JPS60142184A - 空気液化分離方法 - Google Patents

空気液化分離方法

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JPS60142184A
JPS60142184A JP25180083A JP25180083A JPS60142184A JP S60142184 A JPS60142184 A JP S60142184A JP 25180083 A JP25180083 A JP 25180083A JP 25180083 A JP25180083 A JP 25180083A JP S60142184 A JPS60142184 A JP S60142184A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は原料空気より混入する水素等低沸点成分の含有
量を低減した高純度窒素を採取する空気液化分離方法に
関するものである。
〔従来技術〕
■業的に窒素を製造する方法どして、空気を原料として
これを液化し、その組成分を精留塔を用いてその沸点差
によって分1Illlスるいわゆる空気液化分離方法が
採用されている。
即ち、従来方法を単式精留j6ど複式精留塔に別けて説
明すると、単式精留塔の場合は例えば第1図に示す如く
、塵埃、炭酸ガス及び水分を除去された圧縮精製原料空
気が径路1を通って単式精留塔2の1・部に導入され、
該単式精留塔2内で上部より精留板3を流下する還流液
によつC精留され、該単式精留塔2上部に窒素ガスが、
また下部に酸素に富lυだ液化空気が生成される。この
うち窒素ガスは該単式精留塔2上部から径路4を通って
製品窒素ガスどして導出され、その一部が径路5を通っ
て該単式精留塔2直上に区画された凝縮蒸発器6に導入
され、該単式精留j112112部径路7を通り゛(導
入される液化空気と熱交換して液化窒素となり、径路8
を通って単式精留塔2の上部に導入され還流液となる。
複式精留塔の場合は例えば第2図に示す如く、単式精留
塔2と略同様に径路9から下部塔10に導入されlこ原
料空気が還流液との間C精留され下部塔10上部に窒素
ガスを、下部塔10底部に液化空気を生成づる。下部塔
10上部の窒素ガスは径路11を通って凝縮蒸発器12
に入り、液化M素等と熱交換して液化窒素となり、径路
13を通って下部塔101部に還流液として戻されると
共に、一部は径路14を通り過冷器15及び膨張弁16
を通って膨張降圧して上部塔17]口BIXに導入され
還流液となる。一方、下部塔10下部からは原料空気の
一部が径路18を通って膨張タービン19で膨張され上
部塔17の中部に導入され、この空気と径路18′から
の液化空気および前記還流液の間で本粕留が行なわれ、
上部塔17上部に生成される窒素ガスは径路20を通っ
て製品窒素ガスとなって導出され、上部塔17底部から
は径路21を通ってM素ガスまたは液化酸素が導出され
る。
しかし、このようにして生成される製品窒素力ス中には
原料空気の中に微量に含まれ−Cいた水素等の低沸点成
分が濃縮されて含まれる。すなわら、製品窒素ガス中に
は一般に2〜1oppmの水素。
8〜20ppmのヘリウム、40〜1100ppのネオ
ンが含有されている。そしてこれらの成分はたとえ微量
であっても手心体]二梨等の超高N!瓜の窒素ガスを要
求される分野にJメいr:はその製品に及ぼす影響が大
きく改善が要求8れ(いた。
〔発明の目的〕
本発明は上記の点に鑑みなされノこもので、製品窒素中
の水素等の低沸点成分を効率よく簡単かつ廉価に低減除
去する方法を提fルすることを目的とする。
〔発明の構成〕
上記の目的を達成するため、第1発明においては、高純
度窒素を採取する空気液化分離方法においで、主精留塔
に補助精留塔を付設し、該補助精留塔の下部に主精留塔
よりの窒素ガスをその量を調節しつつ導入して上昇ガス
とし、主精留塔より導出した液化窒素または窒素ガスを
液化して前記補助精留j?aに還流液として導入し精留
を行なわせ、該補助精留塔頂部より水素等低沸点成分の
含有量の多くなった窒素ガスを導出グると共に、該補助
精留塔底部より水素等低沸点成分の含有量の少ない高純
度液化窒素を導出することを特徴とした方法を提供する
また第2発明は複式精留塔に補助精留塔を付設し、該補
助精留塔の下部に複式精留塔下部塔頂部よりの窒素ガス
をその量を調節しつつ導入して上昇ガスとし、前記複式
精留塔下71il+塔頂部より導出した液化窒素または
