JPS596345A - 温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金およびその製造方法 - Google Patents
温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS596345A JPS596345A JP11366282A JP11366282A JPS596345A JP S596345 A JPS596345 A JP S596345A JP 11366282 A JP11366282 A JP 11366282A JP 11366282 A JP11366282 A JP 11366282A JP S596345 A JPS596345 A JP S596345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- temperature
- gold
- electrical resistance
- nickel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Heat Treatment Of Nonferrous Metals Or Alloys (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はN1−Au−Qu糸寛気抵抗合金およびその製
造方法に閃するもので、その目的とするところは広い温
度範囲において電気抵抗の変化が極めて少なく、シかも
比較的低い電気抵抗を有する合金を得るための成分配合
の微調整と熱処理が比較的容易で、細線や薄膜加工が良
好でかつ安定性の優れた電気抵抗合金を得るにある。
造方法に閃するもので、その目的とするところは広い温
度範囲において電気抵抗の変化が極めて少なく、シかも
比較的低い電気抵抗を有する合金を得るための成分配合
の微調整と熱処理が比較的容易で、細線や薄膜加工が良
好でかつ安定性の優れた電気抵抗合金を得るにある。
近年、生鮮食品の好酸や乾燥における温度管理、ソーラ
プラント、空調機器、防災装置、生体機器やバイオテク
ノロジー等のプロセス制御、物性研究等ではデリケート
な環境条件下の温度を非常に高い分解能(0,01℃以
下)で、安定にd1′測する必要が生じてきた。これに
応える温度センサとしては小型で、熱応答性が連く、耐
振、耐衝撃性の高い厚膜あるいは#膜白金測温抵抗体が
開発されつつある。この槻センサは熱電対方式やサーミ
スタ方式のものと比較して一200°O)−+ 500
°Cにおける抵抗値がほぼ直線的に変化すること、大出
力が得られること、信頼性や精度が高い等多くの利点が
ある。
プラント、空調機器、防災装置、生体機器やバイオテク
ノロジー等のプロセス制御、物性研究等ではデリケート
な環境条件下の温度を非常に高い分解能(0,01℃以
下)で、安定にd1′測する必要が生じてきた。これに
応える温度センサとしては小型で、熱応答性が連く、耐
振、耐衝撃性の高い厚膜あるいは#膜白金測温抵抗体が
開発されつつある。この槻センサは熱電対方式やサーミ
スタ方式のものと比較して一200°O)−+ 500
°Cにおける抵抗値がほぼ直線的に変化すること、大出
力が得られること、信頼性や精度が高い等多くの利点が
ある。
しかしながら温度に対する分解能は現在0.1’Cが限
界であって、分解能をこれ以上高めるためには温度セン
サ全体の構成系について再検討を必要とする。すなわち
温度に対する分解能を第1図の抵抗−電圧変換回路で説
明を行うと、その分解能は温度センサの慣造的因子の他
に白金測温抵抗体Rtの精度やこれとブリッジ回路で構
成される基準抵抗Rsの性能に大きく影響を受ける。基
準抵抗R8に求められる条件としては、まず温度に対す
る抵抗変化がないことが最も重要である。この他にも適
当な抵抗値(R1,/Hsz1 )を有すること、熱サ
イクルにおけるヒステリシスがないこと、熱エージング
における抵抗変化のないこと、化学的に安定であること
ミ加工性が良好なこと等が挙げられる。
界であって、分解能をこれ以上高めるためには温度セン
サ全体の構成系について再検討を必要とする。すなわち
温度に対する分解能を第1図の抵抗−電圧変換回路で説
明を行うと、その分解能は温度センサの慣造的因子の他
に白金測温抵抗体Rtの精度やこれとブリッジ回路で構
成される基準抵抗Rsの性能に大きく影響を受ける。基
準抵抗R8に求められる条件としては、まず温度に対す
る抵抗変化がないことが最も重要である。この他にも適
当な抵抗値(R1,/Hsz1 )を有すること、熱サ
イクルにおけるヒステリシスがないこと、熱エージング
における抵抗変化のないこと、化学的に安定であること
ミ加工性が良好なこと等が挙げられる。
この基準抵抗には従来標準抵抗として用いられているマ
ンガニン糸巻線抵抗器(Ou−Mnn金合金やニクロム
糸金属皮膜抵抗W(Ni−ar糸金合金等が使用されて
おり安定な出力が得られる。ところが1itJ者では適
当な大きさの電気抵抗値は得られるが、電気抵抗の温度
