JPS60136996A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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JPS60136996A
JPS60136996A JP58244101A JP24410183A JPS60136996A JP S60136996 A JPS60136996 A JP S60136996A JP 58244101 A JP58244101 A JP 58244101A JP 24410183 A JP24410183 A JP 24410183A JP S60136996 A JPS60136996 A JP S60136996A
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JP
Japan
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transistor
column line
data
memory element
node
Prior art date
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Pending
Application number
JP58244101A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Iwahashi
岩橋 弘
Masamichi Asano
正通 浅野
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS60136996A publication Critical patent/JPS60136996A/en
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards

Abstract

PURPOSE:To improve the read speed of a data by connecting a transistor (TR) between a column line and ground, applying a prescribed voltage to a gate so as to conduct the TR continuously during data read period and discharging the column line via the TR. CONSTITUTION:A TR31 is provided between the column line 20 and ground, the TR31 is turned on when the data is read from a memory element 18 so as to discharge the column line 20, then no overcharging takes place, the discharge of the line 20 is not required thereby quickening the data read speed for the share. In setting the capability of TRs 25, 29 so as to provide the same current capability as the case with no provision of the TR31, the charging speed is decreased. In setting the TRs 25, 29 to the capability to assist the discharge of the TR31, the charging is conducted in the same speed and the discharge is quickened for the share of no overcharging, thereby reading quickly the data.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、読み出し速度をよ)向上されるように改良
した半導体記憶装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a semiconductor memory device that has been improved so that its read speed can be further improved.

〔発明の技術的背景〕[Technical background of the invention]

半導体記憶装置には、メモリセルとしてフローティング
ゲートを持った不揮発性半導体メモリ素子を使用して構
成された不揮発性半導体記憶装置がある。
2. Description of the Related Art Among semiconductor memory devices, there is a nonvolatile semiconductor memory device configured using a nonvolatile semiconductor memory element having a floating gate as a memory cell.

このフローティング?−)型の不揮発性半導体メモリ素
子は、第1図囚〜(0に示すように、p型基体11の表
面部にn+領領域らなる)−ス12およびドレイン13
を形成し、ノース12およびドレイン13間にはチャネ
ル14が形成されるように酸化膜15を介してコントロ
ールf−卜16が設けられている。そして、この酸化膜
15中にフローティングケ”−卜17が埋めこまれてい
る。同図(6)は、上記フローティングr−)型の不揮
発性半導体メモリ素子のシンゲルを示している。
This floating? -) type non-volatile semiconductor memory element consists of an n+ region on the surface of a p-type substrate 11 as shown in FIG.
A control field 16 is provided through an oxide film 15 so that a channel 14 is formed between the north 12 and the drain 13. A floating cell 17 is embedded in this oxide film 15. FIG. 6(6) shows a singel of the floating r-) type nonvolatile semiconductor memory element.

このように構成されるフローティングr−)型の不揮発
性半導体メモリ素子にあっては、フローティングダート
17に電子を注入することによシ、しきい値電圧vTh
を上昇設定するもので、この状態では、通常のコントロ
ールr−)16に加えられるr−)電圧信号ではオン状
態とはならない。また、電子が注入されていない場合に
は元の低いままのしきい値電圧になってお、!l)、r
−1電圧信号をコントローk )r’ −)16に加え
ることによル、ソース12およびドレイン13間に反転
チャネルが生じて、オン状態となる。すなわち、r−)
電圧信号に対応して、「1」あるいは「0」の出力デー
タの得られるメモリ素子18を構成する。
In the floating r-) type nonvolatile semiconductor memory element constructed in this way, by injecting electrons into the floating dirt 17, the threshold voltage vTh
In this state, the r-) voltage signal applied to the normal control r-) 16 will not turn it on. Also, if no electrons are injected, the threshold voltage remains as low as before! l), r
By applying a -1 voltage signal to the controller k)r'-) 16, an inversion channel is created between the source 12 and drain 13, resulting in an on state. i.e. r-)
The memory element 18 is configured to obtain output data of "1" or "0" in response to a voltage signal.

しかしながら、このようなメモリ素子18にあっては、
フローティングP−)17へのi子の注入効率をよくし
たシ、データ読み出し時におけるメモリ素子に流れる電
流を多くとるためには、実効的なr−)であるフローテ
ィングダート17の電位を、コントロールr−) 16
の電位上昇時に充分上げることが必要となってぐる。
However, in such a memory element 18,
In order to improve the injection efficiency of i-sons into the floating dart 17 and to increase the current flowing through the memory element when reading data, the potential of the floating dart 17, which is the effective r-), is controlled by controlling r. -) 16
It is necessary to raise the potential sufficiently when the potential rises.