窒素ガスを凝縮蒸発器に導入して液化後、還流液とし−
C前記補助lii留堝に導入し精留をi)わゼ、該補助
精留塔頂部より水素等低沸点成分の含有量の多くなった
窒素ガスを導出りると共に、該補助精留塔底部より高純
度液化窒素を導出して複式精留塔上部塔に還流液とじC
導入し、該複式精留塔上部塔頂部より水素等低81j点
成分の含イーj間の少ない高純度窒素ガスを採取づるこ
とを特徴どした方法を提供するものである。
(実施例〕 以下本発明の実施例について図面に基づいC説明する。
なお、第1図及び第2図と同一部材については同符号を
付し説明は省略する。
第3図tよ第一実施例で、本発明を単式精留塔に適用し
たもので、単式精留塔2の他に補助精留塔22を設けた
場合である。該補助精留塔22の下部に単式精留塔2上
部より導出した窒素ガスの一部を径路23の調節弁24
でその岳を調節しつつ導入して上昇ガスとし、単式精留
塔2上部の残りの窒素ガスを径路5を介して凝縮蒸発器
6の凝縮側で径路7により導入された液化空気により液
化し、径路8からの液化窒素を分岐してその一部を径路
25の膨張弁26で膨張降圧しC前記補助精留塔22の
上部に還流液として導入し精留を行な1)I!る。イし
て該補助精留塔22]n部より水素等(1(沸点成分の
含有量の多くなった窒素ガスを径路27の調節弁28で
11度を制御しながら導出すると共に、該補助精留塔2
2底部より水素等低沸点成分の含有量の少ない高純度液
化窒素を径路29より導出するものである。なお、この
高純度液化窒素は径路30を通して前記凝縮蒸発器6の
蒸発側に導入して気化さけ径路31から高純度窒素ガス
として取出すこともぐきる。また、径路8の液化窒素の
分岐した他部は径路32により単式精留塔2″iI)上
部に還流液として戻される。この場合主精留塔2の上部
に於ける水素等低沸点成分の濃縮の程度は調節弁24.
26により調節される径路23および25の窒索藻に支
配され、そしC径路29.30より導出される製品窒素
中の水素等低沸点成分の爪も上記調節弁24.26.2
8等の調節により夫々1 ppm以下にづることが出来
る。
第4図は第2実施例で、本発明を複式精留塔の上部塔に
適用したもので、下部塔17の上方に補助精留塔33を
設けた場合である。即ち上部塔17頂部より径路20を
通って導出される製品窒素ガスの一部を前記補助精留塔
33の下部に径路34を通して導入し、複式精留塔下部
塔10上部より導出した液化窒素または下部塔10上部
より導出した窒素ガスを凝縮蒸発器12に導入して液化
窒素としたものを径路14の膨張弁35を介して膨張降
圧して還流液として前記補助精留塔33上部に導入して
精留を行なわせる。そして該補助精留塔33頂部より水
素等低沸点成分の含有量の多くなった窒素ガスを径路3
6を通して導出−すると共に、該補助精留塔33底部よ
り水素等低沸点成分の含有量の少ない高純度液化窒素を
径路37を通して導出するものである。
即ち凝縮蒸発器12で生じた低沸点成分を多く含む液化
窒素を下部塔17に導入づる前に補助精留塔に導入して
予備的に精留し、径路37.38より得られる高純度窒
素中の水素等低沸点成分を夫々1 ppm以下にする。
従7にの濃度の調節は径路36に設けた弁36′の開!
良を調11i1−!l−ることにより該径路36−より
導出゛りる排窒素ガスの闇により行なうことは言う迄も
ない。なお、この高純度液化窒素を径路38を通して上
部1517頂部に還流液として尋人し、上部塔171部
に上界して来る窒素ガスの間で精留を行わU、上部jハ
17十部より径路20を通して低沸点成分の含@量の少
ない高純度窒素ガスとして取出Jこともできる。
第5図は本発明の第3実施例で、上部塔17圧力より少
し高い圧力状態中に補助精留塔39を設けた場合である
。該補助精留塔39G〕十部に複式精留塔−ト部塔10
頂部より導出した窒素ガスの一部を径路40の調節弁4
1でその口を調節しつつ尋人して上界ガスとし、下部塔
10頂部より導出した窒素ガスの他部を径路11を介し
て凝縮蒸発器12で液化酸素等により液化し、この液化
窒素の一部を径路14の適冷器15で冷却した後膨張弁
16で膨張降圧させ低沸点成分が濃縮されたフラッジ1
ガスを含む液化窒素として前記補助精留塔39の上部に
還流液として導入し精留を行なわける。そし”C該補助
精留塔39頂部より水素等低沸点成分の含有量の多くな
った前記フラッシュガスを含む窒素ガスを径路42の調
節弁43で水素等低沸点成分の濃度を1III御して導