係数を・―整するための熱処理がIJliであるはかり
でなく経時変化か大きい。また後者では小型で量産性に
富むが、抵抗値が非常に大きくRt/R8が極めて小さ
くなるため、温度に対する分解能が劣るばかりでなく、
品質のバラツキが大きい等の欠点を有しており、いずれ
も−長一知があって十分とは言い離った。
ンガニン糸巻線抵抗器(Ou−Mnn金合金やニクロム
糸金属皮膜抵抗W(Ni−ar糸金合金等が使用されて
おり安定な出力が得られる。ところが1itJ者では適
当な大きさの電気抵抗値は得られるが、電気抵抗の温度
係数を・―整するための熱処理がIJliであるはかり
でなく経時変化か大きい。また後者では小型で量産性に
富むが、抵抗値が非常に大きくRt/R8が極めて小さ
くなるため、温度に対する分解能が劣るばかりでなく、
品質のバラツキが大きい等の欠点を有しており、いずれ
も−長一知があって十分とは言い離った。
またこれらの他にも通信機やポテンショメーターの抵抗
器として使われているNi −Ou糸金合金考えられる
。この合金は比電気抵抗ρがマンガニンの値(fJ 4
5〜48μΩ−cm )に近く、ρの温度係数が小さく
、シかも合金が全率固溶体であるためマンガニンの如く
難しい熱処理を必要としない等多くの特長を有している
が、反問組成に対するCfの勾配が急であるため材料の
バラツキの大きいことが最大の欠点である。上記Cfの
難点を緩和する方法としては特公昭42−18911号
に既に公示されている。それによると第5図からもわか
るようにOu −Ni系合金に第8元素としてFeやC
+eを微量添加して改良を行い電気抵抗の温度係数0f
−0の合金を得ている。しかし組成に対するCfの変化
は未だかなり大きく、例えは電気抵杭の温度係数Ofが
±201)pm/”C以内の合金を得るためにはGe電
を±0.5%の極く狭い組成範囲に限定しなけれはなら
ないので、鰍産を考慮した場合Ofのバラツキのないも
のを製造することは極めて困姓であった。
器として使われているNi −Ou糸金合金考えられる
。この合金は比電気抵抗ρがマンガニンの値(fJ 4
5〜48μΩ−cm )に近く、ρの温度係数が小さく
、シかも合金が全率固溶体であるためマンガニンの如く
難しい熱処理を必要としない等多くの特長を有している
が、反問組成に対するCfの勾配が急であるため材料の
バラツキの大きいことが最大の欠点である。上記Cfの
難点を緩和する方法としては特公昭42−18911号
に既に公示されている。それによると第5図からもわか
るようにOu −Ni系合金に第8元素としてFeやC
+eを微量添加して改良を行い電気抵抗の温度係数0f
−0の合金を得ている。しかし組成に対するCfの変化
は未だかなり大きく、例えは電気抵杭の温度係数Ofが
±201)pm/”C以内の合金を得るためにはGe電
を±0.5%の極く狭い組成範囲に限定しなけれはなら
ないので、鰍産を考慮した場合Ofのバラツキのないも
のを製造することは極めて困姓であった。
本発明者らは幾多研此の結果、前記合金の欠点を除去改
善して低温から尚濡までの広い温度範囲において電気抵
抗の変化が極めて少なく、シかも加工性の良好な、安定
性に優れた電気抵抗合金を提供することができたのであ
る。
善して低温から尚濡までの広い温度範囲において電気抵
抗の変化が極めて少なく、シかも加工性の良好な、安定
性に優れた電気抵抗合金を提供することができたのであ
る。
すなわち本発明は、車鼠比にてニッケル22〜59%、
金0.01〜80%および残部が実質的に粥からなり少
量の不純物を含み、−100°C〜+ 250 ”Cの
広い温度範囲において電気抵抗の湿度係数が±100
ppm/’C以内を七する磁気抵抗合金に閑するもので
ある。
金0.01〜80%および残部が実質的に粥からなり少
量の不純物を含み、−100°C〜+ 250 ”Cの
広い温度範囲において電気抵抗の湿度係数が±100
ppm/’C以内を七する磁気抵抗合金に閑するもので
ある。
さらに本発明は、重誕比にてニッケル22〜59%、金
0,01〜80%および残部が実質的に銅の組成からな
り少量の不純物を含む合金を鋳造および熱間加工あるい
は冷間加工により線材あるいは板材等の形状となし、非
酸化性雰囲気中あるいは真空中で少くとも250 ’C
以上融点以下の温度で2秒以上加熱することにより電気
抵抗の温度係数が一100°C〜+250℃の温度範囲
において±100 ppm/’C以内であるものを得る
ことを特徴とするものである。
0,01〜80%および残部が実質的に銅の組成からな
り少量の不純物を含む合金を鋳造および熱間加工あるい
は冷間加工により線材あるいは板材等の形状となし、非
酸化性雰囲気中あるいは真空中で少くとも250 ’C
以上融点以下の温度で2秒以上加熱することにより電気
抵抗の温度係数が一100°C〜+250℃の温度範囲
において±100 ppm/’C以内であるものを得る
ことを特徴とするものである。
以下、本発明合金の製造方法について説明する。
本発明においてまずニッケル22〜59%、金0.01
