JPS5961978A - Laser irradiating device - Google Patents

Laser irradiating device

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Publication number
JPS5961978A
JPS5961978A JP17292882A JP17292882A JPS5961978A JP S5961978 A JPS5961978 A JP S5961978A JP 17292882 A JP17292882 A JP 17292882A JP 17292882 A JP17292882 A JP 17292882A JP S5961978 A JPS5961978 A JP S5961978A
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JP
Japan
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distilled water
laser
laser light
cooling
reservoir
Prior art date
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Pending
Application number
JP17292882A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Toida
昌宏 戸井田
Yasuhiro Suenaga
末永 徳博
Nobunori Suenaga
末永 信紀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK
Original Assignee
NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK filed Critical NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK
Priority to JP17292882A priority Critical patent/JPS5961978A/en
Publication of JPS5961978A publication Critical patent/JPS5961978A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a cooler for a laser irradiating device at low cost and moreover formed in a small type by a method wheein a single heat exchanger and a reservoir are provided, and cooling is performed by sending with pressure at the same time distilled water for cooling stored in the reservoir to laser beam sources of the plural number according to a single pump means. CONSTITUTION:Distilled water in the reservoir 4 is sent by the pump 3, distilled water branched to a piping 9 cools the TGA laser resonator 1, and distilled water branched to a piping 8 cools the CO2 laser resonator 2. The distilled water cooled the CO2 laser resonator 2 is returned to the reservoir 4 through a piping 7, the distilled water cooled the YGA resonator 1 is cooled by the heat exchanger 5 provided on a piping 6, and is returned to the reservoir 4. Accordingly, distilled water held at a temperature sufficient to perform cooling is supplied to the resonators 1, 2 constantly.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明−レーザ照射装置に関し、特に複数個の作業用レ
ーザ光ゆハをイIhえたレーザ照射装揃゛の/i′i却
技術に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a laser irradiation device, and more particularly to a technology for reducing the number of laser irradiation devices equipped with a plurality of working laser beams.

従来より、波長の異なる複数の作業用レーザ光を、同時
にあるいd、選択的に照射し4B4るレーザj目射装置
がいくつか提案されていた。例えば、被照射部が生体の
場合、生体とレーザ光との([]互作用は、照射レーザ
光の波長により犬きく異ることが知られている。そこで
、これらレーザij<j射装置6′によれば、レーザ光
を適宜使い分けることによりjlQ−のレーザ光のみを
照射する°場合と比べ、レーザ手術の特性を生かしてよ
り効果的に手術を進めることができると報告されている
Conventionally, several laser sighting devices have been proposed that simultaneously or selectively irradiate a plurality of working laser beams having different wavelengths. For example, when the irradiated part is a living body, it is known that the interaction between the living body and the laser beam varies greatly depending on the wavelength of the irradiated laser light. According to ', it is reported that by appropriately using laser beams, surgery can be performed more effectively by taking advantage of the characteristics of laser surgery, compared to the case where only jlQ- laser beams are irradiated.

前記した装置の一つとして、特1;′1公開昭56−1
30145号明細書にC10、作業用レーザ光源として
CO2レーザおよびYAGレーザの2種を備え、しかも
2本の導光路を具(+:ii L lこ装置が開示され
ている。
As one of the above-mentioned devices, Special 1;'1 Published in 1982-1
No. 30145 discloses a C10 device equipped with two types of working laser light sources, a CO2 laser and a YAG laser, and two light guide paths.

当該装置において、一方の導光路はマニピュレータ導光
路であり’t CO2レーザ光及びYAGレーザ光が同
時にあるいは選択的に照射される。才だ、他方の導光路
はファイバ導光路であり、YAGレーザ光のみが照射さ
れる。
In this device, one of the light guide paths is a manipulator light guide path, and CO2 laser light and YAG laser light are irradiated simultaneously or selectively. The other light guide path is a fiber light guide path, and only YAG laser light is irradiated thereon.

