JPS60105935A - 反射率測定装置 - Google Patents
反射率測定装置Info
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- JPS60105935A JPS60105935A JP58212465A JP21246583A JPS60105935A JP S60105935 A JPS60105935 A JP S60105935A JP 58212465 A JP58212465 A JP 58212465A JP 21246583 A JP21246583 A JP 21246583A JP S60105935 A JPS60105935 A JP S60105935A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
■技術分野
この発明は、光学結像素子（ダハミラーレンスアレイ）
に使用されるダハミラーアレイ、複写機に使用されるス
リットミラー（スリット走査光学系に使用される矩形状
のミラー）の反射率分布を測定する反射率測定装置に関
する。
に使用されるダハミラーアレイ、複写機に使用されるス
リットミラー（スリット走査光学系に使用される矩形状
のミラー）の反射率分布を測定する反射率測定装置に関
する。
１更米技夏
従来、ダハミラーアレイ、スリットミラー等の反射率測
定（蒸着等により形成した反射膜の濃度ムラにより反射
率が不均一になっているのを調べるためなされる）は、
分光光度計によってなされていた。第１図および第２図
を参照して従来の反射率測定装置を説明する。第１図は
従来装置（分光光度計）の−構成例の光学系統図である
。光源（Ｗランプ１ａまたはＤ２ランプｌｂ）から出た
光は光源切換（自動切換）ミラー２によって反射され、
分光器の入射スリット３上に像を作る。平面ミラー４に
よって反射され入射スリット３を通った光束は。
定（蒸着等により形成した反射膜の濃度ムラにより反射
率が不均一になっているのを調べるためなされる）は、
分光光度計によってなされていた。第１図および第２図
を参照して従来の反射率測定装置を説明する。第１図は
従来装置（分光光度計）の−構成例の光学系統図である
。光源（Ｗランプ１ａまたはＤ２ランプｌｂ）から出た
光は光源切換（自動切換）ミラー２によって反射され、
分光器の入射スリット３上に像を作る。平面ミラー４に
よって反射され入射スリット３を通った光束は。
コリメータミラー５によって略平行光線になり石英プリ
ズム６に当たる。そして、プリズム６で分散された光束
は再びコリメータミラー５で反射され、出射スリット７
上に結像する。
ズム６に当たる。そして、プリズム６で分散された光束
は再びコリメータミラー５で反射され、出射スリット７
上に結像する。
出射スリット７からの光束はセクターミラー（分光器）
８で半回転ごとに直進・反射を繰り返し、試料室に導か
れる。セクターミラー８によって分けられた２つの光束
は、試料側および対照側を交互に通過し、試料側および
対照側のミラー９ａ、９ｂで反射されて、セクターミラ
ー１０を通って同一の光路から検知器に入射される。
８で半回転ごとに直進・反射を繰り返し、試料室に導か
れる。セクターミラー８によって分けられた２つの光束
は、試料側および対照側を交互に通過し、試料側および
対照側のミラー９ａ、９ｂで反射されて、セクターミラ
ー１０を通って同一の光路から検知器に入射される。
なお、試料室の蓋の開閉と連動してマイクロスイッチが
動作し、試料室の蓋を開けたときに過大な光が検知器に
入射し、検知器からの出力が太きくなるのを防止する。
動作し、試料室の蓋を開けたときに過大な光が検知器に
入射し、検知器からの出力が太きくなるのを防止する。
また、図示しないペンサーボ増幅器等も、試料室の蓋を
開けると動作が停止する。試料の透過率に比例した光信
号は試料室を通って受光室に導かれ、検知器（ホトマル
１１またはｐｂｓ１２）で電気信号に変換される。なお
、ホトマル１１かＰｂＳ１２かの検知器の切換は、検知
器切換ミラー１３により行なう。
開けると動作が停止する。試料の透過率に比例した光信
号は試料室を通って受光室に導かれ、検知器（ホトマル
１１またはｐｂｓ１２）で電気信号に変換される。なお
、ホトマル１１かＰｂＳ１２かの検知器の切換は、検知
器切換ミラー１３により行なう。
第２図は第１図に示す装置で検知された電気信号を処理
するための装置の電気信号系統図である。
するための装置の電気信号系統図である。
なお、以下の図面の説明において、第１図に示されたも
のと同一要素は同一符号で示しである。ホトマル高圧電
源１４に接続されているホトマル１１から出力された電
流信号は、主増幅器１５で増幅されて電圧信号となる。
