JPS599828A - Heating cathode and production process thereof - Google Patents
Heating cathode and production process thereofInfo
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- JPS599828A JPS599828A JP57119082A JP11908282A JPS599828A JP S599828 A JPS599828 A JP S599828A JP 57119082 A JP57119082 A JP 57119082A JP 11908282 A JP11908282 A JP 11908282A JP S599828 A JPS599828 A JP S599828A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、陰極基体上に、電子放射性の優れた金属酸化
物を包含した材料からなるアモルファス状のエミツタ層
を被着形成した加熱陰極及びその製造方法に係る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a heated cathode in which an amorphous emitter layer made of a material containing a metal oxide with excellent electron emitting properties is deposited on a cathode substrate, and a method for manufacturing the same.
従来より、真空管、放電管あるいは電子銃等に用いられ
ている加熱陰極は第1図に示す如く、電子放射性能及び
耐イオン衝撃性を良好にするため、仕事関数が小さく、
且つイオン衝撃による摩耗の少ないアルカリ土類金属元
素の酸化物、アルカリ金属元素の酸化物あるいは希土類
元素の酸化物等の金属酸化量からなる材料を、陰極基体
2上にエミツタ層6として固着させた所謂、酸化物陰極
が多用されている。例えば、バリウム(Ba)、ストロ
ンチウム(Sr)、カルシウム(Ca)等のアルカリ土
類金属元素にあっては、その取り扱いや保管の点から空
気中で安定な状態に保持できる単元あるいは2元以上の
炭酸塩(BaCO5、(Ba@Sr)COg 、 (B
a@Sr@Ca)COs等Fの形で陰極基体2上に付着
させ、高周波加熱や真空中での通電加熱等により上記炭
酸塩を熱分解温度(1,000〜1,500℃)まで温
度上昇させて分解し、単元あるいは2元以上の酸化物(
Bad、(Ba−8r)0、 (Ba−8r−Ca)0
等Fとして上記陰極基体2上に焼結させエミツタ層3と
していた。しかし、上述した加熱陰極1のエミツタ層3
は、金属酸化物の粒子が単に物理的に結合している構造
で菖るため機械的強度に乏しく、イオン衝撃に強い材料
を使用しているにもがかわらず電子やイオンによってス
パッタしてしまい、斯の種の電極1を組み込んだ電子管
の寿命を短がいものとし、又、形成されたエミツタ層6
は多孔質状で、その表面に多数の凹凸が生じているため
、高電圧に対しては電界集中によるスパーク発生の原因
となっていた。更に、上述のエミツタ層形成方法では、
炭酸塩を分解して酸化物にする工程及び、上記工程に使
用する高周波加熱装置や電源装置を別途用意する必要が
ある等の問題があった。Conventionally, heated cathodes used in vacuum tubes, discharge tubes, electron guns, etc. have a small work function, as shown in Figure 1, in order to improve electron emission performance and ion impact resistance.
In addition, a material consisting of a metal oxidation amount such as an oxide of an alkaline earth metal element, an oxide of an alkali metal element, or an oxide of a rare earth element, which is less abraded by ion bombardment, is fixed on the cathode substrate 2 as an emitter layer 6. So-called oxide cathodes are often used. For example, for alkaline earth metal elements such as barium (Ba), strontium (Sr), and calcium (Ca), from the viewpoint of handling and storage, it is necessary to use single or binary elements that can be maintained in a stable state in the air. Carbonate (BaCO5, (Ba@Sr)COg, (B
a@Sr@Ca) COs, etc. is deposited on the cathode substrate 2 in the form of F, and the carbonate is heated to the thermal decomposition temperature (1,000 to 1,500°C) by high frequency heating, electric heating in vacuum, etc. It is raised and decomposed to produce single or binary oxides (
Bad, (Ba-8r)0, (Ba-8r-Ca)0
The emitter layer 3 was sintered on the cathode substrate 2 as F. However, the emitter layer 3 of the heating cathode 1 described above
Because metal oxide particles are simply physically bonded together, they lack mechanical strength and are prone to sputtering by electrons and ions despite using materials that are resistant to ion bombardment. , the life of an electron tube incorporating such an electrode 1 is shortened, and the formed emitter layer 6
is porous and has many irregularities on its surface, which causes sparks due to electric field concentration at high voltages. Furthermore, in the emitter layer forming method described above,
There were problems such as the need to separately prepare a process for decomposing carbonates into oxides, and a high-frequency heating device and a power supply device used in the above process.
