JPS60110103A - 抵抗トリミング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、厚膜抵抗体のトリミング装置において、抵抗
体の目標抵抗値を与えるだけで、初期抵抗値途中の抵抗
値変化の経過等により、刻々適正なトリミング速度に自
動制御することを可能としングにおいて、抵抗目標値、
高速度！・リミング設定、低速度トリミング設定および
高速度から低速度への変換点設定の各機能しか持ってい
なかった。

例えば、第２図に示すように、抵抗体（１）の両端に電
極（２＋　（３１を設けてなる厚膜抵抗体において、抵
抗体（１）の中方向に（図示矢印方向）にレーザとか細
砂吹付けにより切削（４）を施こしつつ目標抵抗値に”
）　９　ミンクする場合、第１図に示すような初期抵抗
値（ＲＩ）のも、のでは、まず、目標抵抗値（Ｒｏ）の
８０％（０，８Ｒ０）に達するまでは、一定の高速度で
トリミングし、８０％を越すと一定の低速度でトリミン
グして目標値（几。）までトリミングする。ところが、
切削速度に対する抵抗値の変化は第１図の曲線（Ａ）に
示すように次第に大きくなる傾向にある。このことは、
目標値（ＲＯ）に近づくに従い、わずかな切削速度であ
りながら抵抗値が急激に増大する。そこで、目標値８０
％に達したとき低速度に切換えてトリミングを行なうよ
うにしている。しかし、目標値に近づけば再び同じ現象
が起る。したがって、目標値に正確に一致させることが
困離でトリミングの精度が低下する。トリミング速度を
遅くすれば精度は向上するが、トリミング時間が長くな
り、それにも限度がある。また、ｔ！！ｚ１図において
、点線の特性（Ｂｌにて示すような初期抵抗値（几ｚ’
）の高い場合も同様である。

ただし、初期抵抗値（ＲＩ）が低い場７合は同じ目標抵
抗値（Ｒｏ）の８０％（０，８几。）で゛あっても、第
２図に示される未切削部分の巾（ｄ）が狭くなっている
ため、第１図に示すように、０，８ＲｏからＲ８までの
抵抗値変化速度は実線の曲線（Ａ）では点線の曲線０３
１よりも大きくなる。すなわち、初期抵抗値（ＲＩ　）
によって抵抗値変化速度が大きく変る。

本発明は、以上のような問題点を解決するためになされ
たもので、抵抗値の初期値に応じて切削速度に変化をも
たせ、抵抗値の変化速度を一定かまたは逆に時間の経過
とともに減少するようにしたものである。具体的には、
第３図において、初期値が（ＲＩ）の抵抗を目標値（１
１Ｇ）までトリミングする場合には、トリミング速度を
刻々と変化させ、特性線（０）〆のように抵抗値が略直
線的に変化させるか、好ましくは特性線卸または−のよ
うにむしろ目標値（Ｒｏ）に近づくに従い抵抗値の変化
の速度を遅くなるように制御しようとするものである。

初期値が（几Ｉ’）の場合にも点線に示すような特性（
６））等をもった変化速度に制御しようとするものであ
る。

以下、本発明の一実施例を図面について説明する。

第４図において、（１）は第２図に示すような厚膜抵抗
体などのトリミング調整対象としての抵抗体、（５）は
レーザ、細砂噴射などにより切削するための切削装置、
（６）は切削装置（５）のノズルと抵抗体（１）との相
対的な位置関係を設定するために、少なくともいずれか
一方を移動せしめるＸ−Ｙ移動装置、（７）は抵抗体（
１）の抵抗値を刻々と測定する測定器であり、以上の構
成は従来より一般的に使用されているトリミング装置で
ある。

本発明では、さらに各抵抗体の目標抵抗値用メモリ（８
）、初期抵抗値用メモリ（９）、演算器Ｑｌおよび各装
置間を制御するコントローラαυとを具備し、このコン
トローラａυには目標値入力端子Ｑｚが結合されている
。

つぎに、本発明による抵抗トリミング装置の作用を説明
する。

目標値入力繻子αりからトリミングすべき目標抵抗値（
几。）がコントローラＩに入力し、さらにこのコントロ
ーラａυを介して目標抵抗値用メモリ（８）に記憶され
る。この目標抵抗値用メモリ（８）の目標抵抗値（Ｒｅ
　）のデータが演算器（Ｉαへ送られる。

また、測定器（７）では、初期抵抗値（ＲＩ）が測定さ
れ、そのデータがコントローラａ１Ｊを経て初期抵抗値
用メモリ（９）へ送られ、さらに演算器ａ〔へ送られる
。演算器ａ１では、次式によって速度（Ｖ）が演算され
る。