のと同一要素は同一符号で示しである。ホトマル高圧電
源１４に接続されているホトマル１１から出力された電
流信号は、主増幅器１５で増幅されて電圧信号となる。
検知器切換ミラー１３が切換ってＰｂＳ１２から電流信
号が出力されるときは、前置増幅器１６を経て主増幅器
１５で増幅されて電圧信号となる。そして、この電圧信
号は、ゲート信号発生回路１７から与えられるゲート信
号によって対照、試料、ゼロ信号の３つに分けられ、１
−ランジスタＴｒ１〜Ｔｒ３を介して対照側ホールド回
路１８、試料側ホールド回路１９、ゼロホールド回路２
０で電圧ホールドされ、直流電圧出力となる。
号が出力されるときは、前置増幅器１６を経て主増幅器
１５で増幅されて電圧信号となる。そして、この電圧信
号は、ゲート信号発生回路１７から与えられるゲート信
号によって対照、試料、ゼロ信号の３つに分けられ、１
−ランジスタＴｒ１〜Ｔｒ３を介して対照側ホールド回
路１８、試料側ホールド回路１９、ゼロホールド回路２
０で電圧ホールドされ、直流電圧出力となる。
ゼロホールド回路２０の出力は主増幅器１５の出力側に
帰還される。対照側ホールド回路１８にはドリフト補正
回路２１が接続されており、またその出力はスリットサ
ーボ回路２２を経てスリットモータ２３に帰還され、ス
リット幅が制御される。これにより、検知器への入射光
量を増減させて、対照側のホールド電圧値が一定になる
よう（例えば３Ｖ）制御している。対照側および試料側
のホールド電圧は割算回路２４に与えられ、透過率に比
例した周波数の信号が発生させられる。この周波数は周
波数／電圧変換され、吸光度変換回路２５、透過率変換
回路２６で吸光度または透過率に対応する電圧出力とな
り、記録計２７で記録表示される。
帰還される。対照側ホールド回路１８にはドリフト補正
回路２１が接続されており、またその出力はスリットサ
ーボ回路２２を経てスリットモータ２３に帰還され、ス
リット幅が制御される。これにより、検知器への入射光
量を増減させて、対照側のホールド電圧値が一定になる
よう（例えば３Ｖ）制御している。対照側および試料側
のホールド電圧は割算回路２４に与えられ、透過率に比
例した周波数の信号が発生させられる。この周波数は周
波数／電圧変換され、吸光度変換回路２５、透過率変換
回路２６で吸光度または透過率に対応する電圧出力とな
り、記録計２７で記録表示される。
上記のようにして、被測定ミラーの反射率を測定表示す
ることができる。しかし、従来装置では単一面（ミラー
）の波長別反射率の測定は可能であるが、ダハミラーア
レイ、スリットミラー（以下これらミラーの総称を「直
列型ミラー」とする）の如く試料が大きい場合は、測定
が困難である。すなわち、直列型ミラーの列方向の長さ
は例えば対象とする原稿サイズがＡ３短手であるときは
３００ＩＩ１ｍ程度にもなるため、第１図に示す光学系
でこれの反射率を測定するのは困難である。また、光学
系統、電気系統共に構成が複雑で、装置が高価になると
いう欠点がある。さらに、操作性が良くなく、測定時間
が長くなってしまうという欠点がある。
ることができる。しかし、従来装置では単一面（ミラー
）の波長別反射率の測定は可能であるが、ダハミラーア
レイ、スリットミラー（以下これらミラーの総称を「直
列型ミラー」とする）の如く試料が大きい場合は、測定
が困難である。すなわち、直列型ミラーの列方向の長さ
は例えば対象とする原稿サイズがＡ３短手であるときは
３００ＩＩ１ｍ程度にもなるため、第１図に示す光学系
でこれの反射率を測定するのは困難である。また、光学
系統、電気系統共に構成が複雑で、装置が高価になると
いう欠点がある。さらに、操作性が良くなく、測定時間
が長くなってしまうという欠点がある。
↓且−−煎
この発明は、上記の様な従来技術の欠点を克服するため
になされたもので、複写機等に使用されるスリットミラ
ーおよび光学結像素子（ＤＭＬＡ）に使用されるダハミ
ラーアレイの反射率分布を、全面にわたって迅速に測定
することができ、かつ操作性が良好で構成が簡素で低コ
ストの反射率測定装置を提供することを目的とする。
になされたもので、複写機等に使用されるスリットミラ
ーおよび光学結像素子（ＤＭＬＡ）に使用されるダハミ
ラーアレイの反射率分布を、全面にわたって迅速に測定
することができ、かつ操作性が良好で構成が簡素で低コ
ストの反射率測定装置を提供することを目的とする。
■構 成
以下、添付図面の第３図ないし第８図を参照して、この
発明の詳細な説明する。第３図は一実施例の光学系の構
成図である。ハロゲンランプ等のインコヒーレントな白
色光を発する光源３１と、一定幅の開口（例えばスリッ
ト、円形の穴など）を有するチャート３２との間には、
所要の単色光を得るための赤外カットフィルタ３３およ
び干渉フィルタ３４が設けられ、チャート３２の開口部
