JPS5965706A - 位置合せ方法及びその装置 - Google Patents
位置合せ方法及びその装置Info
- Publication number
- JPS5965706A JPS5965706A JP17610382A JP17610382A JPS5965706A JP S5965706 A JPS5965706 A JP S5965706A JP 17610382 A JP17610382 A JP 17610382A JP 17610382 A JP17610382 A JP 17610382A JP S5965706 A JPS5965706 A JP S5965706A
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- Japan
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- plates
- transparent
- positioning
- detection optical
- optical part
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、位り゛合せ方法及びその装置に係り特に２つ
の物体の表向パターンを精度良く位置合せ可能な位置合
わせ方法及びその装置に関するＯ 〔従来技術〕 一般に液晶表示素子は、透明板例えばガラス板上にパタ
ーンを形成し、このパターンが形成された複数のガラス
板を纜着接わじして形成されるため、異なるカラス板の
パターンを高桔）庭に位置合せする必要がある。従来技
術による位置合せ方法及び装置を第１図を用いて説明す
る。
の物体の表向パターンを精度良く位置合せ可能な位置合
わせ方法及びその装置に関するＯ 〔従来技術〕 一般に液晶表示素子は、透明板例えばガラス板上にパタ
ーンを形成し、このパターンが形成された複数のガラス
板を纜着接わじして形成されるため、異なるカラス板の
パターンを高桔）庭に位置合せする必要がある。従来技
術による位置合せ方法及び装置を第１図を用いて説明す
る。
第１図に示す位置合せ装置は、パターン３が形成された
ガラス＠１の下にパターン４が形成されテーブル１０に
より移動可能なカラス板２を設置し、透過照明器５から
発してカラス板１及び２を透過した光音検出用光学部６
及び像検出器７によって検出し、これを入力した位置検
出回路８がテーブル制御回路９を介してテーブル１０を
移動させることにより位置決めを行なう○しかしながら
、この従来仮術による位置合せ装置は、複数のガラス、
例えばカラス１及び２を透過した光を用いて位置決めを
行なうため、鮮明にパターンを検出することができず位
置決め精度が悪いと言う問題点を有していた。
ガラス＠１の下にパターン４が形成されテーブル１０に
より移動可能なカラス板２を設置し、透過照明器５から
発してカラス板１及び２を透過した光音検出用光学部６
及び像検出器７によって検出し、これを入力した位置検
出回路８がテーブル制御回路９を介してテーブル１０を
移動させることにより位置決めを行なう○しかしながら
、この従来仮術による位置合せ装置は、複数のガラス、
例えばカラス１及び２を透過した光を用いて位置決めを
行なうため、鮮明にパターンを検出することができず位
置決め精度が悪いと言う問題点を有していた。
本発明の目的は前記従来技術の問題点を除去することで
あり、高精度なパターン位置合わせを行なうことのでき
る位１〆合せ方法及びその装置〆を提供することである
。
あり、高精度なパターン位置合わせを行なうことのでき
る位１〆合せ方法及びその装置〆を提供することである
。
前記目的を達成するために本発明による位置合せ方法は
、透明板を間隔をもって保持し、第１及び第２の透明板
を透過した像をＭ記透明板間の空間で検出して比較した
結果を用いて透明板を移動ジせて位置決めを行なうこと
を特徴とする。更らに本発明による位置決め装置は、透
明Ａｌｌを任意方向可能に保持する移動手段と、該移動
手段により形成された透明板間の空間に配置される検出
用光学部と、透明板を透過した像が検出用光学部に照射
する位置に設けられブヒ照光器とを備えることを特徴と
する。
、透明板を間隔をもって保持し、第１及び第２の透明板
を透過した像をＭ記透明板間の空間で検出して比較した
結果を用いて透明板を移動ジせて位置決めを行なうこと
を特徴とする。更らに本発明による位置決め装置は、透
明Ａｌｌを任意方向可能に保持する移動手段と、該移動
手段により形成された透明板間の空間に配置される検出
用光学部と、透明板を透過した像が検出用光学部に照射
する位置に設けられブヒ照光器とを備えることを特徴と
する。
以下本発明による位置合せ方法及びその装置の一実施例
を図面を用いて詳細に説明する。
を図面を用いて詳細に説明する。
第２図は本実施例による位置合せ装置の全体概女図であ
る。本実施例におけるガラス板１は上下動ブロック１１
