JPS60109323U - 導通ピン - Google Patents
導通ピンInfo
- Publication number
- JPS60109323U JPS60109323U JP1983203892U JP20389283U JPS60109323U JP S60109323 U JPS60109323 U JP S60109323U JP 1983203892 U JP1983203892 U JP 1983203892U JP 20389283 U JP20389283 U JP 20389283U JP S60109323 U JPS60109323 U JP S60109323U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- roller
- dry plate
- continuity pin
- continuity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図〜第２図はフォトマスクを電子ビーム露光で形成
する場合の工程断面図、第３図は本考案の導通ピンを用
いる電子ビーム露光方式を説明する図である。 中、３１：ローラ。
する場合の工程断面図、第３図は本考案の導通ピンを用
いる電子ビーム露光方式を説明する図である。 中、３１：ローラ。
Claims (1)
- 荷電ビーム露光装置を用いたホルダーにセットされた乾
板を描画する際、該ホルダーと乾板との導通をとる、と
がった先端形状のローラと該ローラのアース部を有する
ことを特徴とする導通ピン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983203892U JPS60109323U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 導通ピン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983203892U JPS60109323U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 導通ピン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60109323U true JPS60109323U (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=30766296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983203892U Pending JPS60109323U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 導通ピン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60109323U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63244622A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP1983203892U patent/JPS60109323U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63244622A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
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