JPS60154201A - Plastic optical parts - Google Patents

Plastic optical parts

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Publication number
JPS60154201A
JPS60154201A JP59010041A JP1004184A JPS60154201A JP S60154201 A JPS60154201 A JP S60154201A JP 59010041 A JP59010041 A JP 59010041A JP 1004184 A JP1004184 A JP 1004184A JP S60154201 A JPS60154201 A JP S60154201A
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JP
Japan
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film
layer
plastic
lens
lenses
Prior art date
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Application number
JP59010041A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuhiro Tokuyado
徳宿 伸弘
Masayuki Muranaka
昌幸 村中
Norio Yatsuda
則夫 谷津田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS60154201A publication Critical patent/JPS60154201A/en
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    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
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    • G02B1/11Anti-reflection coatings
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Abstract

PURPOSE:To obtain optical parts having high transmittance and superior heat resistance and undergoing no change in the characteristics with the lapse of time by directly forming an SiO2 film on the surface of plastics and forming other antireflection films on the SiO2 film in order. CONSTITUTION:An SiO2 film 3 of 50nm-0.5mum thickness is directly formed on the surface of plastic optical parts such as an acrylic resin or polycarbonate lens 4, and an Al2O3 film 2 and an MgF2 film 1 are successively laminated on the film 3 to form a multilayered antireflection film. An SiO2 film 10, a ZrO2 film 9 and an MgF2 film 8 may be successively formed on the surface of a plastic lens 11. Since the thickness of the films 3, 10 is adjusted to said range, the adhesive strength to the multilayered antireflection films and the lenses 4, 11 is increased, and damper action by which stress of thermal expansion is absorbed is provided to the films 3, 10 to prevent cracking. Thus, plastic optical parts having high transmittance and superior durability is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、プラスチ9クレンズなどのプラスチ噌り製光
学部品に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to optical components made of Plasti-9, such as Plasti-9 lenses.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

プラスチ噌り製光学部品として、例えばプラスチ9クレ
ンズが知られておシ、以下、プラスチ9クレンズを例に
説明する。
For example, Plasti-9 Cleanse is known as an optical component made of Plasti. Hereinafter, Plasti-9 Cleanse will be explained as an example.

プラスチ噌りレンズは反射防止コーティングによシ透過
皐會回上させる仁とが重要な課題となっている。−万、
プラスチックレンズは、ガラスレンズに比べて軽量で量
産性が良いなどの利点がある反面、屈折藁が一般に低い
ため単層反射防止コーティングでは不充分であるなどの
難点がある。
An important issue for plastic lenses is the use of anti-reflection coatings to increase transmission. Ten thousand,
Although plastic lenses have advantages over glass lenses, such as being lighter and easier to mass produce, they also have disadvantages, such as the fact that a single layer of anti-reflection coating is insufficient because the refractive index is generally low.

このため、多層反射防止コーティング(以下、Vルチコ
ーティングという)により透過重管向上させなければな
らない。 ゛ しかじ、プラスチ9クレンズにマルチコーティングを施
すことは容易ではなく、例えば、プラスチ噌りの表面に
、まず、プラスチックとの密着性の艮い熱硬化性樹脂t
−塗布硬化させてから、マルとが−難な九め忙、プラス
チ噌りレンズの面精度音感化させてしまう恐れがある。
Therefore, it is necessary to improve the transmission by using a multilayer antireflection coating (hereinafter referred to as V multi-layer coating). However, it is not easy to apply multi-coating to Plasti-9 Cleanse. For example, first, a thermosetting resin T, which has good adhesion to plastic, is applied to the surface of Plasti-9 Cleanse.
- After coating and curing, there is a risk that the surface precision of the plastic lens will be affected due to the difficulty of marking the edges.

