JPS60119402A - Tactile sense device - Google Patents

Tactile sense device

Info

Publication number
JPS60119402A
JPS60119402A JP22630283A JP22630283A JPS60119402A JP S60119402 A JPS60119402 A JP S60119402A JP 22630283 A JP22630283 A JP 22630283A JP 22630283 A JP22630283 A JP 22630283A JP S60119402 A JPS60119402 A JP S60119402A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
force
displacement
article
contactor
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP22630283A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0312681B2 (en
Inventor
Kazuo Asakawa
浅川 和雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP22630283A priority Critical patent/JPS60119402A/en
Priority to CA000468681A priority patent/CA1276710C/en
Priority to NO844732A priority patent/NO167366C/en
Priority to DE8484308298T priority patent/DE3481285D1/en
Priority to EP84308298A priority patent/EP0147082B1/en
Publication of JPS60119402A publication Critical patent/JPS60119402A/en
Priority to US07/175,616 priority patent/US4872803A/en
Priority to US07/344,389 priority patent/US5012591A/en
Publication of JPH0312681B2 publication Critical patent/JPH0312681B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To execute automatically a measurement by rejecting a reaction force caused by a displacement of an elastic body for giving a force to an article, and obtaining information for showing a state of the article basing on a displacement quantity of the elastic body. CONSTITUTION:When a parallel spring 3 is displaced and bent, its displacement quantity is detected by an output of a strain gauge 9. A moving part 5 of a moving mechanism can execute a movement of a large stroke by a rotation of a DC motor 14. The outside of a nut part 11 of the moving part 5 can slide against a guide 16 fixed to a housing, through a linear bearing 12. Its rotational angle is proportional to a moving extent of the moving part 5 of the moving mechanism by a feed screw 10.

Description

【発明の詳細な説明】 (N 発明の技術分野 本発明は触覚装置、特に測定対象物に接触子(コンタク
トプローブ)を接触させて、3次元寸法等を測定するも
のであって、剛性の低い軟い物体についても測定可能と
した触覚装置に関するものである。
Detailed Description of the Invention] (N Technical Field of the Invention The present invention relates to a tactile device, particularly a tactile device that measures three-dimensional dimensions, etc. by bringing a contact probe (contact probe) into contact with an object to be measured. This invention relates to a tactile device that can measure even soft objects.

(Bl 従来技術と問題点 FA(ファクトリ−轡オートメーション)の進展に伴い
、3次元寸法の自動測定化も進んでいる。
(Bl) Conventional technology and problems With the progress of FA (factory automation), automatic measurement of three-dimensional dimensions is also progressing.

剛性の高い部品の自動測定は、現在の技術でもカバーで
きるが、軟い部品、例えば磁気ディスクヘッドのジンバ
ルのような微細バネ部品、肉厚の薄いプラスチック、ス
ポンジ製品等の自動測定は、微小力制御が可能な接触子
がないため大幅に遅れている。すなわち、従来の3次元
寸法側足を行う一般の形状測定機に用いられる接触子は
、安定な測定を行うため、バネ支持されていて、そのバ
ネ定数は、例えは801/關以上と比較的硬(設定され
ている。従って、剛性の低い小物部品の寸法測定には適
さないという問題があった。
Automatic measurement of highly rigid parts can be covered with current technology, but automatic measurement of soft parts, such as minute spring parts such as gimbals of magnetic disk heads, thin plastics, sponge products, etc., requires minute force. There are significant delays due to the lack of controllable contacts. In other words, the contacts used in conventional shape measuring machines that measure three-dimensional dimensions are supported by springs in order to perform stable measurements, and the spring constant is relatively low, for example, 801/square or more. Therefore, there was a problem that it was not suitable for measuring the dimensions of small parts with low rigidity.

(Q 発明の目的と構成 本発明は上記問題点の解決を図p、例えば大ストローク
は送りネジの回転により、また小ストロークの補正はボ
イスコイルモータで行うことにょつ℃、所定の指示圧力
で徂1」定対象物に接触子を接触できるようにし友触覚
装置を提供することを目的としている。そのため、本発
明の触覚装置は、力付与指令を受け、物品に対し指令さ
れた力を接触子を介して付与する力付与機構を備え、前
記接触子を前記物品に接触させ、前記接触子と前記物品
との相対的々位置変化による前記接触子の変位に基づい
て前記物品の態様を示す情報を得る触覚装置であって、 前記力付与機構は力を発生する駆動部と、前記接触子が
支持されてなり、前記駆動部よりの力を受けて変位する
ことにより物品に対し前記接触子を介して力を付与する
力付与手段と、前記力付与手段の変位を検出する変位検
出手段と、前記力付与手段の変位に対応した量と前記力
付与指令とを受け、それらの信号に基づいて前記接触子
が物品に対し力付与指令に対応した力を付与するように
前記駆動部を制御する駆動制御手段とを含んで構成され
てガると共に、前記変位検出手段の出力に基づいて前記
物品の態様を示す情報を得る手段とを具備17てなるこ
とを特徴としている。
(Q. Purpose and Structure of the Invention The present invention aims to solve the above problems. For example, large strokes are corrected by rotating a feed screw, and small strokes are corrected by a voice coil motor. It is an object of the present invention to provide a companion tactile device that enables a contactor to touch a fixed object.Therefore, the tactile device of the present invention receives a force application command and applies the commanded force to an object. The method includes a force applying mechanism that applies force through a child, brings the contact child into contact with the article, and indicates the aspect of the article based on the displacement of the contact child due to a relative positional change between the contact child and the product. The force applying mechanism is a tactile device for obtaining information, and the force applying mechanism includes a drive unit that generates a force and the contactor is supported, and the contactor is displaced against the article by receiving force from the drive unit. a force applying means for applying a force via the force applying means; a displacement detecting means for detecting the displacement of the force applying means; and a force applying means receiving an amount corresponding to the displacement of the force applying means and the force applying command, and based on the signals thereof. and drive control means for controlling the drive unit so that the contactor applies a force corresponding to the force application command to the article, and the contactor includes a drive control means for controlling the drive unit so that the contactor applies a force corresponding to the force application command to the article, The present invention is characterized by comprising means 17 for obtaining information indicating the aspect of the article.