本発明は以上の諸問題を解消するためになされたもので
、仕事関数が小さく、且つイオン衝撃による摩耗が少な
いエミッタ材料であるアルカリ土類金属元素の酸化物、
アルカリ金属元素の酸化物及び又は希土類元素の酸化物
を、該拐料の特性を十分発輝させ得る状態で陰極に導入
し、電子放射性及び耐スパツタ性に優れ、且つ高電圧を
印加してもスパークの発生しない加熱陰極を提供すると
ともに、高温加熱工程が不要で、従って高温加熱のため
の特別な装置を必要とせず、製造容易な加熱陰極の製造
方法を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and uses an oxide of an alkaline earth metal element, which is an emitter material that has a small work function and less wear due to ion bombardment.
An oxide of an alkali metal element and/or an oxide of a rare earth element is introduced into the cathode in such a state that the properties of the alkali metal can be sufficiently exhibited, and the cathode has excellent electron emission and spatter resistance, and even when high voltage is applied. To provide a heated cathode that does not generate sparks, and also to provide a method for manufacturing a heated cathode that does not require a high-temperature heating step, therefore does not require a special device for high-temperature heating, and is easy to manufacture.
即ち、本発明の加熱陰極は、陰極基体上に、アルカリ土
類金属元素の酸化物、アルカリ金属元素の酸化物及び希
土類元素の酸化物群から選定した金属酸化物を少なくと
も一種以上包含した材料からなるアモルファス状のエミ
ツタ層を被着形成した構成を要旨とするものであり、上
記加熱陰極の製造方法はアルカリ土類金属元素、アルカ
リ金属元素又は希土類元素を包含した金属のアルコキシ
ド及びカルボン酸塩群から選定した一種以上の有機金属
1乃至50重量%と、アルコール、エステル、アルデヒ
゛ト、カルボン酸、ケトン類、炭化水素及びテルペン類
群から選定した一種以上の有機溶媒5乃至95重量%と
、高級アルコール系高沸点物、グリセリド、沸点が15
0℃以上400℃以下の多価アルコール、パラフィン、
ワセリン、ラノリン、ロジン、セルローズ系高分子化合
物、炭素数8以上のカルボン酸、ポリエステル、ポリア
ルデヒド、ポリアルコール、ポリエーテル、ポリアミド
系高分子化合物、アミノ酸2. リシドール鮮から選定
した一種以上の物質とを混合して液状あるいはペースト
状とし、陰極基体に付着させ加熱することにより上記有
機金属を分解してアルカリ土類金属元素の酸化物、アル
カリ金属元素の酸化物及び希土類元素の酸化物群から選
定した一種以上の金属酸化物を包含したアモルファス状
のエミツタ層として上記陰極基体上に被着形成すること
を特徴とするものである。That is, the heated cathode of the present invention is made of a material containing on a cathode substrate at least one metal oxide selected from the group of oxides of alkaline earth metal elements, oxides of alkali metal elements, and oxides of rare earth elements. The method for producing the heated cathode described above is based on a structure in which an amorphous emitter layer is deposited. 1 to 50% by weight of one or more organic metals selected from the group, 5 to 95% by weight of one or more organic solvents selected from the group of alcohols, esters, aldehydes, carboxylic acids, ketones, hydrocarbons and terpenes, and higher alcohols. High boilers, glycerides, boiling point 15
Polyhydric alcohol, paraffin, temperature between 0℃ and 400℃,
Vaseline, lanolin, rosin, cellulose polymer compounds, carboxylic acids having 8 or more carbon atoms, polyesters, polyaldehydes, polyalcohols, polyethers, polyamide polymer compounds, amino acids2. By mixing with one or more substances selected from Risidol Sen to form a liquid or paste, and attaching it to the cathode substrate and heating, the above-mentioned organic metals are decomposed to produce oxides of alkaline earth metal elements and oxidation of alkali metal elements. The present invention is characterized in that an amorphous emitter layer containing one or more metal oxides selected from the group of metal oxides and rare earth element oxides is deposited on the cathode substrate.
以下図面に基づき本発明の一実施例を説明する。An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.
第2図は、本発明の一実施例に係る加熱陰極の陰極基体
上に被着形成したエミツタ層の構造を示す拡大断面図で
あり、図に於いて1は加熱陰極、2は陰極基体、6は陰
極基体2上に形成したアモルファス状のエミツタ層を示
している。FIG. 2 is an enlarged sectional view showing the structure of an emitter layer deposited on a cathode base of a heated cathode according to an embodiment of the present invention, in which 1 is a heated cathode, 2 is a cathode base, Reference numeral 6 indicates an amorphous emitter layer formed on the cathode substrate 2.
