JPS5988606A - Positional deviation inspector for article - Google Patents

Positional deviation inspector for article

Info

Publication number
JPS5988606A
JPS5988606A JP57198876A JP19887682A JPS5988606A JP S5988606 A JPS5988606 A JP S5988606A JP 57198876 A JP57198876 A JP 57198876A JP 19887682 A JP19887682 A JP 19887682A JP S5988606 A JPS5988606 A JP S5988606A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
article
window
positional deviation
image
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57198876A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshimi Kodaira
小平 俊実
Michiaki Miyagawa
宮川 道明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Fuji Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd, Fuji Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP57198876A priority Critical patent/JPS5988606A/en
Publication of JPS5988606A publication Critical patent/JPS5988606A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/024Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

PURPOSE:To achieve an accurate inspection of positional deviation simply and inexpensively free from the shape and the size of article requiring no mechanical positioning apparatus by checking positional deviation of article from the center in the view taken from the area value of an object image existing within a window for observation of article. CONSTITUTION:A window generation circuit 82 is provided to generate a window for observing a specific area in a picture taken screen (view taken) with a camera. Therefore, only a pixel data in a specific area is taken out of a logic circuit 83 made of an AND gate and memorized into a data memory 84. Data memorized in the memory 84 is processed by mu-cpu 85. The mu-cpu 85 computes the area of an object image existing within four windows W1-W4, namely, area values S1-S4 of a shaped part. When S1-S2=DELTAy and S3-S4=DELTAx, DELTAx and DELTAy represent deviation of an object to be inspected from the center of the camera or the screen. Thus, based on the deviations DELTAx and DELTAy, the control of a handling is possible.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、工業製品等のノ・ンドリングシステム等に
おいて適用される、製品の位置ずれ検査装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a product misalignment inspection device that is applied to a non-driving system for industrial products and the like.

例えば、工業用ロボットを用いたハンドリングシステム
においては、検査対象物品の位置を検出する“目“の機
能が必要となるが、この発明は該6目”の機能を工業用
テレビジョンカメラ(ITVカメラ)尋の撮像装置とそ
の処理装置とを用いて実現しようとするものである。
For example, in a handling system using an industrial robot, the function of "eyes" to detect the position of the object to be inspected is required, and this invention provides the function of the "six eyes" to an industrial television camera (ITV camera). ) This is what we are trying to realize by using an image pickup device and its processing device.

第1図は従来の物品ハンドリングシステムを示す概略図
である。同図において、1はコンベア、2鉱物品、31
t;j:発光素子、32は受光素子、4はストッパ、5
はハンドリング装置のフィンガーである。すなわち、物
品2を移送するコンベア1の所定位置にストッパ4と発
、受光素子(以下、これらを合わせて単にセンサともい
つ。)31゜32とを設け、該ストッパ4によって物品
の位置決めを行なうとともにセンサにてその概略の大き
さや到着のタイミングを検出し、対応する位置に設けら
れているフィンガー5に所定の情報を与えることによっ
て物品を1つずつ所定の位置に移動させたシ、あるいは
収納したシするものである。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional article handling system. In the same figure, 1 is a conveyor, 2 is a mineral product, and 31 is a conveyor.
t;j: light emitting element, 32 is a light receiving element, 4 is a stopper, 5
are the fingers of the handling device. That is, a stopper 4 and light emitting and light receiving elements (hereinafter simply referred to as sensors) 31 and 32 are provided at a predetermined position of the conveyor 1 for transporting the article 2, and the article is positioned by the stopper 4. The approximate size and timing of arrival are detected by a sensor, and predetermined information is given to fingers 5 provided at corresponding positions to move or store the articles one by one to a predetermined position. It is something to do.

この場合、物品のコンベア上の載置位置やその方向、ま
たは物品およびストッパの形状等は予め決められている
ので、正しくノ1ンドリングを行なうことができるが、
例えば物品の形状、大きさまたはコンベア上の載置位置
が−わると、場合によっては全くハンドリングが出来な
くなってしまうという欠点を有している。また、物品に
よっては非常に柔らかいために、ストッパ等による機械
的な位置決めに適合しないものもある。
In this case, the placement position and direction of the article on the conveyor, the shape of the article and the stopper, etc. are predetermined, so that the nodding can be performed correctly.
For example, if the shape, size, or placement position of the article changes, it may become impossible to handle it at all. Further, some articles are so soft that they are not suitable for mechanical positioning using a stopper or the like.

