JPS60132090A - ２段形水封式真空ポンプ - Google Patents
２段形水封式真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS60132090A JPS60132090A JP23995083A JP23995083A JPS60132090A JP S60132090 A JPS60132090 A JP S60132090A JP 23995083 A JP23995083 A JP 23995083A JP 23995083 A JP23995083 A JP 23995083A JP S60132090 A JPS60132090 A JP S60132090A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- impeller
- stage
- suction
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C11/00—Combinations of two or more machines or pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type; Pumping installations
- F04C11/001—Combinations of two or more machines or pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type; Pumping installations of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C19/00—Rotary-piston pumps with fluid ring or the like, specially adapted for elastic fluids
- F04C19/001—General arrangements, plants, flowsheets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、２段形本封式真空ポンプに関するもので、
更に詳細には、筒状胴体内に回１− 転自在に配設される複数の羽根を有する２個の羽根車と
、各羽根車の２枚の羽根と共働して室を形成する側板と
を有する高真空用の２段形本封式真空ポンプの改良に係
るものである。
更に詳細には、筒状胴体内に回１− 転自在に配設される複数の羽根を有する２個の羽根車と
、各羽根車の２枚の羽根と共働して室を形成する側板と
を有する高真空用の２段形本封式真空ポンプの改良に係
るものである。
従来のこの種真空ポンプには、両段側共にボートプレー
ト式に形成したものや、両段側共にポートシリンダ式に
形成したものが使用されている。この場合、前者のボー
トプレート式は、第１図に示すように、筒状胴体ａ内に
回転自在に配設される羽根車す、ｂ’のそれぞれの側面
に接する側板ｃ、ｃに吸込ボートｄ及び吐出ポートｅを
設け、胴体ａ内に封入された水等の液体すなわち封水に
ピストン作用を行わせて、吸込ボートｄ及び吐出ポート
ｅを介してガスの圧送を行う形式のものであり、また、
後者すなわちポートシリンダ式のものは、図示しないが
、羽根車の内面に接する吸込ボート及び吐出ポートを形
成し、前述と同様に、封水にピストン作用を行わせて−
２＝ 吸込ボート及び吐出ポートを介してガスを羽根車の軸方
向へ圧送する形式である。
ト式に形成したものや、両段側共にポートシリンダ式に
形成したものが使用されている。この場合、前者のボー
トプレート式は、第１図に示すように、筒状胴体ａ内に
回転自在に配設される羽根車す、ｂ’のそれぞれの側面
に接する側板ｃ、ｃに吸込ボートｄ及び吐出ポートｅを
設け、胴体ａ内に封入された水等の液体すなわち封水に
ピストン作用を行わせて、吸込ボートｄ及び吐出ポート
ｅを介してガスの圧送を行う形式のものであり、また、
後者すなわちポートシリンダ式のものは、図示しないが
、羽根車の内面に接する吸込ボート及び吐出ポートを形
成し、前述と同様に、封水にピストン作用を行わせて−
２＝ 吸込ボート及び吐出ポートを介してガスを羽根車の軸方
向へ圧送する形式である。
上記のように構成されるこの種真空ポンプは、圧縮条件
により各部の諸元は決定され、とりわけ吐出ボートの開
口面積及び形状は重要な要件であり、特に２段形本封式
真空ポンプについては、各段によって圧縮されるべき条
件は常に臨界的である。また、この種真空ポンプは、高
い圧力比すなわち高真空状態で使用されるため、低圧力
比で使用する状態に比べ、大量に封水を供給し、真空の
破壊を防止しなければならない。そのため、これに対応
して真空ポンプ吐出側においては圧縮されたガスと共に
吐出ポートから封水を排出する必要がある。また、封水
はポンプ内において、羽根車によって高速の回転力を与
えられ大きな遠心力を受けているなどの種々の条件下で
の使用に耐えなければならない。
により各部の諸元は決定され、とりわけ吐出ボートの開
口面積及び形状は重要な要件であり、特に２段形本封式
真空ポンプについては、各段によって圧縮されるべき条
