JPS5961833A - 着色画像の形成法 - Google Patents
着色画像の形成法Info
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- JPS5961833A JPS5961833A JP57172000A JP17200082A JPS5961833A JP S5961833 A JPS5961833 A JP S5961833A JP 57172000 A JP57172000 A JP 57172000A JP 17200082 A JP17200082 A JP 17200082A JP S5961833 A JPS5961833 A JP S5961833A
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- colored
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- colored film
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
- G03F1/56—Organic absorbers, e.g. of photo-resists
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は着色画像の形成法に係り、更に詳しくは斜光東
制限用、ディスプレー用、光電変換素子用、ファクシミ
リ用、単管式カラーカメラ用、或いは固体カラーカメラ
用等の用途に用いられる着色画像の形成法Ｃ：関する。
制限用、ディスプレー用、光電変換素子用、ファクシミ
リ用、単管式カラーカメラ用、或いは固体カラーカメラ
用等の用途に用いられる着色画像の形成法Ｃ：関する。
従来、着色画像の形成法としては、有機樹脂層を染色し
て着色画像を形成する方法と、多層干渉膜により着色画
像を形成する方法があるが、製造の容易さから前者の方
法が一般ｆ：用いられている。
て着色画像を形成する方法と、多層干渉膜により着色画
像を形成する方法があるが、製造の容易さから前者の方
法が一般ｆ：用いられている。
しかしながら、有機樹脂を染色してなる着色画像部分は
耐熱性、耐光性、耐薬品性等の物性がすぐれないため、
そのような着色画像をほどこしたものは限定された条件
下で使用されているのみである。又、着色画像をほどこ
すべき支持体面（二凹凸があるときは、凹凸の影響を受
けて着色の濃度が不均一になりやすい欠点があった。
耐熱性、耐光性、耐薬品性等の物性がすぐれないため、
そのような着色画像をほどこしたものは限定された条件
下で使用されているのみである。又、着色画像をほどこ
すべき支持体面（二凹凸があるときは、凹凸の影響を受
けて着色の濃度が不均一になりやすい欠点があった。
本発明者らは上記の従来の欠点を解消した着色画像を開
発すべく、研究の結果、支持体上に着色剤と透明樹脂も
しくは透明無機材料などの透明材料とを同時に気相堆積
させて着色膜を形成し、得られた着色膜の上にレジスト
膜パターンを形成し、次いで前記レジスト膜パターンを
マスクとして前記着色膜をエツチングすること（二より
、酬熱性、耐光性、耐薬品性等の特性面ですぐれている
のみならず、機械的強度が高く堅牢であり、且つ従来よ
りも薄膜の色要素よりなる着色画像を形成することがで
きることを見い出し、かかる知見（＝もとづいて本発明
を完成したものである。
発すべく、研究の結果、支持体上に着色剤と透明樹脂も
しくは透明無機材料などの透明材料とを同時に気相堆積
させて着色膜を形成し、得られた着色膜の上にレジスト
膜パターンを形成し、次いで前記レジスト膜パターンを
マスクとして前記着色膜をエツチングすること（二より
、酬熱性、耐光性、耐薬品性等の特性面ですぐれている
のみならず、機械的強度が高く堅牢であり、且つ従来よ