出すると共に、該補助精留pA39底部より水素等低沸
点成分の含G量の少ない高純度液化窒素を径路44の弁
45でその石を調節して複式精留塔上部塔17の頂部に
還流液として導入し、該上部JAS 17内を上昇りる
窒素ガスとさらに精留を行なわけ、該上部塔17頂部よ
り径路20を通して水素等低沸点成分の含有量の少ない
高純度窒素ガスを導出するものである。勿論この場合に
おいCも、補助精留jハ39から導出する高純度液化窒
素を径路46より取出すこともできる。
なお径路44.46より導出する液化窒素中の水素等低
沸点成分の含有量がippm以下になる様に調節弁41
.16を調節して、径路40.14の窒素Mを制御する
ことは言う迄もない。この場合調節ブi’41.16は
手動であり調節弁43はこれに伴う系内の圧力を検出し
C作動する自動圧力調節弁である。
また、一体型の複式精留Jハで直管型の凝縮蒸発器を使
用の場合は、−ト部塔頂部に溜った液化窒素の一部を前
記補助精留塔39の上部に還流液としで導入する。
第6図は本発明の第四実施例で、下部塔10圧力より少
し低い圧力状態中に補助精留塔47を設cノだ場合であ
る。第5図で説明した第一実施例と同様に該補助精留塔
47の下部に下部塔10頂部、1、り導出しノ(窒素ガ
スの一部を径路48の調節弁/19でその量を調節して
導入して上昇ガスとし、残りの窒素ガスを径路11.凝
縮蒸発器12を介して液化窒素とし、その一部を径路1
4の調節弁16′を介して前記補助精留塔47上部へ還
流液として導入し精密を行なわせる。そして該補助精留
塔47頂部より水素等低沸点成分の濃度を制御する調節
弁50の設けられた径路51を通して水素等低沸点成分
の含有mの多い窒素ガスを導出すると共に、該補助精留
塔47底部より水素等低沸点成分の含1j爪の少ない高
純度液化窒素を径路52で適冷器15及び膨張弁16を
通し夫々適冷及び膨張降圧して上部塔17の頂部に還流
液としC導入させ、該上部塔17内を上昇する窒素ガス
とさらに精留を行なわU、該土tA塔17頂部より径路
20を通して水素等低沸点成分の含有mの少ない高純度
窒素ガスを導出丈るものである。勿論この場合において
す、補助精留j?S47から導出する高純度液化窒素を
径路53から取出Jこともeさる。なd5、径路52.
53より導出する液化窒素中の水素等低沸点成分の含有
mが人々lppm以下になる様に調節弁16’、49を
調節して径路14.51.52の窒素ωを制υl11−
ることは言う迄もない。 また、一体型の複式精留塔で
直管型の凝縮蒸発器を使用の場合は、この実施例の場合
にも、下部塔頂部に溜った液化窒素の一部を前記補助精
留塔47の上部に還流液として導入する。
次に従来の複式精留塔(第2図)の場合と本発明の第三
実施例(第5図〉についCその各部位の流量及び水素淵
疫を表1及び表2に示す。
なお、表1の部位(a〜p)を第7図に、表2の部位(
f′〜0′)を第8図に示す。
表1 従来の複式精留塔の場合 衣2 この計算結果から朗らかなように、1900ONnl/
hの原料空気を尋人して1500NWVbの製品窒素ガ
スを取出J場合、従来は10.2ppmの水素成分が製
品窒素ガス中に含有され(いたしのが、本第三実施例で
は補助精留塔の操作L1−力を1.5ata、 2 、
0atalCし、理論段数を夫々1.5段、2段としC
とき0.2ppmにまで低減除去りることができる。
なお、理論段数は理想基のもので、実際の塔では気液接
触の不完全や飛沫同伴などが生じ、l!I!想堝よりも
多数の段数を必要とする。
〔発明の効果〕
本発明は以上説明した如く、高H度窒素を採取する空気
液化分離方法において、主精留塔に補助精留塔を付設し
、該補助精留塔の下部にに精留塔J:りの窒素ガスをそ
の量を調節しつつ導入して上昇ガスとし、主精留塔より
導出した液化窒素または窒素ガスを液化して前記補助精
留塔に還流液として導入し精留を行なわせ、該補助精留
塔頂部より水素等低沸点成分の含有量の多くなった窒素
ガスを導出すると共に、該補助精留塔底部より水素等低
沸点成分の含有mの少ない高純度液化窒素を導出させた
ので、水素等の低沸点成分を効率よく簡単かつ廉価に低
減することができ、高純度の液化窒素を製造することが
できる。
また、主精留塔が複式精留」hである場合、前記り法に
よって補助精留塔底部から導出された高純度液化窒素を
複式精留塔の上部塔に還流液として導入して精留を行な
わせ、該複式精留塔上部塔頂部より水素等低沸点成分の