とのメモリ素子にあっては、図からも明らかナヨウに、
コントロールr−卜16とフローティングf−ト、17
間、フィールド部分のフローティンググー卜17と基体
11間、さらにフローティングダート17とチャネル1
4間に、それぞれ容量C1−C5を有するものであり・
コントロールr−卜16およびフローティングダート1
7の電位をそれぞれVCQ I ’VFとすると、この
V、は次の式のように表わされる。
It is clear from the figure that the memory element with
Control r-volume 16 and floating f-rt, 17
between the floating dirt 17 and the base 11 in the field part, and between the floating dirt 17 and the channel 1.
4, each having a capacitance of C1-C5.
Control R-16 and Floating Dart 1
If the potentials of 7 are respectively VCQ I'VF, this V is expressed as the following equation.

この式かられかるように、フローティンググー卜17の
電位を上げるには、容量C3に比して容量C,を大きく
すればよく、そのための1つの方法に70−チイングf
−)と、コントロールr−)間の絶縁膜厚をうずく形成
する方法がある。と仁ろが、膜厚をうすくすると、70
−ティングP−)中の電子が逃げやすくなシ、信頼性上
の問題がある。他の方法として、フローティンググー卜
の寸法を大きくする方法がある。すなわち、容量C2を
形成する所の70−チイングf−)と、基板間の距離は
普通7000X 。
As can be seen from this equation, in order to increase the potential of the floating group 17, it is sufficient to increase the capacitance C compared to the capacitor C3.
There is a method of forming an insulating film with a varying thickness between control r-) and control r-). When Niro thins the film thickness, it becomes 70
There is a problem with reliability because electrons in the P-Ting P-) tend to escape easily. Another method is to increase the size of the floating groove. That is, the distance between the substrate and the 70-chiing f- where the capacitor C2 is formed is normally 7000X.

t7’c70−テイングダートトコント目−ルr −ト
間の距離1−1.1000X程度のため、単位面積で比
較すれば%C1>C:2となる。よってチャネル部分を
一定にして70−チイングr−)を太きくすれば、C1
がC,よシはるかに大きいから、CIがC,+C,の増
加のわhあいよ)大きくなるものである。
Since the distance between t7'c70-taing dart, control, r, and g is about 1-1.1000X, when comparing in unit area, %C1>C:2. Therefore, if the channel part is kept constant and 70-chiing r-) is made thicker, C1
Since, is much larger than C, CI increases as much as C,+C, increases.

第2図は、上記のようなメモリ素子18を用いた記憶装
置の構成を示すノ4ターン平面図である。等間隔にして
横方向に延びる複数の行線191 +192・・・が設
けられ、この行線19□。
FIG. 2 is a four-turn plan view showing the configuration of a storage device using the memory element 18 as described above. A plurality of row lines 191 + 192 . . . extending in the horizontal direction at equal intervals are provided, and the row lines 19□.

19□・・・それぞれにおいて、複数のメモリ素子18
11+ 1812・・・が配置されるようになる。例え
ば、行線191に対しては、メモリ素子21!+11+
18t3・・・が等間隔で配置され、そのそれぞれのr
−卜16が対応接続され配置される。具体的には、隣接
するメモリ素子1 &11+ 18t2・・・のそれぞ
れのr−卜16が接続して、行線191を構成するよう
にする。同様に行線192に対しても、メモリ素子18
2B 18z*・・・が形成されるもので、この場合対
向するメモリ素子1811と1821+ 1812と1
82=・・・でそれぞれドレイン電極を対向設定し、共
通にして、列線201゜202・・・に接続された構成
になっている。そして、ノースはアース線(GND )
に接続されている。
19□...In each, a plurality of memory elements 18
11+1812... will be placed. For example, for row line 191, memory element 21! +11+
18t3... are arranged at equal intervals, and each r
- the volumes 16 are correspondingly connected and arranged; Specifically, the r-cells 16 of adjacent memory elements 1 & 11+ 18t2 . . . are connected to form a row line 191. Similarly, for row line 192, memory element 18
2B 18z*... are formed, in which case the opposing memory elements 1811 and 1821+1812 and 1
The drain electrodes 82 = . And the north is the ground wire (GND)
It is connected to the.