しかしながら、これら装置についての記述は全て光学系
の配置構成に関するものであり、複数のレーザ光源の冷
却技術を提案するものは−切みら11なかった。複数の
レーザ光源を有するこれら装置にとって、各光源を冷却
する冷却系統は自ずと複4f(にならざるを得ない。従
って、これら装置にとって冷却系統の簡略化は装置Δの
小型化並びにコ莱 ストダウンを招、束、できるものであり、より実用的な
機器を実現する上で是非とも必要なことであった。
However, all of the descriptions of these devices relate to the arrangement and configuration of the optical system, and none of them proposes a cooling technique for a plurality of laser light sources. For these devices that have multiple laser light sources, the cooling system for cooling each light source has to be multiple 4F.Therefore, for these devices, simplifying the cooling system means downsizing the device Δ and reducing costs. This was something that could be done easily and easily, and was absolutely necessary in order to create more practical equipment.

本発明は前記した実情に鑑みて成きれたもので、以下の
ことを目的としている。
The present invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and has the following objects.

すなわち、複数個の作業用レーザ光源より発生きれるレ
ーザ光を同時にあるいは選択的に照射するレーザ照射装
置において、前記光臨の冷却系を簡略化することにより
低廉でかつ小型に構成され得るレーザ照射装置の提供を
目的としている。
That is, in a laser irradiation device that simultaneously or selectively irradiates laser light generated from a plurality of laser light sources for work, the laser irradiation device can be constructed inexpensively and compactly by simplifying the cooling system of the laser beam. intended to provide.

以下では本発明について、添例の図面を茶照して詳細に
説明する。
The present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明の一実施例を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing one embodiment of the present invention.

図中において、1はYAGレーザ共振器を、2はC02
レーザ共振器を示す。これら両共振器の冷却には蒸留水
が用いられる。3は冷却用蒸留水を図示しだ閉路内で送
水するためのポンプを、4は冷却用蒸留水を貯蔵するた
めのリザーバを示す。寸だ、5は該蒸留水を冷却するだ
めの熱交換器を示す。
In the figure, 1 is a YAG laser resonator, 2 is a C02
A laser cavity is shown. Distilled water is used to cool both of these resonators. Reference numeral 3 indicates a pump for feeding distilled water for cooling in the illustrated closed circuit, and reference numeral 4 indicates a reservoir for storing the distilled water for cooling. 5 indicates a heat exchanger for cooling the distilled water.

fJfl記YAG l/−ザ共振器1は、YAG レ−
−IJ’ 用1’7川a[(図示せず)によって駆動さ
れ、YAGレーザ光を出力する。同様にCO2レーザ共
振器2は、CO2レーザ用専用電源(図示せず)によっ
て駆動され、CO2レーザ光を出力する。前記両レーザ
光はレーザ導光路(図示せず)によって伝達され、所望
の部Qへ照射される。
fJfl YAG l/- The resonator 1 is a YAG laser.
- IJ'1'7 River a [(not shown) is driven and outputs YAG laser light. Similarly, the CO2 laser resonator 2 is driven by a dedicated power supply for CO2 laser (not shown) and outputs CO2 laser light. Both of the laser beams are transmitted by a laser light guide (not shown) and irradiated onto a desired portion Q.

ここで、リザーバ4内に満だされた蒸留水はポンプ3に
よって送水され、配管8,9によって分岐される。配管
9に分岐きれた蒸留水i、l:YAGレーザ共振器1へ
流入され、該共振器1を冷却する。
Here, the distilled water filled in the reservoir 4 is sent by the pump 3 and branched by pipes 8 and 9. Distilled water i, l branched into a pipe 9 flows into the YAG laser resonator 1 and cools the resonator 1.

