JPH04370379A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
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- JPH04370379A JPH04370379A JP17044291A JP17044291A JPH04370379A JP H04370379 A JPH04370379 A JP H04370379A JP 17044291 A JP17044291 A JP 17044291A JP 17044291 A JP17044291 A JP 17044291A JP H04370379 A JPH04370379 A JP H04370379A
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ドライ真空ポンプに
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術における中真空から大気圧ま
での適用範囲のスクリューポンプを用いたドライ真空ポ
ンプには、独立したスクリュードライ真空ポンプの低圧
側に別体のメカニカルブースタポンプが併設され、スク
リュードライ真空ポンプの排気性能の低位をメカニカル
ブースタポンプで補足している。
での適用範囲のスクリューポンプを用いたドライ真空ポ
ンプには、独立したスクリュードライ真空ポンプの低圧
側に別体のメカニカルブースタポンプが併設され、スク
リュードライ真空ポンプの排気性能の低位をメカニカル
ブースタポンプで補足している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のスクリューポン
プを用いたドライ真空ポンプのように別体のメカニカル
ブースタポンプを別設すると、２つのポンプが別体であ
るので、ドライ真空ポンプ全体構造が複雑で且つ大型と
なる上、低圧側のメカニカルブースタポンプの排気口と
大気圧側のスクリューポンプの吸気口とが通路又は管路
で接続され、ドライ真空ポンプの作業効率が悪い。
プを用いたドライ真空ポンプのように別体のメカニカル
ブースタポンプを別設すると、２つのポンプが別体であ
るので、ドライ真空ポンプ全体構造が複雑で且つ大型と
なる上、低圧側のメカニカルブースタポンプの排気口と
大気圧側のスクリューポンプの吸気口とが通路又は管路
で接続され、ドライ真空ポンプの作業効率が悪い。
【０００４】そこで、この発明は、スクリュードライ真
空ポンプの排気速度／吸気口圧力の特性における低圧域
における排気速度（排気量）の低位を補足する低圧側の
ポンプを併設するのに際して、ドライ真空ポンプ全体の
小型化と通路又は管路の除去による作業効果の向上とを
図るものである。
空ポンプの排気速度／吸気口圧力の特性における低圧域
における排気速度（排気量）の低位を補足する低圧側の
ポンプを併設するのに際して、ドライ真空ポンプ全体の
小型化と通路又は管路の除去による作業効果の向上とを
図るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明によるドライ真
空ポンプは、第１形式としては、大気圧側ポンプとなる
スクリューポンプ部と高真空である低圧側ポンプとなる
溝形ポンプ部とが連続して構成され、ポンプケーシング
内には、スクリューポンプ部のポンプねじ部を形成する
２本のポンプ回転体が平行軸線関係で互に逆方向に同期
回転駆動されるように回転自在に取付けられ、ポンプ回
転体の少なくとも一方には、スクリューポンプ部のポン
プねじ部に同軸線関係で一体的に溝形ポンプ部を構成す
る円筒体が形成され、並設のポンプ回転体の両ポンプね
じ部は、ねじ方向が異なり、互に噛み合わされており、
ポンプケーシングの内周面には、スクリューポンプ部に
おいては、噛み合わされた両ポンプねじ部の外周面が嵌
合し、溝形ポンプ部においては、円筒体の外周面が嵌合
しており、円筒体の外周面に同側のポンプねじ部と同じ
ねじ方向の螺旋溝が形成されるか、又は円筒体が嵌合す
るポンプケーシングの内周面に同側のポンプねじ部と反
対のねじ方向の螺旋溝が形成されており、ポンプケーシ
ングにおいて、溝形ポンプ部の低圧側には吸気口が開口
され、スクリューポンプ部の大気圧側には排気口が開口
されている。
空ポンプは、第１形式としては、大気圧側ポンプとなる
スクリューポンプ部と高真空である低圧側ポンプとなる
溝形ポンプ部とが連続して構成され、ポンプケーシング
内には、スクリューポンプ部のポンプねじ部を形成する
２本のポンプ回転体が平行軸線関係で互に逆方向に同期
回転駆動されるように回転自在に取付けられ、ポンプ回
転体の少なくとも一方には、スクリューポンプ部のポン
プねじ部に同軸線関係で一体的に溝形ポンプ部を構成す
