JPS5985689U - 載物台 - Google Patents
載物台Info
- Publication number
- JPS5985689U JPS5985689U JP18030582U JP18030582U JPS5985689U JP S5985689 U JPS5985689 U JP S5985689U JP 18030582 U JP18030582 U JP 18030582U JP 18030582 U JP18030582 U JP 18030582U JP S5985689 U JPS5985689 U JP S5985689U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- loading table
- stage body
- vacuum sensor
- recorded
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例の載物台の真空センサ系統を
示すブロック図である。尚図において、11・・・・・
・絶縁基板、12・・・・・・載物台本体、13・・・
・・・真空センサー用ノズル穴、14・・・・・・フィ
ルタ、15・・・・・・真空センサ、16・・・・・・
真空源、17・・・・・・レーザトリミング装置のシス
テムコントローラ。
示すブロック図である。尚図において、11・・・・・
・絶縁基板、12・・・・・・載物台本体、13・・・
・・・真空センサー用ノズル穴、14・・・・・・フィ
ルタ、15・・・・・・真空センサ、16・・・・・・
真空源、17・・・・・・レーザトリミング装置のシス
テムコントローラ。
Claims (1)
- 基板が載物台本体上に載置されているか否かを検出する
ための真空センサ穴を前記載物台本体に設けたことを特
徴とする載物台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18030582U JPS5985689U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 載物台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18030582U JPS5985689U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 載物台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5985689U true JPS5985689U (ja) | 1984-06-09 |
Family
ID=30390980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18030582U Pending JPS5985689U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 載物台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5985689U (ja) |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP18030582U patent/JPS5985689U/ja active Pending
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