〜80%および残部銅の適量を空気中好ましくは非酸化
性雰囲気中あるいは真空中において適当な溶解炉を用い
て溶解した後、マグネシウム。
〜80%および残部銅の適量を空気中好ましくは非酸化
性雰囲気中あるいは真空中において適当な溶解炉を用い
て溶解した後、マグネシウム。
マンガン、ケイ素、チタン、カルシュラム等少鼠(約1
g以下)を添加し有害な不純物を除き、充分に撹拌して
組成的に均一な浴融合金な造る。次にこれを適当な形お
よび大きさの鋳型に注入して健全な鋳塊を得、さらにこ
れを蓄湿あるいは1100°C以下の温度において鍛造
その他種々の加工な施して適当な形状のもの、例えば棒
あるいは板を造る。さらにこれをスェージング、伸線、
圧延あるいは潰し等の方法によって冷間加工を施し目的
の・形状のもの、例えば細線あるいは薄板にする。最後
に加工による内部歪を除去し特性の安定化を図るために
、これらを非酸化性雰囲気中あるいは真空中で250’
C以上融点以下の温度に2秒以上100時1川以下加熱
保持後、任意の速度例えは5〜800°C/hの速度で
冷却し充分に焼鈍する必要がある。この焼鈍処理は密接
性や四−付におけるぬれ性が向上し、取扱いが容易とな
る等の特長も具備している。なお本発明合金は全組成に
亘って全率固溶体を形成して偏析や化合物等を生じない
ため、安定性に優れていることも大きな特長の一つであ
る。
g以下)を添加し有害な不純物を除き、充分に撹拌して
組成的に均一な浴融合金な造る。次にこれを適当な形お
よび大きさの鋳型に注入して健全な鋳塊を得、さらにこ
れを蓄湿あるいは1100°C以下の温度において鍛造
その他種々の加工な施して適当な形状のもの、例えば棒
あるいは板を造る。さらにこれをスェージング、伸線、
圧延あるいは潰し等の方法によって冷間加工を施し目的
の・形状のもの、例えば細線あるいは薄板にする。最後
に加工による内部歪を除去し特性の安定化を図るために
、これらを非酸化性雰囲気中あるいは真空中で250’
C以上融点以下の温度に2秒以上100時1川以下加熱
保持後、任意の速度例えは5〜800°C/hの速度で
冷却し充分に焼鈍する必要がある。この焼鈍処理は密接
性や四−付におけるぬれ性が向上し、取扱いが容易とな
る等の特長も具備している。なお本発明合金は全組成に
亘って全率固溶体を形成して偏析や化合物等を生じない
ため、安定性に優れていることも大きな特長の一つであ
る。
つきに上記合金を鬼気抵抗体素子あるいはセンサコイル
として用いる場合、絶縁方法としては以下8柚傾の工程
かある。
として用いる場合、絶縁方法としては以下8柚傾の工程
かある。
(4)本釦明合金fi:時造、#II造、圧延、伸S等
の加工を施して線材あるいは板材等の所望の形状のもの
を、そのままの状態で耐熱性絶縁体、例えは尚純度セラ
ミックペースト中に埋め込むか、耐熱性絶縁体にアルミ
ナ接着剤で直接貼付するか、筒状セラミックスに巻きつ
けるかあるいは2枚の絶縁板で挾むなどの方法により固
定する。
の加工を施して線材あるいは板材等の所望の形状のもの
を、そのままの状態で耐熱性絶縁体、例えは尚純度セラ
ミックペースト中に埋め込むか、耐熱性絶縁体にアルミ
ナ接着剤で直接貼付するか、筒状セラミックスに巻きつ
けるかあるいは2枚の絶縁板で挾むなどの方法により固
定する。
ω)本発明合金を鹸造、鍛造、圧延、伸繰等の加工を施
した線材あるいは板材等の表面に耐熱性の良好なシリカ
、アルミナ、マグネシア、フッ化物、ホウ化物あるいは
チツ化物等の無機質絶縁被膜を電着、蒸着、プレーテン
グあるいはスパッタリング等の適当な方法により塗布あ
るいはコーテングした後、所望の形状に巻線成形加工を
施す。
した線材あるいは板材等の表面に耐熱性の良好なシリカ
、アルミナ、マグネシア、フッ化物、ホウ化物あるいは
チツ化物等の無機質絶縁被膜を電着、蒸着、プレーテン
グあるいはスパッタリング等の適当な方法により塗布あ
るいはコーテングした後、所望の形状に巻線成形加工を
施す。
(0) 本発明合金の膜を耐熱性絶縁体表面に劃り蒸
着、プレーテングあるいはスパッタリング等の適当な方
法により被着した後、F夕’r望の形状にエツチング打
抜きあるいはトリミング加工を施し、必要ならはさらに
この上に絶縁被膜を上記(B)の方法により塗布あるい
はコーテング処理を施す。
着、プレーテングあるいはスパッタリング等の適当な方
法により被着した後、F夕’r望の形状にエツチング打
抜きあるいはトリミング加工を施し、必要ならはさらに
この上に絶縁被膜を上記(B)の方法により塗布あるい
はコーテング処理を施す。
以上のような工程により製造した成品をそのままで使用
してもよいが、必要ならは成品の安定化のために、さら
に再び前述の方法により焼鈍処理を施せば電気抵抗合金
自体と同じ特性を発揮する優秀な電気抵抗体素子あるい
はセンサフィルの製造が口」能である。
してもよいが、必要ならは成品の安定化のために、さら
に再び前述の方法により焼鈍処理を施せば電気抵抗合金
自体と同じ特性を発揮する優秀な電気抵抗体素子あるい
はセンサフィルの製造が口」能である。
