JPS5969813A - 制御系の診断方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、制御系の診断方法及び装置に係り、特に、自
動制御装置等の状態が正常であるか異常であるか？診断
する際に用いるのに好適な、制御系の診断方法及び装置
に関する。

近年、製造設備等は、大規模且つ高級となυ。

各機器の健全性が、それらの機器単独の生産性のみなら
ず５膨大な機器よりなる製造設備全体の生＋’Ｌ性をも
左右する傾向にある。従って、製造設備全体及び各構成
機器の健全性を確認し、異常の前兆全早急に把握して、
適切な処置を施す必要がある。

このような１］的で、制御系の設定信号を階段状に変え
、それに対応するｔｒｉ！Ｉ御量の変化を観６）１ｊす
る、いわゆるスグッグ応答會調べる方法や、設定信号と
して正弦波を印加し、その周波数を順次変えて、それに
対応した制御量の変化全観測する。いわゆる周波数応答
を調べる方法が実用化されている。

しかしながら−これらのステップ応答或いは周波数応答
を調べる方法は、いずれも。

（１）　　操業中の信号とけ全く別のステップ信号又は
正弦波信号音用いる必要があるため、操業中に実施する
ことは不可能である。

（２）　　これらの入力信号は、操業中の信号とは、そ
の形状、振幅等が異なることがら一操業中の制御系の状
態を診断する手段としては不十分である。

（３）多重の制御ループよシなる制御系においては、被
観測ループ以外の制御ループとの干渉により、被観測ル
ープの状態を丑確に診断することが不可能である。

等の欠点上布していた。

即ち１例えば第１図に示すような、メインループの調節
器Ａと、マイナールーズの調節器Ｂと、マイナーループ
の′ＡｊｌＪ御対象Ｃと、メインループの制御対象り及
びＥと、マイナーループの帰還要素Ｆと、メインループ
の帰還要素Ｇと、並列ループへの影響要素Ｈと、並列ル
ープの調節器■と、並列ループの制御対象Ｊと、並列ル
ープからの影響要素にと、並列ループの制御対象りと、
並列ループの帰還要素Ｍとを有する制御系全労えると、
要素Ｂ−Ｃ，Ｆよりなるマイナーループは、それ自体で
一つの閉じた制御ループであると同時に。

Ｂ−Ｃ／（１＋Ｂ−Ｃ−Ｆ）というブロックとして、メ
インループの制御対象の一つになっている。従って、マ
イナーループの各要素Ｂ、Ｃ，Ｆの特性は、マイナール
ープの制御性に影響するのみならず。

メインループの制御性にも重大な影ｔ＃を及ぼすことに
なる。

第１図において、ａは−メインループの目標値、ｂは、
メインループの制御偏差（＝ａ−ｎ）、Ｃは、メインル
ープの操作量（＝マイナーループの目標値）、ｄは、メ
インループの外乱、ｅは、マイナーループの制御偏差（
＝ｃ＋ｄ−ｍ）、ｆは、マイナール−ズの操作量、ｇは
、マイナーループの外乱。

ｈ＝ｆ−１−ｇ−ｉは、マイナーループの制御量、ｊ＝
ｉ−Ｄ−ｋ＝ｊ−Ｅ−１は−メインループの制御数−ｍ
は、マイナーループの帰還量、ｎは、メインループの帰
還量、０は、メインループと並列で叶つ〃いに干渉し合
うループ（以下並列ルーズと称する）への干渉外乱、ｐ
は、並列ループの目標値−ｑは、並列ループの制御偏差
（＝　ｐ　−ｗ　）、ｒは、並列ループの操作量−５＝
ｒ−Ｊ、ｔは、並列ループからの干渉外乱、ｕ＝ｓ−Ｌ
−ｖけ、並列ループの制御量、Ｗは、並列ループの帰還
量である。

ここで、メインループの？ＩＩＩ御性を診断するために
、メインループの目標値ａｋ変化させた時、それに対す
る応答は、メインループの生な要素であるＡ、Ｄ−Ｅ、
Ｇのみでムく、マイナーループの要素Ｂ＝　Ｃ１Ｆの影
響も受ける。又、マイナーループの制御性を診断するた
めに、マイナーループの目標値ｃｋ変化させ、それに対
応するマイナーループの帰還量ｍを観測しようとする時
、マイナールーフの？ｌ１ｌｌ　ｉＡＩ量ｌは、メイン
ルーブノ要素ｌ）、Ｅ−Ｃ，Ａ全経由して、７１ナール
ーブの目標イ直ｃｆ変化させてし１う。更に、メインル
ープの制御ｆｆ１ｌは、メインループの内部状態量にの
他に。

