JPS59648A - 質量分析法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は質量分析法の改良に関するものである。

従来技術と問題点 従来、真空中において試料ガスをイオン化させ該イオン
の質量分析を行なるで試料中のガス成分を定量する質量
分析針が屡々用いられている。この場合、一般にはイオ
ン源により熱電子を放射し該熱電子をガス分子に衝突さ
せてイオン化を行なっている。

このようなイオン化を行なう従来の質量分析針イオン源
装置を第１図に示す。図中、１はフィラメント、２はト
ラップ、３．３′は１対の永久磁石で、これらは真空容
器中に設けられている。

フィラメント１．トラップ２はイオン源を構成する。

永久磁石３，５′はイオン源の上下に設けられており、
対向部の極性は異なっている。

試料ガスは、フィラメント１．トラップ２間を流れる熱
電子と衝突してイオン化されるが、この場合永久磁石６
．５′は熱電子をらせん状に回転させてガスとの衝突効
率を高め、イオン化を促進する。

しかしながらｌ　Ｈ，ガスのような軽いガスは熱電子の
回転によってはねとばされて逆に感度が低下し分析が不
可能になる。そこでＨｔガスを分析する時は、永久磁石
３，５′をとり外し、熱電子の回転をとめてイオン化し
ているが、この場合、永久磁石の着脱に手間がかかり、
し′かも永久磁石の着脱の都度真空容器内の真空がやぶ
られるという問題がある。

発明の目的 本発明は上述の問題を解決するためのもので、各種ガス
の分析を真空状態をそのままにして効率よくかつ容易に
行なうことのできる質量分析法を提供することを目的と
している。

発明の実施例 次に＄２図に関連して本発明の詳細な説明する。　　。

＠２図において、１１はフィラメント、１２はトラップ
、１３．１５’は１対の電磁石である。

電磁石１５　、１５’はイオン源の上下に対向して設け
られ、対向部の極性が異なるように励磁されるようにな
っている。この電磁石１５　、１３’はそれぞれガラス
またはセラミック等の絶縁材のカバー１４．１４′内に
密封されている。

軽くないガスを分析する時は、電磁石１３．１３’をＯ
Ｎにし、熱電子に回転を与えて分析を、行ない。

Ｈ，ガス等の軽いガスを分析する時は、電磁石１３．１
６′をＯＦＦにして分析を行なう。従って従来の永久磁
石着脱の手間を省くことができるのみならず、永久磁石
着脱時に真空容器内の真空をやぶる問題を解決すること
ができる。また、電磁石１３゜１６′は巾１ｔ’−＝−
１４、１４’内に密封されているため、電磁石１５　、
１３’作動時：；発生するガスが分析の妨げになること
はない。

発明の効果 本発明により、リードスイッチに封入するガス中の水素
分析、あるいはＩＣパッケージを還元性雰囲気で封止す
る線用いるガス中の水素ガスの定量分析を容易に精度よ
く行なうことができる。

以上述べたように、本発明によれば、従来のように軽い
ガスの分析時に永久磁石をとり外す必要はなく、電磁石
をＯＮ　、　ＯＦＦ　Ｉ：するだけで各種ガスの分析を
効率よくかつ容易に行なうことが可能で、しかも電磁石
は絶縁材よりなる一ｔｙｒｓ’−に密封されているため
、電磁石作動時に発生するガスが分析の妨げになること
はない。

【図面の簡単な説明】

第１因は従来の質量分析針イオン源装置の正面図、第２
図は本発明を適用する質量分析計イオン源装置の実施例
を示す正面図で、図中、１１はフィラメント、１２はト
ラップ、１５　、１５’は電磁石、１４．１４′は−ｔ
７１Ｆ−である。 特許出−人　富士通株式会社 代理人　弁理士　玉蟲久五部（外１名）第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 イオン源より放射される熱電子を試料ガスに衝突させて
   試料ガスをイオン化させ、該イオンの質量分析を行なっ
   て試料ガス中のガス成分を定量する質量分析法において
   、前記イオン源の上下に。 絶縁材のカバー内に密封され対向部の極性が異なるよう
   に励磁される１対の電磁石を設け、水素ガスの分析をす
   る際は前記電磁石をオフとし、他のガスを分析する際は
   前記電磁石をオンとして分析するようにしたことを特徴
   とする質量分析法。