件は常に臨界的である。また、この種真空ポンプは、高
い圧力比すなわち高真空状態で使用されるため、低圧力
比で使用する状態に比べ、大量に封水を供給し、真空の
破壊を防止しなければならない。そのため、これに対応
して真空ポンプ吐出側においては圧縮されたガスと共に
吐出ポートから封水を排出する必要がある。また、封水
はポンプ内において、羽根車によって高速の回転力を与
えられ大きな遠心力を受けているなどの種々の条件下で
の使用に耐えなければならない。
前記ボートプレート式のものは、上記の状態の下におい
て、圧縮されたガスと共に多量の封水を排出するには、
吐出ポートｅの位置が、第２図に示すように、封水の回
転流れの方向ｆに対して全く異なり、流れに対して直角
方向に排出されねばならず、理想的な排出が行われない
。このため、吐出ポートｅの角部においては極めて大き
な流速になる部分が発生する可能性があり、特に高真空
となる１段側羽根車すが局部的なキャビテーションを生
じて孔軸される虞れがある。さらに、かかるキャビテー
ションによって真空ポンプの安定的な運転が不可能とな
り、故障を生ずることもある。また、製作上の観点から
特に羽根車す、ｂ’を同軸上に取り付けた一体化構造で
は、端面の正確な位置決定を必要とする箇所が第１図に
示すＡ、Ｂ、Ｃ及びＤの４箇所となり、固定部及び回転
部共に高い軸方向精度を必要とする。すなわち１羽根車
す、ｂ’と側板ｃ、ｃのすき間の大きさが真空ポンプの
性能に大きく影響するため、前記４箇所において高精度
のすき間を確保することが要求−〇 − される。
て、圧縮されたガスと共に多量の封水を排出するには、
吐出ポートｅの位置が、第２図に示すように、封水の回
転流れの方向ｆに対して全く異なり、流れに対して直角
方向に排出されねばならず、理想的な排出が行われない
。このため、吐出ポートｅの角部においては極めて大き
な流速になる部分が発生する可能性があり、特に高真空
となる１段側羽根車すが局部的なキャビテーションを生
じて孔軸される虞れがある。さらに、かかるキャビテー
ションによって真空ポンプの安定的な運転が不可能とな
り、故障を生ずることもある。また、製作上の観点から
特に羽根車す、ｂ’を同軸上に取り付けた一体化構造で
は、端面の正確な位置決定を必要とする箇所が第１図に
示すＡ、Ｂ、Ｃ及びＤの４箇所となり、固定部及び回転
部共に高い軸方向精度を必要とする。すなわち１羽根車
す、ｂ’と側板ｃ、ｃのすき間の大きさが真空ポンプの
性能に大きく影響するため、前記４箇所において高精度
のすき間を確保することが要求−〇 − される。
一方、前記ボートシリンダ式のものは、前記ポートプレ
ート式のものに比べ構造は複雑となり、かつ、一体化構
造のものでは、２個の羽根車共に内面の直径方向の正確
なすき間を維持する必要があるため、精密な芯出しを必
要とする。また、ポンプ自体もやや大型となるため、製
作が面倒で高価となるなどの欠点がある。しかし、その
反面、空気の絶対流れが単純であるため、水の飽和蒸気
圧付近の真空度で運転してもキャビテーションを起しに
くいという優れた特徴を有している。
ート式のものに比べ構造は複雑となり、かつ、一体化構
造のものでは、２個の羽根車共に内面の直径方向の正確
なすき間を維持する必要があるため、精密な芯出しを必
要とする。また、ポンプ自体もやや大型となるため、製
作が面倒で高価となるなどの欠点がある。しかし、その
反面、空気の絶対流れが単純であるため、水の飽和蒸気
圧付近の真空度で運転してもキャビテーションを起しに
くいという優れた特徴を有している。
この発明は、上記事情に鑑みなされたもので、その目的
とするところは、運転時のキャビテーションを防止する
とともに、ポンプ性能の向上を図れるようにし、かつ、
製作を容易にして安価に製作できるようにしたことを特
徴とする２段形本封式真空ポンプを提供しようとするも
のである。
とするところは、運転時のキャビテーションを防止する
とともに、ポンプ性能の向上を図れるようにし、かつ、
製作を容易にして安価に製作できるようにしたことを特
徴とする２段形本封式真空ポンプを提供しようとするも
のである。
すなわち、この発明の要旨とするところは、５−
４−
筒状胴体内に回転自在に配設される複数の羽根を有する
２個の羽根車と、各羽根車の２枚の羽根と共働して室を
形成する側板とを有する２段形本封式真空ポンプにおい
て、１段側を、羽根車の内面に接する吸込及び吐出ポー
トを介してガスを羽根車の軸方向へ圧送するボートシリ
ンダ式に形成するとともに、２段側を、羽根車の側面に
接する吸込及び吐出ポートを介してガスを羽根車の側方
に圧送するポートプレート式に形成し、かつ、両段の羽
根車を、同一軸上に配設して一体的に形成して成るもの
で、特に高真空となる１段側においてキャビテーション
を防止するとともに、ポンプ性能の向上を図り、かつ、
容易にしかも低置に製作できるようにしたことを特徴と
する２段形本封式真空ポンプに関するものである。
２個の羽根車と、各羽根車の２枚の羽根と共働して室を
形成する側板とを有する２段形本封式真空ポンプにおい
て、１段側を、羽根車の内面に接する吸込及び吐出ポー
トを介してガスを羽根車の軸方向へ圧送するボートシリ
ンダ式に形成するとともに、２段側を、羽根車の側面に