〔背景技術の問題点〕[Problems with background technology]

第2図において、各メモリ素子1811+7812・・
・の横方向の長さは、図中斜線で示されたフローティン
ググー卜i7の寸法とトランジスタのチャネル幅Wによ
って決まる。しかしながら、メ% !j 集8度の向上
のため、フローティンググー卜17の寸法およびチャネ
ル幅はできるだけ小さくすることが要求される。そのた
め、チャネル幅Wはトランジスタ機能を発揮するために
許容される最低の大きさにされておシ、例えばコントロ
ールr−)の電位VCaが5vの時、フローティング?
−)の電位が3v程度になるように、フローティングf
−卜J7の寸法を決めているのが現状である。したがっ
て、メモリ素子のコンダクタンスgmは上がらす% v
coが5vでドレイン電圧が5vの時、iooμA程度
の出力電流しかとれない。その結果、このメモリ素子の
ソース、+4レイン間がオン状態となシ、列線を放電す
る時には、列線の容量が大きく、メモリ素子に流れる電
流が少ないために多くの時間が必要であった。記憶装置
のデータ読み出し速度は、このメモリ素子の列線放電時
間で制限されこの結果、データ読み出し時間が遅くなっ
て高速動作が達成できなくなるという欠点があるO 〔発明の目的〕 この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
あり、その目的は、メモリ素子に記憶されたデータの読
み出し速度を向上させることによフ高速動作が実現でき
る半導体記憶装置を提供することにある。
In FIG. 2, each memory element 1811+7812...
The lateral length of * is determined by the dimensions of the floating groove i7 indicated by diagonal lines in the figure and the channel width W of the transistor. However, me%! j In order to improve the concentration of 8 degrees, the dimensions of the floating groove 17 and the channel width are required to be as small as possible. Therefore, the channel width W is set to the minimum allowable size to perform the transistor function.For example, when the potential VCa of the control r-) is 5V, the floating ?
-) so that the potential of the floating f is about 3V.
- The current situation is to determine the dimensions of J7. Therefore, the conductance gm of the memory element increases by % v
When co is 5V and the drain voltage is 5V, only an output current of about iooμA can be obtained. As a result, the connection between the source and +4 lane of this memory element was in an on state, and it took a long time to discharge the column line because the column line had a large capacity and the current flowing through the memory element was small. . The data read speed of the memory device is limited by the column line discharge time of the memory element, and as a result, the data read time becomes slow and high-speed operation cannot be achieved. The present invention was developed in consideration of the above circumstances, and its purpose is to provide a semiconductor memory device that can realize high-speed operation by improving the reading speed of data stored in a memory element.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この発明による半導体記憶装置では、列線とアースとの
間にトランジスタを接続し、メモリセルからデータを読
み出す際にこのトランジスタのr−卜に一定電圧を供給
してこのトランジスタをデータ読み出し期間中、継続的
に導通させ、このトランジスタを介して列線の放電を行
なうようにしている。
In the semiconductor memory device according to the present invention, a transistor is connected between a column line and ground, and when data is read from a memory cell, a constant voltage is supplied to the r- field of this transistor so that the transistor is connected during the data read period. The transistor is continuously turned on, and the column line is discharged through this transistor.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第3図はその回路構成を示したもので、それぞれ複数の
行1m19x 〜ノ9nおよび列線2o1〜20n1が
マトリックス状に配列され、その各交差部にはそれぞれ
前述したようなフローティングタート型MO8)ランゾ