しかして陰極基体2はFへNi、 Cr、 Wあるいは
これらの合金等、従来より使用されている陰極材料より
なり、エミツタ層3は希土類元素の酸化物を含む金属酸
化物としてクローム酸ランタン(LaCrOs )によ
って形成されている。このエミツタ層5ば、プロピオン
酸クローム1.7重31%及びプロピオン酸ランタン6
6重量%と酢酸ブチル又はブチルアルコール847重量
%とセチルアルコール10重量%とを混合して液状とし
て陰極基体2上に付着させて加熱することにより、上記
クローム及びランタンのアルコキシドを分解してクロー
ム(Cr)とランタン(La)との複合金属酸化物であ
るクローム酸ランタン(LaCrOs )よりなるアモ
ルファス状の被着層として、陰極基体2上に形成したも
のである。ただし、上述の加熱分解温度は、100℃以
上あれば十分であり、本発明の加熱陰極を組み込んだ電
子管の封止工程に於ける作業温度(400〜600℃)
を利用することができる。以上の製造方法で形成される
クローム酸ランタンのエミツタ層は、融点が2.500
℃以上と高く、シかもアモルファス状と々っでいるため
耐イオン衝撃性に優れたものとなる。The cathode substrate 2 is made of a conventionally used cathode material such as F, Ni, Cr, W or an alloy thereof, and the emitter layer 3 is made of lanthanum chromate (LaCrOs) as a metal oxide containing an oxide of a rare earth element. ) is formed by. This emitter layer 5 contains 1.7 weight 31% chromium propionate and 6 lanthanum propionate.
By mixing 6% by weight of butyl acetate or 847% by weight of butyl alcohol and 10% by weight of cetyl alcohol and depositing the mixture in a liquid state on the cathode substrate 2 and heating, the alkoxides of chromium and lanthanum are decomposed and chromium ( It is formed on the cathode substrate 2 as an amorphous adhesion layer made of lanthanum chromate (LaCrOs), which is a composite metal oxide of Cr) and lanthanum (La). However, the above-mentioned thermal decomposition temperature is sufficient if it is 100°C or higher, and the working temperature (400 to 600°C) in the sealing process of the electron tube incorporating the heated cathode of the present invention is sufficient.
can be used. The emitter layer of lanthanum chromate formed by the above manufacturing method has a melting point of 2.500.
℃ or more, and since it has a very amorphous shape, it has excellent ion bombardment resistance.
同、エミツタ層を形成する金属酸化物材料は、上記のク
ローム酸ランタンに限られることなくこれ以外にも代表
的なものとして、BaO、MgO。Similarly, the metal oxide material forming the emitter layer is not limited to the above-mentioned lanthanum chromate, but other representative materials include BaO and MgO.
SrO等(アルカリ土類金属元素の酸化物)、C52Q
Na 20 XK2O等(アルカリ金属元素の酸化物)
、Cent、Y2O5、Qd20g等(希土類元素の酸
化物)、BaO−8rO等(アルカリ土類金属元素複合
酸化物)、BaO*La2O5等(アルカリ土類金属元
素と希土類元素の複合酸化物)、C8O・LaO等(ア
ルカリ金属元素と希土類元素の複合酸化物) 、Ba0
−Al 20s等(アルカリ土類金属元素と非エミッタ
金属元素との複合酸化物)などがあげられる。これらの
金属酸化物は、例えばバリウムオクチラート2乃至10
0重量%とテレピン油5重量%及び灯油75乃至86重
量%とセチルアルコール10重量%とを混合(BaO層
形成用、液状)、バリウムラウリルオキシド2乃至10
重量%とオクチルアルコール65乃至77重量%とグリ
セロールステアレート1乃至5重量%及びデシルアルコ
ール20重量%とを混合(BaO層形成用。SrO etc. (oxides of alkaline earth metal elements), C52Q
Na20XK2O, etc. (oxides of alkali metal elements)
, Cent, Y2O5, Qd20g, etc. (rare earth element oxide), BaO-8rO, etc. (alkaline earth metal element composite oxide), BaO*La2O5, etc. (alkaline earth metal element and rare earth element composite oxide), C8O・LaO etc. (composite oxide of alkali metal elements and rare earth elements), Ba0
-Al 20s (a composite oxide of an alkaline earth metal element and a non-emitter metal element), and the like. These metal oxides include, for example, barium octylate 2 to 10
0% by weight and 5% by weight of turpentine oil, 75 to 86% by weight of kerosene and 10% by weight of cetyl alcohol (for BaO layer formation, liquid), barium lauryl oxide 2 to 10% by weight.