さて、プラスチ・りCンズの中でも、透明性に ゛優れ
、射出底形性が良く量産に適していることから、アクリ
ルレンズか注目されておシ、アクリルレンズにマルチコ
ーティングを施すことが試みられている。しかし、アク
リルと無機質コーチインク膜の密着性か他のプラスチッ
クに比べ非常に悪く、アクリルレンズのマルチコーティ
ング化會すまたけてい友。例えば、メカネレンズに使用
されるCR−39(商品名)レンズは8102&’r 
1 p m以上〜く蒸着することができるが、アクリル
レンズでは、クラ噌り発生してしまい5102層を厚く
°::7〜”p I)tv vyiK>n?。1,4.
Now, among plastic lenses, acrylic lenses have attracted attention because they have excellent transparency, good injection bottom shape, and are suitable for mass production, and attempts have been made to apply multi-coating to acrylic lenses. ing. However, the adhesion between acrylic and inorganic coach ink film is very poor compared to other plastics, making multi-coating of acrylic lenses very difficult. For example, the CR-39 (product name) lens used for mechanical lenses is 8102&'r
1,4.
.

熱蝉化性番・脂展會密層層とする方法などがとられてい
たため、上述のような欠虞かあった。
Methods such as a thermal cicada layer and a fat-spread dense layer were used, which caused the above-mentioned deficiencies.

−万、%−11@F+6−11ri9Q1号公報には、
プラスチ9クレンズに空気側からプラスチック側に第1
層II−Mf!W’2、第2JiltAJhOsとする
構成が提案されているが、この構成tアクリルレンズに
適、 3 。
-10,000, %-11@F+6-11ri9Q1 publication,
From the air side to the plastic side of the Plasti 9 cleanse,
Layer II-Mf! A configuration with W'2 and second JiltAJhOs has been proposed, but this configuration is suitable for acrylic lenses.

用すると、常温(20℃)では密着性が良く、クラ噌り
の□発生はないが、80℃の高温試験に12時間さ・ら
すとクラ9りが発生し、透過藁が大幅に減少することが
わかった。そのため、本発明者等は、透過S特性、密着
性、耐久性に優れたマルチコーティング構成として、既
に」空気側よりプラスチ噌り側に第1層fMgF2、第
2層を屈折率1.55以上のSiOとする構成を提案し
た。これは810の経時変化を把握し、初期のSiOの
屈折軍會高めることによシ、長期にわたシ良好な透過皐
特性を保障するものではあるが、経時変化を有する5i
otl−使用することは望ましくないものであり、更に
改良か望まれてい友。
When used, adhesion is good at room temperature (20℃) and no cracking occurs, but when exposed to a high temperature test of 80℃ for 12 hours, cracking occurs and the amount of permeable straw is significantly reduced. I found out that it does. Therefore, the present inventors have already developed a multi-coating structure with excellent transmission S characteristics, adhesion, and durability by adding a first layer fMgF2 and a second layer with a refractive index of 1.55 or more on the plastic side from the air side. We proposed a configuration using SiO. This is to ensure good transmission properties over a long period of time by grasping the aging of 810 and increasing the refractive power of the initial SiO.
otl - Use is undesirable and further improvements are desired.

ところで、レンズのプラスチ噌り化に伴ない、カメラな
どの絹レンズもプラスチークレンズが用いられるように
なってき九が、かかる組レンズにフリスチ噌りレンズ會
用いる場合、色消しのため 1vc*yr;s*+*v
y−xhaw*w、*+wxvyt 。
By the way, with the shift to plastic lenses, plastic lenses have come to be used for silk lenses for cameras, etc. However, when using plastic lenses for such lens sets, 1vc*yr is used due to achromatization. ;s*+*v
y−xhaw*w, *+wxvyt.