つきに本発明の実施例について述べる。
実施例 1
合金番号A102(合金組成N1−ao%、Au−15
%。
%。
Gu−55%)
製造原料としては純度99.9%以上のニッケル。
金および銅を用いた。試料を造るには全重量100すの
原料をアルミナ坩堝に入れ、酸化を防ぐために篩純度ア
ルゴンガスを吹きつけなから萬周波誘擲電気炉によって
溶かし、よく撹拌して均質な溶融合金とした。この際脱
酸剤としてマクネシュウムを0.05%投入して、内径
7陥、高さ180闘の鉄則に鋳込んだ。その後鋳塊表面
の疵を除失し、熱間鍛造により直径5闘の丸棒とした。
原料をアルミナ坩堝に入れ、酸化を防ぐために篩純度ア
ルゴンガスを吹きつけなから萬周波誘擲電気炉によって
溶かし、よく撹拌して均質な溶融合金とした。この際脱
酸剤としてマクネシュウムを0.05%投入して、内径
7陥、高さ180闘の鉄則に鋳込んだ。その後鋳塊表面
の疵を除失し、熱間鍛造により直径5闘の丸棒とした。
丸棒表面の酸化物を丁寧に除去した後、スェージングお
よび伸線機により線径0.5窮まで冷間加工した。これ
より長さi o o amに切り取り電気抵抗測定用試
料とした。電気抵抗は一190°C〜+700℃の温度
範囲で測定した。第2図に示しであるように、。
よび伸線機により線径0.5窮まで冷間加工した。これ
より長さi o o amに切り取り電気抵抗測定用試
料とした。電気抵抗は一190°C〜+700℃の温度
範囲で測定した。第2図に示しであるように、。
加工状態(破線)の電気抵抗の変化は組織が不安定なた
め昇温途中の温度、例えばb点(aoo’c)で1時間
保持゛すると、電気抵抗がd点まで減少する。そして8
00°C以下の温度で加熱冷却を繰り返すと(i−)
e −+ f−+gの如く元の経路を辿らずヒステリシ
スを生ずる。しかしながら曲線deと曲線fgにおいて
、250℃以下の温度で加熱冷却を繰り返してもヒステ
リシスは生じないで同じ経路を辿る。この現象について
さらに詳しく旧べたのが第8図(4)である。図は試料
を1000°Cで焼鈍した後、245”C,800“C
および850°Cの各温度に1力月間等温保持した場合
の保持H数に対する′a電気抵抗変化を%で示したもの
である。245°Cで1力月保持した場合は電気抵抗は
全く変化しないが、この温度以上では1〜1.4%の電
気抵抗の減少がみられた。したがって第2図および第3
図(4)からもわかるように、曲gdeと曲IMfgに
おいては250°C以下の温度で加熱冷却を繰り返して
も同じ経路を辿るため、実用には差障りがない。また第
2図において焼鈍状態(実線)の特性曲線からもわかる
ように、0点(470°C)以上の温度に加熱した場合
には合金が安定化されるためにヒステリシスはみられな
い。但しこの場合でも第8図(4)にボした如(,25
0°C以上の温度に長時間保持すると電気抵抗の変化が
生ずるため、j6用に際しては使用温度の上限を250
°Cに設定しなけれはならない。尚20°Cにおける比
電気抵抗ρは41μ(コ−cm、ρの温度係数Ofは−
4ppm/”C(−50°C〜+250°C)と−5p
pm、/℃(0°(!” + 100 +、1’C)で
あった。
め昇温途中の温度、例えばb点(aoo’c)で1時間
保持゛すると、電気抵抗がd点まで減少する。そして8
00°C以下の温度で加熱冷却を繰り返すと(i−)
e −+ f−+gの如く元の経路を辿らずヒステリシ
スを生ずる。しかしながら曲線deと曲線fgにおいて
、250℃以下の温度で加熱冷却を繰り返してもヒステ
リシスは生じないで同じ経路を辿る。この現象について
さらに詳しく旧べたのが第8図(4)である。図は試料
を1000°Cで焼鈍した後、245”C,800“C
および850°Cの各温度に1力月間等温保持した場合
の保持H数に対する′a電気抵抗変化を%で示したもの
である。245°Cで1力月保持した場合は電気抵抗は
全く変化しないが、この温度以上では1〜1.4%の電
気抵抗の減少がみられた。したがって第2図および第3
図(4)からもわかるように、曲gdeと曲IMfgに
おいては250°C以下の温度で加熱冷却を繰り返して
も同じ経路を辿るため、実用には差障りがない。また第
2図において焼鈍状態(実線)の特性曲線からもわかる
ように、0点(470°C)以上の温度に加熱した場合
には合金が安定化されるためにヒステリシスはみられな
い。但しこの場合でも第8図(4)にボした如(,25
0°C以上の温度に長時間保持すると電気抵抗の変化が
生ずるため、j6用に際しては使用温度の上限を250
°Cに設定しなけれはならない。尚20°Cにおける比
電気抵抗ρは41μ(コ−cm、ρの温度係数Ofは−
4ppm/”C(−50°C〜+250°C)と−5p
pm、/℃(0°(!” + 100 +、1’C)で
あった。
実施例 2
合金番号 Ai、 176 (合金組成 Ni −28
% 、 Au −24%。
% 、 Au −24%。
au −418%)
製造原料は実施例1と同じ純度のニッケル、金および銅
を用いた。試料の製造方法は実施例1と同じ工程であっ
