JPS5990831U - 露光装置用光源の照度測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は露光装置用光源、フォトレジスト及び従来の照
度測定装置に使用されている光学フィルタの波長に対す
る感度を示すグラフ、第２図及び第３図は本考案の露光
装置用光源の照度測定装置の一実施例を示す図であり、
第２図は露光装置光源から受光器迄の構造を示す一部切
欠斜視図、第３図は受光素子から表示器迄の回路を示す
説明図である。 １１・・・露光装置用光源、１３・・・オプティカルフ
ァイバ束、１４・・・受光器、１５・・・分岐オプティ
カルファイバ群、１６・・・光学フ不ルタ群、１７・・
・受光素子群、１８・・・アンプゲイン調整器、１９・
・・アンプ、２０・・・たし算器、２１・・・表示器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一端面が露光装置用光源の所定発光部に対設されるよう
   に設けられた複数未のオプテイ力ノげアーイバからなる
   オプティカルファイバ束と、前記オプテイ力ルフナイパ
   束を少なくとも１本のオプティカルファイバずつに分岐
   させた分岐オプティカルファイバ群と、前記分岐オプテ
   ィカルファイバ群のそれぞれの他端面に対設され、前記
   露光装置用光源のそれぞれの特定波長域のみを通過させ
   る光学フィルタ群と、前記光学フィルタ群を通過した光
   を受光する受光素子群と、前記受光素子群からの出力を
   合成する合成装置とからなり、前記露光装置用光源の照
   度を精密測定し得るよ−うになされていることを特徴と
   する露光装置用光源の照度測定装置。