メインループの内（１ζ状態量ｊ　ＫＨ−Ｉ−Ｊ−に−
Ｍ／（１＋■・Ｊ−Ｌ−Ｍ）が乗ぜられた信号ｔを含む
ことから−　１．Ｊ＝　Ｌ、Ｍよりなる並列ループにも
影響され、メインループの王な要素であるＡ−Ｄ、１１
、　Ｇのみでは定１らない。

一方、制御系の状態全診断するための他の方法として、
成る要素の入力に白色雑音信号又は可変周波数の正弦波
信号全印加し、対応する出力の振幅と位相角の変化を伝
達関数として測定する方法がある。

しかしながら、この方法は、対象とする要素が線形で１
人力ｌ出力の場合にしか適用できず、実際の制御系に、
この方法全適用すると、線形の１人力ｌ出力系に近イリ
したことによる誤差が発生する。

即ち−例えば前出第１図に示したような、２人力２出力
系においては一メインループの制御量（出力）■は、メ
インループの目標値（入力）ａのみならず、並列ループ
の目標値（他の入力）ｐの影響も受は一更に、外乱ｔ１
ｇにも影響される。

同様に、並列ループの制御量（出力）■は、２人力ａ−
ｐと２外乱ｄ−ｇに影響される。従って、このような系
では構成る特定の入力と出力との間の関係のみを抽出し
ようとしても、他の系の影響を排除し得ないために、抽
出不可能である。

又、公知のように、伝達関数法はラプラス変換全基礎と
しているので一非線形系に対しては適用できない。実際
の制御系の伝達関数の変化全解析する上で、線形要素の
特性の変化によるものが、非線形性の変化によるものが
全区別しなければならないが、従来の伝達関数法では不
可能である。

このように、従来の方法は、いずれも重大な欠点があり
、制御系の正常性全適確に診断することは困難であった
。

本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなされたもの
で７制御系の正常性全適確易に、且つ。

適確に診断することができる制御系の診断方法及び装置
を提供することを目的とする。

本発明は、制御系の診断方法において、まず。

制御系の制御偏差の２乗積分値の大きさによって制御ル
ープとしての制御性全評価し１次いで、制御系の各要素
のコヒーレンス関数と伝達関数とを組合せて各要素の特
性全評価することによって、制御系の正常性？診断する
ようにして、前記目的を達成したものである４゜ 又、前記伝達関数による各要素の特性の評価全。

前誼」コヒーレンス関数が基準値よシ太である場合に行
うようにして一信頼性の高い診断が行われるようにした
ものである。

史に、前記伝達関数による各要素の特性の計価會、ゲイ
ンＩＧＩがＯｄＢとなる周波数ｆ＋における位相θｆ１
の一１８０°に対する余裕、及び１位相θが一１８０°
になる周波数ｆ２におけるゲインＩＧ＋が基準の低周波
数域の値ＩＧ（ＩＩから３ｄＢ低１した時の周波数ｆ　
−３ｄＢ−及び、位相θが基準の低周波数域の値θ０か
ら９０°遅れた時の周波数ｆ　９００の、各基準値から
の偏差亦によって１行うようにして一比較的狭い周波数
領域でも十分評価できるようにし／こものである。

父、本発明は、前８１目的を達成する装置を、制御系の
制御１偏差の２乗積分値を演算する演算手段と一前制２
乗積分値を基準値と比較する第１の比較手段と、制御系
の各要素のコヒーレンス関数と伝達関数を求める周波数
解析手段と、前記コヒーレンス関数全基準値と比較する
第２の比較手段と、前記伝達関数全基準値と比較する第
３の比較手１夕と、前ｈヒ各比較手段の出力によって１
ｉｉｌ！御系の正常性を判定するための論理回路と、全
圧いて構成したものである。

本発明は。

（１）　　線形性・や入出力数に関係なく、制御偏差の
２乗積分値で制御性が評価できること。

（２）　　伝達関数の信頼ｉ生全コヒーレンス関数で評
価できること− に滝口してなされたものである１、 以下、前出第１図に示したような、メインループの中に
マイナーループを含み一更に、他に並列ループ′に有す
る制御ループ全例にとって１本発明の詳細な説明する。