配管8に分岐された蒸留水はCO2レーザ共振器2へ流
入され、該共振器2を冷却する。該共振器2を冷却する
蒸留水の流量はバルブ11によって調整さノする。
The distilled water branched into the pipe 8 flows into the CO2 laser resonator 2 and cools the resonator 2. The flow rate of distilled water for cooling the resonator 2 is regulated by a valve 11.

言う寸でもなく、、YAGレーザ共振器1では励起用の
フラノンユランプが前記蒸留水((よって冷却される。
Needless to say, in the YAG laser resonator 1, the excitation furanone lamp is cooled by the distilled water.

また、CO2レーザ共振器2は冷却ジャケットを具備す
る2重管構造として構成されており、該ジャケット内を
前記蒸留水が還流することにより共4辰器の冷却が行わ
iする。
Further, the CO2 laser resonator 2 is constructed as a double tube structure equipped with a cooling jacket, and the distilled water is circulated inside the jacket to cool the four-axis resonator.

CO2レーザ共振器2を冷却した蒸留水は、配管7を経
てリザーバ4へ戻これる。ま/コ、YAGレーザ共振器
1を冷却し/こ蒸留水は、配管6上に設けも71だ熱交
換器5によって冷却され、リリ′−バ4へ戻される。熱
交換シ:に5でt」1、配管JO内に水道水を流J−こ
とにより水道水と蒸留水との間で熱交換が行わノL1前
記蒸留水の冷却が行わノLる。
The distilled water that has cooled the CO2 laser resonator 2 returns to the reservoir 4 via the pipe 7. The distilled water used to cool the YAG laser resonator 1 is cooled by a heat exchanger 5 provided on the pipe 6 and returned to the reservoir 4. Heat exchange: At 5 t'1, tap water is flowed into the pipe J0, whereby heat exchange is performed between the tap water and distilled water, and the distilled water is cooled.

前記リザーバ4内には、熱交換器5によって冷却きれた
蒸留水が流入されるので、該ジ−リーバ4内に渦だされ
た蒸留水け、比較的低部に保たtする。
Distilled water that has been completely cooled by the heat exchanger 5 flows into the reservoir 4, so that the distilled water vortexed in the reservoir 4 is kept at a relatively low level.

従って、前記共振器1,2には絶えず、両共振器を冷却
−J−るに充分な温度に保/こね/こ蒸留水が供給され
ることになる。尚、所望により、配管7」、り送水され
る蒸留水も熱交換器5を通過するように゛構成できる。
Therefore, the resonators 1 and 2 are constantly supplied with distilled water to maintain a temperature sufficient to cool both resonators. Incidentally, if desired, the distilled water fed through the pipe 7 can also be configured to pass through the heat exchanger 5.

ところで、一般に’I YAGレーザ共振器の冷却にお
いては、冷却水が高圧部分の近傍を通過する。
By the way, in general, when cooling an 'I YAG laser resonator, cooling water passes near a high-pressure part.

そこで、危険防止のだめ該冷却水には、#留水を用い、
かつ金属イメンが該蒸留水中に溶は込寸ないよう配慮さ
れていなければならない。そこで、本発明では、熱交換
器5.リザーバ4.ボ/ブ3を始め各配管類に至るまで
が、例えばステ/レスないしは樹脂等の様な、蒸留水に
☆゛:1して不溶性の月別から成っている。
Therefore, to prevent danger, use #retained water as the cooling water,
In addition, care must be taken to ensure that metal particles do not dissolve into the distilled water. Therefore, in the present invention, heat exchanger 5. Reservoir 4. Starting with the tube 3 and ending with each piping, it is made of a material that is insoluble in distilled water, such as stainless steel or resin.

また、本発明でUXYAGレーリ゛共振器1と同時にC
O2レーザ共1辰器2を同一の冷却系で冷却するのて、
該共振器2は後記するように冷却用蒸留水に幻し7て特
別の措14が施こされている。このことについて以下に
示す。
In addition, in the present invention, the UXYAG Rayleigh resonator 1 can be
Since both the O2 laser and the cylinder 2 are cooled by the same cooling system,
The resonator 2 is treated with distilled water for cooling, and special measures 14 are taken as described later. This will be explained below.