は所要の単色光で照射される。チャート３２に関して光
源３１と反対側には、チャート３２の開口部を焦点面と
するコリメータレンズ３５が設けられ、開口部からの光
束はコリメータレンズ３５によって平行光束となって直
列型ミラー（ダハミラーアレイ）３６を照明し、その反
射光束がビームスプリッタ３７により反射され、結像レ
ンズ３８により焦点面に配設された光電変換素子３９上
に結像する。なお、ダハミラーアレイ３６の前面には遮
光板４０が設けられ、他のダハ面に光が届かないように
しである。
発明の詳細な説明する。第３図は一実施例の光学系の構
成図である。ハロゲンランプ等のインコヒーレントな白
色光を発する光源３１と、一定幅の開口（例えばスリッ
ト、円形の穴など）を有するチャート３２との間には、
所要の単色光を得るための赤外カットフィルタ３３およ
び干渉フィルタ３４が設けられ、チャート３２の開口部
は所要の単色光で照射される。チャート３２に関して光
源３１と反対側には、チャート３２の開口部を焦点面と
するコリメータレンズ３５が設けられ、開口部からの光
束はコリメータレンズ３５によって平行光束となって直
列型ミラー（ダハミラーアレイ）３６を照明し、その反
射光束がビームスプリッタ３７により反射され、結像レ
ンズ３８により焦点面に配設された光電変換素子３９上
に結像する。なお、ダハミラーアレイ３６の前面には遮
光板４０が設けられ、他のダハ面に光が届かないように
しである。
第４図は第３図に示すダハミラーアレイ３６の走査機構
の構成図である。列方向のダハ面の繰り返し単位長がΔ
Ｑのダハミラーアレイ３６は、コイルばね４１に挟まれ
て保持部材４２により保持され、保持部材４２は移動部
材４３に固定される。そして、ステッピングモータ４４
によって回転できるようにしたボールねじ４５によって
、列方向に走査できるようにする。このようにすると、
−のダハ面の反射率の測定が終了したときにステッピン
グモータ４４を所定角だけ回転させ（ボールねじ４５を
所定角だけ回転させ）、ダハミラーアレイ３６をΔＱだ
け移動させて次のダハ面の測定を開始するというように
、ステップ的に移動させて繰り返し反射率を測定するこ
とができる。
の構成図である。列方向のダハ面の繰り返し単位長がΔ
Ｑのダハミラーアレイ３６は、コイルばね４１に挟まれ
て保持部材４２により保持され、保持部材４２は移動部
材４３に固定される。そして、ステッピングモータ４４
によって回転できるようにしたボールねじ４５によって
、列方向に走査できるようにする。このようにすると、
−のダハ面の反射率の測定が終了したときにステッピン
グモータ４４を所定角だけ回転させ（ボールねじ４５を
所定角だけ回転させ）、ダハミラーアレイ３６をΔＱだ
け移動させて次のダハ面の測定を開始するというように
、ステップ的に移動させて繰り返し反射率を測定するこ
とができる。
第１図および第２図に示す実施例による反射率の測定は
次の手順により行なう。まず、反射率既知のミラーを測
定面に固着し、その光強度を直線性のある光電変換素子
で読み取り、この値をメモリ等に記憶しておく（上記操
作は逐次行なう必要はなく、定期校正として行なえばよ
い）。次に、直列型ミラーの光強度を測定したのち、記
憶値と測定値との割り算を行なう。
次の手順により行なう。まず、反射率既知のミラーを測
定面に固着し、その光強度を直線性のある光電変換素子
で読み取り、この値をメモリ等に記憶しておく（上記操
作は逐次行なう必要はなく、定期校正として行なえばよ
い）。次に、直列型ミラーの光強度を測定したのち、記
憶値と測定値との割り算を行なう。
いま、既知のミラーの反射率をＲｏ、この光強度に対応
した光電変換出力をＬｏとし、直列型ミラーのｉ番目の
光電変換出力をＬｉとすると、ｉ番目の面の反射率Ｒ１
は によって与えられる。但し、式（１）は平面ミラーの場
合であって、ダハ面の場合には２面の合成反、射率とな
る。
した光電変換出力をＬｏとし、直列型ミラーのｉ番目の
光電変換出力をＬｉとすると、ｉ番目の面の反射率Ｒ１
は によって与えられる。但し、式（１）は平面ミラーの場
合であって、ダハ面の場合には２面の合成反、射率とな
る。
ところで、光電変換素子は単一の面積を有するものでも
よいが、ＣＣＤ、 ＰＤＡ等の固体撮像素子を用いると
、ミラーの平面度等に関する測定も同時に行なうことが
できる。
よいが、ＣＣＤ、 ＰＤＡ等の固体撮像素子を用いると
、ミラーの平面度等に関する測定も同時に行なうことが
できる。
第５図は第３図の光電変換素子３９として固体撮像素子
を用いた場合の、画信号を模式的に説明する説明図であ
る。図においてｎは固体撮像素子の画素数を示しｊ（ｊ
＝１．２．・・・＋ｎ）は画素の番号を示している。こ
の場合には、式（１）のＬｉ（直列型ミラーのｉｔｉ目
