JPS60109355U - 確認マ−ク付きフイルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案の一実施例に係る確認マーク付きフィ
ルムの一部を構成する第１のフォトマスクの平面図、同
図すは第１のフォトマスクと対となって確認マーク付き
フィルムを構成する第２のフォトマスクの平面図、第２
図は第１のフォトマスクに設けられた確認マークの拡大
平面図、第３図は第２のフォトマスクに設けられた確認
マークの拡大平面図、第４図は許容誤差内で第１、第２
のフォトマスクが一体になっている状態を示す平面図、
第５図は第１、第２のフォトマスクが誤審誤差外で重な
っている状態を示す平面図、第６図は第１の確認マーク
の他の例を示す平面図、第７図は第６図の確認マークと
対をなす第２の確認マークの平面図ミ第８図はその他の
第１の確認マークの平面図、第９図は第８図の確認マー
クと対となす第２の確認マークの平面図である。 １．９・・・フォトマスク、３，１０．２１〜２４・・
・確認マーク、４□、４□、１１□、１１゜・・・長方
形、５．　８．　１２．　１５・・・短辺、６．　７．
　１３．１４・・・長辺、１６，１７・・・間隙。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 第１のフォトマスクと、このフォトマスクの裏面側に設
   けられ該フォトマスクと対をなす第２のフォトマスクと
   を具備する確認マーク付きフィルムにおいて、第１のフ
   ォトマスクの少なくとも対角線状の２つのコーナ一部に
   、互に点対称でそれらの対称図形の隣り合う辺が直角に
   交わる第１の確認マークを夫々設け、第２のフォトマス
   クの前記確認マークと対応する部分に、互に点対称でそ
   れらの対称図形の隣り合う辺が直角に交わるとともにそ
   れらの辺が対称点からＸ、　Ｙ方向に許容誤差値の１／
   ２だけ接近するようにずれた第２の確認マークを前記第
   １の確認マークと反転するように設けたことを特徴とす
   る確認マーク付きフィルム。