た。試料は線径0.5間のものと、残りの線利を伸線加
工により線径o、o8mmにし、冷間圧延により厚さ7
μm1幅Q、74mmのリボン状薄板にしたものとで、
これらを1000“Cで焼鈍を行つた。その特性曲線は
第2図および第8図(B)のとおりで、実施例1と類似
の傾向を示す。この場合線状試料と薄板状試料との測定
結果の違いは全くみられなかった。尚20°Cにおける
比電気抵抗ρは48μΩ−Cm、ρの温度係数Cfは−
4ppm/’c(−60°C〜+250°C)と− i
2 ppm/”c (o°C〜+100℃)で
あった。
を用いた。試料の製造方法は実施例1と同じ工程であっ
た。試料は線径0.5間のものと、残りの線利を伸線加
工により線径o、o8mmにし、冷間圧延により厚さ7
μm1幅Q、74mmのリボン状薄板にしたものとで、
これらを1000“Cで焼鈍を行つた。その特性曲線は
第2図および第8図(B)のとおりで、実施例1と類似
の傾向を示す。この場合線状試料と薄板状試料との測定
結果の違いは全くみられなかった。尚20°Cにおける
比電気抵抗ρは48μΩ−Cm、ρの温度係数Cfは−
4ppm/’c(−60°C〜+250°C)と− i
2 ppm/”c (o°C〜+100℃)で
あった。
実施例 8
合金番号 A8(合金組成 Ni−80%、Au−10
%。
%。
0u−60%)
製造原料および製造方法は実施例2と同じである。試料
の特性曲線は第2図および第8図(0)のとおりで、実
施例1および実施例2と類似の傾向を示す。尚20°C
における比電気抵抗ρは40μQ−cm、1) (7)
温度係数Ofは2 PI)m/”C(−50°O−+2
50°C)と10 ppm7℃(’O℃〜+100°C
)であった。
の特性曲線は第2図および第8図(0)のとおりで、実
施例1および実施例2と類似の傾向を示す。尚20°C
における比電気抵抗ρは40μQ−cm、1) (7)
温度係数Ofは2 PI)m/”C(−50°O−+2
50°C)と10 ppm7℃(’O℃〜+100°C
)であった。
第4図には実施例1ないし実施例8と同様の実験をニッ
ケルー金−銅8元系における金0〜50%の組成範囲に
亘って行い、−100°C〜+250℃にわち−100
pI)m/”C、0、+1100pp/”C、+200
。
ケルー金−銅8元系における金0〜50%の組成範囲に
亘って行い、−100°C〜+250℃にわち−100
pI)m/”C、0、+1100pp/”C、+200
。
ppm/”Cおよび+500 ppm/”c (1)等
値曲線を示したものである。図にみるように、Ofの変
化が+1100pp/”C以内の特性は銅−ニッケル2
元系合金ではab間およびcd間の狭い範囲に制約され
るが、金を含む8元糸合金では金4〜80%の広い範囲
で得られることがわかる。
値曲線を示したものである。図にみるように、Ofの変
化が+1100pp/”C以内の特性は銅−ニッケル2
元系合金ではab間およびcd間の狭い範囲に制約され
るが、金を含む8元糸合金では金4〜80%の広い範囲
で得られることがわかる。
第5図は第4図におけるti線A、Bおよび01すなわ
ちニッケル28%、80%および82%の一定の濃度に
ついて、金の組成に対するOfの変化が示しである。こ
こには本発明合金のOfの変化と比較するためにOu
−Ni −B’e糸合金合金u−Ni−Qe糸合金の0
1・もボしておいた。図からも明らかなように比較合金
のOf、はFeあるいはc、e 17)添加策に対して
急激に変化しているのに対して、本発明合金の場合では
、Cfの小さな値は添加元素の広い組成範囲に亘って得
られる。例えはC1・の要化が+201)I)I11/
″C以内の合金を得るための組成範囲は、Ge添加の場
合±0.5%で極めて狭いが、Au添加の場合ではUi
−aO%、断面において±9%であって、比較合金に比
して18倍も広い以上実廉例1〜8に述べたように本発
明合金は温度に対する電気抵抗の変化が非常に小さいだ
けでなく、その合金組成が広範囲に及んでいるため特性
のバラツキがなく安定性に優れており、シカも良好な加
工性は勿論のこと全組成において全率固溶体を形成する
ため再現性に畠み、溶接性やロー付が良好である等多く
の特徴を示している。これらの特性は基準抵抗用1!気
抵抗合金やセンサコイル材の歓産に適しており、それら
の要求特性を充分に満足するものである。
ちニッケル28%、80%および82%の一定の濃度に
ついて、金の組成に対するOfの変化が示しである。こ
こには本発明合金のOfの変化と比較するためにOu
−Ni −B’e糸合金合金u−Ni−Qe糸合金の0
1・もボしておいた。図からも明らかなように比較合金
のOf、はFeあるいはc、e 17)添加策に対して
急激に変化しているのに対して、本発明合金の場合では
、Cfの小さな値は添加元素の広い組成範囲に亘って得
られる。例えはC1・の要化が+201)I)I11/
″C以内の合金を得るための組成範囲は、Ge添加の場
合±0.5%で極めて狭いが、Au添加の場合ではUi