の219i!6のレンズが組み合わせて用いられており
、低屈折率低分散レンズとしては、たとえばアクリ、4
゜ ルレンズが、また、高屈折率高分散レンズとしては、た
とえば1.ポリカーボネートレンズなどが用いられてい
る。・ この場合、先に述べ九アクリルレンズと同様に、ポリカ
ーボネートレンズにも反射防止膜を設ける必要がある、
このポリカーボネートレンズに、先に述べたCP−39
レンズと同様に% 5102による反射防止効果設は九
とすると、CP−39レンズの場合には、その屈折率が
1.51であって5102の屈折率(1,45)に比較
的近い丸めに、5102の!mを厚くしても分光透過量
特性に生ずる17 、プルは小さくてほとんど問題には
ならないが、ポリカーボネートレンズの場合に線、その
屈折率が1.58と8102の屈折率に比べて大きく、
このために、8102拳t−厚くすると、分光透過藁特
性は大きなり9プルが生じて大幅に劣化するという欠点
があっ九。ポリカーボネートレンズ上の8102層の厚
さがQ54m以上になると、80C,12時間の耐熱試
験を行なつ九ところ、ボリカーボネートレンラ ズにり/−vりか発生し、分光透過峯か大幅に減少した
。ビデオカメラなどの家電品は80Cの高温中で長時□
間使用すること灯しばしばあシ、このような状況の中で
も実用性能が維持されなければならない嘉、5102拳
t反射防止膜としたポリカーボネートレンズをビデオカ
メラのレンズ系に用いることは問題がある。
219i! 6 lenses are used in combination, and examples of low refractive index and low dispersion lenses include Acrylic and 4
Examples of high refractive index and high dispersion lenses include 1. Polycarbonate lenses are used.・ In this case, it is necessary to provide an anti-reflection coating on the polycarbonate lens as well as the acrylic lens mentioned above.
This polycarbonate lens has the aforementioned CP-39.
Assuming that the anti-reflection effect of %5102 is 9 as with the lens, in the case of the CP-39 lens, its refractive index is 1.51, which is rounded relatively close to the refractive index of 5102 (1,45). , 5102! Even if m is increased, the pull that occurs in the spectral transmission characteristics is small and hardly a problem, but in the case of polycarbonate lenses, the refractive index of the line is 1.58, which is larger than that of 8102
For this reason, when 8102 is made thicker, the spectral transmission characteristics have the disadvantage that a large pull occurs and is significantly degraded. When the thickness of the 8102 layer on the polycarbonate lens was Q54m or more, when a heat resistance test was conducted at 80C for 12 hours, the polycarbonate lens was subjected to a heat resistance test, and the spectral transmission peak was significantly reduced. Home appliances such as video cameras are exposed to high temperatures of 80C for long periods of time.
The use of polycarbonate lenses with anti-reflection coatings in video camera lens systems poses problems, as practical performance must be maintained even under such conditions.

ま友、ポリカーボネートの表面に、その屈切藁に近い屈
折率を有する熱硬化性樹脂七m有して硬化させ、その上
にマルチコーティングt−施こす方法も提案されたが、
熱硬化性樹脂の膜厚會一定に維持することは困難であシ
、レンズ面の精度が悪化するという欠点があつ九。
A method has also been proposed in which a thermosetting resin having a refractive index close to that of bent straw is coated on the surface of polycarbonate and then cured, and then a multi-coating is applied thereon.
It is difficult to maintain a constant film thickness of the thermosetting resin, and the disadvantage is that the precision of the lens surface deteriorates.

さらに、ポリカーボネートなどの高屈折率高分散レンズ
の表面に、このレンズの屈折単に近い屈折率な有する5
io(屈折率= 1.60 )のmを設け、その上にZ
roz層を、さらにu@’l’2層を形成し、5idl
e、Zr02j*およびMl!F2層からなる3−反射
防止効果設けることが提案された、かかる反射防止膜に
よると、反射防止効果か良好で、80う Cの耐熱試験においてもり/−vりが生じなかった。
Furthermore, the surface of a high refractive index, high dispersion lens such as polycarbonate has a refractive index close to that of the refractive index of this lens.
io (refractive index = 1.60), and Z
roz layer and further u@'l' layer, 5idl
e, Zr02j* and Ml! According to this antireflection film, which was proposed to have a 3-antireflection effect consisting of an F2 layer, the antireflection effect was good, and no flashing/-v warping occurred in a heat resistance test at 80°C.

しかし、SiOは屈折軍の経時変化が大きく、このよう
な反射防止膜を施とし九ポリカーボネートレンズは、そ
の初期の分元透過軍特性を維持することが困難であると
いう欠点があった、〔発明の目的〕 本発明の目的は、透過!特性、密着性および耐久性に優
れ、また経時変化のないマルチコーティング會施したプ
ラスチ9り製光学部品會提供するにある。
However, the refractive power of SiO changes significantly over time, and polycarbonate lenses coated with such an antireflection film have the disadvantage that it is difficult to maintain their initial refractive power characteristics. [Purpose of the present invention] The purpose of the present invention is transparent! To provide an optical component made of plasticine coated with a multi-coating which has excellent properties, adhesion and durability, and which does not change over time.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この日的會達成するために、本発明社、反射防止膜會多
胸構造とし、そのプラスチック側の層上5i02#とし
九点に特徴がある。
In order to achieve this purpose, the present invention has adopted an anti-reflection coating with a polygonal structure, and has a layer of 5i02# on the plastic side, which has nine characteristics.