第2図1、第1図に示されたCO2レーザ共振器1を示
す断lj、匝略図である。図示きれるように、内管10
7の中央部には円筒状の2個の陽極ホルダ1.06 、
106’が設けられ、各々に陽極105 、105’が
固定される。該陽極ボルダ106 、106’は、例え
ばセラミック等の高熱伝導性、高絶縁性の拐刺から成っ
ている。寸だ、内管107の外側には外管104゜10
4′並ひに112が設けられ公知の2爪管として構成さ
れる。これら2重管の間隙部は、後述するように、冷却
ジャケットとして供される。
FIG. 2 is a cross-sectional and schematic diagram showing the CO2 laser resonator 1 shown in FIG. 1 and FIG. As shown in the figure, the inner tube 10
In the center of 7 are two cylindrical anode holders 1.06,
106' are provided, and anodes 105 and 105' are fixed to each. The anode boulders 106, 106' are made of a highly thermally conductive and highly insulating bar made of, for example, ceramic. There is an outer tube 104°10 on the outside of the inner tube 107.
4' and 112 are provided, and it is configured as a known two-clawed tube. The gap between these double tubes serves as a cooling jacket, as will be described later.

この様に構成された2重管において、内管107の一端
部には円筒状に形成された内管ホルダ108の一端が挿
嵌固定される。該ホルダ108の他端は、ミラーボルダ
101の陥凹部へ挿嵌固定される。寸だ、外管104の
一ψii1部は外管ホルダ102の一端へJΦ嵌固定さ
れており、該ホルダ102の他端に形成さJlだ727
2部がAil記ミラーホルダ101へ例え釘]゛ネジ等
の手段で強固に密着固定される。
In the double tube configured in this manner, one end of an inner tube holder 108 formed in a cylindrical shape is inserted and fixed into one end of the inner tube 107. The other end of the holder 108 is inserted and fixed into a recessed portion of the mirror boulder 101. One ψii1 part of the outer tube 104 is fitted and fixed to one end of the outer tube holder 102, and a JΦ portion 727 is formed at the other end of the holder 102.
The second part is tightly fixed to the aluminum mirror holder 101 by means of nails, screws, or the like.

明らかなように、前記ミラーホルダ101には共振器ミ
ラー110が固定される。内管ホルダ108の内周寸−
には陰極109が固定され、該陰極109が接地される
As is clear, a resonator mirror 110 is fixed to the mirror holder 101. Inner circumferential dimension of inner tube holder 108 -
A cathode 109 is fixed to and grounded.

ここで、前記外管ボルダ102並びに内管ホルダ108
には、例えばステンレスないしに、セラミックス■の様
な、蒸留水に対して不溶性でありかつ熱伝導性の良uf
な利第1が用いられる。加圧上の容易き並びに生産コス
トの低減を勘案すると、前記構成部品にはステンレスを
用いることが望寸しい。
Here, the outer tube boulder 102 and the inner tube holder 108
For example, UF, which is insoluble in distilled water and has good thermal conductivity, such as stainless steel or ceramics.
The first advantage is used. In consideration of ease of pressurization and reduction of production costs, it is desirable to use stainless steel for the component parts.

−また、ミラーホルダ108には、熱伝jfJ、性に優
れた真鍮等を用いる。尚、図中の10:3は冷却用蒸留
水の導入口であり、配管8(第1図)を接続することに
より冷却ジャケット内に蒸留水を導入する。
- Also, for the mirror holder 108, brass or the like having excellent heat conductivity is used. Note that 10:3 in the figure is an inlet for distilled water for cooling, and distilled water is introduced into the cooling jacket by connecting the pipe 8 (FIG. 1).