% by weight, 65 to 77% by weight of octyl alcohol, 1 to 5% by weight of glycerol stearate, and 20% by weight of decyl alcohol (for forming a BaO layer).
ペースト状)、カプリン酸マグネシウム10重景%とブ
チルアルコール81.5重量%とステアリルアルコール
8重量%及びプロピルセルローズ0.5重量%とを混合
(MgO層形成用、液状)、酪酸バリウム1.65重量
%及びプロピオン酸ストロンチウム1.17重量%とブ
チルアルコ−1ル94.18重量%とセチルアルコール
6重量%とを混合(BaO−8rO層形成用、液状)、
酪酸ノクリウム6重量%及び酪酸ランタン8重量%とブ
チルアルコール75重量%とセチルアルコール10重量
%及びステアリン酸4重量%とを混合(BaO・Al2
O3層形成用、液状)、あるいはバリウムオクチラート
4重景%及びアルミニウムブチラード5重量%とオクチ
ルアルコール60重量%及び灯油20重量%とラウリル
アルコール5重量%、セチルアルコール5重量%及びグ
リセロールステアレート1重量%とを混合(BaO・A
120s層形成用。paste), 10% magnesium caprate, 81.5% by weight of butyl alcohol, 8% by weight of stearyl alcohol, and 0.5% by weight of propyl cellulose (for forming MgO layer, liquid), barium butyrate 1.65% by weight 1.17% by weight of strontium propionate, 94.18% by weight of butyl alcohol and 6% by weight of cetyl alcohol (for forming BaO-8rO layer, liquid);
A mixture of 6% by weight of nocurium butyrate, 8% by weight of lanthanum butyrate, 75% by weight of butyl alcohol, 10% by weight of cetyl alcohol, and 4% by weight of stearic acid (BaO.Al2
(for O3 layer formation, liquid), or barium octylate 4% by weight, aluminum butylade 5% by weight, octyl alcohol 60% by weight, kerosene 20% by weight, lauryl alcohol 5% by weight, cetyl alcohol 5% by weight, and glycerol stearate. 1% by weight (BaO・A
For forming 120s layer.
ペースト状)して、陰極基体上に、吹き付け、ディップ
、塗布、印刷あるいはその他の手段で付着させて、電子
管の製造工程中の温度(400〜600℃)を利用して
、上記有機金属を分解することによって得られ、陰極基
体上に被着形成される。The organic metal is decomposed using the temperature (400 to 600 degrees Celsius) during the manufacturing process of electron tubes. It is obtained by depositing on the cathode substrate.
以上説明の如く、本発明によれば、仕事関数が小さく、
且つイオン衝撃による摩耗が少ないアルカリ土類金属元
素の酸化物、アルカリ金属元素の酸化物及び希土類元素
の酸化物を少なくとも一種以上包含した材料をアモルフ
ァス状のエミツタ層として陰極基体上に強固に被着形成
した加熱陰極が得られるため、電子放射性及び耐スパツ
タ性に優れ、且つエミツタ層の表面が均一で平滑に形成
されるため、高電圧に対してもスパークが発生しない加
熱陰極を得ることができる。更に本発明の製造方法によ
れば、上記金属のアルコキシドあるいはカルボン酸塩を
、電子管の製造工程に於ける作業温度で分解して金属酸
化物とすることができるため、高温加熱工程及び特別な
加熱装置や電源装置が不要であリ、容易に加熱陰極を製
造することができる。As explained above, according to the present invention, the work function is small;
In addition, a material containing at least one of oxides of alkaline earth metal elements, oxides of alkali metal elements, and oxides of rare earth elements, which is less abrasive due to ion bombardment, is firmly adhered as an amorphous emitter layer on the cathode substrate. Since the heated cathode thus formed is obtained, it has excellent electron emission properties and spatter resistance, and the surface of the emitter layer is uniform and smooth, so it is possible to obtain a heated cathode that does not generate sparks even under high voltage. . Furthermore, according to the manufacturing method of the present invention, the metal alkoxides or carboxylates can be decomposed into metal oxides at the working temperature in the manufacturing process of electron tubes, so there is no need for a high-temperature heating process or special heating. No equipment or power supply is required, and the heated cathode can be easily manufactured.