りも薄膜の色要素よりなる着色画像を形成することがで
きることを見い出し、かかる知見（＝もとづいて本発明
を完成したものである。
即ち、本発明の要旨は支持体上に第１の着色剤と透明燐
脂もしくは透明無機材料などの透明材料とを同時に気相
堆積させて第１の着色膜を形成する第１工程と、前記第
１の着色膜の上にレジスト膜パターンを形成し、次いで
前記レジス） ＩＮパターンをマスクとして前記第１の
着色膜をエツチングして前記レジスト膜パターンの下鑑
二第１色目の色要素を形成する第２工程とを行なったの
ち、前記第１の着色剤と異なる着色剤を用い、前記第１
、及び第２工程を所要回数繰り返して第２色目以後の色
要素を形成することを特徴とする着色１ｆｌＩｌ像の形
成法である。
脂もしくは透明無機材料などの透明材料とを同時に気相
堆積させて第１の着色膜を形成する第１工程と、前記第
１の着色膜の上にレジスト膜パターンを形成し、次いで
前記レジス） ＩＮパターンをマスクとして前記第１の
着色膜をエツチングして前記レジスト膜パターンの下鑑
二第１色目の色要素を形成する第２工程とを行なったの
ち、前記第１の着色剤と異なる着色剤を用い、前記第１
、及び第２工程を所要回数繰り返して第２色目以後の色
要素を形成することを特徴とする着色１ｆｌＩｌ像の形
成法である。
以下、本発明Ｃ：つき、図面を参照しながら詳細に説明
する。
する。
第１図（ａ）図示の如く、支持体（１）上に第１０着色
剤と透明樹脂もしくは透明無機材料などの透明材料とを
同時に気相堆積させて第１の着色膜（２ａ）を形成する
。次いで第１図（ｂ）図示の如く、第１の着色膜（２ａ
）の上に透明な第１のレジスト膜パターン（３ａ）を形
成し、次いで第１のレジスト膜パターン（３ａ）をマス
クとして第１の着色膜（４ａ）を形成する。しかるのち
、第１の色要素（４ａ）を設けた支持体（１１の全表面
Ｃ：第２の着色剤と透明樹脂もしくは透明無機材料など
の透明材料とを同時Ｃ：気相堆積させて第１図社］図示
の如（第２の着色Ｍ（２ｂ）を形成する。次いで第１図
（θ）図示の如（第２の着色膜（２ｂ）の上に第２のレ
ジスト膜パターン（３ｂ）を形成し、次いで％ ２ ｏ
）レジス） ｂｔＡバター（６ｂ）をマスクとして第２
の着色［（２ｂ）をエツチングし、第１図（ｆ）図示の
如（第２のレジスト膜パターン（３ｂ）の下Ｃ： ｍ
２の色要素（４ｂ）を形成する。この後、第１、及び第
２のレジスト列＠パターン（５ａ）及び（３ｂ）を除去
しても良い。
剤と透明樹脂もしくは透明無機材料などの透明材料とを
同時に気相堆積させて第１の着色膜（２ａ）を形成する
。次いで第１図（ｂ）図示の如く、第１の着色膜（２ａ
）の上に透明な第１のレジスト膜パターン（３ａ）を形
成し、次いで第１のレジスト膜パターン（３ａ）をマス
クとして第１の着色膜（４ａ）を形成する。しかるのち
、第１の色要素（４ａ）を設けた支持体（１１の全表面
Ｃ：第２の着色剤と透明樹脂もしくは透明無機材料など
の透明材料とを同時Ｃ：気相堆積させて第１図社］図示
の如（第２の着色Ｍ（２ｂ）を形成する。次いで第１図
（θ）図示の如（第２の着色膜（２ｂ）の上に第２のレ
ジスト膜パターン（３ｂ）を形成し、次いで％ ２ ｏ
）レジス） ｂｔＡバター（６ｂ）をマスクとして第２
の着色［（２ｂ）をエツチングし、第１図（ｆ）図示の
如（第２のレジスト膜パターン（３ｂ）の下Ｃ： ｍ
２の色要素（４ｂ）を形成する。この後、第１、及び第
２のレジスト列＠パターン（５ａ）及び（３ｂ）を除去
しても良い。
以上のようにして、第１、及び第２の色要素（４ａ）及
び（４ｂ）を形成した支持体の面上に少なくとも可視域
で透明な材料よりなる保護層（５）を形成しても良い。
び（４ｂ）を形成した支持体の面上に少なくとも可視域
で透明な材料よりなる保護層（５）を形成しても良い。
而して、本発明において、支持体（１）としてはガラス
板、石英板、合成石英板、光学用樹脂板（例えば、ポリ