一方、検査対象物品をITVカメラ等の撮像装置によっ
て撮像し、その撮像信号を画像処理することによってそ
の位置や姿勢を判別することは勿論可能であるが、かか
る装置は一般に処理装置がぼ5大で、従ってコストも高
く、また処理時間も長くなるのが普通である。
On the other hand, it is of course possible to image the object to be inspected using an imaging device such as an ITV camera, and then image-process the image signal to determine its position and orientation. Therefore, the cost is high and the processing time is usually long.

この発明はかかる点に鑑みてなされたもので、機械的な
位置決め装置を必要とせず、かつ物品の形状や大きさに
左右されず簡単で安価K、しかも正確に位置ずれ・を検
査しうる検査装置を提供することを目的とする。
This invention has been made in view of the above points, and is a simple and inexpensive test that does not require a mechanical positioning device, is independent of the shape and size of the article, and can accurately inspect for misalignment. The purpose is to provide equipment.

その特徴は、本質的には上述の如き画像処理技術を適用
するものではあるが、物品の被写体像を撮像装置によっ
て捉えるとともに、該撮像装置の視野内に所定の領域の
物品観察用窓(ウィンドウ)を設定し、該ウィンドウ内
に存在する被写体像の面積値から物品の撮像視野円中心
からの位置ずれを検査するようにした点にある。
The feature is that the image processing technology described above is essentially applied, but the object image of the article is captured by an imaging device, and the article observation window (window) of a predetermined area within the field of view of the imaging device. ), and the positional deviation of the article from the center of the imaging field of view is inspected from the area value of the subject image existing within the window.

以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。 
            、2第2図はこの発明による
ハンドリングシステムを示す概略構成図、第3図はこの
発明によるビデオコントローラの構成を示すブロック図
、第4図はこの発明による画像処理動作を説明するため
の説明図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
, 2. FIG. 2 is a schematic block diagram showing the handling system according to the present invention, FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the video controller according to the present invention, and FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the image processing operation according to the present invention. It is.

第2図において、6はハンドリング装置、7はITVカ
メラの如き撮像装置、8はビデオコントローラ、9はハ
ンドリングコントローラで、その他の符号は第1図に示
されるものと同様である。
In FIG. 2, 6 is a handling device, 7 is an imaging device such as an ITV camera, 8 is a video controller, 9 is a handling controller, and other symbols are the same as those shown in FIG.

すなわち、コンベア1によって搬送される物品2は、所
定の位置に設置された撮像装置7によって撮像され、電
気信号に変換される。ビデオコントローラ8は、撮像装
置7からのビデオ信号にもとづいて後述する如き判定方
法によシ物品2の撮像装置7の中心からの位置ずれを検
出する。ハンドリングコントローラlj:、  ビデオ
コントローラ8からの信号にもとづいてハンドリング装
置6に所定の信号を送シ、その回転角度またはフィンガ
ー5の開閉角度等を制御して物品のハンドリングを行な
5゜ ビデオコントローラ8は第3図に示される如く、2値化
・画面分割回路81、ウィンドウ発生回路82、論理回
路83、データメモリ84、マイクロコンピュータ(/
7−Cpu)の如き演算制御装置85、リードオンリメ
モリ(I(、OM)86、ランダムアクセスメモリ(R
AM)87.キーボード88およびCRT (Cath
ode Ray Tube )等よ多構成される。なお
、同図において、7Fi撮像装置である。
That is, the article 2 conveyed by the conveyor 1 is imaged by the imaging device 7 installed at a predetermined position and converted into an electrical signal. The video controller 8 detects the positional deviation of the article 2 from the center of the imaging device 7 based on the video signal from the imaging device 7 using a determination method as described below. Handling controller lj: Sends a predetermined signal to the handling device 6 based on the signal from the video controller 8, controls the rotation angle or the opening/closing angle of the fingers 5, etc. to handle the article. As shown in FIG.
7-CPU), a read-only memory (I(,OM) 86, and a random access memory (R).
AM)87. Keyboard 88 and CRT (Cath
Ray Tube), etc. In addition, in the same figure, it is a 7Fi imaging device.

動作について、説明する。The operation will be explained.

撮像装fi7を介して与えられるビデオ信号は、2値化
および画面分割回路81において所定のしきい値レベル
で2値化されるとともに、量子化または画素化される。
A video signal provided via the imaging device fi7 is binarized at a predetermined threshold level in a binarization and screen division circuit 81, and is also quantized or pixelized.

