JPS59138908U - マ−クセンス式位置決め装置 - Google Patents

マ−クセンス式位置決め装置

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Publication number
JPS59138908U
JPS59138908U JP3234283U JP3234283U JPS59138908U JP S59138908 U JPS59138908 U JP S59138908U JP 3234283 U JP3234283 U JP 3234283U JP 3234283 U JP3234283 U JP 3234283U JP S59138908 U JPS59138908 U JP S59138908U
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JP
Japan
Prior art keywords
positioning
positioning device
mark
direction component
mark sense
Prior art date
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Pending
Application number
JP3234283U
Other languages
English (en)
Inventor
佐藤　邦長
Original Assignee
東北金属工業株式会社
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Publication date
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Priority to JP3234283U priority Critical patent/JPS59138908U/ja
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  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、本考案によるマークセンス式位置決め装置の一
実施例の概略―成を示す斜視図、第２図　　＝および第
３図は、シート上のマーカーの配置とマークセンサの配
置との対応を示す図、第４図′は、マークセンサの動作
状態を示す図、第５図〜第１６図は、位置決め順序を順
におって説明していくための図、第１７図はｘＹＯテー
ブルの駆動のための自動制御フローチャートである。 １〜３・・・マークセンサ、１′〜３′・・・マーカー
〈４・・・シート、５・・・ＸＹｅテーブル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ＸＹθテーブルと、回転軸中心で直交する２本のＸ、　
    Ｙ方向成分を持つ直線上のうち、Ｘ方向成分の線上で回
    転中心から左右対称に２箇所およびＹ方向成分の線上で
    、他に重ならない位置に１箇所、合計３個の位置固定６
    反射形マークセンサと、該マークセンサによるマーカー
    のエツジの検出に基づいて上記ＸＹθテーブルを、Ｙ−
    θ軸方向の−位置決め、およびＸ軸方向の位置決めの順
    に位置決めを行うように駆動制御する制御装置とを含む
    ことを特徴とするマークセンス式位置決め装置。
JP3234283U 1983-03-08 1983-03-08 マ−クセンス式位置決め装置 Pending JPS59138908U (ja)

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JP3234283U JPS59138908U (ja) 1983-03-08 1983-03-08 マ−クセンス式位置決め装置

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JPS59138908U true JPS59138908U (ja) 1984-09-17

Family

ID=30163170

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS549580A (en) * 1977-06-24 1979-01-24 Kaijo Denki Kk Method of matching semiconductor wire bonds
JPS5496374A (en) * 1978-01-17 1979-07-30 Hitachi Ltd Automatic positioning device
JPS5719726A (en) * 1980-07-10 1982-02-02 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Positioning device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS549580A (en) * 1977-06-24 1979-01-24 Kaijo Denki Kk Method of matching semiconductor wire bonds
JPS5496374A (en) * 1978-01-17 1979-07-30 Hitachi Ltd Automatic positioning device
JPS5719726A (en) * 1980-07-10 1982-02-02 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Positioning device

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