[発明の実施例〕 以下、本発明の実施例上図面について説明する。[Embodiments of the invention] Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明によるプラスチ噌り製光学部品の一実施
例會示す断面図であって、1はMl!F2MII、2は
Aβ20slfls ’は5i02fl、4はプラスチ
噌りレンズである。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an optical component made of plastic according to the present invention, and 1 is Ml! F2MII, 2 is Aβ20slfls' is 5i02fl, and 4 is a plasticized lens.

この実施例はプラスチ9クレンズを例にしたもので、設
計波長勿λθとして、空気側の第1胸は光学的膜厚λo
/4のMgFz層1で、屈折累は1.38である。第2
層は光学的膜厚λo/4の11205層2で、屈折悪は
1.60である。第39は、光学的膜厚λo/4〜λ0
の範囲、望ましくはλo/4、λo/2゜3λo/4、
λ0のいヤれかである8102障5で屈折藁は1.45
である。プラスチ9クレンズ4は屈折l 1.49のア
クリルレンズである。
This example uses Plasti-9 Cleanse as an example, where the design wavelength is of course λθ, and the first breast on the air side has an optical film thickness of λo.
/4 MgFz layer 1, the refractive index is 1.38. Second
The layer is 11205 layer 2 with an optical thickness λo/4 and a refractive index of 1.60. The 39th optical film thickness is λo/4 to λ0
range, preferably λo/4, λo/2°3λo/4,
The refraction is 1.45 at 8102 fault 5 which is either λ0 or
It is. Plasti-9 Lens 4 is an acrylic lens with a refraction l 1.49.

尚、^j!2θSの通常の屈折墨線1. a 2である
が、これ社基板温度t200℃以上とじ九場合に達成で
きる値であり、プラスチックのように基板温度を上げる
ことのできない時の4ffi20gの屈折兎は1.60
となる丸め上記の屈折軍としている。
Also, ^j! 2θS normal refraction black line 1. a2, but this is the value that can be achieved when the substrate temperature t is 200℃ or higher, and when the substrate temperature cannot be raised like plastic, the refraction of 4ffi20g is 1.60
The above refraction force is rounded.

本・実施例c/)S1021ta3は、プラスチック基
板との密着層としての働きと、耐熱試験時の熱膨張音吸
収するダンパとしての働き會持っている。すなゎち1.
6.o2は□2ogえ比−、,1,プ、ユ7,21との
密着性にすぐれているとともに、柔軟性および分子間の
結合力にすぐれ、プラスチ噌りとの熱膨張差か大きいに
もかかわらす、耐熱試験時にり・ 7 ・ う噌りの発生することがない。しかし、前述したjう[
アクリルはプラスチ噌りの中でも特に無機質との密着力
が弱(、Sing胸3會α5/Jm以上に厚くすると、
密着力が低下し、耐熱試験でクラプクが発生することが
わかシ、アクリルレンズに轄従来0R−39等に適用さ
れているような5102する方法を用いることができな
かった。−万、S10zk50nm以1にすると、51
02のダンパとしての働きが少なくなシ、耐熱試験でA
jt20s#2にクラ9りが発生してしまう。このよう
に、5102拳3の埠さには適正な範囲かあり、50n
m以上a5#m以下が適当であることがわかり九。
This example c/) S1021ta3 functions as an adhesive layer with the plastic substrate and as a damper that absorbs thermal expansion sound during a heat resistance test. Sunawachi 1.
6. O2 has excellent adhesion with □2og ratio -, 1, pu, 7, 21, as well as excellent flexibility and intermolecular bonding force, and has a large thermal expansion difference with plastic. However, during the heat resistance test, 7. No cavities occur. However, the aforementioned
Among plastics, acrylic has a particularly weak adhesion to inorganic materials (if it is thicker than α5/Jm,
It was not possible to use the conventional 5102 method applied to 0R-39 and the like for acrylic lenses because the adhesion strength was reduced and cracks were generated in heat resistance tests. -10,000, if S10zk50nm or more is set to 1, 51
02 does not work well as a damper, and received an A rating in the heat resistance test.
A crash occurs in jt20s#2. In this way, 5102 fist 3 has an appropriate range, and 50n
It was found that a value of m or more and a5#m or less is appropriate9.