含有mの少ない高純度窒素ガスを採取するので、水素等
の低沸点成分を効率よく簡単かつ廉価に低減り”ること
ができ半尋体工業用の高純度窒素ガスとすることができ
る。
即ち凝縮蒸発器に於いて生じた水素等低沸点成分濃度の
高い液化窒素を上部」ハヘフィードする前に、補助精留
塔で予備的に精留し、高純度液化窒素中の低沸点成分の
濃度を夫々ippm以下にし°Cおくことにより高純度
窒素ガス中の水素等低沸点成分の濃度をlppm以下に
低減りるものである。
これにより水素等低沸白成分の濃度を大ぎくしたガスを
出来るだけ少量系外にJjl出して、高純瓜窒索ガスの
損失を最小限におさえることが出来る。
なお、このように低沸点成分を除去した窒素を製造する
ために補助精留塔を設けること番よとくに概説のプラン
ト等に好適に採用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来の空気液化分離方法を示し、第
1図は単式精留塔の系統図、第2図は複式精留塔の系統
図、第3図乃至第6図は本発明の人々別の実施例を示し
、第3図は単式精留塔に適用した系統図、第4図は複式
精留塔の上部塔に適用した系統図、第5図は複式精留塔
の上部塔圧力状態の径路に適用した系統図、第6図は複
式精留」11の十部Jハ圧力状態の径路に適用した系統
図、第7図及び第8図は表19表2において水素a度及
び流量を示した各部位を示し、第7図は従来の複式精留
塔の系統図、第8図は本発明方法を示す第5図の一部拡
大系統図rある。 2は単式精留塔、6は凝縮蒸発器、10は下部塔、12
は凝縮蒸発器、15は適冷器、16は膨張弁、17は上
部jハ、19は膨張タービン、22゜33.39.47
は補助精留Jfiである。 最1囚 舟3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、PiI純度窒素を採取する空気波化分−1方法にお
    いて、主精留塔に補助精留塔を付設し、該補助精留塔の
    下部に主精留塔よりの窒素ガスをその昂を調節しつつ導
    入して上昇ガスとし、主精留塔より導出した液化窒素ま
    Iこは窒素ガスを液化して前記補助精留塔に還流液とし
    て導入し精留を行なわせ、該補助精留塔頂部より水素等
    低沸点成分の含有量の多くなった窒素ガスを導出すると
    共に、該補助精留塔底部より水素等低沸点成分の金石ω
    の少ない高純度液化窒素を導出することを特徴とする空
    気液化分離方法。 −2,前記主精留塔が単式精留塔である特許請求の範囲
    第1項記載の空気液化分離方法。 3、前記主精留塔が複式精留塔であり、該複式精留塔下
    部塔頂部より導出した窒素ガスを前記補助精留塔の下部
    に導入し、複式精留塔下部塔上部J:り導出した液化窒
    素または下部塔上部より導出した窒素ガスを凝縮蒸発器
    に導入して液化し還流液どして前記補助精留塔に導入す
    る特許請求の範囲第1項記載の空気液化分離方法。 4、高純度窒素を採取する空気液化分離方法にjjいて
    、複式精留塔に補助精留塔を付設し、該補助精留塔の下
    部に複式精留塔下部塔頂部よりの窒素ガスをその間を調
    節しつつ導入して上昇ガスとし、前記複式精留塔下部塔
    頂部より導出した液化窒素または窒素ガスを凝縮蒸発器
    に導入して液化後、還流液とし−C前記補助精留塔に尋
    人し、精留を行なわせ、該補助精留塔頂部より水素等低
    沸点成分の含有量の多くなった窒素ガスを導出りると共
    に、該補助精留塔底部より高純度液化窒素を導出して複
    式精留塔上部塔に還流液としC導入し、該複式精留塔上
    部塔頂部より水素等低沸点成分の含有mの少ない高純度
    窒素カスを採取−リ−ることを特徴とづる空気液化分離
    り法。 56前記凝縮蒸発器に尋人し液化した窒素を過冷した後
    、膨張降圧しく前記補助精留塔に導入する特nT 請求
    の範囲第4項記載の空気液化分離yノ法、。 6、前記凝縮蒸発器に導入し液化した窒素を還流液とし
    て前記補助精留jハに尋人し、該補助精留塔底部より導
    出した高純度液化窒素を過冷した後、膨張降ルし−C前
    記複式精留R5上部塔に還流液としC導入する特許請求
    の範囲第4項記載の空気液化分離方法。
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