る円筒体が形成され、並設のポンプ回転体の両ポンプね
じ部は、ねじ方向が異なり、互に噛み合わされており、
ポンプケーシングの内周面には、スクリューポンプ部に
おいては、噛み合わされた両ポンプねじ部の外周面が嵌
合し、溝形ポンプ部においては、円筒体の外周面が嵌合
しており、円筒体の外周面に同側のポンプねじ部と同じ
ねじ方向の螺旋溝が形成されるか、又は円筒体が嵌合す
るポンプケーシングの内周面に同側のポンプねじ部と反
対のねじ方向の螺旋溝が形成されており、ポンプケーシ
ングにおいて、溝形ポンプ部の低圧側には吸気口が開口
され、スクリューポンプ部の大気圧側には排気口が開口
されている。
【０００６】同じく、第２の形式のものは、円筒体がコ
ップ状となり、その中空部に嵌合する筒体がポンプケー
シングの低圧側端面壁内面から突出形成されており、筒
体の外周面に円筒体の螺旋溝と同じねじ方向の螺旋溝が
形成されているか又は中空部の内周面に円筒体の螺旋溝
と反対のねじ方向の螺旋溝が形成されており、筒体の中
空孔は吸気口に連通している。
ップ状となり、その中空部に嵌合する筒体がポンプケー
シングの低圧側端面壁内面から突出形成されており、筒
体の外周面に円筒体の螺旋溝と同じねじ方向の螺旋溝が
形成されているか又は中空部の内周面に円筒体の螺旋溝
と反対のねじ方向の螺旋溝が形成されており、筒体の中
空孔は吸気口に連通している。
【０００７】第３の形式のものは、大気圧側ポンプとな
るスクリューポンプ部と高真空である低圧側ポンプとな
る溝形ポンプ部とが連続して構成され、ポンプケーシン
グ内には、スクリューポンプ部のポンプねじ部及び溝形
ポンプ部の円筒体を形成する２本のポンプ回転体が平行
軸線関係で互に逆方向に同期回転駆動されるように回転
自在に取付けられ、並設のポンプ回転体の両ポンプねじ
部は、ねじ方向が異なり、互に噛み合わされており、溝
形ポンプ部の円筒体の外周面には同側のポンプねじ部と
同じねじ方向に形成された螺旋溝が互に噛み合わされて
おり、ポンプケーシングの内周面には、噛み合わされた
両ポンプねじ部の外周面及び溝形ポンプ部の円筒体の外
周面が嵌合し、ポンプケーシングにおいて、溝形ポンプ
部の低圧側には吸気口が開口され、スクリューポンプ部
の大気圧側には排気口が開口されている。
るスクリューポンプ部と高真空である低圧側ポンプとな
る溝形ポンプ部とが連続して構成され、ポンプケーシン
グ内には、スクリューポンプ部のポンプねじ部及び溝形
ポンプ部の円筒体を形成する２本のポンプ回転体が平行
軸線関係で互に逆方向に同期回転駆動されるように回転
自在に取付けられ、並設のポンプ回転体の両ポンプねじ
部は、ねじ方向が異なり、互に噛み合わされており、溝
形ポンプ部の円筒体の外周面には同側のポンプねじ部と
同じねじ方向に形成された螺旋溝が互に噛み合わされて
おり、ポンプケーシングの内周面には、噛み合わされた
両ポンプねじ部の外周面及び溝形ポンプ部の円筒体の外
周面が嵌合し、ポンプケーシングにおいて、溝形ポンプ
部の低圧側には吸気口が開口され、スクリューポンプ部
の大気圧側には排気口が開口されている。
【０００８】第４の形式のものは、大気圧側ポンプとな
るスクリューポンプ部と高真空である低圧側ポンプとな
る溝形ポンプ部とが連続して構成され、ポンプケーシン
グ内には、スクリューポンプ部のポンプねじ部を形成す
る２本のポンプ回転体が平行軸線関係で互に逆方向に同
期回転駆動されるように回転自在に取付けられ、ポンプ
回転体の両方又は一方には、溝形ポンプ部の複数枚の羽
根車がポンプねじ部に同軸線関係で形成され、並設のポ
ンプ回転体の両ポンプねじ部は、ねじ方向が異なり、互
に噛み合わされており、ポンプケーシングの内周面には
、スクリューポンプ部においては、噛み合わされた両ポ
ンプねじ部の外周面が嵌合し、溝形ポンプ部においては
、羽根車と齟齬状に複数枚の固定羽根環状板が取付けら
れている。
るスクリューポンプ部と高真空である低圧側ポンプとな
る溝形ポンプ部とが連続して構成され、ポンプケーシン
グ内には、スクリューポンプ部のポンプねじ部を形成す
る２本のポンプ回転体が平行軸線関係で互に逆方向に同
期回転駆動されるように回転自在に取付けられ、ポンプ
回転体の両方又は一方には、溝形ポンプ部の複数枚の羽
根車がポンプねじ部に同軸線関係で形成され、並設のポ
ンプ回転体の両ポンプねじ部は、ねじ方向が異なり、互
に噛み合わされており、ポンプケーシングの内周面には
、スクリューポンプ部においては、噛み合わされた両ポ
ンプねじ部の外周面が嵌合し、溝形ポンプ部においては
、羽根車と齟齬状に複数枚の固定羽根環状板が取付けら
れている。
【０００９】
【作用】上記の各形式のドライ真空ポンプにおいて、ポ
ンプ回転体、即ちポンプねじ部は対向回転される。その
際、第１形式のものにおいては、対向円筒体又は単一円
筒体がポンプねじ部と一体的に回転するので、固定側の