・また、第1hのMg1112、第2脂のkit2ys
、および第3111の8102のそれぞれの屈折軍の経
時変化音調べた。
・Also, Mg1112 in the 1st h, kit2ys in the 2nd fat
, and the 3111th and 8102nd refractive forces were investigated.

第2図は各層を成す物質の屈折軍の経時変化特性図であ
って、第1図の1!r層を形取する物質は、従来のSi
Oに比べて屈折藁かほとんど経時変化を起こさないこと
がわかった。従って、 4!r[の反、8 。
FIG. 2 is a graph showing the time-dependent changes in the refraction force of the materials forming each layer, and shows the 1! The material forming the r layer is conventional Si.
It was found that refractive straw hardly changes over time compared to O. Therefore, 4! The antithesis of r[, 8.

射防止特性、つt)透過量特性も経時変化しない。The radiation prevention properties and (t) transmission amount properties also do not change over time.

第3図は第1図の%層の分光反射特性2図である。FIG. 3 is a diagram showing two spectral reflection characteristics of the % layer shown in FIG.

同図において、曲線!!i、’6.7は、5i02胸の
光学的゛膜角會犬々λ0/4(94,8・膳)、λo/
2 (19onm)。
In the same figure, the curve! ! i, '6.7 is 5i02 chest optical membrane angle λ0/4 (94,8・zen), λo/
2 (19 onm).

λo(x79nm)としたときのもので本る、ここで設
計波長λ0は550nmである。先に述べたようく51
02胸の膜厚は50nm〜α5/1mか良いが、さらに
分元反射藁特性會考慮して、”光学的膜厚でλo/4〜
λ0の範囲が好ましく、さらには、設計波長中心にほぼ
詐称な分光反射島特性が得られるように、5i02jF
lの光学的膜厚會λo/4’+λo/2 ・SA’o/
aあるいはλ0に設電することが望ましい。
Here, the design wavelength λ0 is 550 nm. As mentioned earlier 51
02 The film thickness on the chest should be 50nm to α5/1m, but considering the fractional reflection straw characteristics, the optical film thickness should be λo/4 to
A range of λ0 is preferable, and furthermore, 5i02jF
Optical film thickness of l λo/4'+λo/2 ・SA'o/
It is desirable to provide power to a or λ0.

なお、本実施例のアクリルレ“・ンズに反射防止膜上形
成するには、アクリル基板の表面に、電子ビーム加熱蒸
着法により、5i02を所足の゛膜厚になるまで蒸着し
、その上に、同じく電子ビーム加熱蒸着法によ”)% 
1M20sおよび1げ2′ltその順に所定の膜厚にな
るまで蒸着する。
In order to form an antireflection film on the acrylic lens of this example, 5i02 is deposited on the surface of the acrylic substrate by electron beam heating evaporation until the required film thickness is reached. , also by electron beam heating evaporation method")%
1M20s and 1M2'lt are deposited in that order until a predetermined film thickness is reached.

以上のように、本実施例においては、反射防止効果、W
jW性および耐熱性にすぐれ、経年変化のないマルチコ
ーティングを得ることができる。
As described above, in this example, the antireflection effect, W
It is possible to obtain a multi-coating that has excellent jW properties and heat resistance and does not change over time.

第4図は本発明の佃の実施例によるプラスチ9り製光学
部品の1ilT面図であって、8は)JL’FJi、9
はZr021i1. ”は5102Jill、11はポ
リカーボネートレンズである。
FIG. 4 is a 1ilT side view of an optical component made of plastic according to an embodiment of the present invention, where 8 is) JL'FJi, 9
is Zr021i1. ” is 5102Jill, and 11 is a polycarbonate lens.