ａ及びｉｉｂに例えば真空チャックによって保持され、
モータ１６により回動されるスクリューイ・ジ１２によ
って上下移動が可能であり、丑だカラス板２は、テーブ
ル１０ａ及び１０Ｉ）によって保持されモータ２０によ
り回動されるスクリューイ・ジ１９によって左右方向移
動が可ｆＨＱである、−更らに検出用光学部１６（性、
前記ガラス板１と２の間に配置されていると共に該ガラ
ス板１及び２の間から退避させるだめの退避機構１８に
よって支持されている。前記検出用光学部１６は、固体
テレビカメラなどの像検出器１７と連結され、検出像を
位置検出回路８に入力しているｎ載位を醒検邑回路８は
前記検出像に基づいてチーフル駆動回路９を介してモー
タ２０を駆動してデープル１０ａ及びｉｏｂに搭載され
たガラス板２を移動嘔せる。
る。本実施例におけるガラス板１は上下動ブロック１１
ａ及びｉｉｂに例えば真空チャックによって保持され、
モータ１６により回動されるスクリューイ・ジ１２によ
って上下移動が可能であり、丑だカラス板２は、テーブ
ル１０ａ及び１０Ｉ）によって保持されモータ２０によ
り回動されるスクリューイ・ジ１９によって左右方向移
動が可ｆＨＱである、−更らに検出用光学部１６（性、
前記ガラス板１と２の間に配置されていると共に該ガラ
ス板１及び２の間から退避させるだめの退避機構１８に
よって支持されている。前記検出用光学部１６は、固体
テレビカメラなどの像検出器１７と連結され、検出像を
位置検出回路８に入力しているｎ載位を醒検邑回路８は
前記検出像に基づいてチーフル駆動回路９を介してモー
タ２０を駆動してデープル１０ａ及びｉｏｂに搭載され
たガラス板２を移動嘔せる。
さて、この様に構成された本実施例における位置決め装
置は、次の如く動作することによって位９ｉ決めを行な
う０ １す、検出用光学部１６がカラス板１及び２の闇に恒１
区尽ｔた状態で、照光器１４及び１５が照光し、この光
がそれぞれガラス板１及び２を透過して検出用光学部１
６に入力され、像検出器１７ヲ介して位置検出回路８に
入力されることにより位置検出回路８は、それぞれの入
力像を比較し一致するようにテーブル制御回路９を介し
てテーブル１０ａ及びｉｏｂにより支持されたカラス板
２を、駆動してそれぞれのパターン６及び４の位置合わ
せを行なう。この動作ｉｄ、繰返し行ないずれ量が苓ま
たは許容値以下になるまで行なう。
置は、次の如く動作することによって位９ｉ決めを行な
う０ １す、検出用光学部１６がカラス板１及び２の闇に恒１
区尽ｔた状態で、照光器１４及び１５が照光し、この光
がそれぞれガラス板１及び２を透過して検出用光学部１
６に入力され、像検出器１７ヲ介して位置検出回路８に
入力されることにより位置検出回路８は、それぞれの入
力像を比較し一致するようにテーブル制御回路９を介し
てテーブル１０ａ及びｉｏｂにより支持されたカラス板
２を、駆動してそれぞれのパターン６及び４の位置合わ
せを行なう。この動作ｉｄ、繰返し行ないずれ量が苓ま
たは許容値以下になるまで行なう。
次に、検出用光学部１６が退ｍ ｍ ＋ｇ １ｓによっ
てカラス板１と２との闇から退避された後に、モータ１
６が回転して上下動フロック１１ａ及び１ｉｂを下降さ
せカラス板１をカラス板２に密着又は所定の微少距離ま
で接近させる１、この状態で、ガラス板１と２をクラン
プ治具（図示せず）により固定し、装置から取りはずす
ことにより、カラス板１及び２のパターン３及び４を高
精度に位置合わせて取９出すことができる１、第３図は
第２図における検出用光学部１６の一実施例の断面及び
カラス板１及び２を示す図である。本実施例による検出
用光学部１６は、半透鏡面Ａと全反射鏡＋ｕｉ Ｂを持
つプリズムブロック２１と結像レンズ２２とによって構
成されている。
てカラス板１と２との闇から退避された後に、モータ１
６が回転して上下動フロック１１ａ及び１ｉｂを下降さ
せカラス板１をカラス板２に密着又は所定の微少距離ま
で接近させる１、この状態で、ガラス板１と２をクラン
プ治具（図示せず）により固定し、装置から取りはずす
ことにより、カラス板１及び２のパターン３及び４を高
精度に位置合わせて取９出すことができる１、第３図は
第２図における検出用光学部１６の一実施例の断面及び
カラス板１及び２を示す図である。本実施例による検出
用光学部１６は、半透鏡面Ａと全反射鏡＋ｕｉ Ｂを持
つプリズムブロック２１と結像レンズ２２とによって構
成されている。
従って、照光器１４（第２図）の光によるカラス１を透
過した光学像が半透鏡面Ａによって反射されて結像レン
ズ２２を介して像検出器１７に入力されると共に、照光
器１５（第２図）の光によるカラス２を透過した光学像
が全反射鏡Ｂによって反射されて結像レンズ２２を介し
て像検出器１７に入力されるーこれにより像検出器１７
は、ガラス１と２を介した光学像が同時に入力されて前
述の徒に位置検出回路８に入力することができる。
過した光学像が半透鏡面Ａによって反射されて結像レン
ズ２２を介して像検出器１７に入力されると共に、照光