メチルメタクリレート、ポリスチレン、シクロへキシル
メタクリレートなど）、ゼラチン、ポリビニルアルコー
ル、ヒドロキシエチルセルローズ、メチルメタクリレー
ト、ポリエステル、ブチラール樹脂などの（封脂フィル
ムなどの透明材料を適用し得る。ここで、着色１ＩＩＩ
Ｉ像を設ける対象物と関連させて、支持体について具体
的にのべれば、プラクン管の場合はブラウン管表示面が
着色ｉｌｌ！Ｉｌ像の支持体であり、単管式カラーカメ
ラの場合は撮像管の受光面が着色画１象の支持体であり
、カラーディスプレー用の液晶セルの場合はセルの基板
面が着色画像の支持体であり、カラー複写機の場合は電
子写真感光体が着色画像の支持体であり、固体カラーカ
メラの場合は固体撮像素子であり、ファクシミリ用光源
の場合は光源セルの基板が着色画像の支持体である。
板、石英板、合成石英板、光学用樹脂板（例えば、ポリ
メチルメタクリレート、ポリスチレン、シクロへキシル
メタクリレートなど）、ゼラチン、ポリビニルアルコー
ル、ヒドロキシエチルセルローズ、メチルメタクリレー
ト、ポリエステル、ブチラール樹脂などの（封脂フィル
ムなどの透明材料を適用し得る。ここで、着色１ＩＩＩ
Ｉ像を設ける対象物と関連させて、支持体について具体
的にのべれば、プラクン管の場合はブラウン管表示面が
着色ｉｌｌ！Ｉｌ像の支持体であり、単管式カラーカメ
ラの場合は撮像管の受光面が着色画１象の支持体であり
、カラーディスプレー用の液晶セルの場合はセルの基板
面が着色画像の支持体であり、カラー複写機の場合は電
子写真感光体が着色画像の支持体であり、固体カラーカ
メラの場合は固体撮像素子であり、ファクシミリ用光源
の場合は光源セルの基板が着色画像の支持体である。
次に本発明において、気化させる着色剤として、アセト
アセチックアニリド系着色剤、ナフトール類のモノアゾ
系着色割、ポリサイクリック系顔料、分散系染料、油溶
性染料、インダンスレン系染料、フタロシアニン系顔料
等の有機系材料を用いることができ、又、各種の無機顔
料及びＢｅ、 Ａｓ ２ Ｓ １１％０６Ｂ、０ｔｌＢ
＠、 ０ｒ０５、ＨｇＳ、 ＰｂＯ，ｗｏ５、Ｚｎ５ｅ
、 ＺｎＴｅ、ＯｕＦ、 ０ａＴｅ、ＧｌｌｌＳ％（）
ａＡｓ、Ｓｉｎ、 Ｏ＋１等及びこれらの固溶体等の無
機系材料を用いることができる。
アセチックアニリド系着色剤、ナフトール類のモノアゾ
系着色割、ポリサイクリック系顔料、分散系染料、油溶
性染料、インダンスレン系染料、フタロシアニン系顔料
等の有機系材料を用いることができ、又、各種の無機顔
料及びＢｅ、 Ａｓ ２ Ｓ １１％０６Ｂ、０ｔｌＢ
＠、 ０ｒ０５、ＨｇＳ、 ＰｂＯ，ｗｏ５、Ｚｎ５ｅ
、 ＺｎＴｅ、ＯｕＦ、 ０ａＴｅ、ＧｌｌｌＳ％（）
ａＡｓ、Ｓｉｎ、 Ｏ＋１等及びこれらの固溶体等の無
機系材料を用いることができる。
又、着色剤ととも（二気化させる透明材料として、ポリ
パラキシリレン、ポリエチレン、ビニレンカーボネート
樹脂、４ふっ化エチレン樹脂の透明有機樹脂、又はＴｉ
Ｏ２、Ａ１２ｏ５、Ｚｎ１３、ｃｅ０２、ＭｇＦ２．５
１０２、ＺｒＯ２等の透明無機材料を適用し得る。
パラキシリレン、ポリエチレン、ビニレンカーボネート
樹脂、４ふっ化エチレン樹脂の透明有機樹脂、又はＴｉ
Ｏ２、Ａ１２ｏ５、Ｚｎ１３、ｃｅ０２、ＭｇＦ２．５
１０２、ＺｒＯ２等の透明無機材料を適用し得る。
次に前記着色剤及び透明材料を同時に気化させ、成膜す
る方法として例えば同時気相堆積法、同時蒸着法、スパ
ッタリング法、プラズマ重合法などを適用し得る。
る方法として例えば同時気相堆積法、同時蒸着法、スパ
ッタリング法、プラズマ重合法などを適用し得る。
第２〜４図は前記着色剤及び透明材料を同時に気化させ
、成膜する装置の例を示す。
、成膜する装置の例を示す。
個々に説明すると第２図は着色剤（有機着色剤）と透明
樹脂（ポリパラキシリレン）を同時に気相堆積して成膜
する装置を示し、図において、（６）は透明樹脂出発材