空気側の第1層はMf!F’2−であり、第2層はZr
O2層であり、また第3層は8102胸である。設計波
長會λ0とすると、各層の光学的膜厚扛、第1釉である
MgF21tII8がλ0/4、第2IiIであるZr
O2層9がλ0/2、第3111MのSiO2mLDが
λ0/2である。
The first layer on the air side is Mf! F'2-, and the second layer is Zr
The O2 layer and the third layer is the 8102 breast. When the design wavelength is λ0, the optical thickness of each layer is λ0/4 for MgF21tII8, which is the first glaze, and Zr, which is the second IiI.
The O2 layer 9 is λ0/2, and the 3111Mth SiO2mLD is λ0/2.

このようなプラスチ噌りレンズ會製作するには、まず、
ポリカーボネートからなる基板の表面に8102?I−
電子ビーム加熱による蒸着法で所定の膜厚まで蒸着し、
その上KZr02及びMgF21t−順に所定の膜厚ま
で電子ビーム加熱蒸着法によって2作製する。8102
を蒸着する前に、Arガス會導入し、高周波電圧會印加
しプラズマを発生させることによりイオンボンバードを
行ない、ポリカーボネート表面會活性化し、密着力を同
上させることもできる。また、5i02*ZrO2+M
gr2各胸の一部または全部をイオンブレーティング法
で作製することも可能である。 ゛ 本実施例における5102層10は、プラスチづり基板
11とZr02層9との間の密N胸としての働きと、耐
熱試験時の熱膨張音吸収するダンパとしての働き會待っ
ている。すなわち、5io2はZrO2に比べてプラス
チ−lりとの密着性にすぐれているとともに、柔軟性に
すぐれプラスチづりとの熱膨張差が大きいにもかかわら
ず、耐熱試験時にクラ9りが発生することが゛ない。例
えば、ポリカーボネート基材に、5iOa拳を弁さす、
直接Z r02層およびMF!F2#に設けた場合には
、80℃の耐熱試験でクラ噌りが発生し、透過藁か大龜
に減少した、これに対しa51Im以下の5i02”!
r弁して、ZrO2層およびMgF2鳩を設けることに
よ)、80℃の耐熱試験でのクラ9り発生音防止するこ
とができた。−万、前述し友ように、、151m以上の
5102珈IQi設けることは、@着力低下および内部
ストレスの増加により、80℃の耐熱試験で大きなりう
噌りが発生してしまう。
To make such a plastic lens, first,
8102 on the surface of a substrate made of polycarbonate? I-
The film is deposited to a predetermined thickness using an evaporation method using electron beam heating.
Furthermore, two films are fabricated in order of KZr02 and MgF21t to a predetermined thickness by electron beam heating evaporation. 8102
It is also possible to perform ion bombardment by introducing an Ar gas atmosphere and applying a high frequency voltage to generate plasma before vapor depositing the polycarbonate, thereby activating the polycarbonate surface and increasing the adhesion. Also, 5i02*ZrO2+M
It is also possible to produce part or all of each gr2 breast using the ion-blating method. The 5102 layer 10 in this embodiment functions as a dense N-thickness between the plastic substrate 11 and the Zr02 layer 9, and as a damper to absorb thermal expansion sound during a heat resistance test. In other words, 5io2 has better adhesion to plastic than ZrO2, and even though it has excellent flexibility and a large difference in thermal expansion from plastic, cracking occurs during heat resistance tests. There is no. For example, inserting a 5iOa fist into a polycarbonate base material,
Direct Z r02 layer and MF! When installed in F2#, cracking occurred in the 80°C heat resistance test, and it was reduced to a transparent straw or a large pot. In contrast, 5i02'' below a51Im!
By providing a ZrO2 layer and a MgF2 layer with a ZrO2 layer and a MgF2 layer, it was possible to prevent cracking noise during a heat resistance test at 80°C. - As mentioned earlier, installing a 5102 C IQi of 151 m or more will cause a large bending in the 80°C heat resistance test due to a decrease in adhesion and an increase in internal stress.