もう1つの本発明は、力付与指令を受け、物品に対し指
令された力を接触子を介して付与する力付与機構と、前
記力付与機構を移動可能に支持する移動機構とを備え、
前記接触子を前記物品に接触させ、前記接触子と前記物
品との相対的な位置変化による前記接触子の変位量と前
記移動機構の変位量に基づいて前記物品の態様を示す情
報を得る触覚装置であって、 前記力付与機構は力を発生する駆動部と、前記接触子が
支持されてなり、前記駆動部よシの力を受けて変位する
ことにより物品に対し、前記接触子を介して力を付与す
る力付与手段と、前記力付与手段の変位を検出する変位
検出手段と、前記力付与手段の変位に対応した量と前記
力付与指令とを受け、それらの信号に基づい1前記接触
子が物品に対し力付与指令に対応した力を付与するよう
に前記駆動部を制御する駆動制御手段とを含んで構成さ
れてなると共に、前記変位検出手段が検出した前記力付
与手段の変位量と前記移動機構の変位量に基づいて前記
物品の態様を示す情報を得る手段とを具備し℃なること
を特徴としている。
Another aspect of the present invention includes a force applying mechanism that receives a force applying command and applies the commanded force to an article via a contact, and a moving mechanism that movably supports the force applying mechanism,
A tactile sensation that brings the contactor into contact with the article and obtains information indicating the aspect of the article based on the amount of displacement of the contactor due to a relative positional change between the contactor and the article and the amount of displacement of the moving mechanism. In the device, the force applying mechanism includes a drive section that generates a force and the contactor supported, and is displaced by the force of the drive section to apply force to the article through the contactor. a force applying means for applying a force; a displacement detecting means for detecting displacement of the force applying means; and a drive control means for controlling the drive unit so that the contactor applies a force corresponding to the force application command to the article, and a displacement of the force application means detected by the displacement detection means. and means for obtaining information indicating the aspect of the article based on the displacement amount and the displacement amount of the moving mechanism.

以下図面を参照しつつ実施例に従つ℃説明する。The temperature according to the embodiment will be explained below with reference to the drawings.

(DI 発明の実施例 第1図は本発明の一実施例外観図、第2図は第1図図示
実施例の断面図、第3図はボイスコイルモータ部分の断
面図、第4図は本発明に関連した制御ブロック図、第5
図はストレインゲージによる変位信号出力回路の例を示
す。
(DI Example of the Invention Fig. 1 is an external view of one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a cross-sectional view of the embodiment shown in Fig. 1, Fig. 3 is a cross-sectional view of the voice coil motor portion, and Fig. 4 is a main view of the embodiment shown in Fig. 1. Control block diagram related to the invention, fifth
The figure shows an example of a displacement signal output circuit using a strain gauge.

図中、lは接触子、2はボイスコイルモータ。In the figure, l is a contact and 2 is a voice coil motor.

3は平行バネ、4はストッパ、5は移動機構の可動部、
6はハウジング、7はロボット・アーム、9はストレイ
ンゲージ、10は送pネジ、11はナツト部、12はリ
ニアベアリング、13はベアリング、14は直流モータ
、15は角度エンコーダ、16はナツトの回転止め兼ガ
イド、20は継鉄、21は磁石、22はボイスコイル、
23はストッパ、24は測定対象物を表わす。
3 is a parallel spring, 4 is a stopper, 5 is a movable part of the moving mechanism,
6 is a housing, 7 is a robot arm, 9 is a strain gauge, 10 is a feed screw, 11 is a nut part, 12 is a linear bearing, 13 is a bearing, 14 is a DC motor, 15 is an angle encoder, 16 is rotation of the nut Stop and guide, 20 is a yoke, 21 is a magnet, 22 is a voice coil,
23 represents a stopper, and 24 represents an object to be measured.

接触子(コンタクトプローブ)lは、ボイスコイルモー
タ2の可動部に取υ付けられ、測定対象物に所定の圧力
で接するよう上下運動するようになっている。ボイスコ
イルモータ2の可動部は、2枚の板状バネ体による平行
ノ(ネ3によp弾性支持され、ボイスコイルモータ2の
発生力および接触子lが測定対象物から受ける反力によ
って、該平行バネ3が変位するようになつ又いる。一方
、ボイスコイルモータ2の固定子は、移動機構の可動部
5に装着され、また、平行)くネ3の支持基部も可動s
5に装着される。ハウジング6は、例えば形状測定をロ
ボットで行う場合、ロボツ)−アーム7に装着される。
A contact probe 1 is attached to the movable part of the voice coil motor 2, and is configured to move up and down so as to contact the object to be measured with a predetermined pressure. The movable part of the voice coil motor 2 is elastically supported by two parallel springs 3, and the movable part of the voice coil motor 2 is elastically supported by two plate-shaped spring bodies. The parallel spring 3 is movable.Meanwhile, the stator of the voice coil motor 2 is attached to the movable part 5 of the moving mechanism, and the support base of the parallel spring 3 is also movable.
5 is installed. The housing 6 is attached to a robot arm 7, for example, when shape measurement is performed using a robot.

第2図および第3図に示すように、平行バネ3には、ス
トレインゲージ9が貼付され、平行バネ3が変位して、
たわみが生じると、その変位量がストレインゲージ9の
出力によシ、検知できるようになっている。移動機構の
可動部5は、直流モータ14の回転軸に連結された送り
ネジ10に、ナツト部11において係合され、直流モー
タ14の回転により、大ストロークの移動が可能になっ
ている。可動部5のナツト部】lの外側は、リニアベア
リング12を介して、ハウジング6に固定されたガイド
16に対し、摺動可能になっている。
As shown in FIGS. 2 and 3, a strain gauge 9 is attached to the parallel spring 3, and when the parallel spring 3 is displaced,
When deflection occurs, the amount of displacement can be detected by the output of the strain gauge 9. The movable part 5 of the moving mechanism is engaged at the nut part 11 with a feed screw 10 connected to the rotating shaft of a DC motor 14, and can be moved over a large stroke by rotation of the DC motor 14. The outer side of the nut part [l] of the movable part 5 is slidable on a guide 16 fixed to the housing 6 via a linear bearing 12.

ガイド16は、ナツトの回転止めの役割も果す。The guide 16 also serves to prevent the nut from rotating.

直流モータ14の軸には、角度エンコーダ15が取p付
けられ、・直流モータ14の回転角を検知可能になって
いる。この回転角は送りネジlOによる移動機構可動部
5の移動量に比例する。
An angle encoder 15 is attached to the shaft of the DC motor 14, so that the rotation angle of the DC motor 14 can be detected. This rotation angle is proportional to the amount of movement of the moving mechanism movable part 5 by the feed screw lO.