料（ダイバラキシリレン）を入れるボート、（７）はボ
ート（６）内の透明樹脂出発材料、（８）は着色剤（有
機着色剤）を入れるボート、（９）はボート（８）内の
着色剤、ａｉは１７５°Ｃ迄加熱する透明樹脂材料−次
加熱用ヒーター、ａＤは６８０°Ｃ迄加熱する透明樹脂
材料二次加熱用ヒーター、（６）は着色剤加熱用ヒータ
ー、０３は支持体、（１４１は真空室、０均は１０−’
Ｔｏｒｒ迄排気する真空排気装置である。第２図示の装
置を用い、透明樹脂出発材料及び着色剤を真空室内で蒸
発させ、着色剤と共に透明樹脂出発材料を加熱重合させ
てなる透明樹脂を支持体表面に同時に被着させて着色膜
を成膜する。
樹脂（ポリパラキシリレン）を同時に気相堆積して成膜
する装置を示し、図において、（６）は透明樹脂出発材
料（ダイバラキシリレン）を入れるボート、（７）はボ
ート（６）内の透明樹脂出発材料、（８）は着色剤（有
機着色剤）を入れるボート、（９）はボート（８）内の
着色剤、ａｉは１７５°Ｃ迄加熱する透明樹脂材料−次
加熱用ヒーター、ａＤは６８０°Ｃ迄加熱する透明樹脂
材料二次加熱用ヒーター、（６）は着色剤加熱用ヒータ
ー、０３は支持体、（１４１は真空室、０均は１０−’
Ｔｏｒｒ迄排気する真空排気装置である。第２図示の装
置を用い、透明樹脂出発材料及び着色剤を真空室内で蒸
発させ、着色剤と共に透明樹脂出発材料を加熱重合させ
てなる透明樹脂を支持体表面に同時に被着させて着色膜
を成膜する。
次に第３図は着色剤（有機顔料と無機顔料の混合物）と
透明材料（Ｚｎ８． ＭｇＦ２など）を同時に支持体表
面に蒸着する装置を示し、図において、（至）は透明材
料を入れるボー）、０７）はボートａＱ内の透明材料、
０８１は着色剤を入れるボート、ａｌはボー） Ｑ８１
内の着色剤、翰は支持体、（２１）は真空室、（２Ｂは
真空排気装置を示す。第３図示の装置を用い、着色剤及
び透明材料をボートに入れて抵抗加熱して蒸発させ支持
体表面に同時に蒸着させて着色膜を成膜する。
透明材料（Ｚｎ８． ＭｇＦ２など）を同時に支持体表
面に蒸着する装置を示し、図において、（至）は透明材
料を入れるボー）、０７）はボートａＱ内の透明材料、
０８１は着色剤を入れるボート、ａｌはボー） Ｑ８１
内の着色剤、翰は支持体、（２１）は真空室、（２Ｂは
真空排気装置を示す。第３図示の装置を用い、着色剤及
び透明材料をボートに入れて抵抗加熱して蒸発させ支持
体表面に同時に蒸着させて着色膜を成膜する。
第４図はＡｒガスにより高周波スパッタリングして成膜
する装置を示し、図において、（２渇は着色剤と透明材
料を混合後プレス成形してなるターゲット、（ハ）は支
持体、０４）は高周波電源、ｔ２■は真空室、弼は真空
排気装置を示す。第４図示の装置を用い、Ａｒガスによ
り高周波スパッタリングにより、支持体表面に着色膜を
成膜する。
する装置を示し、図において、（２渇は着色剤と透明材
料を混合後プレス成形してなるターゲット、（ハ）は支
持体、０４）は高周波電源、ｔ２■は真空室、弼は真空
排気装置を示す。第４図示の装置を用い、Ａｒガスによ
り高周波スパッタリングにより、支持体表面に着色膜を
成膜する。
以上のように着色剤と透明材料とを同時に気相堆積させ
てなる春色膜は透明樹脂中に着色剤が分散しているもの
で、耐熱性、耐光性、耐薬品性等の特性面ですぐれてい
るのみならず、機械的強度が高く堅牢であり、且つ有機
染色フィルターなどに比して薄膜である利点を有する。
てなる春色膜は透明樹脂中に着色剤が分散しているもの
で、耐熱性、耐光性、耐薬品性等の特性面ですぐれてい
るのみならず、機械的強度が高く堅牢であり、且つ有機
染色フィルターなどに比して薄膜である利点を有する。
次に実施例をあげて本発明につき具体的に説明する。
実施例１
第１図に示す装置に支持体用基板としてパイレックスの
ガラス基板０３、透明材料としてグイバラキシレン（７
）を、又着色剤として有機顔料のＣＵフタロシアニン（