の光電変換出力）は Ｌｉ＝ Σ Ｖｊ・・・・・・（２） ｊ＝１ によって与えられる。従って、直列型ミラーの反射率を
めるためには、まず式（２）によってＬｉミラめ、次に
式（１）によってＲｉをめ、ｉを所要数だけ変化させる
ようにステッピングモータＩ３を制御すればよいことに
なる。
を用いた場合の、画信号を模式的に説明する説明図であ
る。図においてｎは固体撮像素子の画素数を示しｊ（ｊ
＝１．２．・・・＋ｎ）は画素の番号を示している。こ
の場合には、式（１）のＬｉ（直列型ミラーのｉｔｉ目
の光電変換出力）は Ｌｉ＝ Σ Ｖｊ・・・・・・（２） ｊ＝１ によって与えられる。従って、直列型ミラーの反射率を
めるためには、まず式（２）によってＬｉミラめ、次に
式（１）によってＲｉをめ、ｉを所要数だけ変化させる
ようにステッピングモータＩ３を制御すればよいことに
なる。
第６図は固体撮像素子の出力信号によって式（２）のＬ
ｉを演算するための、ディジタル方式の演算装置のブロ
ック図である。固体撮像素子３９′の出力信号はサンプ
ルホールド回路５１でホールドされたのち、 Ａ／Ｄ変
換器５２でディジタル信号に変換され、画素ごとの信号
がＲＡＭ５３に書き込まれる。演算回路５４は式（２）
に基づいてＲＡＭ５３に記憶された情報を演算し、結果
（Ｌｉについての情報）を入力ポート５５を介してＣＰ
ｔ１５６に与える。こうして、式（１）に基づく反射率
の測定がなされる。なお、ＣＰＵ５６は出力ボート５７
を介してタイミング発生回路５８およびモータ駆動回路
５９の制御も行なっており、タイミング発生回路５８か
らのタイミングパルスにより固体撮像素子駆動回路６０
、サンプルホールド回路５１、Ａ／Ｄ変換器５２、ＲＡ
Ｍ５３および演算回路５４の動作の同期がとられている
。また、モータ駆動回路５９はステッピングモータ４４
の動作を制御する。
ｉを演算するための、ディジタル方式の演算装置のブロ
ック図である。固体撮像素子３９′の出力信号はサンプ
ルホールド回路５１でホールドされたのち、 Ａ／Ｄ変
換器５２でディジタル信号に変換され、画素ごとの信号
がＲＡＭ５３に書き込まれる。演算回路５４は式（２）
に基づいてＲＡＭ５３に記憶された情報を演算し、結果
（Ｌｉについての情報）を入力ポート５５を介してＣＰ
ｔ１５６に与える。こうして、式（１）に基づく反射率
の測定がなされる。なお、ＣＰＵ５６は出力ボート５７
を介してタイミング発生回路５８およびモータ駆動回路
５９の制御も行なっており、タイミング発生回路５８か
らのタイミングパルスにより固体撮像素子駆動回路６０
、サンプルホールド回路５１、Ａ／Ｄ変換器５２、ＲＡ
Ｍ５３および演算回路５４の動作の同期がとられている
。また、モータ駆動回路５９はステッピングモータ４４
の動作を制御する。
第７図は固体撮像素子の出力信号によって式（２）のＬ
ｉを演算するための、アナログ方式の演算装置のブロッ
ク図である。固体撮像素子３９′の出力信号は、アナロ
グスイッチ６１を介して積分回路６２に与えられ、ここ
で式（２）の運算によりＬｉがめられ、Ａ／Ｄ変換され
てＣＰＵ５６に取り込まれ、式（１）により反射率がめ
られる。
ｉを演算するための、アナログ方式の演算装置のブロッ
ク図である。固体撮像素子３９′の出力信号は、アナロ
グスイッチ６１を介して積分回路６２に与えられ、ここ
で式（２）の運算によりＬｉがめられ、Ａ／Ｄ変換され
てＣＰＵ５６に取り込まれ、式（１）により反射率がめ
られる。
第８図は第３図ないし第７図に示す実施例によって直列
型ミラーの反射率を測定したときの結果を示す図である
。反射率が列方向に不均一であるときは、第８図（ａ）
の如く測定値（反射率）が変動する。これに対し、反射
率が列方向に不均一であるときは、第８図（ｂ）の如く
になる。
型ミラーの反射率を測定したときの結果を示す図である
。反射率が列方向に不均一であるときは、第８図（ａ）
の如く測定値（反射率）が変動する。これに対し、反射
率が列方向に不均一であるときは、第８図（ｂ）の如く
になる。
■効 果
上記の如くこの発明によれば、直列型ミラーの反射率分
布を迅速かつ容易に測定することができ、操作性に優れ
、かつ光学系の構成が簡素で安価に製作することのでき
る反射率測定装置を得ることができる。
布を迅速かつ容易に測定することができ、操作性に優れ
、かつ光学系の構成が簡素で安価に製作することのでき
る反射率測定装置を得ることができる。
また、光学結像素子（ＰＩＮＳ、 ＤＭＬＡ）の光量の
不均一測定に利用することができ、光電変換素子として
固体撮像素子を用いるときには、ミラーのＭＴＦ測定機
として利用することもできる。
不均一測定に利用することができ、光電変換素子として
固体撮像素子を用いるときには、ミラーのＭＴＦ測定機
として利用することもできる。
