JPS6013960U - プラズマ処理装置 - Google Patents

プラズマ処理装置

Info

Publication number
JPS6013960U
JPS6013960U JP10605883U JP10605883U JPS6013960U JP S6013960 U JPS6013960 U JP S6013960U JP 10605883 U JP10605883 U JP 10605883U JP 10605883 U JP10605883 U JP 10605883U JP S6013960 U JPS6013960 U JP S6013960U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plasma processing
processing equipment
ring
metal
processing apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10605883U
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPS6233014Y2 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
敦弘 筑根
喜美 塩谷
幹夫 高木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP10605883U priority Critical patent/JPS6013960U/ja
Publication of JPS6013960U publication Critical patent/JPS6013960U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6233014Y2 publication Critical patent/JPS6233014Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
JP10605883U 1983-07-07 1983-07-07 プラズマ処理装置 Granted JPS6013960U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10605883U JPS6013960U (ja) 1983-07-07 1983-07-07 プラズマ処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10605883U JPS6013960U (ja) 1983-07-07 1983-07-07 プラズマ処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6013960U true JPS6013960U (ja) 1985-01-30
JPS6233014Y2 JPS6233014Y2 (enrdf_load_stackoverflow) 1987-08-24

Family

ID=30248351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10605883U Granted JPS6013960U (ja) 1983-07-07 1983-07-07 プラズマ処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6013960U (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62102827A (ja) * 1985-10-29 1987-05-13 Natl Res Inst For Metals 金属窒化物微粒子の製造法
JP2009252635A (ja) * 2008-04-09 2009-10-29 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置のシール構造、シール方法およびプラズマ処理装置
WO2010113891A1 (ja) * 2009-03-31 2010-10-07 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置およびこれを備える基板処理装置
JP2020028826A (ja) * 2018-08-21 2020-02-27 株式会社荏原製作所 希ガス回収装置および希ガス回収方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62102827A (ja) * 1985-10-29 1987-05-13 Natl Res Inst For Metals 金属窒化物微粒子の製造法
JP2009252635A (ja) * 2008-04-09 2009-10-29 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置のシール構造、シール方法およびプラズマ処理装置
WO2010113891A1 (ja) * 2009-03-31 2010-10-07 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置およびこれを備える基板処理装置
JP2010236661A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Tokyo Electron Ltd ゲートバルブ装置
JP2020028826A (ja) * 2018-08-21 2020-02-27 株式会社荏原製作所 希ガス回収装置および希ガス回収方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6233014Y2 (enrdf_load_stackoverflow) 1987-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6013960U (ja) プラズマ処理装置
JPS60140764U (ja) プラズマ処理装置
JPS6141791U (ja) 核シエルタの扉封止構造
JPS58191462U (ja) 圧力容器
JPS5984238U (ja) エンジンのピストン
JPS5848948U (ja) エンジンのシリンダライナ
JPS5855358U (ja) 高真空装置用試料出入機構
JPS59181211U (ja) バルブガイド装置
JPS607326U (ja) 玉軸受
JPS5818536U (ja) サウナボツクス
JPS6114284U (ja) 複合管
JPS6010732U (ja) ガラス容器
JPS5827366U (ja) カチオン型電着塗装用フェライト電極
JPS59138585U (ja) ネジ蓋を有する簡易サイロ
JPS6094821U (ja) プラズマｃｖｄ装置
JPS5945565U (ja) 溶湯サンプリング用真空式サンプラ−
JPS58102215U (ja) 成形ロ−ル
JPS583180U (ja) はりの穴
JPS6075659U (ja) ピストンリング
JPS6086970U (ja) 自動分析用試料びん
JPS5880673U (ja) 過流出防止弁
JPS59145572U (ja) 白金るつぼ
JPS5891447U (ja) ボ−ルミル
JPS5817763U (ja) オシロスコ−プ
JPS59108519U (ja) 鍋