ウィンドウ発生回路82t−、、t、撮像装置による撮
像画面(撮像視野)内の所定の領域を観察するための窓
、すなわちウィンドウを発生させるための回路であり、
したがって、例えばアンドゲートから構成される論理回
路83からは所定の領域内の画素化データ゛のみが取シ
出され、データメモリ84に記憶される。なお、ウィン
ドウを発生させるKf:j、撮像装置にょる撮像画面の
X、Y方向においてウィンドウを開く位置と閉じる位置
の座標がわかればよく、その方法として、これらのX、
Y座標位置情報を固定的なメモリ(例えば第3図のRO
M86)に記憶させておく方法、その都度キーボード等
の入力装置(例えば43図のキーボード88)を介して
ウィンドウに関する位置情報を適宜指定してメモリ(例
えば第3図のRAMa7 )に記憶させる方法等がある
が、任意形状のウィンドウを発生させるには後者の方法
によるのが適当である。この点についてしに不出願人が
既に提案したところであるので、必要ならば、特願昭5
7−71499号を参照されたい。
Window generating circuits 82t-, , t are windows for observing a predetermined area within the imaging screen (imaging field of view) of the imaging device, that is, a circuit for generating a window;
Therefore, only pixelated data within a predetermined area is taken out from the logic circuit 83, which is constituted by, for example, an AND gate, and stored in the data memory 84. Note that it is sufficient to know Kf:j for generating the window, and the coordinates of the opening and closing positions of the window in the X and Y directions of the imaging screen of the imaging device.
The Y coordinate position information is stored in a fixed memory (for example, RO in Figure 3).
M86), a method of specifying the position information regarding the window as appropriate each time via an input device such as a keyboard (for example, the keyboard 88 in Figure 43), and storing it in the memory (for example, RAMa7 in Figure 3), etc. However, the latter method is suitable for generating windows of arbitrary shapes. Regarding this point, the non-applicant has already proposed, so if necessary,
See No. 7-71499.

このようにしてメモリ84に記憶さノしたデータがp−
cpu85によシどのように処理するかについて、第4
図を参照して説明する。なお、第4図はデータメモリの
内容をモニタした場合を示すもので、Pはモニタ画面、
POは被写体像、W1〜W4はウィンドウである。すな
わち、同図は断面が円形の物品を撮像したもので、その
像がPOとして示される一方、長方形状のウィンドウW
1〜W4が図示の如き位置関係をもって発生されている
The data stored in the memory 84 in this way is p-
The fourth section explains how to process the CPU85.
This will be explained with reference to the figures. In addition, FIG. 4 shows the case where the contents of the data memory are monitored, P is the monitor screen,
PO is a subject image, and W1 to W4 are windows. That is, the figure is an image of an article with a circular cross section, and the image is shown as PO, while the rectangular window W
1 to W4 are generated with the positional relationship as shown.

/7−cpu85tj:、これら4つのウィンドウW1
〜X■4内に存在する被写体像の面積、すなわち斜線が
施された部分の面積値81〜S4を演算する。この場合
、撮像画面が微小単位の画素に分割されており、かつ該
画素の単位面積が予めわかっているので、JF純には該
斜線部内に存在する被写体像を表わす画素の数を計数す
ることKよってその面積値を求めることができる。次に
、こうして求められた各面積値について 1−82 3− s4 なる演算を行なう。ここで、5l−82−Δyシ53−
s4=ΔXとすると、該ΔX、Δyは検査対象物の撮像
装置または画面の中心からのずれ量を表わすことになる
。したがって、第2図の如きハンドリングシステムにお
いては、該ずれ量ΔX、Δyにもとづいてハンドリング
装置を制御すればよいことがわかる。なお、ΔX(2M
 ) = 0で物品は左右(上下)方向のずれがないこ
とを示し、Δχ(Δy)>0で右(上)ずれ、ΔX(Δ
y)〈0で左(下)ずれを表わすことになることは云う
迄もない。上記では、ウィンドウ内に存在する被写体像
を求めるようにしたが、逆にウィンドウ内の被写体像と
重ならない部分の面積値を求めるようにしてもよい。ま
た、ウィンドウの形状を上記では長方形にしたが、少な
くとも軸対称な位置関係にあるWlとW2およびW3と
W4の如くベアとなるウィンドウが互いに同じ大きさと
形状とを有していれば三角形でも五角形でもよいもので
ある。さらに、物品の断面形状が円である場合について
説明したが、少なくともX、Y軸に関して対称な図形な
らば楕円、長方形さらには多角形でもよいことは明らか
である。ただし、この発明は、物品がY軸またはY軸の
いずれかの方向に平行移動する場合にのみ適用されるも
ので、X、Y軸平面内で任意方向に回転する場合は検出
不能である。
/7-cpu85tj:, these four windows W1
The area of the subject image existing within ~X24, that is, the area value 81~S4 of the diagonally shaded portion is calculated. In this case, since the imaging screen is divided into minute pixels and the unit area of each pixel is known in advance, JF Jun can count the number of pixels representing the subject image existing within the shaded area. According to K, the area value can be determined. Next, the calculation 1-82 3-s4 is performed for each area value thus obtained. Here, 5l-82-Δy 53-
When s4=ΔX, ΔX and Δy represent the amount of deviation of the inspection object from the center of the imaging device or screen. Therefore, it can be seen that in the handling system as shown in FIG. 2, the handling device can be controlled based on the deviation amounts ΔX and Δy. In addition, ΔX(2M
) = 0 indicates that there is no shift in the left/right (vertical) direction, Δχ (Δy) > 0 indicates a right (up) shift, and ΔX (Δ
It goes without saying that y) <0 represents a left (downward) shift. In the above, the image of the subject existing within the window is determined, but conversely, the area value of the portion that does not overlap with the image of the subject within the window may be determined. In addition, the shape of the window is rectangular in the above example, but if the bare windows have the same size and shape, such as Wl and W2 and W3 and W4, which are in an axially symmetrical positional relationship, it can be a triangle or a pentagon. But it's good. Furthermore, although the case where the cross-sectional shape of the article is circular has been described, it is clear that the cross-sectional shape of the article may be an ellipse, a rectangle, or even a polygon as long as it is symmetrical with respect to the X and Y axes. However, this invention is applicable only when the article moves in parallel in either the Y-axis or the Y-axis direction, and cannot be detected when the article rotates in any direction within the X-Y axis plane.