−aO%、断面において±9%であって、比較合金に比
して18倍も広い以上実廉例1〜8に述べたように本発
明合金は温度に対する電気抵抗の変化が非常に小さいだ
けでなく、その合金組成が広範囲に及んでいるため特性
のバラツキがなく安定性に優れており、シカも良好な加
工性は勿論のこと全組成において全率固溶体を形成する
ため再現性に畠み、溶接性やロー付が良好である等多く
の特徴を示している。これらの特性は基準抵抗用1!気
抵抗合金やセンサコイル材の歓産に適しており、それら
の要求特性を充分に満足するものである。
つき゛に本発明合金の組成についてニッケルを22〜6
9%および金を0.01〜80%に限定した埋出は、各
実施例、第21.第4図および第5図からも明らかなよ
うに、この@題の組成においては一100°C〜+25
0℃の温度範囲における電気抵抗の温度係数が+100
ppm/”C以内であるが、組成がこの範囲を越える
と上記の値より大きくなり、本発明の目的である温度の
広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金に反するか
らである。
9%および金を0.01〜80%に限定した埋出は、各
実施例、第21.第4図および第5図からも明らかなよ
うに、この@題の組成においては一100°C〜+25
0℃の温度範囲における電気抵抗の温度係数が+100
ppm/”C以内であるが、組成がこの範囲を越える
と上記の値より大きくなり、本発明の目的である温度の
広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金に反するか
らである。
また本発明合金の温度範囲を一50°C〜+250°C
に限定した理由は、この温度範囲内では本発明合金の全
組成において電気抵抗の温度係数の変化が+100 p
pm/”C以内の特性を示すが、250°C以上の1晶
度では第2図および第8図からも明らかなように熱エー
ジングがみられ安定性に難があるはかりでなく、銅酸化
性に欠ける。また−100゛C以−トの温度では合金に
よっては電気抵抗の温度係数か+100 ppm/”C
以上となるため、本発明の目的である温度の広範囲にわ
たり電気抵抗の変化の小さい合金に反するからである。
に限定した理由は、この温度範囲内では本発明合金の全
組成において電気抵抗の温度係数の変化が+100 p
pm/”C以内の特性を示すが、250°C以上の1晶
度では第2図および第8図からも明らかなように熱エー
ジングがみられ安定性に難があるはかりでなく、銅酸化
性に欠ける。また−100゛C以−トの温度では合金に
よっては電気抵抗の温度係数か+100 ppm/”C
以上となるため、本発明の目的である温度の広範囲にわ
たり電気抵抗の変化の小さい合金に反するからである。
賛するに本発明合金は広い組成に亘って一100′C〜
+251j’Cの広い温度範囲における電気抵抗の変化
が±l OU ppn+/”C以内と極めて小さく、し
かも全組成において全率固溶体を形成するため再現性と
安定性に優れ、溶接性やロー刊が良好であるはかりでな
く極細線や薄板等の加工性が良好であるためJItM性
が高い等−多くの特長を有している。そのため、柚々の
基準抵抗器をはじめ稍密計4(11機器等の電気抵抗体
素子やセンサコイル材として好適である。特に本発明合
金を高分解能型温度センサ用基準抵抗器へ応用せんとす
る場合、その比電気抵抗値がマンガニン系合金のものよ
り若干小さいので、より一層優れた特性を発揮すること
ができる。
+251j’Cの広い温度範囲における電気抵抗の変化
が±l OU ppn+/”C以内と極めて小さく、し
かも全組成において全率固溶体を形成するため再現性と
安定性に優れ、溶接性やロー刊が良好であるはかりでな
く極細線や薄板等の加工性が良好であるためJItM性
が高い等−多くの特長を有している。そのため、柚々の
基準抵抗器をはじめ稍密計4(11機器等の電気抵抗体
素子やセンサコイル材として好適である。特に本発明合
金を高分解能型温度センサ用基準抵抗器へ応用せんとす
る場合、その比電気抵抗値がマンガニン系合金のものよ
り若干小さいので、より一層優れた特性を発揮すること
ができる。
第1図は温度センサに使用される抵抗−電圧変換方式の
基本構成図、 第2図は合金番号A 102 、 A 176およびj
68について、測定温度に対する電気抵抗の変化を示し
た特性曲線図、 第8図は第2図と同じ合金について245°C9800
℃および860℃の8他類の温度に1力月以内等温保狩
した場合の電気抵抗の変化を示す特性曲線図、 第4図はニッケルー金−銅合金について、−100°C
〜+250°Cの温度範囲における平均の電気抵抗の温
度係数−100ppm/”C、0、+ 100ppm/
’c l + 200 M)m/”Cおよび+500
ppHl/”(:の等値曲線図、 第6図は第4図におけるニッケル28%、 80 ’%
および80%一定として、金の組成に対する電気抵抗の
温度係数の変化を示した特性曲線図である。 ■・・・定電流回路、2・・・差動増幅益、δ・・・伯