ポンプケーシングの円筒面と円筒体の外周面との相対回
転により、減圧される低圧側の気体が吸気口から吸込ま
れ、円筒体の螺旋溝又は円筒面の螺旋溝を通り圧縮され
て下流のスクリューポンプ部へと流出される。
ンプ回転体、即ちポンプねじ部は対向回転される。その
際、第１形式のものにおいては、対向円筒体又は単一円
筒体がポンプねじ部と一体的に回転するので、固定側の
ポンプケーシングの円筒面と円筒体の外周面との相対回
転により、減圧される低圧側の気体が吸気口から吸込ま
れ、円筒体の螺旋溝又は円筒面の螺旋溝を通り圧縮され
て下流のスクリューポンプ部へと流出される。
【００１０】同じく第２形式のものにおいては、円筒体
が対向回転するので、固定側の筒体の外周面と円筒体の
中空部の内周面との相対回転及びポンプケーシングの円
筒面と円筒体の外周面との相対回転により、減圧される
低圧側の気体が吸込まれ、筒体の中空孔及び２段の螺旋
溝を通り２段に圧縮されて下流のスクリューポンプ部へ
と流出される。
が対向回転するので、固定側の筒体の外周面と円筒体の
中空部の内周面との相対回転及びポンプケーシングの円
筒面と円筒体の外周面との相対回転により、減圧される
低圧側の気体が吸込まれ、筒体の中空孔及び２段の螺旋
溝を通り２段に圧縮されて下流のスクリューポンプ部へ
と流出される。
【００１１】同じく第３形式のものにおいては、円筒体
が対向回転するので、噛み合う螺旋溝の対向回転及び固
定側のポンプケーシングの内周面と円筒体の外周面との
相対回転により、減圧される低圧側の気体が吸気口から
吸込まれ、円筒体の螺旋溝を通り圧縮されて下流のスク
リューポンプ部へと流出される。
が対向回転するので、噛み合う螺旋溝の対向回転及び固
定側のポンプケーシングの内周面と円筒体の外周面との
相対回転により、減圧される低圧側の気体が吸気口から
吸込まれ、円筒体の螺旋溝を通り圧縮されて下流のスク
リューポンプ部へと流出される。
【００１２】又、第４形式のものにおいては、羽根車が
回転するので、固定羽根環状板に対する羽根車の相対回
転により減圧にされる低圧側の気体が吸気口から吸込ま
れ、圧縮されて下流のスクリューポンプ部へと流出され
る。
回転するので、固定羽根環状板に対する羽根車の相対回
転により減圧にされる低圧側の気体が吸気口から吸込ま
れ、圧縮されて下流のスクリューポンプ部へと流出され
る。
【００１３】上記の各形式の溝形ポンプ部で圧縮されて
、下流のスクリューポンプ部へと流出された気体は、ス
クリューポンプ部において、対向回転するポンプねじ部
により更に圧縮されて排気口から大気中に排出される。 その結果、吸気口に連通する真空容器は、内部の気体が
吸引排出されて次第に減圧され真空となる。
、下流のスクリューポンプ部へと流出された気体は、ス
クリューポンプ部において、対向回転するポンプねじ部
により更に圧縮されて排気口から大気中に排出される。 その結果、吸気口に連通する真空容器は、内部の気体が
吸引排出されて次第に減圧され真空となる。
【００１４】スクリューポンプは、減圧中の真空容器内
の圧力が、大気圧から減圧されるに従ってその排気機能
が低下し、高真空位までの範囲でしか機能しないので、
スクリューポンプのみでは、減圧中の真空容器内の圧力
が、大気圧から減圧されるに従ってその排気機能が低下
し、高真空度を得ることができないが、上記のドライ真
空ポンプは、スクリューポンプ部の排気機能に溝形ポン
プ部の排気機能が付加されるので、真空容器内の圧力が
大気圧から高真空に減圧される従ってその排気機能が上
昇して減圧排気機能が維持される。
の圧力が、大気圧から減圧されるに従ってその排気機能
が低下し、高真空位までの範囲でしか機能しないので、
スクリューポンプのみでは、減圧中の真空容器内の圧力
が、大気圧から減圧されるに従ってその排気機能が低下
し、高真空度を得ることができないが、上記のドライ真
空ポンプは、スクリューポンプ部の排気機能に溝形ポン
プ部の排気機能が付加されるので、真空容器内の圧力が
大気圧から高真空に減圧される従ってその排気機能が上
昇して減圧排気機能が維持される。
【００１５】
【実施例】この発明の実施例を図面に従って説明する。
なお以下の説明における上下左右方向は、図面における
方向である。
方向である。
【００１６】図１に示す第１実施例のドライ真空ポンプ
は、大気圧側ポンプとなるスクリューポンプ部Ａと高真
空である低圧側ポンプとなる溝形ポンプ部Ｂとが連続し
て構成されている。高真空である低圧側から大気圧側ま
での有効なポンピング特性を具備させるものである。
は、大気圧側ポンプとなるスクリューポンプ部Ａと高真
空である低圧側ポンプとなる溝形ポンプ部Ｂとが連続し
て構成されている。高真空である低圧側から大気圧側ま
での有効なポンピング特性を具備させるものである。
【００１７】ポンプケーシング１内には、２本のポンプ