同様にして、内管】07の他端には内管ホルダ108′
が、寸だ、外管j04′には外管ホルダ102′が固定
される。これら外管ホルダ102’ i19びに内管ホ
ルダ108′には、ミラーホルダ101′が固定される
。図110′ 中、=1バ)−】’−k*共振器ミラーであり、109
′が陰極であることは言うまでもない。該陰極1(19
’は、111記陰4’M109と同様に接地される。
Similarly, an inner tube holder 108' is attached to the other end of the inner tube 07.
However, the outer tube holder 102' is fixed to the outer tube j04'. A mirror holder 101' is fixed to these outer tube holder 102'i19 and inner tube holder 108'. In Fig. 110', =1 bar)-]'-k* resonator mirror, 109
It goes without saying that ′ is a cathode. The cathode 1 (19
111 is grounded like 4'M109.

尚、該実施例に示した共振器では、各構成部品の接合箇
所にO−リング等が配設され、気密が保たれている。
In the resonator shown in this embodiment, an O-ring or the like is provided at the joint of each component to maintain airtightness.

該共振器では、配管8(第1図)より冷却水導入口10
3へ導入された冷却用蒸留水は、冷却ジャケット内で陽
極ホルダ106 、106’に設けられプこ開口を通過
し、内管107を冷却した後冷却水排出口103′より
排出される。該排出口103′より排出された蒸留水は
、配管7(第1図)を経て前記リザーバ4へ戻される。
In the resonator, a cooling water inlet 10 is connected to the pipe 8 (Fig. 1).
The distilled water for cooling introduced into the tube 3 passes through the openings provided in the anode holders 106 and 106' within the cooling jacket, cools the inner tube 107, and is then discharged from the cooling water outlet 103'. The distilled water discharged from the outlet 103' is returned to the reservoir 4 via the pipe 7 (FIG. 1).

以上詳述したように、本発明でに1、ノ1ウーの熱交換
器とリザーバとを備え、該リプ−15内に貯えられた冷
却用蒸留水を単一のポンプ手段にJ−って複数個のレー
ザ光源へ同時に圧送した冷却を両るこ七を!特徴とする
ものである。
As described in detail above, the present invention is provided with a heat exchanger and a reservoir, and the distilled water for cooling stored in the reservoir is pumped by a single pump means. Cooling is pumped to multiple laser light sources at the same time! This is a characteristic feature.

bfつて、各レータ光源において熱動換器、リザーバ、
並びにポツプ手段が共有されるので構造が簡略化a i
j、 s装置をコンパクトに措“成することができる。
bf, a heat exchanger, a reservoir,
In addition, the structure is simplified because the pop means is shared.
j, s device can be constructed compactly.

寸/こ、各光臨の冷却系を共用することで構成部品数を
削減でき、装置価格を大幅に低減することができる。
By sharing the cooling system for each unit, the number of component parts can be reduced, and the cost of the equipment can be significantly reduced.

また、本発明装置に用いられるガスレーザ共振器では、
放電管の両端に蒸留水に対して不溶性の拐木」からなる
内管ホルダ並びに外管ホルダが固定され、内管及び夕I
管の間隙部に冷却ンヤケノトが構成きれている。加えて
、内管−1−に固定さハる陽極ボルダには、高絶縁性の
(A料が用いられている。
Furthermore, in the gas laser resonator used in the device of the present invention,
An inner tube holder and an outer tube holder made of "golden wood" which is insoluble in distilled water are fixed to both ends of the discharge tube, and the inner tube and outer tube holder are fixed to each end of the discharge tube.
A cooling hole is formed in the gap between the tubes. In addition, highly insulating (A material) is used for the anode boulder fixed to the inner tube -1-.