９）をそれぞれセットした後、排気装置ＯＱにより真空
容器ａ４内を１ ｘ １Ｑ−’Ｔｏｒｒまで排気した後
二次加熱ヒータ一部ＯＤを６８０°Ｃ程度に保持し、ダ
イパラキシレン及びＣｕフタロシアニンを気化させた。
ガラス基板０３、透明材料としてグイバラキシレン（７
）を、又着色剤として有機顔料のＣＵフタロシアニン（
９）をそれぞれセットした後、排気装置ＯＱにより真空
容器ａ４内を１ ｘ １Ｑ−’Ｔｏｒｒまで排気した後
二次加熱ヒータ一部ＯＤを６８０°Ｃ程度に保持し、ダ
イパラキシレン及びＣｕフタロシアニンを気化させた。
この場合水晶式の膜厚計（図示せず）により膜厚を管理
しなからＣｕフタロシアニンとポリパラキシリレンの着
色複合膜を０．８μ講の膜厚まで成膜し第１の着色膜（
２ａ）を形成した。この春色膜はシアン特性の着色膜と
なるものである。゛ 次にネガ型フォトレジストであるＯＥＲレジスト（日本
合成ゴム（２）Ｏ製）を塗布、乾燥し所定形状のフォト
マスクを位置合せし、密！ＩＮ光、現像、及び乾燥を行
ない第１のレジスト膜パターン（３ａ）を形成した後、
アルゴンイオンでスパッタエツチングすることにより１
０μ簿×１３μｍ口の第１の色要素（４ａ）を形成した
。次に前記と同様な方法で着色剤としてインダンスレン
イエローＧＯＮ （東京化成工業製）を用いて１．Ｏｔ
ｔｍの第２の着色膜（２ｂ）を形成した後、同様にして
イエロー特性の春色膜である１０μ旭×１３μｍ口の第
２の色要素（４ｂ）を所定の位置に形成した後着色画像
の保護膜としてポリパラキシリレンを１１ｔｍの膜厚に
成膜し、保護層（５）を形成し？ｔｉ色の固体カラーカ
メラ用モザイクフィルターを作製した。
しなからＣｕフタロシアニンとポリパラキシリレンの着
色複合膜を０．８μ講の膜厚まで成膜し第１の着色膜（
２ａ）を形成した。この春色膜はシアン特性の着色膜と
なるものである。゛ 次にネガ型フォトレジストであるＯＥＲレジスト（日本
合成ゴム（２）Ｏ製）を塗布、乾燥し所定形状のフォト
マスクを位置合せし、密！ＩＮ光、現像、及び乾燥を行
ない第１のレジスト膜パターン（３ａ）を形成した後、
アルゴンイオンでスパッタエツチングすることにより１
０μ簿×１３μｍ口の第１の色要素（４ａ）を形成した
。次に前記と同様な方法で着色剤としてインダンスレン
イエローＧＯＮ （東京化成工業製）を用いて１．Ｏｔ
ｔｍの第２の着色膜（２ｂ）を形成した後、同様にして
イエロー特性の春色膜である１０μ旭×１３μｍ口の第
２の色要素（４ｂ）を所定の位置に形成した後着色画像
の保護膜としてポリパラキシリレンを１１ｔｍの膜厚に
成膜し、保護層（５）を形成し？ｔｉ色の固体カラーカ
メラ用モザイクフィルターを作製した。
本実施例によるフィルターを所定形状にグイシングツ−
により切断した後、ＯＯＤ固体撮像素子の受光部に接Ｍ
剤を介して精密に位置合せした後貼り合せてカラー固体
撮像素子を作製したところ、本発明によるフィルターを
用いると物性がすぐれているため信頼性の高い固体カラ
ーカメラを作製することができた。
により切断した後、ＯＯＤ固体撮像素子の受光部に接Ｍ
剤を介して精密に位置合せした後貼り合せてカラー固体
撮像素子を作製したところ、本発明によるフィルターを
用いると物性がすぐれているため信頼性の高い固体カラ
ーカメラを作製することができた。
また、本実施例のフィルターは従来の有機染色フィルタ
ーに比較して耐熱性、耐水性、耐紫外線性、フィルター
の貼り合せ時に用いるエポキシ系接着剤等の耐接着剤性
がすぐれていた。
ーに比較して耐熱性、耐水性、耐紫外線性、フィルター
の貼り合せ時に用いるエポキシ系接着剤等の耐接着剤性
がすぐれていた。
次に本実施例の分光特性曲線を第５図に、又、従来の有
機染色フィルターの分光曲線をｆＥ６図にそれぞれ示す
。又、第５図において、匈は本実施例のシアン特性の着
色膜の初期の分光特性を示す曲線、（ハ）は本実施例の