回転体が平行軸線関係で回転自在に取付けられ、各ポン
プ回転体は、スクリューポンプ部Ａを構成するポンプね
じ部２と溝形ポンプ部Ｂを形成する円筒体３とが同軸線
関係で一体的に形成、又は結合されている。並設のポン
プ回転体の両ポンプねじ部２，２は、ねじ方向が異なり
、互に噛み合わされている。
回転体が平行軸線関係で回転自在に取付けられ、各ポン
プ回転体は、スクリューポンプ部Ａを構成するポンプね
じ部２と溝形ポンプ部Ｂを形成する円筒体３とが同軸線
関係で一体的に形成、又は結合されている。並設のポン
プ回転体の両ポンプねじ部２，２は、ねじ方向が異なり
、互に噛み合わされている。
【００１８】各ポンプねじ部２から突出した回転軸４は
、ポンプケーシング１の端面から突出し、両回転軸４，
４は、互に逆方向に同期回転駆動されるようになってい
る。例えば、両回転軸４の夫々には互に噛み合う歯車５
，５が固着され、一方の回転軸４が駆動モータ６で回転
駆動されるようになっている。
、ポンプケーシング１の端面から突出し、両回転軸４，
４は、互に逆方向に同期回転駆動されるようになってい
る。例えば、両回転軸４の夫々には互に噛み合う歯車５
，５が固着され、一方の回転軸４が駆動モータ６で回転
駆動されるようになっている。
【００１９】外径がポンプねじ部２のねじ溝径と同径乃
至近似径である円筒体３には、同側のポンプねじ部２と
同じねじ方向の螺旋溝７が形成されている。図示の例で
は、螺旋溝７の断面積が低圧側から高圧側に向って次第
に僅かに縮小されるように螺旋溝７の深さが漸減してお
り、又、螺旋溝７は、ポンプねじ部よりリード角が大き
い（以下の実施例における螺旋溝に関しても同様である
）。
至近似径である円筒体３には、同側のポンプねじ部２と
同じねじ方向の螺旋溝７が形成されている。図示の例で
は、螺旋溝７の断面積が低圧側から高圧側に向って次第
に僅かに縮小されるように螺旋溝７の深さが漸減してお
り、又、螺旋溝７は、ポンプねじ部よりリード角が大き
い（以下の実施例における螺旋溝に関しても同様である
）。
【００２０】ポンプケーシング１の内面は、スクリュー
ポンプ部Ａにおいては、噛み合わされた両ポンプねじ部
２，２の外周面が嵌合する二つの円形断面の孔が半径方
向で一部重なつた形の非円形面８となり、溝形ポンプ部
Ｂにおいては、各円筒体３が嵌合し、非円形面８に直接
連通する平行な円筒面９，９となっている。
ポンプ部Ａにおいては、噛み合わされた両ポンプねじ部
２，２の外周面が嵌合する二つの円形断面の孔が半径方
向で一部重なつた形の非円形面８となり、溝形ポンプ部
Ｂにおいては、各円筒体３が嵌合し、非円形面８に直接
連通する平行な円筒面９，９となっている。
【００２１】ポンプケーシング１において、溝形ポンプ
部Ｂの低圧側端面壁には中心位置に吸気口１０が開口さ
れ、スクリューポンプ部Ａの大気圧側周壁には排気口１
１が開口されている。
部Ｂの低圧側端面壁には中心位置に吸気口１０が開口さ
れ、スクリューポンプ部Ａの大気圧側周壁には排気口１
１が開口されている。
【００２２】図２に示す第２実施例のドライ真空ポンプ
においては、前記の第１実施例における円筒体３が螺旋
溝７がない単なる円筒体となり、各円筒体３が嵌合する
円筒面９には、第１実施例の螺旋溝７と逆のねじ方向の
螺旋溝１２が形成されている。
においては、前記の第１実施例における円筒体３が螺旋
溝７がない単なる円筒体となり、各円筒体３が嵌合する
円筒面９には、第１実施例の螺旋溝７と逆のねじ方向の
螺旋溝１２が形成されている。
【００２３】図３に示す第３実施例のドライ真空ポンプ
においては、前記の第１実施例における円筒体３がコッ
プ状となり、その中空部１３に嵌合する筒体１４がポン
プケーシング１の低圧側端面壁内面から突出形成されて
いる。筒体１４の外周面には、円筒体３の螺旋溝７と同
じねじ方向の螺旋溝１５が形成されている。筒体１４の
中空孔１６は吸気口１０に連通し、筒体１４の先端は中
空部１３の底面に達しないで適宜の間隙形成されると共
に、円筒体３の先端とケーシング１の内面との間にも適
宜の間隙が形成される。
においては、前記の第１実施例における円筒体３がコッ
プ状となり、その中空部１３に嵌合する筒体１４がポン
プケーシング１の低圧側端面壁内面から突出形成されて
いる。筒体１４の外周面には、円筒体３の螺旋溝７と同
じねじ方向の螺旋溝１５が形成されている。筒体１４の
中空孔１６は吸気口１０に連通し、筒体１４の先端は中
空部１３の底面に達しないで適宜の間隙形成されると共
に、円筒体３の先端とケーシング１の内面との間にも適
宜の間隙が形成される。
【００２４】従って、吸気口１０は、筒体１４の中空孔
１６、中空部１３の底部間隙、螺旋溝１５、円筒体３の
先端間隙を介して円筒体３の螺旋溝７に連通している。 上記の螺旋溝１５の替わりに、中空部１３の内周面に外
周面と反対のねじ方向の螺旋溝が形成されていてもよい