第1図は、従来の加熱陰極の陰極基体上に形成されてエ
ミツタ層の構造を示す拡大断面図、第2図は本発明の一
実施例に係る加熱陰極の陰極基体上に形成したエミツタ
層の構造を示す拡大断面図である。
1・・・加熱陰極 2・・・陰極基体 6・・・エ
ミツタ層
特許出願人 岡谷電機産業株式会社
・−技研科学株式会社FIG. 1 is an enlarged sectional view showing the structure of an emitter layer formed on a cathode base of a conventional heated cathode, and FIG. 2 is an emitter layer formed on a cathode base of a heated cathode according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the structure of FIG. 1... Heated cathode 2... Cathode base 6... Emitter layer Patent applicant Okaya Electric Industry Co., Ltd. - Giken Kagaku Co., Ltd.
Claims (1)
ルカリ金属元素の酸化物及び希土類元素の酸化物群から
選定した金属酸化物を少なくとも一種以上包含した材料
からなるアモルファス状のエミツタ層を被着形成したこ
とを特徴とする加熱陰極。 2)アルカリ土類金属元素、アルカリ金属元素又は希土
類元素を包含した金属のアルコキシド及びカルボン酸塩
群から選定した一種以上の有機金属1乃至50重量%と
、アルコール、エステル、アルデヒド、カルボン酸、ケ
トン類、炭化水素及びテルペン類群から選定した一種以
上の有機溶媒5乃至95重量%と、高級アルコール系高
沸点物、グリセリド、沸点が150℃以上400℃以下
の多価アルコール、パラフィン、ワセリン、ラノリン、
ロジン、セルローズ系高分子化合物、炭素数8以上のカ
ルボン酸、ポリエステル、ポリアルデヒド、から選定し
た一種以上の物質とを混合して液状あるいはペースト状
とし、陰極基体上に付着させて加熱することにより上記
有機金属を分解してアルカリ土類金属元素の酸化物、ア
ルカリ金属元素の酸化物及び希土類元素の酸化物群から
選定した。一種以上の金属酸化物を包含シたアモルファ
ス状のエミツタ層として上記陰極基体上に被着形成する
ことを特徴とした加熱陰極の製造方法。[Scope of Claims] 1) Consisting of a material containing at least one metal oxide selected from the group of oxides of alkaline earth metal elements, oxides of alkali metal elements, and oxides of rare earth elements on a cathode substrate. A heated cathode characterized by having an amorphous emitter layer deposited thereon. 2) 1 to 50% by weight of one or more organic metals selected from the group of alkoxides and carboxylates of metals containing alkaline earth metal elements, alkali metal elements, or rare earth elements, and alcohols, esters, aldehydes, carboxylic acids, and ketones. 5 to 95% by weight of one or more organic solvents selected from the group of hydrocarbons and terpenes, higher alcohol-based high boilers, glycerides, polyhydric alcohols with a boiling point of 150°C or more and 400°C or less, paraffin, vaseline, lanolin,
By mixing one or more substances selected from rosin, cellulose-based polymer compounds, carboxylic acids having 8 or more carbon atoms, polyesters, and polyaldehydes to form a liquid or paste, and depositing the mixture on a cathode substrate and heating it. The organic metal was decomposed and selected from the group of oxides of alkaline earth metal elements, oxides of alkali metal elements, and oxides of rare earth elements. A method for producing a heated cathode, comprising forming an amorphous emitter layer containing one or more metal oxides on the cathode substrate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57119082A JPS599828A (en) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | Heating cathode and production process thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57119082A JPS599828A (en) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | Heating cathode and production process thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS599828A true JPS599828A (en) | 1984-01-19 |
JPH0360135B2 JPH0360135B2 (en) | 1991-09-12 |
Family
ID=14752429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57119082A Granted JPS599828A (en) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | Heating cathode and production process thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS599828A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6222347A (en) * | 1985-07-19 | 1987-01-30 | Mitsubishi Electric Corp | Cathode for electron tube |
US4864187A (en) * | 1985-05-25 | 1989-09-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Cathode for electron tube and manufacturing method thereof |
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JPS559126A (en) * | 1978-07-04 | 1980-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | Tangent delta measuring apparatus |
JPS56118238A (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-17 | Okaya Denki Sangyo Kk | Cathode for dc type gas discharge indication panel and manufacture |
-
1982
- 1982-07-08 JP JP57119082A patent/JPS599828A/en active Granted
Patent Citations (2)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0360135B2 (en) | 1991-09-12 |
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