第１図は従来装置の一構成例の光学系統図、第２図は第
１図に示す構成例の電気系統図、第３図はこの発明の一
実施例の光学系の構成図、第４図は第３図の実施例の走
査機構の構成図、第５図は第３図の光電変換素子を固体
撮像素子としたときの画信号の説明図、第６図および第
７図は第３図ないし第５図に示す実施例の信号を処理す
る演算装置のブロック図、第８図は第３図ないし第７図
に示す実施例による測定結果の説明図である。 ３１・・・光源、 ３２・・・チャート、３３・・・赤
外カットフィルタ、 ３４・・・干渉フィルタ、 ３５・コリメータレンズ（平行光束射出手段）、３６・
・・ダハミラーアレイ（被測定ミラー）、３７・・・ビ
ームスプリンタ（光路分割手段）、３８・・・結像レン
ズ（コリメータ光学手段）、３９・・光電変換素子（光
電変換手段）、４０・・・遮光板、 ３９′・・・固体撮像素子、 手続補正書（自発） 昭和５８年１２月１９日 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第２１２４６５号 ２、発明の名称 反射率測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都大１１区中馬込１丁目３番６号名称（６
７４） 株式会社リコー ４、代理人 〒１０３電話６６９−４４２１住 所 東
京都中央区日本橋蛎殻町１−１３−１２５、補正の対象 明 絹 書 ６、補正の内容 明細書第１１頁第２０行のｒＰＩＮｓＪを削除し、［セ
ルホックレンズアレイＪを加入する。 以 上
１図に示す構成例の電気系統図、第３図はこの発明の一
実施例の光学系の構成図、第４図は第３図の実施例の走
査機構の構成図、第５図は第３図の光電変換素子を固体
撮像素子としたときの画信号の説明図、第６図および第
７図は第３図ないし第５図に示す実施例の信号を処理す
る演算装置のブロック図、第８図は第３図ないし第７図
に示す実施例による測定結果の説明図である。 ３１・・・光源、 ３２・・・チャート、３３・・・赤
外カットフィルタ、 ３４・・・干渉フィルタ、 ３５・コリメータレンズ（平行光束射出手段）、３６・
・・ダハミラーアレイ（被測定ミラー）、３７・・・ビ
ームスプリンタ（光路分割手段）、３８・・・結像レン
ズ（コリメータ光学手段）、３９・・光電変換素子（光
電変換手段）、４０・・・遮光板、 ３９′・・・固体撮像素子、 手続補正書（自発） 昭和５８年１２月１９日 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第２１２４６５号 ２、発明の名称 反射率測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都大１１区中馬込１丁目３番６号名称（６
７４） 株式会社リコー ４、代理人 〒１０３電話６６９−４４２１住 所 東
京都中央区日本橋蛎殻町１−１３−１２５、補正の対象 明 絹 書 ６、補正の内容 明細書第１１頁第２０行のｒＰＩＮｓＪを削除し、［セ
ルホックレンズアレイＪを加入する。 以 上
Claims (5)
- （１）被測定ミラーに向けて平行光束を射出する平行光
束射出手段と、前記平行光束の光路中に設けられた光路
分割手段と、前記被測定ミラーで反射された後に前記光
路分割手段で光路分割された平行光束の光路中に設けら
れるコリメータ光学手段と、該コリメータ光学手段の焦
点面に設けられた光電変換手段と、所定の基準値と前記
光電変換手段の出力の比に基づいて前記被測定ミラーの
反射率を算出する演算手段とを備える反射率測定装置。 - （２）平行光束射出手段は、インコヒーレントな光を発
する光源と、一定の開口のチャートと、該チャートを焦
点面とするコリメータレンズとを有する特許請求の範囲
第１項記載の反射率測定装置。 - （３）平行光束射出手段は、光源とチャートの間に赤外
線カットフィルタおよび干渉フィルタを有する特許請求
の範囲第２項記載の反射率測定装置。 - （４）被測定ミラーは、直列型ミラーであって列方向に
移動させる移動手段を有する特許請求の範囲第１項ない
し第３項のいずれかに記載の反射率測定装置。 - （５）光電変換手段は、固体撮像素子である特許請求の
範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載の反射率測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58212465A JPS60105935A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 反射率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58212465A JPS60105935A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 反射率測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60105935A true JPS60105935A (ja) | 1985-06-11 |