。
１６、中空部１３の底部間隙、螺旋溝１５、円筒体３の
先端間隙を介して円筒体３の螺旋溝７に連通している。 上記の螺旋溝１５の替わりに、中空部１３の内周面に外
周面と反対のねじ方向の螺旋溝が形成されていてもよい
。
【００２５】図４に示す第４実施例のドライ真空ポンプ
においては、前記の第１実施例における円筒体３は、外
径がポンプねじ部２の外径と同径乃至近似径であり、両
螺旋円筒体３の外周には、同側のポンプねじ部２と同じ
ねじ方向の螺旋溝１７が形成され、螺旋溝１７，１７同
士が互に噛み合わされている。
においては、前記の第１実施例における円筒体３は、外
径がポンプねじ部２の外径と同径乃至近似径であり、両
螺旋円筒体３の外周には、同側のポンプねじ部２と同じ
ねじ方向の螺旋溝１７が形成され、螺旋溝１７，１７同
士が互に噛み合わされている。
【００２６】そしてポンプケーシング１の内面は、スク
リューポンプ部Ａ及び溝形ポンプ部Ｂにおいて噛み合わ
された両ポンプねじ部２，２及び両円筒体３，３が嵌合
する外周面が嵌合する同一断面で連続貫通した非円形面
８となっている。
リューポンプ部Ａ及び溝形ポンプ部Ｂにおいて噛み合わ
された両ポンプねじ部２，２及び両円筒体３，３が嵌合
する外周面が嵌合する同一断面で連続貫通した非円形面
８となっている。
【００２７】上記の第１実施例乃至第４実施例は、溝形
ポンプ部Ｂが二連のポンプから構成されているので、そ
の能力が高く、特に第３実施例においては、二連のポン
プの夫々が二重となつて構成されているので、能力が更
に一層高まる。又、第４実施例は、ポンプケーシング１
の内面は、二つの円形断面の孔が半径方向で一部重なつ
た形の単一断面形の非円形面８であるから、加工が容易
である。
ポンプ部Ｂが二連のポンプから構成されているので、そ
の能力が高く、特に第３実施例においては、二連のポン
プの夫々が二重となつて構成されているので、能力が更
に一層高まる。又、第４実施例は、ポンプケーシング１
の内面は、二つの円形断面の孔が半径方向で一部重なつ
た形の単一断面形の非円形面８であるから、加工が容易
である。
【００２８】図５に示す第５実施例のドライ真空ポンプ
においては、第１実施例における溝形ポンプ部Ｂの円筒
体３及び円筒面９が単一のものとなっている。そして、
吸気口１０は、円筒体３の軸線位置に開口されている。 ポンプケーシング１の内面は、円筒体３とポンプねじ部
２と結合したポンプ回転体が嵌合する円孔とポンプねじ
部２のポンプ回転体が嵌合する円孔とが半径方向で一部
重なつた形のものであるから、加工が容易である。
においては、第１実施例における溝形ポンプ部Ｂの円筒
体３及び円筒面９が単一のものとなっている。そして、
吸気口１０は、円筒体３の軸線位置に開口されている。 ポンプケーシング１の内面は、円筒体３とポンプねじ部
２と結合したポンプ回転体が嵌合する円孔とポンプねじ
部２のポンプ回転体が嵌合する円孔とが半径方向で一部
重なつた形のものであるから、加工が容易である。
【００２９】図６に示す第６実施例のドライ真空ポンプ
においては、第５実施例における溝形ポンプ部Ｂの円筒
体３をポンプねじ部２より大径になっている。それによ
り、第５実施例のドライ真空ポンプよりも溝形ポンプ部
Ｂの能力が高くなっている。
においては、第５実施例における溝形ポンプ部Ｂの円筒
体３をポンプねじ部２より大径になっている。それによ
り、第５実施例のドライ真空ポンプよりも溝形ポンプ部
Ｂの能力が高くなっている。
【００３０】図７に示す第７実施例のドライ真空ポンプ
においては、上記の第１，２，５，６実施例における溝
形ポンプ部Ｂの螺旋溝が円筒面の外周面又は嵌合孔の内
周面に形成されているのに対し、回転軸線に垂直な羽根
車１８及固定環状板１９に形成されている。即ち軸線方
向の螺旋溝に対し半径方向の螺旋溝が用いられている。 ポンプケーシング１内の２本のポンプ回転体の夫々には
、ポンプねじ部２の上流側に数枚の羽根車１８が軸線方
向に適宜間隔をあけて取付けられ、ポンプケーシング１
の内面の各円筒面９には、羽根車１８と齟齬状に数枚の
固定環状板１９が取付けられている。
においては、上記の第１，２，５，６実施例における溝
形ポンプ部Ｂの螺旋溝が円筒面の外周面又は嵌合孔の内
周面に形成されているのに対し、回転軸線に垂直な羽根
車１８及固定環状板１９に形成されている。即ち軸線方
向の螺旋溝に対し半径方向の螺旋溝が用いられている。 ポンプケーシング１内の２本のポンプ回転体の夫々には
、ポンプねじ部２の上流側に数枚の羽根車１８が軸線方
向に適宜間隔をあけて取付けられ、ポンプケーシング１
の内面の各円筒面９には、羽根車１８と齟齬状に数枚の
固定環状板１９が取付けられている。
【００３１】羽根車１８及び固定環状板１９の同側の一
方の面には、図８及び図９に示すように回転方向に対し
て内向きの羽根２０，２１が形成され、羽根２０，２０