接する吸込及び吐出ポートを介してガスを羽根車の側方
に圧送するポートプレート式に形成し、かつ、両段の羽
根車を、同一軸上に配設して一体的に形成して成るもの
で、特に高真空となる１段側においてキャビテーション
を防止するとともに、ポンプ性能の向上を図り、かつ、
容易にしかも低置に製作できるようにしたことを特徴と
する２段形本封式真空ポンプに関するものである。
以下にこの発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第３図はこの発明の真空ポンプの断面図を６−
示すもので、図中１．１は筒状の胴体であって、例えば
円筒状に形成されており、その間に挾持された画壁板２
によって１段側空間３と２段側空間４とに区画されてい
る。５は前記胴体ｌの偏心位置を貫通する回転軸であっ
て、前記胴体１の端部に配設された軸受６゜６によって
回転自在に支承され、その一端には図示しない駆動モー
タが連結されている。
円筒状に形成されており、その間に挾持された画壁板２
によって１段側空間３と２段側空間４とに区画されてい
る。５は前記胴体ｌの偏心位置を貫通する回転軸であっ
て、前記胴体１の端部に配設された軸受６゜６によって
回転自在に支承され、その一端には図示しない駆動モー
タが連結されている。
そして、前記１段及び２段側空間３，４内において、回
転軸５の一端にキー７をもってそれぞれ放射線方向に複
数の羽根８ａ 、 ８ａ・・・又は９ａ 、 ９ａ・・
・を有する羽根車８又は９が取り付けられている。この
場合、１段側空間３における羽根車８の内面には、吸込
ポート１０及び吐出ポート１１を有するポー１〜シリン
ダ１２が接しており、また、１段側空間３の一側には、
吸込ポートＩＯと吸込通路１３とを連通する連通口１４
と、吐出ポート１１と吐出通路１５とを連通ずる連通口
１６が設けられている。したがって、前記回転軸５の回
転に伴って羽根車８が回転すると、空間３内に封入され
た封水（図示せず）が各羽根８ａ 、 ８ａ間で水膜を
作りながらピストン作用を行い、このピストン作用によ
り、ガスは吸込及び吐出ポート１０．１１を介して羽根
車８の軸方向へ圧送される。
転軸５の一端にキー７をもってそれぞれ放射線方向に複
数の羽根８ａ 、 ８ａ・・・又は９ａ 、 ９ａ・・
・を有する羽根車８又は９が取り付けられている。この
場合、１段側空間３における羽根車８の内面には、吸込
ポート１０及び吐出ポート１１を有するポー１〜シリン
ダ１２が接しており、また、１段側空間３の一側には、
吸込ポートＩＯと吸込通路１３とを連通する連通口１４
と、吐出ポート１１と吐出通路１５とを連通ずる連通口
１６が設けられている。したがって、前記回転軸５の回
転に伴って羽根車８が回転すると、空間３内に封入され
た封水（図示せず）が各羽根８ａ 、 ８ａ間で水膜を
作りながらピストン作用を行い、このピストン作用によ
り、ガスは吸込及び吐出ポート１０．１１を介して羽根
車８の軸方向へ圧送される。
一方、前記２段側空間４における羽根車９は、その−側
は前記画壁２に接し、かつ、その他側は側板１７と接し
ており、これら画壁２及び側壁１６と２枚の羽根りａ、
９ａとでガスを圧送するための室を形成し得るようにな
っており、また、前記側板１７には、吸込通路１３′と
連通する吸込ボー１−１０’と、吐出通路１５′と連通
ずる吐出ポート１１’とが設けられている。
は前記画壁２に接し、かつ、その他側は側板１７と接し
ており、これら画壁２及び側壁１６と２枚の羽根りａ、
９ａとでガスを圧送するための室を形成し得るようにな
っており、また、前記側板１７には、吸込通路１３′と
連通する吸込ボー１−１０’と、吐出通路１５′と連通
ずる吐出ポート１１’とが設けられている。
したがって、前記回転軸５に伴って羽根９が回転すると
、ガスは前記吸込及び吐出ポート１０’、１１’を介し
て羽根車９の側方へ圧送される。
、ガスは前記吸込及び吐出ポート１０’、１１’を介し
て羽根車９の側方へ圧送される。
なお、前記１段側の吐出通路１５と２段側の吸込通路１
３′は連結管１８を介して連結されている。
３′は連結管１８を介して連結されている。
７−
なお、上記実施例では胴体ｌが円筒の場合について説明
したが、必ずしも円筒である必要はなく１例えばだ円形
の胴体であっても同様の作用効果が得られることは勿論
である。
したが、必ずしも円筒である必要はなく１例えばだ円形
の胴体であっても同様の作用効果が得られることは勿論
である。
以上に説明したように、この発明の２段形本封式真空ポ
ンプによれば、高真空となる１段側をポートシリンダ式
に形成するとともに、２段側をポートプレート式に形成
し、かつ、両段の羽根車を、同一軸上に一体的に形成し
て成るため、水の飽和蒸気圧付近で使用される１段側に
おいてもキャビテーションを防止することができるとと
もに、羽根車の内面とポートシリンダとのすき間設定を
高精度に維持して、ポンプ性能の向上を図ることができ
、１段側に比べて高真空とならない２段側においては、
製作面の容易性を有するポートプレート式にし、かつ、
羽根車と側板とのすき間によって高性能を維持し得るな
どの特徴を有し、かつ、両段側の相乗効果によって高性
能のポンプ作用が得られるなどの優れた効果が９− ８− 得られるので、その利用価値は顕著である。
