JPS58168562U - 被膜形成装置 - Google Patents
被膜形成装置Info
- Publication number
- JPS58168562U JPS58168562U JP6496382U JP6496382U JPS58168562U JP S58168562 U JPS58168562 U JP S58168562U JP 6496382 U JP6496382 U JP 6496382U JP 6496382 U JP6496382 U JP 6496382U JP S58168562 U JPS58168562 U JP S58168562U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- forming device
- chamber
- room
- opened
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案装置の１例の側面図、第２図はその平面
図、第３図は要部の拡大断面図、第４図はくの側面図、
第５図は第４図の■−Ｖ線截線面断面図る。 １・・・クリーンルーム、２・・・被膜形成装置、３・
・・ 。 処理室、４・・・取出口、５・・・附属機器、６・・・
機械室、７・・・周壁、８・・・連通孔。
図、第３図は要部の拡大断面図、第４図はくの側面図、
第５図は第４図の■−Ｖ線截線面断面図る。 １・・・クリーンルーム、２・・・被膜形成装置、３・
・・ 。 処理室、４・・・取出口、５・・・附属機器、６・・・
機械室、７・・・周壁、８・・・連通孔。
Claims (1)
- クリーンルーム１に被膜形成装置２の処理室３の取出口
４を開閉自在に臨ませると共に該被膜形成装置２の真空
ポンプ、バルブその他の附属機器５を該ルーム１と区画
された機械室６に設は一式のものに於て、該室３の周壁
７に、取出口４の開放より少し前に機械室６へ該処理室
３を開放する開閉自在の連通孔８を設けて成る被膜形成
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6496382U JPS58168562U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 被膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6496382U JPS58168562U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 被膜形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58168562U true JPS58168562U (ja) | 1983-11-10 |
| JPS621225Y2 JPS621225Y2 (ja) | 1987-01-13 |
Family
ID=30074970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6496382U Granted JPS58168562U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 被膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58168562U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5410350A (en) * | 1977-06-24 | 1979-01-25 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | Molding material of thermoplastic resin |
| JPS54153740U (ja) * | 1978-04-18 | 1979-10-25 |
-
1982
- 1982-05-06 JP JP6496382U patent/JPS58168562U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5410350A (en) * | 1977-06-24 | 1979-01-25 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | Molding material of thermoplastic resin |
| JPS54153740U (ja) * | 1978-04-18 | 1979-10-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS621225Y2 (ja) | 1987-01-13 |
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