JPS60143623U - ウエハ−チヤツク - Google Patents
ウエハ−チヤツクInfo
- Publication number
- JPS60143623U JPS60143623U JP3281884U JP3281884U JPS60143623U JP S60143623 U JPS60143623 U JP S60143623U JP 3281884 U JP3281884 U JP 3281884U JP 3281884 U JP3281884 U JP 3281884U JP S60143623 U JPS60143623 U JP S60143623U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction
- wafer chuck
- systems
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のチャックにおいてウエノ１−を吸着した
場合の略図を示したものであり、１１はウェハー、１２
は従来のウェハーチャックを示す説明図である。 第２図は本考案の第１実施例を示したものであり、２１
はウェハー、２２はウェハーチャックを示す説明図であ
る。
場合の略図を示したものであり、１１はウェハー、１２
は従来のウェハーチャックを示す説明図である。 第２図は本考案の第１実施例を示したものであり、２１
はウェハー、２２はウェハーチャックを示す説明図であ
る。
Claims (1)
- 吸着のための溝もしくは穴が最低２つの系統に分かれ、
かつ真空吸着によってウエノ１−を保持するウェハーチ
ャックにおいて、ウェハー吸着時に該ウェハーの中心部
に位置する吸着口から順次外側の吸着系統が時間間隔を
おいて作動する事を特徴とするウェハーチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3281884U JPS60143623U (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | ウエハ−チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3281884U JPS60143623U (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | ウエハ−チヤツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143623U true JPS60143623U (ja) | 1985-09-24 |
Family
ID=30534686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3281884U Pending JPS60143623U (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | ウエハ−チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60143623U (ja) |
-
1984
- 1984-03-06 JP JP3281884U patent/JPS60143623U/ja active Pending
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