以上のように、この発明によれば、物品の撮像画面内中
心からの位置ずれ量を簡単かつ安価に検出することがで
きるから、物品の単純なコンベアからコンベアへの乗り
渡し、所定の場所に積み上げて行くバレクイジング、そ
の逆の操作をするデパレタイジング等における寸法や形
状の異なる物品のハンドリングを簡単かつ安価に、しか
も迅速に、そのうえ正確になし5るという利点を有する
ものである。また、撮像装置を利用するものであるため
、物品の形状や大きさの変更時にもウィンドウの発生態
様を変えるだけで容易に対処することができるので極め
て柔軟性の高いものということができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to easily and inexpensively detect the amount of positional deviation of an article from the center of the imaging screen, so that the article can be simply transferred from one conveyor to another, and the article can be moved to a predetermined location. This has the advantage that articles of different sizes and shapes can be easily, inexpensively, quickly, and precisely handled in barrequising, which is stacking up, and depalletizing, which is the reverse operation. Further, since it uses an imaging device, it can be easily handled when changing the shape or size of the article by simply changing the manner in which the window is generated, so it can be said to be extremely flexible.

なお、この発明は1、上述の如きノ・ンドリングシステ
ムばかりでなく、マーキング、印刷、ラベリングまたは
切断工程の自動化等に広く応用することができ、場合に
よっては円形物品の偏心IIの測定にも適用することが
できる。
Note that this invention can be widely applied not only to the above-mentioned no-end ring system but also to automation of marking, printing, labeling, or cutting processes, and in some cases to the measurement of eccentricity II of circular articles. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はノ・ンドリングシステムの従来例を示す概略図
、第2図はこの発明による全体的なシステムを示す概略
構成図、fA3図はこの発明によるビデオコントローラ
の惜成を示すブロック図、第4図はこの発明による演算
動作を説明するだめの説明図である。 符号説明 1・・・・・・コンベア、2・・・・・・検査対象物品
、31・・・・・・発光素子、32・・・・・・受光素
子、4・・・・・・ストッパ、5−−−−−・フィンガ
ー、6・・・・・・ノ1ンドリング装置、7・・・・・
・撮像装置(テレビカメラ)、8・−・・・・ビデオコ
ントローラ、9・・・−・・ハンドリングコントローラ
、81・・・・・・2値化・画面分割回路、82・・・
・・・ウィンドウ発生回路、83・・・・・−論理回路
、84・・・・・・データメモリ、85・−・・・・演
算制御装置(μ−cpu )、86・・・・・・リード
オンリメモリ(I(、OM)、87・・・・・・ランダ
ムアクセスメモリ(RAM)、8B・・・・・・キーボ
ード、89−・・・・・CRT 代理人 弁理士 並 木 昭 夫 代理人 弁理士松 崎   清 第 1 図 第2図 第3図
FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional example of a non-driving system, FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing the overall system according to the present invention, and FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the calculation operation according to the present invention. Description of symbols 1... Conveyor, 2... Article to be inspected, 31... Light emitting element, 32... Light receiving element, 4... Stopper , 5--Finger, 6... No. 1 handling device, 7...
- Imaging device (TV camera), 8... Video controller, 9... Handling controller, 81... Binarization/screen division circuit, 82...
...Window generation circuit, 83...-Logic circuit, 84...Data memory, 85... Arithmetic control unit (μ-CPU), 86... Read-only memory (I (, OM), 87... Random access memory (RAM), 8B... Keyboard, 89-... CRT Agent Patent attorney Akio Namiki People Patent Attorney Kiyoshi Matsuzaki Figure 1 Figure 2 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 少なくとも直交するX、Y座標軸に関して対称外物品を
該X、Y座標面の垂直上方から撮像する撮像手段と、該
撮像信号を所定のしきい値レベルで2値化して画素化す
る画像分割手段と、前記撮像手段による撮像視野内の中
心を通るX、Y軸をはさむ対称位置にそれぞれ合同な形
状のウィンドウをベアにして発生させるウィンドウ発生
手段と、該各ウィンドウ内に存在する前記画素化された
被写体像信号を抽出して記憶する記憶手段と、該記憶デ
ータにもとづいて各ウィンドウ内に存在する被写体像の
面積値をそれぞれ演算するとともに該面積値をベア毎に
比較する演算手段とを備え、該演算結果にもとづいて検
査対象物品の前記撮像視府内中心からの位置ずれを検査
することを特徴とする物品の位置ずれ検査装置。