ボイスコイルモータ2は、例えば第3図に示す如く、継
鉄20と、それに取p付けられた永久磁石21とからな
る磁気回路部、および可動部であるボイスコイル22か
ら構成され、ボイスコイル22に通電した電流に対応し
た磁気力が発生するようになっている。ボイスコイルモ
ータ2による変位機構は無摩擦になつ℃お9、送シネジ
lO等による移動機構は、有摩擦となっている。
As shown in FIG. 3, for example, the voice coil motor 2 is composed of a magnetic circuit section consisting of a yoke 20 and a permanent magnet 21 attached thereto, and a voice coil 22 which is a movable section. A magnetic force is generated corresponding to the current applied to the The displacement mechanism by the voice coil motor 2 is frictionless, and the movement mechanism by the feed screw lO is frictionless.

上記ボイスコイルモータ2および直MLモータ14の制
御系のブロック図は、第4図図示の如(になっている。
A block diagram of the control system of the voice coil motor 2 and the direct ML motor 14 is as shown in FIG.

なお粘性制動係数は無視している。第4図中、SWxお
よびSW2はモード切替えを行うアナログスイッチを表
わす。
Note that the viscous damping coefficient is ignored. In FIG. 4, SWx and SW2 represent analog switches for mode switching.

また、第4図および以下の説明で用いられているパラメ
ータの内容は、以下の通りである。
Further, the contents of the parameters used in FIG. 4 and the following explanation are as follows.

U(a) :ボイスコイルモータへの入力S ニラプラ
ス演算子 Om、Oc:論理演算素子の開ループゲインDm、Dc
:粘性制動係数 B :ボイスコイルモータの空隙磁束密度! =ボイス
コイルモータの巻線の長さLc: ボイスコイルモータ
のインダクタンスRC: ボイスコイルモータの端子間
抵抗1[c Hボイスコイルモータのt流帰還定数VC
=ボイスコイルモータの速度帰還定数PC=ボイスコイ
ルモータの位置帰還定数1V1c :ボイスコイルモー
タの可動部質量k :平行バネのバネ定数 Xc:平行バネの変位 Km:直流モータの誘起電圧定数 Lm:直流モータのインダクタンス RJn :直流モータの端子間抵抗 1m=直流モータの電流帰還定数 ■m:直流モータの速度帰還定数 Pm:直流モータの位置帰還定数 Mm:直流モータの負荷質量からボイスコイルモータの
可動部質量を引いたもの Xm :送pネジによる移動変位 Fr(s) :直流モータ駆動系の摩擦力F(sl :
押圧力 第4図かられかるようVC1本実旅例においては、ボイ
スコイルモータと@αCモータとが、1台のハイブリッ
ドモータとして制御される。そして、接触子1の移動指
令は、ボイスコイルモータ2の制御部のみに与え、移動
機構の* hh B’ltである直流モータ14に対し
ては、ボイスコイルモータ2の変位量の現在値及び速度
を与えるようにされる。本制御のポイントは、 ■ ボイスコイルモータ2には、平行バネ3のバネ力を
打消すように、変位センサーとして用いられるストレイ
ンゲージ9からの信号を正帰還すること、 ■ 接触力指令値は、ボイスコイルモータの発生力sl
五から算出すること・ ■ 直流モータ14には、ストレインゲージ9からの変
位信号及び速度信号を負の入力信号とすること。
U(a): Input S to voice coil motor Nira plus operator Om, Oc: Open loop gain Dm, Dc of logical operation element
: Viscous damping coefficient B : Air gap magnetic flux density of voice coil motor! = Length of winding of voice coil motor Lc: Inductance RC of voice coil motor: Resistance between terminals of voice coil motor 1 [c H t-current feedback constant VC of voice coil motor
= Speed feedback constant of voice coil motor PC = Position feedback constant of voice coil motor 1V1c : Mass of moving part of voice coil motor k : Spring constant of parallel spring Xc : Displacement of parallel spring Km : Induced voltage constant of DC motor Lm : DC Motor inductance RJn: Resistance between terminals of DC motor 1m = Current feedback constant of DC motor ■m: Speed feedback constant of DC motor Pm: Position feedback constant of DC motor Mm: Moving part of voice coil motor from load mass of DC motor Subtracting mass
As can be seen from the pressing force in FIG. 4, in the example of a single VC trip, the voice coil motor and @αC motor are controlled as one hybrid motor. The movement command for the contactor 1 is given only to the control section of the voice coil motor 2, and the current value of the displacement amount of the voice coil motor 2 and the Made to give speed. The key points of this control are: ■ Positive feedback of the signal from the strain gauge 9 used as a displacement sensor to the voice coil motor 2 so as to cancel the spring force of the parallel spring 3; ■ The contact force command value is: Voice coil motor generated force sl
Calculate from 5. ■ The displacement signal and speed signal from the strain gauge 9 should be input to the DC motor 14 as negative signals.

等にある。上記■については、ボイスコイルモータ2の
空隙磁束密度Bが、回転モータの場合と異なシ、動作範
囲で一定であや、発生力の電流に対する直線性が高いた
め、計算値と実測値とは、良好に一致する。
etc. Regarding (■) above, the air gap magnetic flux density B of the voice coil motor 2 is different from that of a rotary motor; it is constant over the operating range, and the generated force has high linearity with respect to the current, so the calculated value and the measured value are Good match.

例えば、接触子lが測定対象物24かも離れた状態で、
ダラムオーダーの接触力を、ボイスコイルモータ2に指
示したとする。このときの入力Qs)によシ、ボイスコ
イルモータ2の可動部は、測定対象物24側へ、一定力
で変位する。そして、直流モータ14は平行バネ9の変
位がゼロとなるように回転する。このとき、直流モータ
14がいくら回転しても、平行バネSの変位Xc をゼ
ロにすることは、第4図から明らかなようにできない。
For example, when the contact l is separated from the measurement target 24,
Assume that a contact force on the Durham order is instructed to the voice coil motor 2. Due to the input Qs) at this time, the movable part of the voice coil motor 2 is displaced toward the measurement object 24 with a constant force. Then, the DC motor 14 rotates so that the displacement of the parallel spring 9 becomes zero. At this time, no matter how much the DC motor 14 rotates, the displacement Xc of the parallel spring S cannot be made zero, as is clear from FIG.