間及び羽根２１，２１間に半径方向の螺旋溝が形成され
るのである。そして羽根車１８及び固定環状板１９の同
側の他方の面は平面のままである。
方の面には、図８及び図９に示すように回転方向に対し
て内向きの羽根２０，２１が形成され、羽根２０，２０
間及び羽根２１，２１間に半径方向の螺旋溝が形成され
るのである。そして羽根車１８及び固定環状板１９の同
側の他方の面は平面のままである。
【００３２】上記の各実施例のドライ真空ポンプにおい
て、一方の回転軸４が駆動モータ６で回転駆動されると
、歯車５，５を介して他方の回転軸４が反対方向に回転
する。すると、ポンプ回転体、即ちポンプねじ部２，２
が対向回転する。
て、一方の回転軸４が駆動モータ６で回転駆動されると
、歯車５，５を介して他方の回転軸４が反対方向に回転
する。すると、ポンプ回転体、即ちポンプねじ部２，２
が対向回転する。
【００３３】その際、第１実施例及び第２実施例におい
ては、円筒体３，３が対向回転して、第５実施例及び第
６実施例においては、単一の円筒体３が回転するので、
固定側のポンプケーシング１の円筒面９と円筒体３の外
周面との相対回転により、減圧される低圧側の気体が吸
気口１０から吸込まれ、円筒体３の螺旋溝７又は円筒面
９の螺旋溝１２を通り圧縮されて下流のスクリューポン
プ部Ａへと流出される。
ては、円筒体３，３が対向回転して、第５実施例及び第
６実施例においては、単一の円筒体３が回転するので、
固定側のポンプケーシング１の円筒面９と円筒体３の外
周面との相対回転により、減圧される低圧側の気体が吸
気口１０から吸込まれ、円筒体３の螺旋溝７又は円筒面
９の螺旋溝１２を通り圧縮されて下流のスクリューポン
プ部Ａへと流出される。
【００３４】第３実施例においては、円筒体３，３が対
向回転するので、固定側の筒体１４の外周面と円筒体３
の中空部１３内周面との相対回転及びポンプケーシング
１の円筒面９と円筒体３の外周面との相対回転により、
減圧される低圧側の気体が吸込まれ、筒体１４の中空孔
１６、中空部１３の底部間隙、螺旋溝１５、円筒体３の
先端間隙、及び円筒体３の螺旋溝を通り２段に圧縮され
て下流のスクリューポンプ部Ａへと流出される。
向回転するので、固定側の筒体１４の外周面と円筒体３
の中空部１３内周面との相対回転及びポンプケーシング
１の円筒面９と円筒体３の外周面との相対回転により、
減圧される低圧側の気体が吸込まれ、筒体１４の中空孔
１６、中空部１３の底部間隙、螺旋溝１５、円筒体３の
先端間隙、及び円筒体３の螺旋溝を通り２段に圧縮され
て下流のスクリューポンプ部Ａへと流出される。
【００３５】第４実施例においては、円筒体３，３が対
向回転するので、噛み合う螺旋溝１７，１７の対向回転
及び固定側のポンプケーシング１の非円形面８と円筒体
３の外周面との相対回転により、減圧される低圧側の気
体が吸気口１０から吸込まれ、円筒体３の螺旋溝１７を
通り圧縮されて下流のスクリューポンプ部Ａへと流出さ
れる。
向回転するので、噛み合う螺旋溝１７，１７の対向回転
及び固定側のポンプケーシング１の非円形面８と円筒体
３の外周面との相対回転により、減圧される低圧側の気
体が吸気口１０から吸込まれ、円筒体３の螺旋溝１７を
通り圧縮されて下流のスクリューポンプ部Ａへと流出さ
れる。
【００３６】又、第７実施例においては、羽根車１８が
回転するので、固定環状板１９の平面に対する羽根２０
の相対回転及び羽根２１に対する羽根車１８の平面の相
対回転により減圧にされる低圧側の気体が吸気口１０か
ら吸込まれ、圧縮されて下流のスクリューポンプ部Ａへ
と流出される。
回転するので、固定環状板１９の平面に対する羽根２０
の相対回転及び羽根２１に対する羽根車１８の平面の相
対回転により減圧にされる低圧側の気体が吸気口１０か
ら吸込まれ、圧縮されて下流のスクリューポンプ部Ａへ
と流出される。
【００３７】上記の各実施例の溝形ポンプ部Ｂで圧縮さ
れて、下流のスクリューポンプ部Ａへと流出された気体
は、スクリューポンプ部Ａにおいて、対向回転するポン
プねじ部２，２により更に圧縮されて排気口１１から大
気中に排出される。その結果、吸気口１０に連通する真
空容器は、内部の気体が吸引排出されて次第に減圧され
真空となる。
れて、下流のスクリューポンプ部Ａへと流出された気体
は、スクリューポンプ部Ａにおいて、対向回転するポン
プねじ部２，２により更に圧縮されて排気口１１から大
気中に排出される。その結果、吸気口１０に連通する真
空容器は、内部の気体が吸引排出されて次第に減圧され
真空となる。
【００３８】スクリューポンプは、図１０に示すように
減圧中の真空容器内の圧力が、大気圧から減圧されるに
従ってその排気機能が低下し、中真空までの範囲でしか
機能しないので、スクリューポンプのみでは、減圧中の
真空容器内の圧力が、大気圧から減圧されるに従ってそ