従って、該共振器の冷却に際して、冷却用蒸留水中に<
f:属イオノが溶は込む心配かなく、YAGレーザと共
用化された冷却系に用いても電気的安全が保たれるもの
である。
Therefore, when cooling the resonator, <
f: There is no need to worry about ion melting, and electrical safety is maintained even when used in a cooling system shared with a YAG laser.

1プこ、本発明では、陰極ホルダ、り1管ホルダ。In the present invention, there is one cathode holder and one tube holder.

並びにミラーホルダが各々別物々して構成されているの
で、陰極ホルダ並びに外管ホルダにステンレスないしは
セジミノクス等の材料を用いても加にが容易でありコス
トを低減できる。加えて、ミラーボルダには熱伝導性に
富んだ(1料を汗λ\に選択使用でき、かつ、外管ホル
ダに作因に密着固定されているのて、共振器ミラーの冷
却に極めて不利となる。
In addition, since the mirror holders are each constructed separately, it is easy to add materials such as stainless steel or Sejiminox to the cathode holder and the outer tube holder, and the cost can be reduced. In addition, the mirror boulder has a high thermal conductivity (one material can be selectively used as perspiration), and it is tightly fixed to the outer tube holder, which is extremely disadvantageous for cooling the resonator mirror. Become.

尚、本発明の内容は前記実施例にのみ限定されるもので
はなく、多くの改変か存在し得る。例乏−は、外管ホル
ダに設けたフラノ/部を省略して内7キホルダにフラン
/部を設け、該フランジ部にミラーボルダを密着固定す
る」:うに構成しても何ら差し支えない。オた、内管中
央部に設けた2個の陽(ヴを1個で構成し、形成される
各放電領域が該電極を共用するように構成しても構わな
い。
It should be noted that the content of the present invention is not limited only to the above embodiments, and many modifications may be made. In a rare case, the flange section provided on the outer tube holder is omitted, the flange section is provided on the inner tube holder, and the mirror boulder is closely fixed to the flange section. Alternatively, the two positive electrodes provided at the center of the inner tube may be composed of one electrode, and each discharge region formed may share the electrode.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の説明図を、第2図は第1図
(C示したガスレーザ共振器の断面概略図を示j″。図
中に付した記号に1 ■・・・YA、Gレーザ共振器、2・・CO2レーザ共
振器、;3 ・ポンプ、4・IJ−IJ−バ、5 熱交
換滞、](月、](月′・・ミラーホルダ、102 、
 [12’  外ゞ爵ホルダ、104 、 」04’ 
、 106  外管、107・・内’i′1′、1.4
18 、108’−内管ホルタ、110 、101’−
共振2:・;ミラー、 を小ず。 特に′1出願人 1−1本赤外線に欠株、(会r1 代表石 末 永 徳 博
FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the gas laser resonator shown in FIG. YA, G laser resonator, 2... CO2 laser resonator,; 3 ・Pump, 4 ・IJ-IJ-bar, 5 Heat exchanger, ](month, ](month'...mirror holder, 102,
[12' Gao Duke Holder, 104, "04'
, 106 outer tube, 107...inner 'i'1', 1.4
18, 108'-inner tube holter, 110, 101'-
Resonance 2:・;Mirror, small. In particular, '1 applicant 1-1 infrared rays are missing, (Representative of Association R1 Norihiro Ishi Suenaga