(ただし、直流モータ14の発生する加速度が非常に大
ぎい場合は除く。)従って、移動機構の可動部5は、送
りネジlOによって(シ出され、接触子lは測定対象物
に向って移動して行ぎ、ついには測定対象物につぎ当る
。すると、当該支持機構の運動系が、測定対象物に接触
する前には、Mc’xc+(Mm+Mc)’im=−D
mim+KmIm−Fr ・=(11Mc(’iB十父
c) =−kx(−DcMc−1−BIIc ・ (2
1LmIm == RmIm+Em Kmxm−(3)
L c I c =−Rc I c−)−Ec−BバC
・・・(4)であったのが、測定対象物に接触子lが接
触した時点から、 Mm’xc=−kx(+BIIc−4−KmIm−Fr
−(Dm十Dc)%C・・・(5) Lm ?m=−Rm Im−4−lm−4−E C−(
6)LcIc=−RcIc+Ec−B7灸C・・・(7
)となる。接触時点を初期値(時間t−0)として、こ
のときの制御系の伝達関数をめると、以下のように表わ
すことができる。ここで、演算増幅器の開ループゲイン
は、 Om = Oc w o。
(However, this does not apply when the acceleration generated by the DC motor 14 is extremely large.) Therefore, the movable part 5 of the moving mechanism is pushed out by the feed screw lO, and the contact l is moved toward the object to be measured. Then, before the movement system of the support mechanism comes into contact with the measurement object, Mc'xc+(Mm+Mc)'im=-D
mim+KmIm-Fr ・=(11Mc('iBjuchic)=-kx(-DcMc-1-BIIc ・(2
1LmIm == RmIm+Em Kmxm-(3)
L c I c =-Rc I c-)-Ec-B
... (4) was, from the time when the contact l came into contact with the object to be measured, Mm'xc=-kx(+BIIc-4-KmIm-Fr
-(Dm×Dc)%C...(5) Lm? m=-Rm Im-4-lm-4-E C-(
6) LcIc=-RcIc+Ec-B7 Moxibustion C...(7
). If the contact point is taken as an initial value (time t-0) and the transfer function of the control system at this time is calculated, it can be expressed as follows. Here, the open loop gain of the operational amplifier is Om = Oc w o.

と仮定している。It is assumed that

−1−Fr(a) ・・・(8) この第(8)式から明らかなこととして、以下のこと等
が挙げられる。
-1-Fr(a)...(8) The following is clear from this equation (8).

■ 本制御システムは可観測・可制御である。■ This control system is observable and controllable.

Km Kc (但し、−Pm−−P c 十k ) 0の範囲で。)
:[m Ic ■ ステップ入力に対し定常位置誤差が生ずる。
Km Kc (however, -Pm--Pc 10k) in the range of 0. )
:[m Ic ■ A steady position error occurs for step input.

■ 摩擦の存在により定常位置誤差が生ずる。■ Steady position error occurs due to the presence of friction.

■ 2台のアクチュエイタが1台のハイブリッドモータ
として制御できる。
■ Two actuators can be controlled as one hybrid motor.

ところで、ボイスコイルモータを用いずに、1台の直流
モータのみによって位置制御をしようとすると、通常、
送りネジのような移動機構は摩擦が太きいため、制御系
に不感帯が存在し、ダラムオーダーの力制御は困難とな
る。すなわち、移動機構の摩擦力以下の力制御をするの
は、不可能に近い。上記第(8)式の特性は、1台の直
流モータの場合と同様な特性を表わすもので1位置制御
とし又は、伺の改善にもなっていない。しかし、ボイス
コイルモータ2の発生している押圧力F(s)の入力に
対する関係は、 となるため、位置帰還定数Pcを c と設定し、系の安定のために帰還している速度の帰還定
数Vcをゼロとすれは、F(s)は変位に関係た(、且
つ、時間遅れ及び定常誤差もなく制御できる。即ち、接
触と同時に正確な押圧力制御が、直流モータの定常位置
誤差に関係なく、可能となる。又、Vcをゼロとしても
、ボイスコイルモータの持つ粘性制動(非常に小さい値
)により、系のダンピングはゼロとならず系は安定であ
る。
By the way, if you try to control the position using only one DC motor without using a voice coil motor, normally,
Since a moving mechanism such as a feed screw has large friction, a dead zone exists in the control system, making it difficult to control force on the Durham order. In other words, it is nearly impossible to control the force below the frictional force of the moving mechanism. The characteristic of the above-mentioned formula (8) represents the same characteristic as in the case of one DC motor, and there is no improvement in one-position control or movement. However, the relationship between the pressing force F(s) generated by the voice coil motor 2 and the input is as follows. Therefore, the position feedback constant Pc is set as c, and the velocity feedback is returned to stabilize the system. If the constant Vc is set to zero, F(s) is related to displacement (and can be controlled without time delay or steady-state error. In other words, accurate pressing force control at the same time as contact is possible to reduce the steady-state position error of the DC motor. In addition, even if Vc is set to zero, the damping of the system will not become zero due to the viscous damping (very small value) of the voice coil motor, and the system will remain stable.

上記第00式を成立させるためには、バネ定数kを検出
するセンサーの変位に関する線形性が問題となるが、例
えは、本実施例のような平行バネ3は、一方向のみに剛
性を弱(することかできる構造々ので、ストレインゲー
ジ9でもねじり等の影響を受けずに、精度よくkを検出
することができる。
In order to establish the above equation 00, linearity regarding the displacement of the sensor that detects the spring constant k is a problem. (Since the strain gauge 9 has a structure that allows the strain gage to be bent, it is possible to detect k with high accuracy without being affected by twisting or the like.

以上のように触覚装置により、摩擦等の外乱に関係なく
、しかも正確に微小な押圧刃金制御することが可能とな
る。また、若干の誤差はあるが、常に平行バネの変位量
がほとんどゼロとなる姿勢で、測定対象物に接触子が接
触するため、送シネジと可動部のナツト部等のこ【これ
が発生せず移動機構等の寿命が長い。
As described above, the haptic device makes it possible to precisely control the pressing blade regardless of disturbances such as friction. In addition, although there is some error, the contact element always contacts the object to be measured in a posture where the amount of displacement of the parallel spring is almost zero. The life of the moving mechanism etc. is long.