シアン特性の着色膜の２００°Ｃ３０−加熱した後の分
光特性を示す曲線、し騰は本実施例のイエロー特性の着
色膜の初期の分光特性を示す曲線、（至）は本実施例の
イエロー特性の着色膜の２００°Ｃ５０岬加熱した後の
分光曲性を示す曲線であり、又、第６図において、０υ
は従来の有機染色フィルターのシアン特性の着色膜の初
期の分光特性を示す曲線、０邊は従来の有機染色フィル
ターのシアン特性の着色膜の２００°Ｃ５０−加熱した
後の分光特性を示す曲線、（至）は従来の有機染色フィ
ルターのイエロー特性の着色膜の初期の分光特性を示す
曲線、ｃ３４）は従来の有機染色フィルターのイエロー
特性の着色膜の２００℃３〇−加熱した後の分光特性を
示す曲線である。
機染色フィルターの分光曲線をｆＥ６図にそれぞれ示す
。又、第５図において、匈は本実施例のシアン特性の着
色膜の初期の分光特性を示す曲線、（ハ）は本実施例の
シアン特性の着色膜の２００°Ｃ３０−加熱した後の分
光特性を示す曲線、し騰は本実施例のイエロー特性の着
色膜の初期の分光特性を示す曲線、（至）は本実施例の
イエロー特性の着色膜の２００°Ｃ５０岬加熱した後の
分光曲性を示す曲線であり、又、第６図において、０υ
は従来の有機染色フィルターのシアン特性の着色膜の初
期の分光特性を示す曲線、０邊は従来の有機染色フィル
ターのシアン特性の着色膜の２００°Ｃ５０−加熱した
後の分光特性を示す曲線、（至）は従来の有機染色フィ
ルターのイエロー特性の着色膜の初期の分光特性を示す
曲線、ｃ３４）は従来の有機染色フィルターのイエロー
特性の着色膜の２００℃３〇−加熱した後の分光特性を
示す曲線である。
第５図と第６図を比較すれば明らかなように本実施例の
ものは耐熱性に富み、２００℃３０−加熱した後も分光
特性が変らないものである。
ものは耐熱性に富み、２００℃３０−加熱した後も分光
特性が変らないものである。
尚、本実施例では工程の簡略化のためにレジストパター
ンを残して着色画像を形成したが、レジスト層は剥離除
去しても良い。
ンを残して着色画像を形成したが、レジスト層は剥離除
去しても良い。
実施例２
４＃φクエ八−に形成されたＣＯＤラインセンサーの支
持体（１）を第３図に示す同時蒸着の装置にセットした
後、透明材としてＭｇＦ２を、又着色剤として顔料ＢＧ
Ｒｅｄ Ｒ０ｏｎｃ （大日本インキ■製）を所定形
状のボートにセットした後Ｉ Ｘ １０””’Ｔｏｒｒ
まで排気し、支持体の温度を１００°Ｃにした状態で、
ＭｇＦ２とＢＧ Ｒｅｄ Ｒ０ｏｎｏを抵抗加熱により
気化させて、ＣＯＤラインセンサーの上にレッド特性の
着色膜を形成した。ＭｇＦ２とＢＧ ＲｅｄＲＯｏｎｃ
の膜厚は膜厚計（図示せず）によりコントロールし
複合着色膜の膜厚を１．０μ肩とした。
持体（１）を第３図に示す同時蒸着の装置にセットした
後、透明材としてＭｇＦ２を、又着色剤として顔料ＢＧ
Ｒｅｄ Ｒ０ｏｎｃ （大日本インキ■製）を所定形
状のボートにセットした後Ｉ Ｘ １０””’Ｔｏｒｒ
まで排気し、支持体の温度を１００°Ｃにした状態で、
ＭｇＦ２とＢＧ Ｒｅｄ Ｒ０ｏｎｏを抵抗加熱により
気化させて、ＣＯＤラインセンサーの上にレッド特性の
着色膜を形成した。ＭｇＦ２とＢＧ ＲｅｄＲＯｏｎｃ
の膜厚は膜厚計（図示せず）によりコントロールし
複合着色膜の膜厚を１．０μ肩とした。
その後レジスト層をマスキング層としてプラズマエツチ
ングにより所定形状のレッド特性の色要素を作製し、カ
ラーファクシミリ用のカラー〇０Ｄラインセンサーを作
製した。
ングにより所定形状のレッド特性の色要素を作製し、カ
ラーファクシミリ用のカラー〇０Ｄラインセンサーを作
製した。
色要素を複数設けて多色化することにより、テレシネ用
カラーラインセンナ−を作製することもできた。
カラーラインセンナ−を作製することもできた。
実施例３
ガラス基板を支持体として第４図に示すスパッタ装置に