器１５（第２図）の光によるカラス２を透過した光学像
が全反射鏡Ｂによって反射されて結像レンズ２２を介し
て像検出器１７に入力されるーこれにより像検出器１７
は、ガラス１と２を介した光学像が同時に入力されて前
述の徒に位置検出回路８に入力することができる。
第４図は前記検出用光学部１６の他の実施例を説明する
ための図である。本実施例による検出用光学部１６は、
ガラス板１及び２を透過した光をそれぞれ９０度方向へ
反射する全反射面Ｃ及びＤが入射光に対して４５°度の
角度をもって設置された分割ミラー２６と、結像レンズ
２２によって構成されている。この光学用検出部１６は
、入力した光学像を像検出器１７の撮像面上に分割視野
で投影するものである。
ための図である。本実施例による検出用光学部１６は、
ガラス板１及び２を透過した光をそれぞれ９０度方向へ
反射する全反射面Ｃ及びＤが入射光に対して４５°度の
角度をもって設置された分割ミラー２６と、結像レンズ
２２によって構成されている。この光学用検出部１６は
、入力した光学像を像検出器１７の撮像面上に分割視野
で投影するものである。
第５図は、史らに検出用光学部１６の他の実施例を示す
ものである。この検出用光学部１６は、入射光に対して
４５度の角度をもって配置された全反射鏡２４と、この
全反射鏡２４を上下方向位置に回動可能に保持するベア
リング２５と、前記全反射鏡２４をモータ２７によって
回転させるだめの歯車２６とを有し、例えば第５図の如
くガラス板１を透過した像を像検出器１７に投射した後
に、モータ２７の回動によって全反射染、２４を１８０
度回軸回転てガラス２を透過した像を像検出６１７に投
影するものである。従って本実施例による光学部１６が
、ガラス１とカラス２とを透過した像を、別々に像検出
器１７に入力するため、位置検出回路８は、２つの像が
入力されるのを待って像の比較をした後にテーブルの移
動を行なうことが必要である。
ものである。この検出用光学部１６は、入射光に対して
４５度の角度をもって配置された全反射鏡２４と、この
全反射鏡２４を上下方向位置に回動可能に保持するベア
リング２５と、前記全反射鏡２４をモータ２７によって
回転させるだめの歯車２６とを有し、例えば第５図の如
くガラス板１を透過した像を像検出器１７に投射した後
に、モータ２７の回動によって全反射染、２４を１８０
度回軸回転てガラス２を透過した像を像検出６１７に投
影するものである。従って本実施例による光学部１６が
、ガラス１とカラス２とを透過した像を、別々に像検出
器１７に入力するため、位置検出回路８は、２つの像が
入力されるのを待って像の比較をした後にテーブルの移
動を行なうことが必要である。
尚、前記実施例においては、検出用光学部１６テーブル
１０ａ及び１０ｂがいず扛も一方向にしか移動しない例
を示したが、これらはいずれも多方向にわたって移動可
能な様に複数個設けることによっても不発明を実施する
ことができる。
１０ａ及び１０ｂがいず扛も一方向にしか移動しない例
を示したが、これらはいずれも多方向にわたって移動可
能な様に複数個設けることによっても不発明を実施する
ことができる。
壕だ、カラス板はプラスチックであっても良い。
以上述べた如く本発明によれば、２つの透過板、ψ１」
えはカラス板の間に検出用光学部を設は上下方向からの
透過光を前記検出用光学部に入力することにより、パタ
ーンの位置を横比するため、高精度な位１６合せを行な
うことができる。
えはカラス板の間に検出用光学部を設は上下方向からの
透過光を前記検出用光学部に入力することにより、パタ
ーンの位置を横比するため、高精度な位１６合せを行な
うことができる。
第１図は従来技術による位置合せ装置を示す図である。
第２図は本発明による位置合せ方法の一実施例である位
置合せ装置を示す図、第６図は第２図の検出用光学部の
一実施例を示す図である。第４図及び第５図は検出用光
学部の他の実施例をそれぞれ示す図である０ １及び２・ガラス板 ６及び４・・・パターン８・・位
置構出回路 ９・・・テーブル制御回路１０ａ及び１
０ｂ・・テーブル １１ａ及びｉｉｂ・・・上下動ブロック１６及び２０・
・・モータ １４及び１５・・・照光器１６・・・検
出用光学部 １７・像検出器１８・・・退避機構
２１・・・プリズムブロック２２・・・結像レンズ
２３・分割ミラー２４・・・全反射鏡２５・ベア
リング ２６・・・歯車 ２７・モータ代理人弁理士
薄 １）利 ρう入 千１図 〒２図 〒５図 ■ １４図 【
置合せ装置を示す図、第６図は第２図の検出用光学部の
一実施例を示す図である。第４図及び第５図は検出用光
学部の他の実施例をそれぞれ示す図である０ １及び２・ガラス板 ６及び４・・・パターン８・・位
置構出回路 ９・・・テーブル制御回路１０ａ及び１
０ｂ・・テーブル １１ａ及びｉｉｂ・・・上下動ブロック１６及び２０・
・・モータ １４及び１５・・・照光器１６・・・検
出用光学部 １７・像検出器１８・・・退避機構