さらに、本力制御系の応答時間は、上記第(8)式およ
び第(11式から判るように、hで決まる。一般にhを
大きくすると制御系は不安定となり、発振状態となる。
Furthermore, the response time of the main force control system is determined by h, as can be seen from the above equations (8) and (11). Generally, as h becomes larger, the control system becomes unstable and enters an oscillating state.

このとき摩擦力は、この発振を制動するように働く。本
力制御系では、摩擦による位置誤差は力制御に対し無関
係であるため、系の摩擦力を大きくすることにより、系
の連応性を向上させることができる。従って、移動機構
に送りネジ等を用いると、比較的摩擦が太きいため、系
の連応性向上に有用である。
At this time, the frictional force acts to dampen this oscillation. In this force control system, position errors due to friction are irrelevant to force control, so by increasing the frictional force of the system, the coordination of the system can be improved. Therefore, if a feed screw or the like is used as a moving mechanism, the friction is relatively large, which is useful for improving the coordination of the system.

測定対象物の寸法は、第2図図示角度エンコーダ15に
より検出した送りネジIOの回転角と、ストレインゲー
ジ9で検知した平行バネ3の変位からめることがで縁る
The dimensions of the object to be measured are determined by the rotation angle of the feed screw IO detected by the angle encoder 15 shown in FIG. 2 and the displacement of the parallel spring 3 detected by the strain gauge 9.

次に、本実施例による触覚装置を用いた計測方法の例に
ついて説明する。
Next, an example of a measurement method using the haptic device according to this embodiment will be described.

■ 接触圧の設定 ボイスコイルモータ2の可動部分の質量にょる平行バネ
3への力は、その姿勢によシ変化するため、姿勢を変え
る毎に自重補正をする必要がある。この自重補正は次の
要領で行なう。
■ Setting of contact pressure Since the force on the parallel spring 3 due to the mass of the movable part of the voice coil motor 2 changes depending on its posture, it is necessary to correct its own weight each time the posture changes. This self-weight correction is performed in the following manner.

先ず、接触子1を所定の姿勢にセットする。First, the contactor 1 is set in a predetermined posture.

次に、第4図図示制御ブロック図において、アナpグス
イッチSWI 、SW2を切換えて、直流モータ14お
よびボイスコイルモータ2)\の入力信号をゼロとして
、且つ、ボイスコイルモータ2へは位置変位量を負帰還
する。この操作によシ、平行バネ3は中立点の位置に保
持される。これは、例えはストレインゲージ9の信号を
、第5図に示すように、ホイートストンブリッジにより
処理することによって実現できる。
Next, in the control block diagram shown in FIG. 4, the analog switches SWI and SW2 are switched to set the input signals of the DC motor 14 and the voice coil motor 2) to zero, and the position displacement amount to the voice coil motor 2 is set to zero. Leave a negative feedback. By this operation, the parallel spring 3 is held at the neutral point. This can be realized, for example, by processing the signal from the strain gauge 9 using a Wheatstone bridge as shown in FIG.

なお、第5図において、Vccは電源電圧、30はオペ
レーショナルアンプ、31は検出抵抗ヲ表わしている。
In FIG. 5, Vcc represents a power supply voltage, 30 represents an operational amplifier, and 31 represents a detection resistor.

位置変位量の負帰還によって、ボイスコイルモータ2に
流れる電流か、自重と釣り合った力を発生することにな
る。この電流値を図示省略したアナログ/デジタル変換
器によりデジタル量に変換し、例えば外部のプロセツサ
の制御のもとにメモリ上に記憶し、この値を接触圧指示
値に加えれば、所定の接触圧が出力できる。
Negative feedback of the amount of positional displacement generates a current flowing through the voice coil motor 2 or a force balanced with its own weight. If this current value is converted into a digital quantity by an analog/digital converter (not shown), stored in a memory under the control of an external processor, and this value is added to the contact pressure indication value, the predetermined contact pressure can be determined. can be output.

■ 初期値の設定 先ず、第4図に於ける制御ブロック図を、アナログスイ
ッチSWI 、SW2により、計測モード、即ちボイス
コイルモータ2へは変位量ヲ正帰還、直流モータ14へ
はボイスコイルモータ2の変位量を入力として与える接
続とする。
■ Setting of initial values First, the control block diagram in FIG. The connection is such that the displacement of is given as input.

そして、負の接触圧をボイスコイルモータ2へ与え、ス
トッパ4をハウジング6に一定圧力で押し付ける。この
時、角度エンコーダ15のパルスカウンタをリセットす
るとともに、ボイスコイルモータ2の変位量をメモリ上
に記憶し、これを初期値とする。
Then, negative contact pressure is applied to the voice coil motor 2 to press the stopper 4 against the housing 6 with a constant pressure. At this time, the pulse counter of the angle encoder 15 is reset, and the amount of displacement of the voice coil motor 2 is stored in the memory, and this is set as an initial value.

■計 測 上記処理■、■が終了していれば、姿勢の変更がない限
り、計測モードで、計測ができる。
■Measurement If the above processes ■ and ■ have been completed, measurements can be performed in measurement mode as long as there is no change in posture.

被計測物の寸法は、ネジの移動量と平行バネの変位量の
相あるいは差から容易にまる。
The dimensions of the object to be measured can be easily determined from the phase or difference between the amount of movement of the screw and the amount of displacement of the parallel spring.

 19− の認識を行なうことができる。19- can be recognized.

■ 発明の詳細 な説明した如く本発明によれば、例えばグラムオーダー
の微小な接触圧を保持するよう接触子を支持することが
可能となる。特に、次のようなメリットもある。
(2) Detailed Description of the Invention According to the present invention, as described in detail, it is possible to support a contact so as to maintain a minute contact pressure on the order of grams, for example. In particular, there are the following advantages:

■ 接触子の取り付は位置の設定がラフでよいため、計
測のイニシャルセット及び計測の自動化が容易である。
■ Since the position of the contactor can be roughly set, it is easy to initialize the measurement and automate the measurement.

■ 測定対象物が比較約款いものであっても、損傷する
ことな(測定できる。
■ Even if the object to be measured does not comply with the comparative terms and conditions, it will not be damaged (it can be measured).

■ 自動測定のプログラミングおよび教示等の実現が容
易である。
■ It is easy to program and teach automatic measurements.

■ 例えば、ロボット−アームに搭載し、接触子の信号
をフィードバックして、自動寸法計測を可能とすること
かできる。
(2) For example, it can be mounted on a robot arm and feed back the contact signal to enable automatic dimension measurement.