号変5侠回路。 特許出願人 財団法人 電気磁気材料研究所第1図 第2図 第3図 )1 r 等4刊審今日ぜぐ(日) 第4図 Cυ(%) 〜i (%) 第5図 Aa、FeKはθe(%) 245−
基本構成図、 第2図は合金番号A 102 、 A 176およびj
68について、測定温度に対する電気抵抗の変化を示し
た特性曲線図、 第8図は第2図と同じ合金について245°C9800
℃および860℃の8他類の温度に1力月以内等温保狩
した場合の電気抵抗の変化を示す特性曲線図、 第4図はニッケルー金−銅合金について、−100°C
〜+250°Cの温度範囲における平均の電気抵抗の温
度係数−100ppm/”C、0、+ 100ppm/
’c l + 200 M)m/”Cおよび+500
ppHl/”(:の等値曲線図、 第6図は第4図におけるニッケル28%、 80 ’%
および80%一定として、金の組成に対する電気抵抗の
温度係数の変化を示した特性曲線図である。 ■・・・定電流回路、2・・・差動増幅益、δ・・・伯
号変5侠回路。 特許出願人 財団法人 電気磁気材料研究所第1図 第2図 第3図 )1 r 等4刊審今日ぜぐ(日) 第4図 Cυ(%) 〜i (%) 第5図 Aa、FeKはθe(%) 245−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 L 重量比にてニッケル22〜59%、金0.01〜8
0%および残部が実質的に銅の組成がらなり少量の不純
物を含むことを特徴とする電気抵抗合金。 2 重量比にてニッケに22〜59%、金0.01 、
、。 〜30%および残部が実質的に剣の組成がらなり少量の
不純物を営む合金を鋳造および熱間加工あるいは冷間加
工により線側あるいは板材等の形状となし、非酸化性雰
囲気中あるいは真空中で少くとも250″C以上融点以
下1、の温度で2秒以上加熱することにより電気抵抗の
温度係数が−100”(:〜+250−Cの温度範囲に
おいて±100 ppm/’C以内であるものを得るこ
とを特徴とする1JL気抵抗抵抗の製造方法。 & 重量比にてニッケ/I/22〜59%、金0.01
〜80%および残部が実質的に銅の4#L戒からなり少
量の不純物を含む合金を鋳造加工して得られた線材ある
いは板材等を巻線成形加工を施すかあるいは所望の形状
に打ち抜き、そのままの状態で耐熱性絶縁体中に埋め込
むか、耐熱性絶縁体に固定した後、さらにこれらを非酸
化性雰囲気中あるいは真空中において250°C以上融
点以下の温度で2秒以上100時間以下保持後5〜80
0°C/hの冷却速度で冷却し充分焼鈍を行うことによ
り、電気抵抗の温度係数が一100°C〜+250℃の
温度範囲で±1100pp/℃以内であるものを得るこ
とを特徴とする′11気抵抗抵抗子あるいはセンサコイ
ルの製造方法。 4 重量比にてニッケル22〜59%、金o、oi〜8
0%および残部が実質的に銅からなり少量の不純物を含
む合金を鋳造加工して得られた細線あるいは薄板の表面
に耐熱性絶縁体を塗布あるいはコーテングした後、所望
の形状に巻線成形加工を施し、さらに非酸化性雰囲気中
あるいは真空中において250°C以上融点以下の温度
で2秒以上100時間以下保持後、5〜300°C/h
の冷却速度で冷却し充分な焼鈍を行うことを特徴とする
電気抵抗体素子あるいはセンサコイルの製造方法。 五 重鼠比にてニッケル22〜59%、金0.01〜8
0%および残部が実質的に銅からなり少量の不純物を含
む合金膜を適当な方法により耐熱性絶縁体表面に被着し
た後、所望の形状に成形し、さらにこの上に耐熱性絶縁
体を被着、塗布あるいはコーテングしたものな非酸化8
:雰囲気中あるいは真空中において250”C以上融点
以下の温度で2秒以上100時間以−ト保持後5〜aO
O″C/hの冷却速度で冷却し充分な焼鈍を行うことを
特徴とする電気抵抗体素子あるいはセンサコイルの製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11366282A JPS596345A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11366282A JPS596345A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS596345A true JPS596345A (ja) | 1984-01-13 |
JPH036974B2 JPH036974B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=14617968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11366282A Granted JPS596345A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS596345A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6217572A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-26 | ダイキン工業株式会社 | 空冷ヒ−トポンプ式冷凍機の除霜装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4621042B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2011-01-26 | コーア株式会社 | 電流検出用金属板抵抗器 |