スタでなるメモリ素子1811〜181m+ l 8z
x〜182m1・・・が配設されている。そして、その
それぞれのメモリ素子のタートはそれぞれ対応する行線
191〜19nに、同じくドレインは対応する列線xo
1〜2QInに接続され、すべてのソースはアースに接
続されている。上記1つのメモリ素子を選択するには、
それぞれlりの行線および列線を選択するととだよシ行
なわれ、この行線および列線の選択は、行および列デ;
−ダ21゜22で行なわれる。行デコーダ21には、図
示しないCPU等から、行アドレスデータA(1−AI
が供給され、出力信号01%Cnによって行線191〜
19nのいずれかに「1」レベルの信号を発生し、その
行線を選択する。一方、列デコーダ22には同様に列ア
ドレスデータAi+1〜Amが供給され、出力信号R1
〜Rmの1つを[1]レベルにし、列線201〜20m
に直列に接続されているエンハンスメント1M08)ラ
ンジスタ231〜23mのいずれか1つをオン状態にし
てその列線を選択する。上記トランジスタ231〜23
mのドレインは共通に接続され、さらにこの共通接続節
点Sは、負荷用のエン−・ンスメント型MO8)ランゾ
スタ25を介して電源Vcに接続され、そのr−)は、
インバータIの出力節点Tに接続される。このインバー
タIは、ディプレッションWMO8)ランゾスタ26、
エンハンスメント型MO8)ランジスタ27からなるE
lD型のものであシ、入力端となるMOS )ランジス
タ27のf−)は、上記節点Sに接続される。イン/々
−タIの出力はさらに上記節点Sとデータセンス節点U
との間に接続されているエンハンスメントgMO8)ラ
ンソスタ281)?”−トに接続される。上記データセ
ンス節点Uは、もう1つの負荷トランジスタ29を介し
て電源VCに接続されておル、そのf−)も電源vcに
接続されている。そして上記データセンス節点Uにはデ
ータ出力回路30が接続されておシ、このデータ出力回
路30から前記メモリ素子18に記憶されているデータ
Dが出力される。
FIG. 3 shows the circuit configuration, in which a plurality of rows 1m19x to 9n and column lines 2o1 to 20n1 are arranged in a matrix, and each intersection has a floating tart type MO8 as described above. Memory elements 1811 to 181m+l8z made of Lanzostar
x~182m1... are arranged. The start of each memory element is connected to the corresponding row line 191 to 19n, and the drain is connected to the corresponding column line xo.
1-2QIn, and all sources are connected to ground. To select one memory element above,
Selecting one row line and one column line respectively is performed, and this selection of row lines and column lines is performed by selecting one row line and one column line.
- It is carried out at 21°22. The row decoder 21 receives row address data A (1-AI
is supplied to the row lines 191 to 191 by the output signal 01%Cn.
19n is generated to select the row line. On the other hand, the column decoder 22 is similarly supplied with column address data Ai+1 to Am, and the output signal R1
~ Set one of Rm to [1] level and set column line 201 to 20m
Enhancement 1M08) Any one of the transistors 231 to 23m connected in series to the line is turned on to select that column line. The above transistors 231 to 23
The drains of m are connected in common, and this common connection node S is connected to the power supply Vc via an installation type MO8) for load, and its r-) is
It is connected to the output node T of the inverter I. This inverter I is a depression WMO8) Lanzosta 26,
Enhancement type MO8) E consisting of transistor 27
It is of the 1D type, and f-) of the MOS transistor 27 serving as the input terminal is connected to the node S. The output of the input/output terminal I is further connected to the above node S and the data sense node U.
Enhancement gMO8) Lansostar 281) connected between? The data sense node U is connected to the power supply VC via another load transistor 29, and the data sense node U is also connected to the power supply VC. A data output circuit 30 is connected to node U, and data D stored in the memory element 18 is output from this data output circuit 30.