また、触覚装置の取付位置は通常ロボット・アームの先
端であるので、ロボット・アーム先端の座標位置と、角
度エンコーダの出力値を加算するのみで、対象とする物
品(剛性の低いものであっても)のロボット座標系にお
ける位置 20−
In addition, since the mounting position of the haptic device is usually at the tip of the robot arm, it is only necessary to add the coordinate position of the tip of the robot arm and the output value of the angle encoder. ) position in the robot coordinate system 20-

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

331図は本発明の一実施例外観図、第2図は第1図図
示実施例の断面図、第3図はボイスコイルモータ部分の
断面図、第4図は本発明に関連した制御ブロック図、第
5図はストレインゲージによる変位信号出力回路の例を
示す。 図中、lは接触子、2はボイスコイルモータ、3は平行
バネ、4はストッパ、5は移動機構の可動部%6はハウ
ジング、7はロボッ)−アーム、9はストレインゲージ
、10は送pネジ、11はナツト部、12はリニアベア
リング、13はベアリング、14は直流モータ、15は
角度エンコーダ、16はナツトの回転止め兼ガイド、2
0は継鉄、21は磁石、22はボイスコイル、23はス
トッパ、24は測定対象物を表わす。 t!#許出願出願人士通株式会社 平糸h(甫正書(審査請求時) 昭和59年12月28日 1、事件の表示 昭和58年特許願第226302号 2、発明の名称 触 覚 装 置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県用崎市中原区上小田中1015番地氏名
 (522)冨士通株式会社 代表者 山本卓眞 4、代理人 住所 東京都荒川区西日暮里4丁目17番1号佐原マン
ション3FC 氏名 (7484) 弁理士 森 1) 寛(外1名)
発明の詳細な説明の欄 −7,補正の内容 別紙の通り 補正の内容 (1)特許請求の範囲の欄を次のように補正する。 自l)■益員對を土力付与指令を受け、物品に対し指令
された力を接触子を介して付与する力付与機構を備え、
前記接触子を前記物品に接触させ、前記接触子と前記物
品との相対的な位置変化による前記接触子の変位iに基
づいて前記物品の態様を示す情報を得る触覚装置であっ
て、前記力付与機構は、胸j静ζ対ル」3仇棄コ聾品の
態様を示す情報を得る手段を具備してなることを特徴と
する触覚装置。 諭Jl几カー絵巷マいて前記力を牛手段を駆動−を本」
1し嘘(會’/vEU6’1HuLKq籍−W ft1
l ”Q載(6)隻益泣計1蚤力付与指令を受け、物品
に対し指令された力を接触子を介して付与する力付与機
構と、前記力付与機構を移動可能に支持する移動機構と
を備え、前記接触子を前記物品に接触させ、前記接触子
と前記物品との相対的な位置変化による前記接触子の変
位量と前記移動機構の変位量上に基づいて前記物品のB
様を示す情報を得る触覚装置であって、前記力付与機構
は、。に対して を寸与する可動部が弓゛いて前記物品
の態様を示す情報を得る手段を具備してなることを特徴
とする触覚装置。 !装置□ 00)廁韮■■幻支計乎月巾盈」1胴1体μm■tζ(
2)明細書第5頁第15行ないし第6頁第12行におい
て「力付与指令を受け、−=−−−特徴と」とあるのを
次のように補正する。 [物品に対する力付与指令を受け、物品に対し指令され
た力を接触子を介して付与する力付与機構を備え、前記
接触子を前記物品に接触させ、前記接触子と前記物品と
の相対的な位置変化による前記接触子の変位量に基づい
て前記物品の態様を示す情報を得る触覚装置であって。 前記力付与機構は1物品に対して力を付与する可動部が
弾性体で指示されてなる力発生手段と。 前記弾性体が変位することにより生ずる弾性体の反力を
打消すように前記力発生手段を駆動する反力打消手段を
含んで構成されて成ると共に。 前記弾性体の変位量に基づいて前記物品の態様を示す情
報を得る手段を具備してなることを特徴と」。 (3)明細書第6頁第13行ないし第7頁第13行にお
いて、1カ付与指令を受け、−−−−−−−−一特徴と
」とあるのを次のように補正する。 [物品に対する力付与指令を受け、物品に対し指令され
た力を接触子を介して付与する力付与機構と、前記力付
与機構を移動可能に支持する移動機構とを備え、前記接
触子を前記物品に接触させ、前記接触子と前記物品との
相対的な位置変化による前記接触子の変位量と前記移動
機構の変位量とに基づいて前記物品の態様を示す情報を
得る触覚装置であって、前記力付与機構は、物品に対し
て力を付与する可動部が弾性体で指示されてなる力発生
手段と、前記弾性体が変位することにより生ずる弾性体
の反力を打消すように前記力発生手段を駆動する反力打
消手段を含んで構成されて成ると共に、前記弾性体の変
位量と前記移動機構の変位量とに基づいて前記物品の態
様を示す情報を得る手段を具備してなることを特徴と」
。 以上。
Fig. 331 is an external view of one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view of the embodiment shown in Fig. 1, Fig. 3 is a sectional view of the voice coil motor portion, and Fig. 4 is a control block diagram related to the present invention. , FIG. 5 shows an example of a displacement signal output circuit using a strain gauge. In the figure, l is a contact, 2 is a voice coil motor, 3 is a parallel spring, 4 is a stopper, 5 is a movable part of the moving mechanism, 6 is a housing, 7 is a robot arm, 9 is a strain gauge, and 10 is a feeder. P screw, 11 is a nut part, 12 is a linear bearing, 13 is a bearing, 14 is a DC motor, 15 is an angle encoder, 16 is a nut rotation stopper and guide, 2
0 represents a yoke, 21 a magnet, 22 a voice coil, 23 a stopper, and 24 an object to be measured. T! # Patent application applicant Shitsu Co., Ltd. Hiraito H (Hosho letter (at the time of request for examination) December 28, 1980 1, case indication 1982 patent application No. 226302 2, title of invention haptic device 3, Relationship with the person making the amendment Patent applicant address 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Yozaki-shi, Kanagawa Name (522) Fujitsu Co., Ltd. Representative Takuma Yamamoto 4 Agent address 4-17 Nishi-Nippori, Arakawa-ku, Tokyo No. 1 Sawara Mansion 3FC Name (7484) Patent attorney Mori 1) Hiroshi (1 other person)
Detailed Description of the Invention Column-7, Contents of Amendment Contents of Amendment (1) The Scope of Claims column is amended as follows as shown in the attached sheet. Self-equipped with a force-applying mechanism that receives a force-applying command from the user and applies the commanded force to the article via a contactor,
A tactile device that brings the contactor into contact with the article and obtains information indicating the aspect of the article based on a displacement i of the contactor due to a relative position change between the contactor and the article, the haptic device comprising: 3. A tactile device characterized in that the imparting mechanism is provided with means for obtaining information indicating the aspect of the object. ``The power of the cow means driving the book''
1shi lie (kai'/vEU6'1HuLKq register-W ft1
(6) A force applying mechanism that receives a force applying command and applies the commanded force to an article via a contactor, and a movement that movably supports the force applying mechanism. a mechanism, the contactor is brought into contact with the article, and the B of the article is determined based on the amount of displacement of the contactor due to the relative position change between the contactor and the article and the amount of displacement of the moving mechanism.
A haptic device that obtains information indicating a condition, the force applying mechanism comprising: A tactile device characterized in that a movable part that imparts a force to the object is provided with means for arching to obtain information indicating the aspect of the article. ! Equipment □ 00) Liao ■■ Illusionary tax measure 乎月巾盈'' 1 body 1 body μm ■ tζ (
2) In the specification, from page 5, line 15 to page 6, line 12, the statement ``receiving a force application command, and -=---characteristics'' is amended as follows. [Equipped with a force applying mechanism that receives a command to apply force to the article and applies the commanded force to the article via a contact, brings the contact into contact with the article, and controls the relative relationship between the contact and the article. The haptic device obtains information indicating the aspect of the article based on the amount of displacement of the contact due to a change in position. The force applying mechanism is a force generating means in which a movable part that applies a force to one article is directed by an elastic body. The device further includes a reaction force canceling means for driving the force generating means so as to cancel a reaction force of the elastic body generated when the elastic body is displaced. The article is characterized by comprising means for obtaining information indicating the mode of the article based on the amount of displacement of the elastic body. (3) In the specification, from page 6, line 13 to page 7, line 13, the statement ``In response to an instruction to provide one feature, and one feature'' is amended as follows. [Equipped with a force applying mechanism that receives a force applying command to the article and applies the commanded force to the article via a contact, and a moving mechanism that movably supports the force applying mechanism, A tactile device that is brought into contact with an article and obtains information indicating an aspect of the article based on the amount of displacement of the contact and the amount of displacement of the moving mechanism due to a relative positional change between the contact and the article, , the force applying mechanism includes a force generating means in which a movable part that applies a force to the article is defined by an elastic body, and a force generating means configured to cancel a reaction force of the elastic body generated when the elastic body is displaced. The article includes a reaction force canceling means for driving the force generating means, and means for obtaining information indicating the mode of the article based on the amount of displacement of the elastic body and the amount of displacement of the moving mechanism. Characterized by becoming.”
