТОВ пОВЕРХНОСТидВижущЕгОС гибКОгО МАТЕРиАлА | |
| JPH08275925A (ja) | 放射体温計 | |
| JPH04352118A (ja) | 赤外内視鏡の先端部 | |
| JPS62167401A (ja) | 棒状体の外径測定装置 | |
| JPS6358132A (ja) | 管内面形状測定装置 | |
| JPH01321337A (ja) | 光走査装置 | |
| JPS5939639Y2 (ja) | 赤外線方式ガス濃度連続測定装置 | |
| JPS63225132A (ja) | 温度測定装置 |