一方、各列線201〜20n1の他端は、エンハンスメ
ント型MO8)ランジスタ311〜31mそれぞれのド
レインに接続されている。このトランジスタ31.〜3
1mそれぞれのソースはアースに接続されておシ、また
それぞれのf−)には制御回路32から出力電圧が供給
されている。この制御回路32は、前記行デコーダ21
のいずれか1つの出力Cが「1」にされ、いずれかのメ
モリ素子18が選択駆動されてデーぞが読み出されてい
る期間中、継続的に一定の直流電圧を発生するように構
成されている。
On the other hand, the other end of each column line 201-20n1 is connected to the drain of each enhancement type MO8) transistor 311-31m. This transistor 31. ~3
The source of each of the 1 m is connected to ground, and the output voltage of each f-) is supplied from the control circuit 32. This control circuit 32 includes the row decoder 21
is configured to continuously generate a constant DC voltage during a period in which the output C of any one of the memory elements 18 is set to "1" and one of the memory elements 18 is selectively driven to read data. ing.

この様に構成された半導体記憶装置において、行および
列デコーダ21,2jtによ)九とえばそれぞれ1つの
行111191および列線201がX ゴ 選択され、
この交差部に存在している18!lが選択されたとする
。いまこのメモリ素子1811、のフローティ1ングー
ートに予め電子が注入されていす、しきい値電圧が低→
ままにされている′ =q 場合、このメモリ電子1811はオン状態となシ、この
メモリ素子1811を介して列線201が放゛ 路30
から出力されることになる。このときの第3図中の各節
点S、T、Hの電圧波形を第4図に実線で示す。この列
線201が放電された状態は、第4図中T、の期間であ
る。列線201が放電されると、節点Sも放電され、こ
のため、インバータIの出力節点Tは「1」レベルにな
シ、トランジスタ28は、充分オンし、節点Uも放電さ
れて「0」し4ルになる。ところで、この実施例では列
線18に列線の放電を助けるために、r−)に一定電圧
が印加されるトランジスタ31を接続している。このト
ランジスタ31が設けられていない場合の各節点S、T
、Vの電圧波形が、第4図に破線で示されている。列線
201が放電された状態にあっては、トランジスタ32
−dfiiけられていないときに比べ、節点8Uの電位
が高く、節点での電位は低くなっている。この状態から
、入力アドレスデータA。
In the semiconductor memory device configured in this manner, for example, one row 111191 and one column line 201 are selected by the row and column decoders 21 and 2jt, respectively, and
18 existing at this intersection! Suppose that l is selected. Now, electrons have been injected into the floating gate of this memory element 1811 in advance, and the threshold voltage is low →
If ' = q, this memory element 1811 is not in the on state, and the column line 201 is radiated via this memory element 1811 to the radiation path 30.
will be output from. The voltage waveforms at the nodes S, T, and H in FIG. 3 at this time are shown by solid lines in FIG. 4. This state in which the column line 201 is discharged is during the period T in FIG. When the column line 201 is discharged, the node S is also discharged, so that the output node T of the inverter I is not at the "1" level, the transistor 28 is sufficiently turned on, and the node U is also discharged and becomes the "0" level. It will be 4 hours. Incidentally, in this embodiment, a transistor 31 to which a constant voltage is applied to r-) is connected to the column line 18 in order to assist in discharging the column line. Each node S, T when this transistor 31 is not provided
, V are shown in dashed lines in FIG. When column line 201 is in a discharged state, transistor 32
-dfii The potential at the node 8U is higher and the potential at the node is lower than when it is not turned off. From this state, input address data A.

〜Amが変化し、行デコーダ21によシ、行線191K
かわって行線192が選択され、メモリ素子18鵞1が
選択されたとする。またこのときトランジスタ1831
の70−チイング?−)には、予め電子が注入され、し
きい値電圧が上昇されておシ、オンしないとする。この
後、この列線201は、充電される。すなわち、この充
電はトランジスタ29.25によシ行なわれるが、始め
インパータエの出力は[1」レベルゆえ、トランジスタ
25によシ、急速に充電される。インバータIの出力が
節点Sの電位上昇により「0」レベルに反転すると、ト
ランジスタ28.25はオフする。この後、節点Uがト
ランジスタ29によシ充電され、との「1」レベルがデ
ータ出力回路30によシ読み出される。この列線201
および節点Sが充電される時、イン−?−/Iの遅延時
間の分だけ、トランジスタ28.25によル、過充電さ
れる。すなわち、トランジスタ28.25のソース側電
位(節点Sの電位)はそのr−卜電位からしきい値電圧
を引いた値に安定する。しかるにこの場合、インバータ
■による遅延時間のため、節点Sの電位はトランジスタ
28.25のr−卜電位からそれぞれのしきい値電圧を
引いた値よシも高い電位になってしまう。節点S、T、
Uの電位をそれぞれvs a vTl vUとし、卜9
yJxll;ttt、zs。
~Am changes, and the row decoder 21 inputs the row line 191K.
Assume that the row line 192 is selected instead, and the memory element 18 is selected. Also at this time, the transistor 1831
70-Chiing? It is assumed that electrons are injected into the transistor (-) in advance and the threshold voltage is increased so that the transistor does not turn on. After this, this column line 201 is charged. That is, this charging is performed by the transistors 29 and 25, but since the output of the inverter is initially at the [1] level, the transistor 25 is rapidly charged. When the output of the inverter I is inverted to the "0" level due to the rise in the potential at the node S, the transistors 28 and 25 are turned off. Thereafter, the node U is charged by the transistor 29, and the "1" level is read out by the data output circuit 30. This column line 201
and when node S is charged, in-? The transistor 28.25 is overcharged by a delay time of -/I. That is, the source side potential of the transistors 28 and 25 (the potential at the node S) is stabilized at a value obtained by subtracting the threshold voltage from the r-potential. However, in this case, due to the delay time caused by the inverter 2, the potential at the node S becomes higher than the r-potential of the transistors 28 and 25 minus their respective threshold voltages. Nodes S, T,
Let the potential of U be vs a vTl vU, respectively, and
yJxll;ttt,zs.