より、レッドの着色膜用としてＥＧＲｅｄ Ｒ０ｏｎｃ
顔料／ＭｇＦ２＝２／１ （重量比）、グリーンの着色
膜用としてｐｂフタロシアニン顔料／５ｉ０２ ”１
／ １ （重量比）、ブルーの着色膜用としてＯｕフタ
ロシアニン顔料／ＭｇＦ２＝２７１ （ｉ量比）をそれ
ぞれ１００五り／−の圧力でプレスして作製したターゲ
ットにより、 Ａｒガスを用いて２×１０””２Ｔｏｒ
ｒの真空度で高周波スパッタリングをすることによりそ
れぞれの色要素を実施例１．２の方法により１５μ寓巾
のストライプ状に形成した。それぞれの着色膜の膜厚は
レッドｔ２ムヘグリーン０．８μｍブルー１３μｍの膜
厚とした。
より、レッドの着色膜用としてＥＧＲｅｄ Ｒ０ｏｎｃ
顔料／ＭｇＦ２＝２／１ （重量比）、グリーンの着色
膜用としてｐｂフタロシアニン顔料／５ｉ０２ ”１
／ １ （重量比）、ブルーの着色膜用としてＯｕフタ
ロシアニン顔料／ＭｇＦ２＝２７１ （ｉ量比）をそれ
ぞれ１００五り／−の圧力でプレスして作製したターゲ
ットにより、 Ａｒガスを用いて２×１０””２Ｔｏｒ
ｒの真空度で高周波スパッタリングをすることによりそ
れぞれの色要素を実施例１．２の方法により１５μ寓巾
のストライプ状に形成した。それぞれの着色膜の膜厚は
レッドｔ２ムヘグリーン０．８μｍブルー１３μｍの膜
厚とした。
その後、保護層としてＳｉｏ ２を蒸着してカラー液晶
用フィルターを作製した。
用フィルターを作製した。
本実施例のフィルターは耐久性がすぐれているためカラ
ー液晶パネル用として十分なものであった。
ー液晶パネル用として十分なものであった。
以上、詳記した通り、本発明の形成法により、耐熱性、
耐光性、耐薬品性等の特性面ですぐれているのみならず
、機械的強度が高く堅牢であり、且つ従来よりも薄膜の
着色素子よりなる着色画像を形成することができる。
耐光性、耐薬品性等の特性面ですぐれているのみならず
、機械的強度が高く堅牢であり、且つ従来よりも薄膜の
着色素子よりなる着色画像を形成することができる。
第１図（ａｌないしくｇｌは本発明の形成法による形成
過程を示す断面図、第２図ないし第４図は着色膜の成膜
装置の例を示す模式図、＠５図は本実施例の分光特性を
示すグラフ、第６図は有機染色フィルターの分光特性を
示すグラフである。 （１）・・・・・・・・・・・・・・・・・・支持体（
２ａ）・・・・・・・・・・・・・・・！ｆ！１の着色
膜（３ａ）・・・・・・・・・・・・・・・第１のレジ
スト膜パターン（４ａ）−・・・・・・・・・・・・・
・第１の色要素（２ｂ）・・・・・・・・・・・・・・
・Ｉ８２の着色膜（３ｂ）・・・・・・・・・・・・・
・・第２のレジスト膜パターン（４ｂ）・・・・・・・
・・・・・・・・＠２の色要素（５）・・・・・・・・
・・・・・・・・・・保護層特許出願人 大日本印刷株
式会社 代理人 弁理士 小 西 淳 美 第１図 ＃！１図 第２図 第３図 ２゜ 第４図 ３ 第５図 第６図 ＞Ｕ＆（ｎｍ）
過程を示す断面図、第２図ないし第４図は着色膜の成膜
装置の例を示す模式図、＠５図は本実施例の分光特性を
示すグラフ、第６図は有機染色フィルターの分光特性を
示すグラフである。 （１）・・・・・・・・・・・・・・・・・・支持体（
２ａ）・・・・・・・・・・・・・・・！ｆ！１の着色
膜（３ａ）・・・・・・・・・・・・・・・第１のレジ
スト膜パターン（４ａ）−・・・・・・・・・・・・・
・第１の色要素（２ｂ）・・・・・・・・・・・・・・
・Ｉ８２の着色膜（３ｂ）・・・・・・・・・・・・・
・・第２のレジスト膜パターン（４ｂ）・・・・・・・
・・・・・・・・＠２の色要素（５）・・・・・・・・
・・・・・・・・・・保護層特許出願人 大日本印刷株
式会社 代理人 弁理士 小 西 淳 美 第１図 ＃！１図 第２図 第３図 ２゜ 第４図 ３ 第５図 第６図 ＞Ｕ＆（ｎｍ）
Claims (1)
- 支持体上（二第１の着色剤と透明樹脂もしくは透明無機