| JPH0444940B2 JPH0444940B2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=16623088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58212465A Granted JPS60105935A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 反射率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60105935A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002039094A1 (fr) * | 2000-11-10 | 2002-05-16 | Arkray, Inc. | Procede de mesure et instrument comprenant un capteur d'image |
| DE10225820A1 (de) * | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium der Verteidigung, dieses vertreten durch den Präsidenten des Bundesamtes für Wehrtechnik und Beschaffung | Anordnung zur optischen Prüfung von Winkelspiegeln |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109070373B (zh) * | 2016-04-18 | 2020-10-30 | 株式会社瑞光 | 坯料卷的表皮的切断方法以及装置 |
-
1983
- 1983-11-14 JP JP58212465A patent/JPS60105935A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002039094A1 (fr) * | 2000-11-10 | 2002-05-16 | Arkray, Inc. | Procede de mesure et instrument comprenant un capteur d'image |
| CN1308670C (zh) * | 2000-11-10 | 2007-04-04 | 爱科来株式会社 | 使用图像传感器的测定方法及装置 |
| US7274829B2 (en) | 2000-11-10 | 2007-09-25 | Arkray, Inc. | Measuring method and instrument comprising image sensor |
| DE10225820A1 (de) * | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium der Verteidigung, dieses vertreten durch den Präsidenten des Bundesamtes für Wehrtechnik und Beschaffung | Anordnung zur optischen Prüfung von Winkelspiegeln |
| DE10225820B4 (de) * | 2002-06-11 | 2004-08-12 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium der Verteidigung, dieses vertreten durch den Präsidenten des Bundesamtes für Wehrtechnik und Beschaffung | Anordnung zur optischen Prüfung von Winkelspiegeln |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0444940B2 (ja) | 1992-07-23 |
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