27のしきい値電圧をVth2a 、 Vth2i; 
、 Vrh27とすると、インバータ■による遅延時間
のない理想的な場合には−Vs =V’thzy * 
Vy=vThz7+Vthzsとなるが、インバータI
による遅延時間によシ、節点Sが過充電され、VB′)
VTh27.vT<vTh27十VTh25 となって
しまう。ところが、この実施例では、トランジスタ31
が存在するため、過充電の分が、トランジスタ31によ
シ放電され、第4図中■の点でのピーク部分を残して@
の部分で節点S、Uの電位が安定し、過充電は解消され
る。これに対し、卜2ンゾスタ31が存在しない場合、
第4図に破線で示す様に節点Sおよび列線20は過充電
されたままとなる。これが、第4図中ので冨の期間であ
る。
27 threshold voltages as Vth2a and Vth2i;
, Vrh27, in an ideal case without delay time due to inverter ■, -Vs = V'thzy *
Vy=vThz7+Vthzs, but inverter I
Due to the delay time caused by VB'), node S is overcharged.
VTh27. vT<vTh27+VTh25. However, in this embodiment, the transistor 31
exists, the overcharged portion is discharged by the transistor 31, leaving behind the peak portion at point
The potentials of the nodes S and U become stable at this point, and overcharging is eliminated. On the other hand, if No. 2 Inzostar 31 does not exist,
Node S and column line 20 remain overcharged, as shown by the dashed line in FIG. This is the full period in Figure 4.

次に、入力アドレスデータが変化し、行デコーダ21に
よシ行線19nが選ばれ、メモリ素子18n1が選択さ
れたとする。このメモリ素子18n1のフ四−テイング
?−1は、中性状態すなわち電子が注入されていない状
態であるとする。この時、列線201はメモリ素子18
n1によシ放電される。この時、過充電がなされてbず
、またトランジスタ31が存在するため、トランジスタ
28がわずかにオンしている。よって列線20および節
点Sの電位変化が迅速に節点Uに伝達される。また列線
201の放電は、メモリ素子18n1およびトランジス
タ31で、並行して行なわれるため、卜2ンゾスタ31
を設けないときと比べ速くなる。よって、インバータ■
の出力が「1」レベルに上昇するのも速くなシ、これに
よ)トランジスタ28はオンし、節点Uが迅速に放電さ
れてデータ出力回路3oによりデータが迅速に読み出さ
れる。これに対しトランジスタ31がない場合には節点
Sおよび列線20が過充電されている。また、列線2゜
には多くのメモリ素子18が接続されているため、その
寄生容量は極めて大きい。このため過充電された列線2
Oをメモリ素子18のみにょ)放電しなければならない
ため、データの読み出しに時間がかかつていた。
Next, assume that the input address data changes, the row line 19n is selected by the row decoder 21, and the memory element 18n1 is selected. The layout of this memory element 18n1? -1 is a neutral state, that is, a state in which no electrons are injected. At this time, the column line 201 is connected to the memory element 18
It is discharged by n1. At this time, since overcharging has not occurred and the transistor 31 is present, the transistor 28 is slightly turned on. Therefore, potential changes on column line 20 and node S are quickly transmitted to node U. Further, since the column line 201 is discharged in parallel by the memory element 18n1 and the transistor 31, the column line 201 is discharged in parallel.
It is faster than when it is not set. Therefore, the inverter ■
The output of the transistor 28 also quickly rises to the "1" level, so that the transistor 28 is turned on, the node U is quickly discharged, and data is quickly read out by the data output circuit 3o. On the other hand, if transistor 31 is not present, node S and column line 20 are overcharged. Further, since many memory elements 18 are connected to the column line 2°, its parasitic capacitance is extremely large. Because of this, the overcharged column line 2
Because O must be discharged only from the memory element 18, it takes time to read data.

このように、上記実施例によれば列線2oとアースとの
間にトランジスタ31を設け、メモリ素子18からデー
タ読み出しを行なっている期間にこのトランジスタ31
をオン状態にして列線20を放電するので、過充電が発
生せず、この分の放電をしなくてもよいため、その分だ
けデータ読み出し速度は速くすることができる。
As described above, according to the above embodiment, the transistor 31 is provided between the column line 2o and the ground, and the transistor 31 is connected to the memory element 18 during the period when data is read from the memory element 18.
Since the column line 20 is discharged by turning on the column line 20, overcharging does not occur and there is no need to perform the corresponding discharge, so that the data read speed can be increased accordingly.

