JPS60109005U - 3次元変位計 - Google Patents
3次元変位計Info
- Publication number
- JPS60109005U JPS60109005U JP19955183U JP19955183U JPS60109005U JP S60109005 U JPS60109005 U JP S60109005U JP 19955183 U JP19955183 U JP 19955183U JP 19955183 U JP19955183 U JP 19955183U JP S60109005 U JPS60109005 U JP S60109005U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement meter
- dimensional displacement
- axes
- view
- locking mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例に係る′33次元変計のエア
シリンダによるロック機構を取除いた状態の全体斜視図
1.第2図は第1図の3次元変位計でエアシリンダによ
るロック機構を取付けた状態の横断面図、第3図は第2
図の■−■線に沿う断面図、第4図は第2図のIV−I
V線に沿う断面図、第5図は第2図の装置のおけるエア
回路図、である。 1・・・・・・変位計本体、2・・・・・・プローブ、
3・・−−−−Y軸方向スライドボールベアリング、4
・・袖口字形枠、5・・lx軸方向スライドボールベア
リング、7・・・・・・スライドブツシュ、8X、8Y
、9・・・・・・スプリング、10,11,12,13
,14・・曲エアシリンダ、50,16,17・・・・
・・エア切替バルブ、18・・・・・・エア源、19・
・・・・・磁気スケール。 第3図 −第4図
シリンダによるロック機構を取除いた状態の全体斜視図
1.第2図は第1図の3次元変位計でエアシリンダによ
るロック機構を取付けた状態の横断面図、第3図は第2
図の■−■線に沿う断面図、第4図は第2図のIV−I
V線に沿う断面図、第5図は第2図の装置のおけるエア
回路図、である。 1・・・・・・変位計本体、2・・・・・・プローブ、
3・・−−−−Y軸方向スライドボールベアリング、4
・・袖口字形枠、5・・lx軸方向スライドボールベア
リング、7・・・・・・スライドブツシュ、8X、8Y
、9・・・・・・スプリング、10,11,12,13
,14・・曲エアシリンダ、50,16,17・・・・
・・エア切替バルブ、18・・・・・・エア源、19・
・・・・・磁気スケール。 第3図 −第4図
Claims (1)
- プローブをx、 y、 z軸の3軸方向に移動自在とし
た3次元変位計において、X、 Y軸の各軸にそれぞれ
ロック機構を設け、かつZ軸方向にピックアップ用駆動
装置を取付けたことを特徴とする3次元変位計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19955183U JPS60109005U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 3次元変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19955183U JPS60109005U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 3次元変位計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60109005U true JPS60109005U (ja) | 1985-07-24 |
Family
ID=30759577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19955183U Pending JPS60109005U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 3次元変位計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60109005U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007315815A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 三次元変位計測システム |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP19955183U patent/JPS60109005U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007315815A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 三次元変位計測システム |
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