Ｖ＝（Ｒｅ　Ｒ）／Ｒｏ・几Ｉ／Ｒｏ−Ｆ”−・（１）
ここで、Ｒは切削中に効々と変化しているその時々の抵
抗値であるが、初期状態では几Ｉとなる。

またＦは速度を指数関数的に変化をもたせるなどのバリ
エーションを得るための係数である。したがって、上記
（１）式は、初期状態では”Ｉ　＝　（Ｒｏ　ＲＩ　）
　／Ｒｏ・Ｊ／Ｒｏ−Ｆの速度の速度データがコントロ
ーラａυへ送られ、このコントローラａυからは、切削
装置（５）へ切削のオンデータが送られ、同時にＸ−Ｙ
移動装置（６）へ移動速度データが送られる。そして、
抵抗体（１）のトリミングが開始される。トリミングが
開始されると、測定器（７）からは、刻々と変化する抵
抗値（６））の測定データが出力し、これがコントロー
ラαυを経て演算器ａ■で上記（１１式が演算される。

その演算結果、つまりトリミング速度データがコントロ
ーラ（１１）を介して切削装置（５）とＸ−Ｙ移動装置
（６）へ送られて速度を連続的に変化させながらトリミ
ングが行なわれる。このときの速度は、当初は速くし、
切削が進むにつれて次第に遅くすることにより、抵抗値
の変化は、第２図の略直線的特性０）のように変化する
こととなる。係数Ｆを適当に選ぶことによって第３図の
特性Ｐ）やＩＱｌのようにすることもできる。抵抗値と
切削速度の関係はＦが整数であるなら具体的には第５図
のような関係となる。ここで、縦軸は切削速度ｆｆ）を
あられし、横軸はＶ几。

なあられす。

例えば、ＲＬ／Ｒｏ＝　０．２の場合は特性線（Ａ１）
で示され、ＲＩ／　ＩＬｏ＝　０．３．０．４．０．５
．０．６．０．７．０．８および０．９の場合は、それ
ぞれ特性線（Ａ２ＸＡ３ＸＡ４ＸＡ５ＸＡ６ＸＡ７）（
Ａ、）のようになる。

本発明は上述のように構成したので、抵抗体の個々の初
期抵抗値により切削速度に変化をもたせることができ、
したがって、抵抗値の変化速度を初期抵抗値の如何に拘
らず一定にしたり、時間とともに小さくしたりできる。

そのため、トリミング精度の向上、トリミング時間の短
縮、プログラムの容易性などの効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のトリミング方法による抵抗値変化の特性
図、第２図は厚膜抵抗体の正面図、第３図は本発明のト
リミング装置による抵抗値変化の特性図、第４図は本発
明による抵抗トリミング装置の一実施例を示すブロック
図、第５図は抵抗値の切削速度の関係を示す特性図であ
る。 （１）・・・抵抗体、（２）　（３）・・・電極、（４
）・・・切削、（５）・・・切削装置、（６）・・・Ｘ
−Ｙ移動装置、（７）・・・測定器、（８）・・・目標
抵抗値用メモリ、（９）・・・初期抵抗値用メモリ、ａ
α・・・演算器、（１１）・・・コントローラ、α力・
・・目標抵抗値入力端子。 特許出願人　株式会社　ゼ　ネ　ラ　ル第１図 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）抵抗体と切削装置とをＸ−Ｙ移動装置により相対
   的に移動せしめながら該抵抗体を該切削装置で切削し、
   測定器による測定値が目標抵抗値となるようにトリミン
   グする抵抗トリミング装置において、 該抵抗体の目標抵抗値を記憶する目標抵抗値用メモリと
   、 該抵抗体の初期抵抗値を記憶する初期抵抗値用メモリと
   、 該測定値の切削中の抵抗値、目標抵抗値および初期抵抗
   値に基づき、かつ特定の切削速度を得るための係数を与
   える係数とによって特有の切削速度を演算する演算器と
   、 測定器、目標抵抗値用メモリ、初期抵抗値用メモリおよ
   び演算器相互間の制御をするコントローラと からなる抵抗トリミング装置。 （２、特許請求の範囲第１項記載において、演算器はＶ
   ”（Ｒｏ　Ｒ）／Ｒｏ”ＲＩ／Ｒｏ−Ｆ　（ただし、Ｖ
   は切削速度、Ｒｏは目標抵抗値、Ｒは切削中の抵抗値、
   Ｒ工は初期抵抗値、Ｆは係数）を演算してトリミング切
   削速度を制御するようにした抵抗トリミング装置。