なお、上記実施例ではトランジスタ31が常時、列線2
0を放電しているため、このトランジスタ31を設けな
いときと同じ電流能力を持つように負荷トランジスタと
してのトランジスタ25.29の能力を設定すると充電
速度は遅くなる。ところが、トランジスタ31の放電を
おぎなう程度の能力にトランジスタ“−25、29を。
Note that in the above embodiment, the transistor 31 is always connected to the column line 2.
Since 0 is being discharged, if the capacity of transistors 25 and 29 as load transistors is set to have the same current capacity as when this transistor 31 is not provided, the charging speed will be slow. However, transistors ``-25 and 29'' do not have enough ability to sustain the discharge of transistor 31.

設定してやれば、充電は同、じ萼度で、放電は過充電の
ない分だけ速く出来′、゛データを迅速に読み出すとと
が出来るという利点を持つ。
If the settings are made, charging can be done at the same calyx temperature, and discharging can be done faster due to the absence of overcharging, which has the advantage of being able to read data quickly.

第3図中の制御回路3゛2は、;モリ素キ18からデー
タ読み出しを行なってbる期間中、電 ゛源電位VCを
出力電圧として発生するようにしてもよく、あるいは第
5図(4)に示すようにディゾレッション型MO8)ラ
ンゾスタ41および2個のエンハンスメント型Mosト
ランゾスタ42゜43で構成し、Vc、l:t)も低い
一定電圧を発生するようにしてもよい。さらに第5図(
B)に示すようにメモリ素子でデータをプログラムする
時に「1」レベルになる信号Wt−1’−)入力とする
エンハンスメント型MO8)ランゾスタ44を追加して
、プログラム時には出力を「o」レベルにしてトランジ
スタ31をオフにするようにしてもよい。
The control circuit 3'2 in FIG. 3 may generate the power supply potential VC as an output voltage during the period when data is read from the memory chip 18, or the control circuit 3'2 in FIG. As shown in 4), it may be constructed of a desorption type MO transistor 41 and two enhancement type Mo transistors 42 and 43, and generate a constant voltage with low Vc, l:t). Furthermore, Figure 5 (
As shown in B), a signal Wt-1'-) which becomes the "1" level when programming data in the memory element is added to the enhancement type MO8) Lanzostar 44, and the output is set to the "o" level during programming. Alternatively, the transistor 31 may be turned off.

第6図はこの発明の他の実施例を示す。第3図では負荷
トランジスタ(トランジスタ25)のr−卜電位を、入
力に列線電位が入力されたインパータエの出力で制御す
るようにしているが第6図ではトランジスタ25のf−
)電位を所定電位例えば、電源VCとアース間に直列接
続した抵抗51.52の接続点から得るようにしたもの
である。また節点Uで節点Sの電位全増幅してデータ出
力回路30からデータを出力している。通常、f−)に
一定電位が与えられドレインが電源に接続された第7図
(4)つまり、第6図中のトランジスタ25あるいは、
トランジスタ28の様な回路接続を持つトランジスタの
ソース電位V、に対する電流ID変化は、第7図(B)
の様になる。つまシ、ソース電位v工が高い所ではわず
かじか電流は流れず、低くなるにつれて、急に電流が流
れるような特性を持つ。このため第6図において列線お
よび節点8.Uが充電された状態から放電する時、トラ
ンジスタ31のない場合は、トランジスタ28のd流の
わずかしか流れない領域を通じて節点Uが放電、される
。このわずかしか電流の流れない領域では、節点Uの放
電はほとんどなされない。ところが、トランジスタ31
があるため、列線および節点&、Uの放電状態において
も列線は、わずかの電流で放電され、ソース電位v1は
第7図(B)中のVllに下げられている。よって、ト
ランジスタ28は、電流が急速に流れ出す領域に近い所
で動作する。この状態で、フローティングダートが中性
状態のメモリ素子が選ばれれば、列線は放電される。こ
の時、トランジスタ28は急速にオンするので、節点U
は、迅速に放電され、データ出力回路30から速くデー
タが読み出される。
FIG. 6 shows another embodiment of the invention. In FIG. 3, the r-potential of the load transistor (transistor 25) is controlled by the output of an inverter to which the column line potential is input, but in FIG.
) A potential is obtained from a predetermined potential, for example, from the connection point of resistors 51 and 52 connected in series between the power supply VC and the ground. Further, the potential of the node S is fully amplified at the node U, and data is output from the data output circuit 30. Normally, a constant potential is applied to f-) and the drain is connected to the power supply in FIG. 7(4), that is, the transistor 25 in FIG.
The change in current ID with respect to the source potential V of a transistor with a circuit connection such as transistor 28 is shown in FIG. 7(B).
It will look like this. However, when the source potential is high, only a small amount of current flows, but as the source potential drops, the current suddenly flows. Therefore, in FIG. 6, the column line and node 8. When U discharges from a charged state, node U is discharged through a region where only a small amount of the d current of transistor 28 flows in the absence of transistor 31. In this region where only a small amount of current flows, the node U is hardly discharged. However, transistor 31
Therefore, even in the discharge state of the column line and nodes & and U, the column line is discharged with a small amount of current, and the source potential v1 is lowered to Vll in FIG. 7(B). Thus, transistor 28 operates close to a region where current flows rapidly. In this state, if a memory element whose floating dart is in a neutral state is selected, the column line is discharged. At this time, the transistor 28 turns on rapidly, so the node U
is quickly discharged, and data is quickly read out from the data output circuit 30.