の排気機能が低下し、高真空度を得ることができないが
、上記のドライ真空ポンプは、スクリューポンプ部Ａの
排気機能に溝形ポンプ部Ｂの排気機能が付加されるので
、真空容器内の圧力が大気圧から高真空に減圧される。 従ってその排気機能が上昇する。
減圧中の真空容器内の圧力が、大気圧から減圧されるに
従ってその排気機能が低下し、中真空までの範囲でしか
機能しないので、スクリューポンプのみでは、減圧中の
真空容器内の圧力が、大気圧から減圧されるに従ってそ
の排気機能が低下し、高真空度を得ることができないが
、上記のドライ真空ポンプは、スクリューポンプ部Ａの
排気機能に溝形ポンプ部Ｂの排気機能が付加されるので
、真空容器内の圧力が大気圧から高真空に減圧される。 従ってその排気機能が上昇する。
【００３９】
【発明の効果】この発明によれば、高真空から大気圧ま
での適用範囲のスクリューポンプに高真空の適用範囲の
補助のポンプを付加し、高真空から大気圧までの広範囲
の作動域のドライ真空ポンプにおいて、ポンプケーシン
グにおいて、回転部が嵌装される中空部が軸線方向に単
に延長され、スクリューポンプに溝形ポンプが直接結合
されて、２段のポンプが一体構成となり、通路や管路が
省略できるので、加工も容易であり、構造が小型化され
ると共に、排気性能（排気速度及び到達真空度）が向上
する。
での適用範囲のスクリューポンプに高真空の適用範囲の
補助のポンプを付加し、高真空から大気圧までの広範囲
の作動域のドライ真空ポンプにおいて、ポンプケーシン
グにおいて、回転部が嵌装される中空部が軸線方向に単
に延長され、スクリューポンプに溝形ポンプが直接結合
されて、２段のポンプが一体構成となり、通路や管路が
省略できるので、加工も容易であり、構造が小型化され
ると共に、排気性能（排気速度及び到達真空度）が向上
する。
【図１】この発明の第１実施例におけるドライ真空ポン
プの断面図である。
プの断面図である。
【図２】この発明の第２実施例におけるドライ真空ポン
プの断面図である。
プの断面図である。
【図３】この発明の第３実施例におけるドライ真空ポン
プの断面図である。
プの断面図である。
【図４】この発明の第４実施例におけるドライ真空ポン
プの断面図である。
プの断面図である。
【図５】この発明の第５実施例におけるドライ真空ポン
プの断面図である。
プの断面図である。
【図６】この発明の第６実施例におけるドライ真空ポン
プの断面図である。
プの断面図である。
【図７】この発明の第７実施例におけるドライ真空ポン
プの断面図である。
プの断面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ −ＶＩＩＩ 線における断面
図である。
図である。
【図９】図７のＩＸ−ＩＸ線における断面図である。
【図１０】この発明のドライ真空ポンプの排気性能を示
すグラフである。
すグラフである。
Ａ スクリューポンプ部
Ｂ 溝形ポンプ部
１ ポンプケーシング
２ ポンプねじ部
３ 円筒体
４ 回転軸
５ 歯車
６ 駆動モータ
７，１２，１５，１７ 螺旋溝
８ 非円形面
９ 円筒面
１０ 吸気口
１１ 排気口
１３ 中空部
１４ 筒体
１６ 中空孔
１８ 羽根車
１９ 固定環状板
２０，２１ 羽根
Claims (4)
- 【請求項１】 大気圧側ポンプとなるスクリューポン
プ部と高真空である低圧側ポンプとなる溝形ポンプ部と
が連続して構成され、ポンプケーシング内には、スクリ
ューポンプ部のポンプねじ部を形成する２本のポンプ回
転体が平行軸線関係で互に逆方向に同期回転駆動される
ように回転自在に取付けられ、ポンプ回転体の少なくと
も一方には、スクリューポンプ部のポンプねじ部に同軸
線関係で一体的に溝形ポンプ部を構成する円筒体が形成
され、並設のポンプ回転体の両ポンプねじ部は、ねじ方
向が異なり、互に噛み合わされており、ポンプケーシン
グの内周面には、スクリューポンプ部においては、噛み
合わされた両ポンプねじ部の外周面が嵌合し、溝形ポン
プ部においては、円筒体の外周面が嵌合しており、円筒
体の外周面に同側のポンプねじ部と同じねじ方向の螺旋
溝が形成されるか、又は円筒体が嵌合するポンプケーシ
ングの内周面に同側のポンプねじ部と反対のねじ方向の
螺旋溝が形成されており、ポンプケーシングにおいて、
溝形ポンプ部の低圧側には吸気口が開口され、スクリュ
ーポンプ部の大気圧側には排気口が開口されているドラ
イ真空ポンプ。 - 【請求項２】 円筒体がコップ状となり、その中空部
に嵌合する筒体がポンプケーシングの低圧側端面壁内面
から突出形成されており、筒体の外周面に円筒体の螺旋
溝と同じねじ方向の螺旋溝が形成されているか又は中空
部の内周面に円筒体の螺旋溝と反対のねじ方向の螺旋溝
が形成されており、筒体の中空孔は吸気口に連通してい