ンプによれば、高真空となる１段側をポートシリンダ式
に形成するとともに、２段側をポートプレート式に形成
し、かつ、両段の羽根車を、同一軸上に一体的に形成し
て成るため、水の飽和蒸気圧付近で使用される１段側に
おいてもキャビテーションを防止することができるとと
もに、羽根車の内面とポートシリンダとのすき間設定を
高精度に維持して、ポンプ性能の向上を図ることができ
、１段側に比べて高真空とならない２段側においては、
製作面の容易性を有するポートプレート式にし、かつ、
羽根車と側板とのすき間によって高性能を維持し得るな
どの特徴を有し、かつ、両段側の相乗効果によって高性
能のポンプ作用が得られるなどの優れた効果が９− ８− 得られるので、その利用価値は顕著である。
第１図は従来のポートプレート式真空ポンプを示す断面
図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う断面図、第３図は
この発明の真空ポンプを示す断面図である。 図において、 ■ 胴体 ３ １段側空間 ４ ２段側空間 ５ 回転軸 ８ａ 、 ９ａ 羽根 ８．９ 羽根車 １０．１０’ 吸込ポート １１．１１’ 吐出ポート １２ ボートシリンダ １７ 側板 である。 ＝１０＝ 第３図 １ρ
図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う断面図、第３図は
この発明の真空ポンプを示す断面図である。 図において、 ■ 胴体 ３ １段側空間 ４ ２段側空間 ５ 回転軸 ８ａ 、 ９ａ 羽根 ８．９ 羽根車 １０．１０’ 吸込ポート １１．１１’ 吐出ポート １２ ボートシリンダ １７ 側板 である。 ＝１０＝ 第３図 １ρ
Claims (1)
- 筒状胴体内に回転自在に配設される複数の羽根を有する
２個の羽根車と、各羽根車の２枚の羽根と共働して室を
形成する側板とを有する２段形本封式真空ポンプにおい
て、１段側を、前記羽根車の内面に接する吸込及び吐出
ボートを介してガスを羽根車の軸方向へ圧送するボート
シリンダ式に形成するとともに、２段側を、前記羽根車
の側面に接する吸込及び吐出ポートを介してガスを羽根
車の側方に圧送するボートプレート式に形成し、かつ、
両段の羽根車を、同一軸上に配設して一体的に形成して
成ることを特徴とする２段形本封式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23995083A JPS60132090A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | ２段形水封式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23995083A JPS60132090A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | ２段形水封式真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132090A true JPS60132090A (ja) | 1985-07-13 |
Family
ID=17052233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23995083A Pending JPS60132090A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | ２段形水封式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132090A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103821754A (zh) * | 2014-03-25 | 2014-05-28 | 山东双轮埃姆科泵业有限公司 | 双级真空泵间隙调整装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5557689A (en) * | 1978-10-23 | 1980-04-28 | Nakamura Suikan:Kk | Water ringpump of asymmetrical impeller width |
-
1983
- 1983-12-21 JP JP23995083A patent/JPS60132090A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5557689A (en) * | 1978-10-23 | 1980-04-28 | Nakamura Suikan:Kk | Water ringpump of asymmetrical impeller width |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103821754A (zh) * | 2014-03-25 | 2014-05-28 | 山东双轮埃姆科泵业有限公司 | 双级真空泵间隙调整装置 |
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