診断しようとするメインループは、その目標値がａ、制
御量が１、制御偏差がす、操作柘がＣであυ、操作量ｃ
に対する制御量ｌの伝達関数’ｋＮとすると、第２図に
示す如く一調筒器Ａと１等価制御対象Ｎと、帰還要素Ｇ
とからなる制御ループとして表現することができる。こ
こで１等価制御対象Ｎは−　ｌ入力１出力の却純な要素
ではなく、入力Ｃの他に、外乱（ｌ　ｇ、　ｐが加わる
とみなすことができる。

この制御ループ全体を閉ループｌＯとすると、この閉ル
ープ１０の入出力、状態量、外乱ａ＝ｂ、Ｃ１１、ｎ−
ｄ−ｇ−ｐを、第２図に示す如く。

診断装置１２に入力する。この診断装置１２は、例えば
第３図に示す如く、制御系の制御偏差すの２乗積分値Ｉ
ＳＥを演算する演算器１４と、前記２乗積分値ｌ５Ｅｋ
基準値ｌ５Ｅｏ　と比較する第１の比較器１６と、制御
系の各要素のコヒーレンス関数ＣＦと伝達関数を求める
２次元周波数解析器１８と、前＠ピコヒーレンス関数Ｃ
Ｆ’７基準値ＣＦ’。と比較する第２の比較器２０と、
前記伝達関数全基準値と比較する第３の比較器２２と、
前記各比較器１６．２（１２２の出力によって制御系の
正常性全判定するための論理回路２４とから構成されて
いる。

前記のような診断装置１２における制御系の正常性の診
断は一次のようにして行われる。

即ち、まず−制御ループとしての制御性を、制御偏差す
の２乗積分値ＩＳＥとして評価する。

ここで、積分時間τは、制御ループの時定数に対応して
設定されている。

制御が緩慢な場合、及び、過敏な場合のいずれの場合に
も、制御偏差すの絶対値は大きく、更に。

操業面に対する影響の度合から、　７Ｕｌ＋御偏差すの
２乗で評価するのが適している。なお、過渡的な応答全
評価する際には、その過渡現象の経過時間にわたって、
制御偏差すの２乗値全種分して評価するのが適している
。

２乗積分値ＩＳＥが、そのループの基準値ｌ５ＥＯより
も小さい場合は問題ないが、基準値ｌ５Ｅｏ　以上とな
った場合は、各要素の特性を把握し、修理や取替えを含
む必要な調整を実施して、正常な状態に復旧する。

即ち、壕ず、目標値ａと制御量１と全２次元周波数解析
器１８で２次元周波数解析し５両者間のコヒーレンス関
数ｃＦａｌを求める。このコヒーレンス関数ＣＦａｌは
、入力ａの出力１に対する寄与度を表わす関数で１、数
学的には次式で求められる。

ここでＩ　（ｋ）、０（ｋ）は、それぞれ入力信号ａ。

出力信号ｌのに次のフーリエ係数−Ｃ（ｋ）は、入出力
信号のに次におけるクロスパワースペクトルである。

前出（２）式によって求められたコヒーレンス関数ＣＦ
ａ１が大である程、制御量ζは目標値ａに強く影響され
ていること全示し、一方、コヒーレンス関数ＣＦａｌが
小さい場合は、制御量ｌは、目標値ａ以外の入力（又は
外乱）に強く影響されているか、又は、目標値ａから制
御量１に至る間の要素が強い非線形性を有していること
を示している。

に強く対応している場合には、目標値ａに対する制御量
ｌの関係を伝達関数として求める。一方。

コヒーレンス関数ＣＦａ１が基準値ＣＦａｌｏ以下であ
る場合には、制御量ｌが目標値ａ以外の他の要因に支配
されていることになるので、その伝達関数の信頼性が低
く、制御量ｌに強い影響を与えている入力、外乱又は各
要素の特性全調査する。

コヒーレンス関数ＣＦａ１が大きく、伝達関数を求める
時は、制御ループの余裕で制御性を評価する。

例えば、操業を停止させて診断する場合には、目標値印
加点に模擬信号と［７て白色雑音、又は、可変周波数の
正弦波信号全印加すると共に、２次元周波数解析器１８
の一方の入力端子に接続し。

更に、模擬信号に対応する制御量１’に２次元周波数解
析器１８の他方の入力端子に接続して、次式で数学的に
表わされる。２人力間の伝達関数金求める。

ここで−Ａｒ（ｋ）は入力信号のに次におけるオートパ
ワースペクトルである。

一方、操業中に操業に外乱を与えずに伝達関数全測定す
る場合は、模擬信号全印加せず、測定しようとする要素
の入力と出力を２次元周波数解析器１８の２入力端子に
接続して求める。

