JPS60151034U - 清浄空気生成装置 - Google Patents
清浄空気生成装置Info
- Publication number
- JPS60151034U JPS60151034U JP3986484U JP3986484U JPS60151034U JP S60151034 U JPS60151034 U JP S60151034U JP 3986484 U JP3986484 U JP 3986484U JP 3986484 U JP3986484 U JP 3986484U JP S60151034 U JPS60151034 U JP S60151034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean air
- clean
- air generator
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のクリーンルーム用の清浄空気生成装置の
工程図、第２図は本考案の１実施例を示すクリーンルー
ム用の清浄空気生成装置の工程図である。 １．９・・・・・・補給用の外気、２，１０・・・・・
・粗フイルタ−，３，６，１１，１５・・・・・・ファ
ン、４，１２・・・・・・空調器、５，１４・・・・・
・中間フィルター、７．１７・・・・・・高性能フィル
ター、８．１８・・・・・・クリーンルーム、１３，１
６・・・・・・バルブ。
工程図、第２図は本考案の１実施例を示すクリーンルー
ム用の清浄空気生成装置の工程図である。 １．９・・・・・・補給用の外気、２，１０・・・・・
・粗フイルタ−，３，６，１１，１５・・・・・・ファ
ン、４，１２・・・・・・空調器、５，１４・・・・・
・中間フィルター、７．１７・・・・・・高性能フィル
ター、８．１８・・・・・・クリーンルーム、１３，１
６・・・・・・バルブ。
Claims (1)
- クリーンルーム内の空気を外気と共にファンにより中間
フィルターと高性能フィルターを介して循環せしめ、そ
の循環空気の温度と湿度とを空調器により制御するよう
にした清浄空気生成装置において、上記ファンを回転数
制御可能とすると共に、中間フィルター及び高性能フィ
ルターを各々複数個のユニットにより分割構成し、各ユ
ニットに導かれる循環空気の流量を制御するバルブを設
けたことを特徴とする清浄空気生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3986484U JPS60151034U (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 清浄空気生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3986484U JPS60151034U (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 清浄空気生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60151034U true JPS60151034U (ja) | 1985-10-07 |
Family
ID=30548211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3986484U Pending JPS60151034U (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 清浄空気生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60151034U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021162210A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 三機工業株式会社 | 微生物を制御する室の空調システム |
-
1984
- 1984-03-19 JP JP3986484U patent/JPS60151034U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021162210A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 三機工業株式会社 | 微生物を制御する室の空調システム |
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