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)単一の装置内に波長の異る複数個の作業用レーザ
光源を備え該光源より出力されるレーザ光を同時にある
いは1選択的に照射するレーザ照射装置において、冷却
用蒸留水を貯えるだめの単一のリザーバと、[)′lI
記リザーバに貯えられた冷却用蒸留水を前記各レーザ光
源へ■−送する中−−−のポンプ手段とを備え、各レー
ザ光源を冷却した蒸留水fd前記リザーバへ帰還される
ように4’ilj成され、かつ、前記した帰還蒸留水の
うちの少くとも一部がルーの熱交換器によって冷却きJ
することを特徴とするレーザ照射装置。
(1) In a laser irradiation device that has multiple working laser light sources with different wavelengths in a single device and irradiates laser light output from the light sources simultaneously or selectively, distilled water for cooling is stored. with a single reservoir and [)′lI
pumping means for transporting the distilled water for cooling stored in the reservoir to each of the laser light sources; and at least a part of the above-mentioned return distilled water is cooled by a roux heat exchanger.
A laser irradiation device characterized by:
(2) 1iil記第1項第1の装置において、前記作
業用レーザ光源は2個設けられており、一方がCO2レ
ーザ光源であり他方がYAGレーザ光源であることを特
徴とするレーザ照射装置。
(2) The laser irradiation device according to item 1iii, item 1, wherein two working laser light sources are provided, one of which is a CO2 laser light source and the other is a YAG laser light source.
(3)単一の装置内にCO2レーザ光源とYAGレーザ
光源とを4+iiiえR亥光源より出力されるレータ光
を同時にあるいは選択的に照射するレーザ傅」j装置に
おいて、冷却用蒸留水を貯えるだめの単一のリザー・・
と、前記IJ−tl−バに貯えられた冷却用」〃;留水
を前記両し−ザ光源文圧送する単一のポンプ手段とを備
え、前記両し−ザ光諒を冷却した蒸留水は前記リザー・
・へ帰還され、かつ、前記した帰還蒸留水のうちの少く
とも一部が単一の熱交換器によって冷却されるよう構成
されており、前記CO2レーザ光#は内管および外管に
より同軸2重管として構成σれた共振器でちり、前記2
重管両端部に蒸留水に対して不溶性の月別からなる内管
ホルダ並びに外管ホルダを固定し2重管間隙部よりなる
冷却ジA・クツ[・を刺止するとともに、前記両ホルダ
タI側部に共振器ミラーを具備したミラーホルダを固定
したことを特徴とするレーザ照射装置。
(3) Store distilled water for cooling in a laser device that simultaneously or selectively irradiates a CO2 laser light source and a YAG laser light source with the laser light output from the 4+R light source in a single device. No single riser...
and a single pump means for pumping the distilled water stored in the IJ-tl bar to the above-mentioned IJ-tl bar, the distilled water being cooled to the above-mentioned IJ-tl bar. is the above-mentioned
- At least a part of the returned distilled water is cooled by a single heat exchanger, and the CO2 laser beam # is coaxially Dust in the resonator configured as a heavy pipe, 2 above.
An inner tube holder and an outer tube holder consisting of a tube insoluble in distilled water are fixed to both ends of the double tube, and a cooling tube A and shoes made of a gap between the double tubes are inserted, and both the holders are attached to the I side. 1. A laser irradiation device characterized in that a mirror holder equipped with a resonator mirror is fixed to a portion thereof.
(4)前記第3項記載の装置において、前記内%: 、
]。 ルダ並びに外管ホルダがステンレスで構成されているこ
とを特徴上するレーザ照射装置4゜(5)前記第3ない
し第4項記載の装置において、前記内管ホルダ及び外窓
ホルダのうち少くとも一方がI”lil Me ミラー
ホルダに熱結合さhていることを特徴とするレーザ照射
装置。
(4) In the apparatus according to item 3 above, the % of the above:
]. 4. A laser irradiation device characterized in that the tube holder and the outer tube holder are made of stainless steel. is thermally coupled to a mirror holder.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6396980A (en) * 1986-10-14 1988-04-27 Fanuc Ltd Lser resonator
JPH08256U (en) * 1995-08-02 1996-02-06 ファナック株式会社 Laser cavity
JP2018506165A (en) * 2014-11-26 2018-03-01 コンバージェント デンタル, インコーポレイテッド System and method for supplying power to and cooling a dental laser system

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JP2018506165A (en) * 2014-11-26 2018-03-01 コンバージェント デンタル, インコーポレイテッド System and method for supplying power to and cooling a dental laser system

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