る請求項１に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項３】 大気圧側ポンプとなるスクリューポン
プ部と高真空である低圧側ポンプとなる溝形ポンプ部と
が連続して構成され、ポンプケーシング内には、スクリ
ューポンプ部のポンプねじ部及び溝形ポンプ部の円筒体
を形成する２本のポンプ回転体が平行軸線関係で互に逆
方向に同期回転駆動されるように回転自在に取付けられ
、並設のポンプ回転体の両ポンプねじ部は、ねじ方向が
異なり、互に噛み合わされており、溝形ポンプ部の円筒
体の外周面には同側のポンプねじ部と同じねじ方向に形
成された螺旋溝が互に噛み合わされており、ポンプケー
シングの内周面には、噛み合わされた両ポンプねじ部の
外周面及び溝形ポンプ部の円筒体の外周面が嵌合し、ポ
ンプケーシングにおいて、溝形ポンプ部の低圧側には吸
気口が開口され、スクリューポンプ部の大気圧側には排
気口が開口されているドライ真空ポンプ。 - 【請求項４】 大気圧側ポンプとなるスクリューポン
プ部と高真空である低圧側ポンプとなる溝形ポンプ部と
が連続して構成され、ポンプケーシング内には、スクリ
ューポンプ部のポンプねじ部を形成する２本のポンプ回
転体が平行軸線関係で互に逆方向に同期回転駆動される
ように回転自在に取付けられ、ポンプ回転体の両方又は
一方には、溝形ポンプ部の複数枚の羽根車がポンプねじ
部に同軸線関係で形成され、並設のポンプ回転体の両ポ
ンプねじ部は、ねじ方向が異なり、互に噛み合わされて
おり、ポンプケーシングの内周面には、スクリューポン
プ部においては、噛み合わされた両ポンプねじ部の外周
面が嵌合し、溝形ポンプ部においては、羽根車と齟齬状
に複数枚の固定羽根環状板が取付けられているドライ真
空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17044291A JPH04370379A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17044291A JPH04370379A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04370379A true JPH04370379A (ja) | 1992-12-22 |
Family
ID=15905002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17044291A Pending JPH04370379A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04370379A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002073037A1 (de) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Leybold Vakuum Gmbh | Schraubenvakuumpumpe mit zusätzlichen strömungskörpern |
| US7074026B2 (en) * | 2000-10-18 | 2006-07-11 | Leybold Vakuum Gmbh | Multi-stage helical screw rotor |
| CN105485015A (zh) * | 2016-01-11 | 2016-04-13 | 巫修海 | 干式螺杆真空泵螺杆转子端面型线 |
-
1991
- 1991-06-17 JP JP17044291A patent/JPH04370379A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7074026B2 (en) * | 2000-10-18 | 2006-07-11 | Leybold Vakuum Gmbh | Multi-stage helical screw rotor |
| WO2002073037A1 (de) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Leybold Vakuum Gmbh | Schraubenvakuumpumpe mit zusätzlichen strömungskörpern |
| CN105485015A (zh) * | 2016-01-11 | 2016-04-13 | 巫修海 | 干式螺杆真空泵螺杆转子端面型线 |
| CN106762661A (zh) * | 2016-01-11 | 2017-05-31 | 台州职业技术学院 | 一种干式螺杆真空泵螺杆转子端面型线 |
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