このようにして求められた伝達関数から、制御性全診断
するために１次の２つの方法がある。

（１）　　ゲインＩＧＩがＯｄＢとなる周波数ｆ＋にお
ける位相θｆ】の−１８０°に対する余裕、即ち、Ｍθ
＝θｆ１　＋１８０°と、位相θが一１８０°になる周
波数ｆ２におけるゲイン１ｃｌｆ２のＯｄＢに対する余
裕、即ち、ＭＧ＝ｌＧｌｆ２が、それぞれ基準の値Ｍθ
Ｏ−ＭＧｏ　　に対して、どれだけ離れているかによっ
て判定する方法。

この方法は、制御系の特性を正確に診断するために有効
であるが、広い周波数領域にわたって有意な信号を得る
必要があることから、操業中に用いることは不適切であ
る。

（２）　　ゲインＩＧ＋が基準の低周波数域の値ＩＧＯ
Ｉから３ｄＢ低下した時の周波数ｆ−３ｄＢと、位相θ
が基準の低周波数域の値θ０から９０°遅れた時の周波
数ｆ９ｏＯとが、それぞれの基準値（ｆ　−３ｄｇ　）
。、（ｆ９０ｏ）。からどれだけずれているか全診断す
る方法。

この方法は、精度的には多少不安定であるが、比較的狭
い周波数領域で十分評価し得る。

前ｇピのような方法で、各要素の特性を定量的に評価し
、装置としての正常性を診断することができる。第４図
（Ａ）〜（Ｃ）に、本発明による。伝達関数、コヒーレ
ンス関数−クロスパワースペクトル及びオートパワース
ペクトルの測定波形の例を示す。ｔなお、前記コヒーレ
ンス関数や伝達関数は５前出第２図に示した如く、ブラ
ウン管２６に表示して観察することや、或いは、ドツト
プリンタやデく ジタルブロツタ等のハードコピー機２８でコピーするこ
とが可能である。又、２乗積分値ＩＳＥは。

数字で表示したり、コピーしたシすることが可能であり
、或いは、図示しないデジタル／アナログ変換器と指示
記録計等によってアナログ的に指示または記録すること
も可能である。更に、電子計算機全活用することにより
、多数の測定点を順次走査し、それぞれの要素の特性全
自動的に測定することも可能である、 第５図に、本発明に係る診断方法の実施例の流れ図を示
す。この実施例においては、伝達関数の評価方法として
、余裕Ｍ’に用いた例を示して（・るが、勿論、ｆ　−
３ｄＢ−ｆ９００で評価することも可能である。更に、
第に図においては、それぞれの判定において異常と判定
された場合に実施すべき調整等についても記載している
。

以下、第５図に示した流れ図全詳細に説明する。

捷ス、ステップ１０１において、閉ループ１０の入出力
、状態量、外乱ａ−ｂ−ｃ−１−ｎ−ｄ−ｇ−ｐ’に読
込む。次いで、ステップ１０２に進み、診断過程を表わ
すカウンタα、β、γ？、すべてリセットスる。次いで
、ステップ１０３に進ミ２前出（１）式を用いて算出し
た制御偏差すの２乗積分値ＩＳＥが、基準値ｌ５Ｅｏ未
満である力＼歪力）全判定する。判定結果が正である場
合には、制御系は正常であると判断して、篩断會終了す
る。

−４、前出ステップ１０３における判定結果が否である
場合には−ステップ１０４に進み一カウンタαの計数値
が１以下であるか否かを判定する。

判定結果が否である場合には、ステップ１０５に進み、
他の要因全調査して１診断を終了する。

一方、前出ステップ１０４における判定結果が正である
場合には、ステップ１０６に進み、前出（２）式により
算出されるコヒーレンス関数ＣＦａｌが−その基準値Ｃ
Ｆａｌｏ　よシ大であるか否かを判定する。判定結果が
正である場合には、ステップ１０７に進み、余裕Ｍａｌ
が、基準値Ｍａｌｏ±ΔＭａｌ内にあるか否かを判定す
る。判定結果が正である場合ニハーステップ１０８に進
み、基準値ｌ５Ｅｏ、ＣＦａｌｏ−Ｍａｌｏ、ΔＭａｌ
ｔ見直す。次いで、ステップ１０９に進み、他の要因を
調査して、診断全終了する。