なお上記実施例ではメモリ素子として、フローティング
r−)型MO8)ランジスタを用いたが、これは他のメ
モリ素子を用いるようにしてもよい。
In the above embodiment, a floating r-) type MO8) transistor was used as the memory element, but other memory elements may be used instead.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように、この発明によれば、メモリ素子に記
憶されたデータの読み出し速度を向上させることKよシ
高速動作が実現できる半導体記憶装置を提出することが
できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a semiconductor memory device that can realize high-speed operation by improving the reading speed of data stored in a memory element.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はフローティングf−)型の不揮発性半導体メモ
リ素子を示す図、第2図は第1図のメモリ素子を用いた
記憶装置のパターン平面図、第3図はとの発明の一実施
例の構成を示す回路図、第4図はその動作を説明するた
めの波形図、第5図は第3図回路の一部の具体的に示す
回路図、第6図はこの発明の他の実施例の構成を示す回
路図、第7図は上記第6図回路を説明するための回路図
および特性図である。 18・・・メモリ素子、19・・・行線、20・・・列
線、21・・・行デコーダ、22・・・列デコーダ、2
3125.21.2B、29.31・・・エンハンスメ
ント型MO8)ランゾスタ、26・・・デイゾレッショ
ン型MO3)ランゾスタ、30・・・データ出力回路、
32・・・制御回路、51.52・・・抵抗。 第2図 第3図
Fig. 1 is a diagram showing a floating f-) type nonvolatile semiconductor memory element, Fig. 2 is a pattern plan view of a storage device using the memory element of Fig. 1, and Fig. 3 is an embodiment of the invention. 4 is a waveform diagram for explaining its operation, FIG. 5 is a circuit diagram specifically showing a part of the circuit of FIG. 3, and FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 7 is a circuit diagram showing the configuration of an example. FIG. 7 is a circuit diagram and a characteristic diagram for explaining the circuit shown in FIG. 6. 18...Memory element, 19...Row line, 20...Column line, 21...Row decoder, 22...Column decoder, 2
3125.21.2B, 29.31... Enhancement type MO8) Lanzostar, 26... Desorption type MO3) Lanzostar, 30... Data output circuit,
32...Control circuit, 51.52...Resistance. Figure 2 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 行線と、この行線の信号によって選択的に駆動されるメ
モリセルと、このメモリセルから読み出されるデータが
供給される列線と、この列線と基珈電位印加点との間に
接続され、少なくとも上記メそリセルからデータが読み
出されている期間に対応した期間中、継続的に導通状態
にされるトランジスタとを具備したことを特徴とする半
導体記憶装置。
A row line, a memory cell selectively driven by a signal on this row line, a column line to which data read from this memory cell is supplied, and a line connected between this column line and a base potential application point. A semiconductor memory device comprising: a transistor that is continuously rendered conductive at least during a period corresponding to a period during which data is being read from the memory cell.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4862413A (en) * 1985-03-29 1989-08-29 Texas Instruments Incorporated Semiconductor ROM with reduced supply voltage requirement
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US5132936A (en) * 1989-12-14 1992-07-21 Cypress Semiconductor Corporation MOS memory circuit with fast access time
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