さらに、本零施例は、 1571m以下の5ioh軸の
中でも、8102拳100元学的膜Jl會λ0/2とし
ている。ここで、例えば設計波長λ0′ft通常の55
0nmとすれば、8.102の屈折!は1.45である
から、光学的膜厚λG/2に笑膜厚に換算すれば、α1
9〃mとな9、[L5J1m以下のφ件を満足する。 
゛第5図は、8102拳の分元反射昆特性図であって、
12.13および14扛分光反射皐曲線である。
Furthermore, in this zero embodiment, among the 5ioh axes of 1571 m or less, the 8102 fist 100 elemental membrane Jl meeting λ0/2 is set. Here, for example, the design wavelength λ0'ft is the normal 55
If it is 0 nm, the refraction is 8.102! is 1.45, so if it is converted to optical film thickness λG/2, α1
9〃m and 9, [L5J1m or less φ condition is satisfied.
゛Figure 5 is a characteristic diagram of the 8102 fist reflex,
12.13 and 14 spectral reflection curves.

β1図で第1拳はMj’l’*l1i8、第2拳はZr
02層9、第3膿は5102拳10、基材′9を屈折藁
1.58のポリカーボネートレンズ11とし、各層の光
学的膜厚’i、 Mg1F2層會λ074.ZrO2滲
9’にλ0/2に内定し、5102拳10の膜厚を変え
た時の分光反射8%性を示したものである。ここで、曲
11i112は、本実ml91+によるもので、510
2拳10の光学的膜厚會λo/2としたものである。曲
線t?iおよび14は、本実施例に対する比較例であり
、それぞれIIFI線13は8102の光学的膜厚會λ
0/4、曲線14は5102の1lIJII’t−’#
mとしてiる。なお・12 ・ 設計波長λ0は550nm% MgF2 eBの屈折藁
は1.38、ZrO2111の屈折藁は1.90. 8
102M) 10の屈折兆は1.45である。ZrO2
の屈折藁は通常2.05〜2.10とされているが、プ
ラスチ噌りは基板加熱會行なうことができず、常温で蒸
着する丸め、通常のがラスレンズの棟に200℃以上で
蒸着する時とは異な9、屈折IK線1.90付近に低)
することがわかったため、本実施例ではZrO2の屈折
軍i 1.90とし友。第5図より、本実施例の様に、
5to2eの光学的膜厚をλo/2とすることによル、
長い波長領域にわ九り、反射NKを少なくすることがで
きる。これに対し、5io2拳の光学的膜厚をλo/2
よシ薄いλG/ 14 K Lft J)、λo/2(
a19am相当)より岸い1μmにすることは分光反射
8%性を香しく劣化させることになる。
In the β1 diagram, the first fist is Mj'l'*l1i8, and the second fist is Zr.
02 layer 9, the third layer is 5102 10, the base material '9 is a refractive straw 1.58 polycarbonate lens 11, the optical thickness of each layer is 'i, the Mg1F2 layer is λ074. It shows the spectral reflection of 8% when the film thickness of 5102 fist 10 is changed, with λ0/2 set as ZrO2 leakage 9'. Here, song 11i112 is by Honjitsu ml91+ and is 510
The optical film thickness was set to λo/2. Curve t? i and 14 are comparative examples for this example, and the IIFI line 13 has an optical film thickness λ of 8102, respectively.
0/4, curve 14 is 5102 1lIJII't-'#
m as i. In addition, 12. The design wavelength λ0 is 550 nm%.The refraction straw of MgF2 eB is 1.38, and the refraction straw of ZrO2111 is 1.90. 8
102M) The refraction sign of 10 is 1.45. ZrO2
The refraction of plastic straw is usually 2.05 to 2.10, but the plastic layer cannot be heated on the substrate, so it is evaporated at room temperature, and the normal one is evaporated at 200℃ or higher on the ridge of the lath lens. 9 different from the time, refraction IK line low around 1.90)
Therefore, in this example, the refractive force i of ZrO2 was set to 1.90. From FIG. 5, like this example,
By setting the optical thickness of 5to2e to λo/2,
Reflection NK can be reduced in a long wavelength region. On the other hand, the optical thickness of 5io2 fist is λo/2
Very thin λG/ 14 K Lft J), λo/2(
If the width is set to 1 μm (equivalent to a19am), the spectral reflection property of 8% will deteriorate noticeably.

また、本実施例では、屈折悪の経時変化の少ない5i0
2およびZr0z、MgF2t?使用しているため、分
光透過X特性の経時変化が少ない。また8102層IQ
11−α5Am以下にすることにより180℃の耐熱試
験でクラ噌りの発生を防止することができた。
In addition, in this example, 5i0, which has little change in refractive error over time, is used.
2 and Zr0z, MgF2t? Because it is used, there is little change in the spectral transmission X characteristics over time. Also 8102 layer IQ
By setting the value to 11-α5Am or less, it was possible to prevent cracking in a heat resistance test at 180°C.