. that's all.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (11力付与指令を受け、物品に対し指令された力を接
触子を介して付与する力付与機構を備え、前記接触子を
前記物品に接触させ、前−配接触子と前記物品との相対
的な位置変化による前記接触子の変位に基づいて前記物
品の態様を示す情報を得る触覚装置であって、 前記力付与機構は、力を発生する駆動部と、前記接触子
が支持されてなp、前記駆動部よpO力を受けて変位す
ることにより物品に対し前記接触子を介して力を付与す
る力付与手段と、前記力付与手段の変位を検出する変位
検出手段と、前記力付与手段の変位に対応した量と前記
力付与指令とを受け、それらの信号に基づいて前記接触
子が物品に対し力付与指令に対応した力を付与するよう
に前記駆動部を制御する駆動制御手段とを含んで構成さ
れてなると共に、前記変位検出手段の出力に基づいて前
記物品の態様を示す情報を得る手段とを具備してなるこ
とを特徴とする触覚装置。 (2)前記駆動部は、ボイスコイルモータで構成されて
なることを特徴とする%FF請求の範囲第(1)項記載
の触覚装置。 (3)前記力付与手段は、平行板ばね全弁して前記接触
子を支持するよう構成されてなると共に、前記変位検出
手段は、前記平行板ばねの変位を検出するように構成さ
れてなることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項ま
たは第(2)項記載の触覚装置。 (4) 力付与指令を受け、物品に対し指令された力を
接触子を介して付与する力付与機構と、前記力付与機構
を移動可能に支持する移動機構とを備え、前記接触子を
前記物品に接触させ、前記接触子と前記物品との相対的
な位置変化による前記接触子の変位量と前記移動機構の
変位量に基づいて前記物品の態様を示す情報を得る触覚
装置であって、 前記力付与機構は力を発生する駆動部と、前記接触子が
支持されてなり、前記駆動部よりの力を受けて変位する
ことにより物品に対し、前記接触子を介して力を付与す
る力付与手段と、前記力付与手段の変位を検出する変位
検出手段と、前記力付与手段の変位に対応した量と前記
力付与指令とを受け、それらの信号に基づいて前記接触
子が物品に対し力付与指令に対応した力を付与するよう
に前記駆動部を制御する駆動制御手段とを含んで構成さ
れてなると共に、前記変位検出手段が検出した前記力付
与手段の変位量と前記移動&構の変位量に基づいて前記
物品の態様を示す情報を得る手段とを具備してなること
全特徴とする触覚製置。 (5) 前記駆動部は、ボイスコイルモータで構成され
てなることを特徴とする特許請求の範囲第(4)項記載
の触覚装置。 (6)前記力付与手段は、平行板ばねを介して前記接触
子を支持するよう構成されてなると共に、前記変位検出
手段は、前記平行板はねの変位を検出するように構成さ
れてなることを特徴とする特許請求の範囲第(4)項ま
たは第(5)項記載の触覚装置。 (7)前記駆動部が前記変位検出手段からの変位信号が
正帰還されると共に、前記5kJJ機構は力付与手段の
変位信号及び速度信号の相を負の入力信号とするよう構
成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第(4)
項記載の触覚装置。
[Scope of Claims] (11) A force applying mechanism that receives a force application command and applies the commanded force to an article through a contact, the contactor is brought into contact with the article, and the front-distribution contact A tactile device that obtains information indicating an aspect of the article based on a displacement of the contact due to a relative positional change between the contactor and the article, wherein the force applying mechanism includes a drive unit that generates a force, and a drive unit that generates a force, force applying means for applying a force to the article via the contact element by displacing the child when the child is supported; and a displacement detection unit for detecting displacement of the force applying means. the drive unit receives the force application command, an amount corresponding to the displacement of the force application means, and the force application command, and the contactor applies a force corresponding to the force application command to the article based on those signals. A tactile device characterized in that it is configured to include a drive control means for controlling the object, and a means for obtaining information indicating the aspect of the article based on the output of the displacement detection means. 2) The haptic device according to claim (1), wherein the drive section is a voice coil motor. (3) The force applying means is a parallel plate spring full valve. Claim 1 or 2, characterized in that the contactor is configured to support the contactor, and the displacement detection means is configured to detect displacement of the parallel leaf spring. The tactile device according to paragraph (2). (4) A force applying mechanism that receives a force applying command and applies the commanded force to the article via a contact, and a movement that movably supports the force applying mechanism. a mechanism, the contactor is brought into contact with the article, and the mode of the article is determined based on the amount of displacement of the contactor due to a relative positional change between the contactor and the article and the amount of displacement of the moving mechanism. The force-applying mechanism is a tactile device that obtains information indicating the object, and the force-applying mechanism includes a drive section that generates a force, and the contactor is supported, and is displaced in response to a force from the drive section to apply the force to the article. a force applying means for applying a force through a contact; a displacement detecting means for detecting displacement of the force applying means; and a signal for receiving an amount corresponding to the displacement of the force applying means and the force applying command; drive control means for controlling the drive section so that the contactor applies a force corresponding to the force application command to the article based on the force applied by the displacement detection means; A tactile device comprising: means for obtaining information indicating the aspect of the article based on the amount of displacement of the applying means and the amount of displacement of the movement and structure. (5) The haptic device according to claim (4), wherein the drive section is constituted by a voice coil motor. (6) The force applying means is configured to support the contact through a parallel plate spring, and the displacement detection unit is configured to detect displacement of the parallel plate spring. A haptic device according to claim (4) or (5), characterized in that: (7) The drive unit is configured to receive positive feedback of the displacement signal from the displacement detection means, and the 5kJJ mechanism is configured to input negative input signals to the displacement signal and speed signal of the force applying means. Claim No. (4) characterized by
Tactile devices as described in Section 1.
JP22630283A 1983-11-30 1983-11-30 Tactile sense device Granted JPS60119402A (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22630283A JPS60119402A (en) 1983-11-30 1983-11-30 Tactile sense device
CA000468681A CA1276710C (en) 1983-11-30 1984-11-27 Robot force controlling system
NO844732A NO167366C (en) 1983-11-30 1984-11-28 POWER-STEERING SYSTEM.
DE8484308298T DE3481285D1 (en) 1983-11-30 1984-11-29 FORCE CONTROL SYSTEM.
EP84308298A EP0147082B1 (en) 1983-11-30 1984-11-29 Force controlling system
US07/175,616 US4872803A (en) 1983-11-30 1988-03-29 Force controlling system
US07/344,389 US5012591A (en) 1983-11-30 1989-10-25 Force controlling system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22630283A JPS60119402A (en) 1983-11-30 1983-11-30 Tactile sense device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60119402A true JPS60119402A (en) 1985-06-26
JPH0312681B2 JPH0312681B2 (en) 1991-02-20

