JPS5961532U - 散乱排気槽付真空槽 - Google Patents
散乱排気槽付真空槽Info
- Publication number
- JPS5961532U JPS5961532U JP1982157315U JP15731582U JPS5961532U JP S5961532 U JPS5961532 U JP S5961532U JP 1982157315 U JP1982157315 U JP 1982157315U JP 15731582 U JP15731582 U JP 15731582U JP S5961532 U JPS5961532 U JP S5961532U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- scattering
- vacuum container
- exhaust
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
−第１図は、従来の真空槽の断面図、第２図は本考案の
一実施例の断面図である。 ２０・・・真空容器、２０ａ・・・壁、２１・・・被処
理体出入口、２２・・・開閉扉、２３・・・ウェハ、２
４・・・ウェハボート、２５・・・排出口、２６−・・
・散乱排気槽、２７・・・排気管、３０・・・散乱排気
槽付真空槽。
一実施例の断面図である。 ２０・・・真空容器、２０ａ・・・壁、２１・・・被処
理体出入口、２２・・・開閉扉、２３・・・ウェハ、２
４・・・ウェハボート、２５・・・排出口、２６−・・
・散乱排気槽、２７・・・排気管、３０・・・散乱排気
槽付真空槽。
Claims (1)
- 被処理体が設置される真空容器と、該真空容器に開口さ
れた被処理体出入口と、前記被処理体の設置位置ｉこ対
応して所定の大きさで前記真空容器の壁に開口された排
出口と、該排出口を介して前記真空容器内と連通し゛た
排気管とを具備することを特徴とする散乱排気槽付真空
槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982157315U JPS5961532U (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | 散乱排気槽付真空槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982157315U JPS5961532U (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | 散乱排気槽付真空槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961532U true JPS5961532U (ja) | 1984-04-23 |
Family
ID=30346868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982157315U Pending JPS5961532U (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | 散乱排気槽付真空槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961532U (ja) |
-
1982
- 1982-10-18 JP JP1982157315U patent/JPS5961532U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5961532U (ja) | 散乱排気槽付真空槽 | |
| JPS602230U (ja) | 屋根裏の換気装置 | |
| JPS584756U (ja) | 空気吸入端制御弁 | |
| JPS58141706U (ja) | フイルタ装置 | |
| JPS6061639U (ja) | ガス分析装置におけるサンプリング装置 | |
| JPH0363573U (ja) | ||
| JPS58170467U (ja) | 強制弁付吸気弁 | |
| JPS58174614U (ja) | 排水装置 | |
| JPS5992780U (ja) | 浴槽の給水装置 | |
| JPS59152192U (ja) | 水中ブロア | |
| JPS5864073U (ja) | 蓄電池用排気装置 | |
| JPS6125917U (ja) | セパレ−タ装置 | |
| JPS5825927U (ja) | 天井用換気扇 | |
| JPS58172856U (ja) | 密封形ドレンポツト | |
| JPS5851126U (ja) | 空気調和機の吸気装置 | |
| JPS5942961U (ja) | 分析セル室 | |
| JPS5972370U (ja) | ボツクスコツク | |
| JPS59166853U (ja) | 汚水からの汚物分離装置 | |
| JPS58168562U (ja) | 被膜形成装置 | |
| JPH0269183U (ja) | ||
| JPS58173483U (ja) | 画「あ」取り入れ容器 | |
| JPS59148430U (ja) | ヘリカル型吸気ポ−トの流路制御装置 | |
| JPS5824657U (ja) | 浴槽連結装置 | |
| JPS58177515U (ja) | 循環冷却式エンジン | |
| JPS6019732U (ja) | エンジンの吸気スワ−ル制御装置 |