JPS5993430A - 光回路素子 - Google Patents

光回路素子

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JPS5993430A
JPS5993430A JP20306682A JP20306682A JPS5993430A JP S5993430 A JPS5993430 A JP S5993430A JP 20306682 A JP20306682 A JP 20306682A JP 20306682 A JP20306682 A JP 20306682A JP S5993430 A JPS5993430 A JP S5993430A
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JP
Japan
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electric field
light guide
comb
electrodes
electrode
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JP20306682A
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JPH0352612B2 (ja
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Minoru Kiyono
實 清野
Hiroki Nakajima
啓幾 中島
Ippei Sawaki
一平 佐脇
Eiji Mishiro
三代 英治
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/31Digital deflection, i.e. optical switching
    • G02F1/313Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
    • G02F1/3137Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure with intersecting or branching waveguides, e.g. X-switches and Y-junctions

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (a)  発明の技術分野 本発明は光導波路と平行してこれに電界を与えて使用す
る光回路素子に関する。
(b)  技術の背景 ニオブ酸リチウム(LiNbO3) 、タンタル酸リチ
ウム(LiTa(h )など電気光学結晶を用いて各種
の光回路素子が作られている。
その方法はこれらの単結晶から切り出された結晶基板の
上にリフトオフ法によりチタン(Ti)などの金属薄膜
よりなる導波路パターンを形成し、次にこれを熱処理す
ることにより金属を結晶基板中に拡散せしめ、これによ
り屈折率が基板結晶より増加した透明領域を作り、これ
を光導波路として用いるものである。
光回路素子は分岐或は交叉した光導波路を結晶基板上に
形成し、これに電界を加えること番こより効果的tこ屈
折率変化を起させて光スイッチングなどの動作を起させ
るものである。
本発明はLiNbO5結晶基板上に形成された光導波路
に光信号の伝播方向に電界を与えて使用する光回路素子
に関するものである。
(C)  従来技術と問題点 L + N’ b Oa  L I T aOaなどの
電気光学結晶は結晶軸により屈折率が異る。
例えばLjNbOsについては波長633(mμ〕での
値はX軸およびY軸方向では2286またZ軸方向では
2220であり、Tiを拡散して得た光導波路について
も同様に軸方向によりその値を異にする。
またこれらの結晶の誘電率は電界強度に依存して変化す
ることから屈折率も変化しその値は軸方向により異る。
それで今までこのような光導波路を用いて各種のデバイ
スが提案されているがその多くは偏光依存性をもつ素子
であり、この偏光依存性を無くするためには偏光の分離
と合成の過程を必要としていた。
すなわち光を電界成分が基板面と平行に振動する成分か
らなるTEモード光と垂直に振動する成分からなるTM
モード光に分離し、この一方のみを使用するか或はデバ
イスの出力側で両モード光を再結合させて元の偏光性の
ない光とする使用法かとられていた。
然し乍らLINbOaのZ軸を光伝播方向とす光導波路
を用い、Z軸方向に電界を与えるようにすれば偏光依存
性のないデバイスが得られる筈である。その理由を砦、
明すると、LiNbO5型の結晶において屈折率の電界
依存性は次式により表わされる。
1m Ey ’JZ + 2r51 EX ZX = 
1−−−−−−(1)こ\で no    ・・・常光線屈折率 ne  ・・・−・・・異常光線屈折率Ex 、 Ey
 、 Ez ”・X 、 Y 、 Z方向にか\る電界
強度r22 、 r13 、 ras 、 r51 ”
’ ”’ ”電気光学係数こ\で2軸方向のみに電界が
与えられる場合はEXEyは0であるから(1)式は次
のように簡略化することができる。
E z ) z2= 1−−−−−−−       
 −(2)これは電界印加により屈折率がX軸とY軸方
