JPS60110068U - クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 - Google Patents
クリ−ンル−ム内の荷搬送設備Info
- Publication number
- JPS60110068U JPS60110068U JP20474583U JP20474583U JPS60110068U JP S60110068 U JPS60110068 U JP S60110068U JP 20474583 U JP20474583 U JP 20474583U JP 20474583 U JP20474583 U JP 20474583U JP S60110068 U JPS60110068 U JP S60110068U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- rail device
- rail
- transport equipment
- load transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は荷搬送設備の一搬例を示し、第１図は
従断側面図、第２図は縦断正面図、第３図〜第６図は従
来例を示し、第３図は一部切欠き側面図、第４図は平面
図、第５図、第６図は作用状態を示す要部の側面図、第
７図〜第１０図は本考案の一実施例を示し、第７図は側
面図、第８図は平面図、第９図は作用状態を示す要部の
側面図、第１０図は同平面図である。 １・・・・・・自走台車、４・・・・・・第１車輪、５
・・・・・・走行 □経路、７・・・・・・第２
車輪、１０・・・・・・推進用回転輪、１５・・・・・
・集電子、２２・・・・・・レール装置、２２ａ・・・
・・・端面エツジ部、２６・・・・・・給電レール、３
８・・・・・・クリーンルーム、４０・・・・・・防煙
ダンパー装置、４１・・・・・・シャッター、４２・・
・・・・保持制御装置、５１・・・・・・ガイド体、５
３・・・・・・開口部、１′・・・・・・間隙部。゛茫
＝＝：：：□；□−−−−−−−Ｌ−１１／
／ ２タ Ｊ／ ｚデー
４４
従断側面図、第２図は縦断正面図、第３図〜第６図は従
来例を示し、第３図は一部切欠き側面図、第４図は平面
図、第５図、第６図は作用状態を示す要部の側面図、第
７図〜第１０図は本考案の一実施例を示し、第７図は側
面図、第８図は平面図、第９図は作用状態を示す要部の
側面図、第１０図は同平面図である。 １・・・・・・自走台車、４・・・・・・第１車輪、５
・・・・・・走行 □経路、７・・・・・・第２
車輪、１０・・・・・・推進用回転輪、１５・・・・・
・集電子、２２・・・・・・レール装置、２２ａ・・・
・・・端面エツジ部、２６・・・・・・給電レール、３
８・・・・・・クリーンルーム、４０・・・・・・防煙
ダンパー装置、４１・・・・・・シャッター、４２・・
・・・・保持制御装置、５１・・・・・・ガイド体、５
３・・・・・・開口部、１′・・・・・・間隙部。゛茫
＝＝：：：□；□−−−−−−−Ｌ−１１／
／ ２タ Ｊ／ ｚデー
４４
Claims (1)
- クリーンルーム内に配設したレール装置と、このレール
装置に支持案内される荷搬送用の自走台車と、前記レー
ル装置に取付けた給電レールと、この給電レールに摺接
すべく前記自走台車に取付けた集電子とからなるクリー
ンルーム内の荷搬送設備において、前記レール装置の適
所に、走行経路方向に対して傾斜する間隙部を形成し、
この間隙部に挿入自在なシャッターを設けたことを特徴
とするクリーンルーム内の荷搬送設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20474583U JPS60110068U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20474583U JPS60110068U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60110068U true JPS60110068U (ja) | 1985-07-26 |
Family
ID=30767136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20474583U Pending JPS60110068U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60110068U (ja) |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP20474583U patent/JPS60110068U/ja active Pending
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