一方、前出ステップ１０７における判定結果が否である
場合には、ステップ１１０に進み、カウンタγの計数値
が１未満であるか否かを判定する。

判定結果が正である場合には、ステップ１１１に進み、
制御量ｌと帰還量ｎ間のコヒーレンス関数ＣＦＩｎが、
その基準値ＣＦｌｎｏよシ太であ夛、且つ１両者間の余
裕Ｍ　ｌ　ｎが、基準値Ｍｌｎｏ±ΔＭｌｎ内にあるか
否か全判定する。判定結果が否である場合には、ステッ
プ１１２に進み、帰還要素Ｇ’に調整する。ステップ１
１２終了後、或いは、前出ステップ１１１における判定
結果が正である場合には、ステップ１１３に進み、操作
量Ｃと制御量１間のコヒーレンス関数ＣＦｃ１が、その
基準値ＣＦｃ１ｏ　、ｊニジ大であり、且つ１両者ｊ用
の余裕Ｍｃｌが、基準値Ｍｃｌｏ士へＭａｌ　内にある
か否か？判定する。Ｑ定結果が否である場合には、ステ
ップ１１４に進み１等価制御対象Ｎの伝達関数全調整す
る。ステップ１１４終了後、或いは、前出ステップ１１
３における判定結果が正である場合には。

ステップ１１５に進み、制御偏差すと操作量Ｃ間のコヒ
ーレンス関数ＣＦｂｃが、その基準値ＣＦｂｃ。

よｐ大であり、且つ、両者間の余裕Ｍ　ｂ　ｃが、基準
値Ｍ　ｂ　ｃ　ｏ±△Ｍｂｃ内にあるか否かを判定する
。判定結果が否である場合には、ステップ１１６に進み
、調節器Ａを調整する。ステップ１１６終了後−或いは
、前出ステップ１１５における判定結果が正である場合
には、ステップ１１７に進み、カウンタγ’ｋｌだけカ
ウントアツプして、前出ステップ１０７に戻る。

一方、前出ステップ１１０における判定結果が否である
場合には、ステップ１１８に進み、基準値ＣＦ１ｎｏ、
Ｍｌｎｏ、ΔＭＩｎ−ＣＦｃ１ｏ、　Ｍｃｌｏ。

△Ｍａｌ　ＣＦｂｃｏ−Ｍｂｃｏ、△Ｍｂｃ’ｉ見直し
、史に、ステップ１１９で、他の要因をｖ４査して、前
出ステップ１０６に戻る。

又、前出ステップ１０６における判定結果が否である場
合には、ステップ１２０に進み、カウンタβの計数値が
１未満であるか否が全判定する。

判定結果が否である場合には、ステップ１２１に進み、
他の要因を調査した後、ステップ１２２で、カウンタα
を１だけカウントアツプして前出ステップ１０３に戻る
。

一方、前出ステップ１２０における判定結果が正である
場合には、ステップ１２３に進み、外乱ｄと制御［１間
のコヒーレンス関数ＣＦｄｌ　、外乱ｇと制御！−１間
のコヒーレンス関数ＣＦｇｌ　、外乱ｐと制御−ｊｔ１
間のコヒーレンス関数ＣＦｐｌが、そｇ−ｐ全低減させ
る。一方、前出ステップ１２３の判定結果が否である場
合には、ステップ１２５に進み、帰還要素Ｇ、等価制御
対象Ｎ、調節器Ａを調整する。該ステップ１２５、或い
は、前出ステップ１２４終了後−ステップ１２６に進み
一カウンタβを１だけカウントアツプして、前出ステッ
プ１０６に戻る。

なお前記笑節制においては、メインループを診断する場
合について説明しているが、メインループの診断の一環
として、又は、全く別の目的からマイナーループや並列
ループ全診断する場合にも。

メインループについて説明したのと同様の手順で診断す
ればよい。

次に、厚板圧延機の油圧式自動板厚制御系統（以下油圧
ＡＧＣ系統と称する）において、制御状態が過敏になつ
斥時の診断例について説明する。

油圧ＡＧＣ系統は−アナログ制御系よりなり、油圧シリ
ンダ位置制御系の中に、油圧サーボ弁開度制御系を含み
、更に、油圧シリンダ位置制御系と並列に自動板厚制御
系が設けられている。この制御系において、油圧シリン
ダ位置制御系は、自動板厚制御系と干渉し合っているた
め、コヒーレンス関数が小さい。油圧サーボ弁開度制御
系は。