向では、大きさが等しく一方Z方向では異る回転楕円体
状に変化することを示している。
それで2軸方向に電界を加えるとX軸方向およびY軸方
向の屈折率が等量変化するため偏光依存性をもたない光
デバイスが実現されることになる。
然しZ軸方向に電界を加える通常の方法としては光回路
素子の両端に電極を設けこれに電圧を印加することが考
えられるが、素子長が長いため実3− 動的な電界を与えるときはこのような方法では不可能で
ある。
(d)  発明の目的 本発明は光導波路にこれと平行に電界を力え偏光依存性
のない光スィッチを形成する電極構成方法を提供するこ
とを目的とする。
(e)発明の構成 本発明の目的はLiNbO5結晶基板の2軸を光の伝播
方向として形成されている光導波路において、この導波
路が形成されている基板上に伝播方向と平行して一対の
櫛型電極が相互の櫛歯間隔が異る形状で噛み合う形で対
向して設けるこLにより達成することができる。
(f)  発明の実施例 第1図は本発明に係る電極配置に示すもので蒸着金属よ
りなる櫛歯状電極1,2が対向して設けられているが、
互に対向する櫛歯間の距離は違っている。
例えば上側の櫛歯をそれぞれ1−1.1−2・・・山1
.下佃1の櫛歯水2−1 、2−2.−、−0入オわ、
げ、4− 上側の櫛歯1−1.1−2  ・・、ll!:隣接する
下側の櫛歯2−1.2−2− ・との電極間隔はそれぞ
れ異っている。
か\る電極1,2の間に電圧を印加すると結晶基板3内
の電界分布は第2図のような電気力線4で表わすことが
できる。
すなわち近接した電極間(例えば1−1と2−1)の電
界強度は一定の距離を隔てた電極間(例えば1−1と2
−2)と較べると超かに大きく、表面部では第3図のよ
うに表わすこさができる。
すなわち近接電極間の電界強度5は一定距離の電極間の
電界強度6よりも超かに大きい。こ\で符号を逆とした
理由は電気力線の方向が反対であることによる。然し乍
ら結晶基板3の深さ方向における電気力線4の分布を考
えると第2図から判るように表面から一定の深さにおい
ては電界強度は一定の距離を隔て\存在する電極間(例
えば1−1と2−2)の方が犬となる。
さて、光導波路内における光伝播は結晶基板の表面より
一定の深さの位置で行われるため、導波路内の電界強度
は第4図に示すように第3図と異り、一定の距離を隔て
た電極間の電界強度7の方が近接する電極間の電界強度
8よりも犬となり、櫛型電極1,2の噛み合わせ部を結
んだ方向に電界を生ずることが判る。
本発明はLiNbO3のZ軸方向に設けた光導波路上に
第1図に示すような形状の櫛型電極を設けることにより
光導波路に平行に電界を与えるものである。
以下光スィッチへの適用例について説明する。
第5図はLiNbO3単結晶からXカット或はYカッ]
・された結晶基板上にZ方向を伝搬方向として形成され
た従来構造のスイッチであって、矩形の導波域9の入力
側(こは2つの入射光導波路10゜11がありまた出力
側には2つの出射光導波路12゜13があり、才た導波
域9の上に一方の電極14が、才た導波域9の両側にも
2つの電極15.16があって光スィッチが構成されて
いる。それで導波域9の上の電極14と両側の電極15
.16との間に電圧を印加することにより導波域9に垂
直な電界を与えこれにより導波域9の屈折率を変化さげ
てスイッチ作用を行っていた。
然し乍らこの場合は導波域9に対して垂部に電界が加わ
るため入射光としてはTEモード光或はTMモード光の
何れかを選択する必要があった。
然し乍ら第6図に示すように2伝播の方向に本発明に係
る櫛型電極17.18を対向して設けると導波路方向に
電界を与えることが可能となり、そのため偏光依存性の
無い光スィッチを得ることができる。
(g)  発明の効果 本発明の実施により偏光依存性のない光デバイスの製作
が可能となった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る櫛型電極の電極配置、第2図は電
極間に生ずる電気力線の模式図、第3図は結晶基板表面
部の電界強度を示す説明図、第4図は導波路内の電界強
度を示す説明図、第5図は従来の光スィッチの構成図ま
たは第6図は本発明を実施した光スィッチの構成図であ
る。 7− 図において、 1.2,1.7.18は櫛歯電極、3は結晶基板、4は
電気力線、5,6,7.8は電界強度。 187− 8−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ニオブ酸リチウム単結晶のZ軸を光の伝播方向として形
    成されてなる導波路において、該導波路が形成されてい
    る基板上に伝播方向と平行して一対の櫛型電極が相互の
    櫛歯間隔が異る形状で噛み合って設けられていることを
    特徴とする光回路素子。
JP20306682A 1982-11-19 1982-11-19 光回路素子 Granted JPS5993430A (ja)

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JPS5993430A true JPS5993430A (ja) 1984-05-29
JPH0352612B2 JPH0352612B2 (ja) 1991-08-12

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