Family

ID=16843077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22630283A Granted JPS60119402A (en) 1983-11-30 1983-11-30 Tactile sense device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60119402A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004048884A1 (en) * 2002-11-28 2004-06-10 Asa Electronics Industry Co., Ltd Touch sensor
JP2007218881A (en) * 2006-02-20 2007-08-30 Konica Minolta Opto Inc Shape measuring apparatus
JP2009063119A (en) * 2007-09-07 2009-03-26 Hosiden Corp Solenoid valve
JP2009198447A (en) * 2008-02-25 2009-09-03 Nissan Motor Co Ltd Product measurement device and product measurement method
JP2013217906A (en) * 2012-03-13 2013-10-24 Toshiba Mach Co Ltd Processing device with on-board measurement function

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004048884A1 (en) * 2002-11-28 2004-06-10 Asa Electronics Industry Co., Ltd Touch sensor
US7243439B2 (en) 2002-11-28 2007-07-17 Asa Electronics Industry Co., Ltd. Touch sensor
JP2007218881A (en) * 2006-02-20 2007-08-30 Konica Minolta Opto Inc Shape measuring apparatus
JP2009063119A (en) * 2007-09-07 2009-03-26 Hosiden Corp Solenoid valve
JP2009198447A (en) * 2008-02-25 2009-09-03 Nissan Motor Co Ltd Product measurement device and product measurement method
JP2013217906A (en) * 2012-03-13 2013-10-24 Toshiba Mach Co Ltd Processing device with on-board measurement function

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0312681B2 (en) 1991-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5012591A (en) Force controlling system
US5264768A (en) Active hand controller feedback loop
Kuroki et al. Cr-N alloy thin-film based torque sensors and joint torque servo systems for compliant robot control
CN110413015B (en) Micro-bovine-magnitude micro-thrust dynamic test board based on closed-loop control and test method
EP0277656B1 (en) Precise positioning apparatus
US3576302A (en) Solid-state position sensor for sensing an adjusted position of a control element
JPS6019907U (en) Device for precise and reproducible setting of electrically driven joints
JPS60119402A (en) Tactile sense device
JPS6294251A (en) Device for controlling position
JPS592639B2 (en) Automatic tracking device in automatic reading machine
JPH0352809B2 (en)
JP2964094B2 (en) Tensile type dynamic viscoelasticity measuring device
JPH01501016A (en) positioning device
JP2587565B2 (en) Copying probe
JPS6110715A (en) Absolute-position detecting system
JPH0563807B2 (en)
US4947697A (en) System for measuring force versus position of a flight controller in an aircraft or flight simulator
JPH0798256A (en) Driving force measuring instrument
JPH0666681A (en) Dynamic characteristics measuring apparatus for operating tool
JPH0635152Y2 (en) Linear motor test equipment
JPS62119610A (en) Drive control device for arm having tactual sense
JPS6357644B2 (en)
JPH041850B2 (en)
JP2614645B2 (en) Displacement measuring device
JPH0349887A (en) Force control robot device having friction measuring function