なお、上述した2つの実施例においてはアクリルレンズ
およびポリカーボネートレンズについて説明したが、そ
れぞれその仲のプラスチックレンズを用いることもでき
る。
Note that in the above two embodiments, acrylic lenses and polycarbonate lenses have been described, but plastic lenses among them can also be used.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

Di上説明したように、本発明によれば、透過率特性、
密層性および耐熱性に優れ、経時変化のないマルチコー
ティングを施すことができるので、従来抄術の欠点を除
いて優n九機能のプラスチ9り製光学部品r提供するこ
とができる。
As explained above, according to the present invention, the transmittance characteristics,
Since it has excellent layer density and heat resistance, and can be coated with a multi-coating that does not change over time, it is possible to eliminate the drawbacks of conventional methods and provide optical components made of plastic with nine functions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明によるプラスチ叩り製光学部品の一笑月
例を示す断面図、第2図は第1図の経時変化を示す特性
図、第3図は第1図の分光反射幕特性図、第4図は本発
明の他の実施例によるプラスチリフ製光学部品の断面図
、第5図社第4図の5i(127ilの分光反射悪特性
図である。 1・・・MgF2拳、2−AM2osa、s・−・F1
02rflj。 4・・・プラスチックレンズ、5.6および7・・・分
光反射票曲線、8−MgF2Jiil、 9−Zr02
Jil、10・・・sio2m。 才 1 図 才? 副 0.1 / /D 10゜ 放屓期肉(日) f3目 2灰長 (?1rn) 才4図
FIG. 1 is a sectional view showing an example of an optical component made of plastic hammered according to the present invention, FIG. 2 is a characteristic diagram showing changes over time in FIG. 1, and FIG. 3 is a spectral reflection screen characteristic diagram in FIG. 1. FIG. 4 is a cross-sectional view of an optical component made of Plastilif according to another embodiment of the present invention, and a diagram showing the spectral reflection characteristics of 5i (127il) in FIG. ,s・−・F1
02rflj. 4...Plastic lens, 5.6 and 7...Spectral reflectance chart curve, 8-MgF2Jiil, 9-Zr02
Jil, 10...sio2m. Talent 1 Illustration talent? Vice 0.1 / /D 10゜Rice period meat (day) f3 eyes 2 gray length (?1rn) year old 4 figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)プラスチ噌りの表面に多層反射防止膜を有するプ
ラスチ9り製光学部品において、該多層反射防止膜のプ
ラスチ9りの表面にI接形成された層が5102からな
ること11t特徴とするプラスチ噌り製元字部品。 (2、特許請求の範囲第(1)項において、前記510
2の層上K All 2’Os Jilが、さらにその
上にM12’F’2層か大々形成されて31i11反射
防止膜をなしていること七特徴とするプラスチヅク製光
学部品。 (3) 特許請求の範囲第(1)項において、前記81
02の層上にZr02Jilが、さらにその上にMg1
2層が大々形成されて3層反射防止膜會なしている仁と
を特徴とするプラスチリフ製光学部品。
[Scope of Claims] (1) In an optical component made of plastic having a multilayer anti-reflection coating on the surface of the plastic, the layer formed in I-contact on the surface of the plastic of the multilayer anti-reflection coating starts from 5102. Narukoto 11t features original parts made of plastic. (2. In claim (1), the above-mentioned 510
An optical component made of plastic, characterized in that K All 2'Os Jil is formed on the layer of No. 2, and two layers of M12'F' are further formed thereon to form a 31i11 anti-reflection film. (3) In claim (1), the above-mentioned 81
Zr02Jil is on the 02 layer, and Mg1 is further on top of it.
An optical component made of Plastirif, characterized in that two layers are formed extensively to form a three-layer anti-reflection coating.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04110801A (en) * 1990-08-31 1992-04-13 Furukawa Electric Co Ltd:The Plastic optical material
JPWO2019058825A1 (en) * 2017-09-21 2020-11-05 富士フイルム株式会社 Anti-reflective coating, optics and optics

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