材料などの透明材料とを同時に気相堆積させて第１の着
色膜を形成する第１工程と、前記第１の着色膜の上（ニ
レジスト膜パターンを形成し、次いで前記レジスト膜パ
ターンをマスクとして前記第１の着色膜をエツチングし
て前記レジスト膜パターンの下（＝第１色目の色要素を
形成する第２工程とを行なったのち、前記第１の着色剤
と異なる着色剤を用い、前記第１、及び第２工程を所要
回数繰り返して第２色目以後の色要素を形成することを
特徴とする着色画像の形成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172000A JPS5961833A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 着色画像の形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172000A JPS5961833A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 着色画像の形成法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961833A true JPS5961833A (ja) | 1984-04-09 |
Family
ID=15933660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172000A Pending JPS5961833A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 着色画像の形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961833A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146406A (en) * | 1980-04-26 | 1980-11-14 | Dainippon Printing Co Ltd | Color separating filter |
| JPS5672407A (en) * | 1979-11-19 | 1981-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of color-separating filter |
| JPS574012A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-09 | Canon Inc | Production of color filter |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57172000A patent/JPS5961833A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5672407A (en) * | 1979-11-19 | 1981-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of color-separating filter |
| JPS55146406A (en) * | 1980-04-26 | 1980-11-14 | Dainippon Printing Co Ltd | Color separating filter |
| JPS574012A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-09 | Canon Inc | Production of color filter |
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