-
1982
- 1982-06-30 JP JP11366282A patent/JPS596345A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6217572A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-26 | ダイキン工業株式会社 | 空冷ヒ−トポンプ式冷凍機の除霜装置 |
JPH0435662B2 (ja) * | 1985-07-15 | 1992-06-11 | Daikin Ind Ltd |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH036974B2 (ja) | 1991-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018091848A (ja) | 歪抵抗膜および歪センサ、ならびにそれらの製造方法 | |
JPH0146570B2 (ja) | ||
JP4622522B2 (ja) | 金属抵抗体材料、抵抗薄膜、スパッタリングターゲット、薄膜抵抗器およびその製造方法 | |
JP4622946B2 (ja) | 抵抗薄膜材料、抵抗薄膜形成用スパッタリングターゲット、抵抗薄膜、薄膜抵抗器およびその製造方法。 | |
JP5408533B2 (ja) | ひずみゲージ用のFe−Ni−Cr系アイソエラスティック組成物、及び、該組成物を用いて製造されるひずみゲージ | |
JPS596345A (ja) | 温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金およびその製造方法 | |
US4517156A (en) | Electrical resistant alloys having a small temperature dependence of electric resistance over a wide temperature range and a method of producing the same | |
US4374679A (en) | Electrical resistant article having a small temperature dependence of electric resistance over a wide temperature range and a method of producing the same | |
JPH0427286B2 (ja) | ||
US4468370A (en) | Electrical resistant alloys having a small temperature dependence of electrical resistance over a wide temperature range and a method of producing the same | |
JP3696310B2 (ja) | 大きな抵抗温度係数を有する電気抵抗合金とその製造法ならびにセンサデバイス | |
JPH0317895B2 (ja) | ||
JP3696312B2 (ja) | 大きな抵抗温度係数を有する電気抵抗合金とその製造法ならびにセンサデバイス | |
JP4895481B2 (ja) | 抵抗薄膜および抵抗薄膜形成用のスパッタリングターゲット | |
JP2659716B2 (ja) | 電気抵抗の温度係数が小さくしかも融点が低い合金およびその製造法ならびにそれを用いた高安定性電気抵抗体あるいは渦電流式変位センサ | |
JPH0570689B2 (ja) | ||
JPS638175B2 (ja) | ||
WO2022210428A1 (ja) | Cr-Si系膜 | |
JPH0427285B2 (ja) | ||
JP2005294612A5 (ja) | ||
JPS61119637A (ja) | 温度センサ素子材およびその製造法ならびに温度センサ | |
JPH11193426A (ja) | 電気抵抗合金及びその製造法並びにセンサデ バイス | |
JPH0514204B2 (ja) | ||
JP4283954B2 (ja) | 高温高圧用恒電気抵抗合金およびその製造法ならびにセンサ | |
JPS6115914A (ja) | ストレインゲ−ジ用合金およびストレインゲ−ジの製造法 |