単一の制御系であり一更に２殆んど線形系とみなし得る
ことから、コヒーレンス関数が、ｌい。

従って、診断に際しては、まず、制御系の制御偏差全周
期的に測定して、その測定値全２乗演算器で平方演算し
、それを加算器で加算した。加算器は、設定加算回数（
この時は５０回）毎にリセットされる。この加算値全デ
ジタルプリンタで繰返し印字した。すると、この加ｎ値
（ＩＳＥ）が７、８５７１５０回となシ、基準値１．０
００１５０回よシも大であったため、制御系の目標値ａ
と制御量１とのコヒーレンス関数ＣＦａｌ’に２次元周
波数解析器で求めたところ、常用の周波数範囲０〜５０
Ｈ２において、コヒーレンス関数ＣＦａｌが基準値０．
９以上であった。従って、目標値ａと制御量１、操作−
ｙｒ、ｃとの曲の伝達関数を、２次元周波数解析器で求
めたところ、調節器のゲイン不足（基準値の７０％）が
判明した。

これに対し、調節器のゲインを基準値の１０２係に調整
したところ、制御性は飛躍的に向上し。

ＩＳＥは（１，０４８１５０回と正常値に戻った。

以上説明した通り、本発明によれば、制御系の異常を、
容易に、且つ、適確に診断することができるという優れ
た効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る制御系の診断方法が適用される
、腹雑な制御ループの１例を示すブロック線図、第２図
は１本発明に係る診断装置を用いて、前出第１図に示し
たような制御対象のメインループを診断している状態？
示すブロック線図。 第３図は、前記診断装置の構成を示すブロック線図、第
４図（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明による、伝達関数。 コヒーレンス関数、クロスパワースペクトル及びオート
パワースペクトルの測定波形の例を示す線図、第５図は
２本発明に係る診断方法の夾ｂｔ１ｆｉｌ　ｋ示す流れ
図である。 １０・・・閉ループ、Ａ・・・調節器、Ｎ・・・等価制
御対象、Ｇ・・・帰還要素−１２・・・診断装置、１４
・・・演算器−１６，２（１２２・・・比較器、１８・
・２次元周波数解析器、２４・・・論理回路。 代理人　　高　矢　　　論 （ほか１名） 弔４　図 （Ａ） 一周衷数（Ｈｚ） （Ｂ） 一両以数（／−／ｚ）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　−ｔず、制御系の制御偏差の２乗積分値の大
   Ａさによって制御ループとしての制御性を評価し、次い
   で、制御系の各要素のコヒーレンス関数と伝辻関数とを
   組合せて各要素の特性全評価することによって、ｉｉ］
   ｌＩ御糸の正常性を診断するようにしたことを特徴とす
   る制御系の診断方法。
2. （２）　　前ｇｔ２＠達関数による各要素の特性の評価
   會、前ｄじコヒーレンス関数が基準値より大である場合
   に行うよう圧した特許請求の範囲第１項に記載の制御系
   の診断方法。
3. （３）　　前記＠連関数による各要素の特性の評価金。 ゲインＩＧＩがＯｄＢとなる周波数ｆ１における位相θ
   ｆｌの一１８０°に対する余裕、及び、位相θが−１８
   ００になる周波数ｆ２におけるゲイン１Ｇｌｆ２のＯｄ
   Ｂ　　に対する余裕の、各基準値からの偏差量によって
   １行うようにした特許請求の範囲第１項に記載の制御系
   の診断方法。
4. （４）　　前記伝達関数による各要素の特性の評価を。 ゲインＩＧ１．が基準の低周波数域の値ＩＧｏ＋から３
   ｄＢ低下した時の周波数ｆ−３ｄＢ−及び、位相θが基
   準の低周波数域の値θ０から９０°遅れた時の周波数ｆ
   ９００の、各基準値からの偏差量によって、行うように
   した特許請求の範囲第１項に記載の制御系の診断方法。
5. （５）制御系の制御偏差の２乗積分値ケ演算する演算手
   段と、前記２乗積分値を基準値と比較する第１の比較手
   段と、１Ｕ１］御系の各要素のコに−レンス関数と伝達
   関数上京める周波数解析手段と、前Ｂピコヒーレンス関
   数を基準値と比較する第２の比較手段と、前記伝達関数
   を基準値と比較する第３の比較手段と、前記各比較手段
   の出力によって制御系の正常性を判定するだめの論理回
   路と、全備えたことを特徴とする制御系の診断装置。