２１・・・プリズムブロック２２・・・結像レンズ
２３・分割ミラー２４・・・全反射鏡２５・ベア
リング ２６・・・歯車 ２７・モータ代理人弁理士
薄 １）利 ρう入 千１図 〒２図 〒５図 ■ １４図 【
Claims (2)
- （１）第１の透明板上に設けられたパターンと第２の透
明板上に設けられたパターンとの位置合せを行なう位置
合せ方法において、第１と第２の透明機を間隔をもって
保持し、前記第１及び第２の透明板を透過した光学像を
第１及び第２の透明板間で検出して比較すると共に、前
記比較結果を用いて第１及び捷たけ第２の透明板を移動
することにより第１及び第２の透明板上のパターンの位
置合せを行なうこと（ｉ−特徴とする位１ｖ合せ方法。 - （２）第１の透明板上に設けられたパターンと第２の透
明板上に設けられたパターンの位置合わせを行々う位置
合せ装置において、第１の透明叡を保持して任意方向に
移動可能な第１の移動手段と、第２の透明板を保持して
任意方向に移動可Ｎ’Ｍな巣２の移動手段と、前記第１
及び捷たは第２の移動手段によって第１の透明板と第２
の透明板との間に形成さ扛た空間に自装置される検出用
光学部と、前記第１と第２の透明板のｔｔｉｌに形成さ
れた空間外であって第１及び第２の透明板を透過した光
学部が前記検出用光学部に入射きれる位置に配置された
照光器とを備え、前記照光器から発せられた光によって
第１及び第２の透明板を透過して検出用光学部に入射さ
れる光学像を比較し、該比較結果を用いて第１及び第２
の透明板上のパターンの位置合せを行なうことを特徴と
する位置合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17610382A JPS5965706A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 位置合せ方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17610382A JPS5965706A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 位置合せ方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965706A true JPS5965706A (ja) | 1984-04-14 |
Family
ID=16007741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17610382A Pending JPS5965706A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 位置合せ方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965706A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0253349A2 (de) * | 1986-07-15 | 1988-01-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zur genauen gegenseitigen Ausrichtung einer Maske und einer Halbleiterscheibe in einem Lithographiegerät und Verfahren zu ihrem Betrieb |
| JPH01250004A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Toshiba Corp | 部品位置決め装置および部品組付け装置 |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP17610382A patent/JPS5965706A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0253349A2 (de) * | 1986-07-15 | 1988-01-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zur genauen gegenseitigen Ausrichtung einer Maske und einer Halbleiterscheibe in einem Lithographiegerät und Verfahren zu ihrem Betrieb |
| JPH01250004A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Toshiba Corp | 部品位置決め装置および部品組付け装置 |
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