an image capturing means for capturing an image of an object that is not symmetrical with respect to at least orthogonal X and Y coordinate axes from vertically above the X and Y coordinate plane; and an image dividing means for binarizing the image signal at a predetermined threshold level and converting it into pixels. , window generating means for generating bare windows of congruent shapes at symmetrical positions sandwiching the X and Y axes passing through the center of the imaging field of view of the imaging means; and the pixelated windows existing in each window. comprising a storage means for extracting and storing the subject image signal, and a calculation means for computing the area values of the subject images existing in each window based on the stored data and comparing the area values for each bear, A positional deviation inspection device for an article, characterized in that the positional deviation of the object to be inspected from the center of the imaging visual field is inspected based on the calculation result.
JP57198876A 1982-11-15 1982-11-15 Positional deviation inspector for article Pending JPS5988606A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57198876A JPS5988606A (en) 1982-11-15 1982-11-15 Positional deviation inspector for article

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57198876A JPS5988606A (en) 1982-11-15 1982-11-15 Positional deviation inspector for article

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5988606A true JPS5988606A (en) 1984-05-22

Family

ID=16398386

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57198876A Pending JPS5988606A (en) 1982-11-15 1982-11-15 Positional deviation inspector for article

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5988606A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62204378A (en) * 1986-03-05 1987-09-09 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd Method for detecting center of circle

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4979099A (en) * 1972-12-06 1974-07-30
JPS562281A (en) * 1979-06-16 1981-01-10 Yamaha Motor Co Ltd Power unit for motorcycle

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4979099A (en) * 1972-12-06 1974-07-30
JPS562281A (en) * 1979-06-16 1981-01-10 Yamaha Motor Co Ltd Power unit for motorcycle

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62204378A (en) * 1986-03-05 1987-09-09 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd Method for detecting center of circle

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5988606A (en) Positional deviation inspector for article
JPH02125375A (en) Position detecting device
JP3627249B2 (en) Image processing device
JPH02127393A (en) Object position detecting device
EP3477588B1 (en) Image processing apparatus, image processing method, and recording medium
JPH02230381A (en) Work inspecting device
JP2569543B2 (en) Hardness tester
Chin et al. Automatic visual inspection of printed circuit boards
JPH07243808A (en) Method and apparatus for inspection of label as well as lebel image processor
JPH0341577A (en) Discriminating method for circular body
JPS5989426A (en) Inspecting device for positional deviation of article
JPH052634A (en) Visual recognition device
JPS63223505A (en) Method and device for positioning
JPS5990172A (en) Product inspector
JPH03111705A (en) Inspecting device of article
JPS6180003A (en) Visual sense system with real length conversion and correction function
JPH061247B2 (en) Defect inspection method by image processing
JP3112693B2 (en) Figure number calculation device and figure number calculation method
JP2635303B2 (en) Wafer orientation flat detector
JP2601232B2 (en) IC lead displacement inspection equipment
Edamatsu et al. TV camera system inspects and sorts power transistor chips
JPH0196540A (en) Method for detecting foreign matter in liquid
JPH0133870B2 (en)
Ishizaka et al. High-speed pattern recognition system based on a template matching
JPH0643124A (en) Foreign matter analysis