JPS59174379U - クライオポンプの水除去装置 - Google Patents
クライオポンプの水除去装置Info
- Publication number
- JPS59174379U JPS59174379U JP6769983U JP6769983U JPS59174379U JP S59174379 U JPS59174379 U JP S59174379U JP 6769983 U JP6769983 U JP 6769983U JP 6769983 U JP6769983 U JP 6769983U JP S59174379 U JPS59174379 U JP S59174379U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- removal device
- water removal
- bowl
- drain hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は、本考案の水除去装置を備えたクライオポンプの
断面図である。 1・・・・・・真空装置、2・・・・・・ポンプケース
、3・・・・・・椀形シールド、4・・・・・・バッフ
ル、5・・・・・・クライオパネル(7・・・・・・冷
凍機、8・・・・・・水抜き孔、9・・・・・・水抜き
用バルブ、10・・・・・・排水管。
断面図である。 1・・・・・・真空装置、2・・・・・・ポンプケース
、3・・・・・・椀形シールド、4・・・・・・バッフ
ル、5・・・・・・クライオパネル(7・・・・・・冷
凍機、8・・・・・・水抜き孔、9・・・・・・水抜き
用バルブ、10・・・・・・排水管。
Claims (1)
- 内部にバッフル4、クライオパネル5等を収容した椀形
シールド3をポンプケース2内に備えたクライオポンプ
において、上記椀形シールド3の底部に漏斗状の水抜き
孔8を設けると共に、該水抜き孔以外の孔の周りの縁を
高く形成し、該水抜き孔8の下方には、水抜き用バルブ
9を具えた排水管10を取付けたことを特徴とするクラ
イオポンプの水除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6769983U JPS59174379U (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | クライオポンプの水除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6769983U JPS59174379U (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | クライオポンプの水除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59174379U true JPS59174379U (ja) | 1984-11-21 |
JPH0343430Y2 JPH0343430Y2 (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=30197888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6769983U Granted JPS59174379U (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | クライオポンプの水除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59174379U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008101576A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Toppan Printing Co Ltd | クライオポンプ及びそれを用いた真空装置 |
WO2009013807A1 (ja) * | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | クライオポンプ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5481784U (ja) * | 1977-11-17 | 1979-06-09 |
-
1983
- 1983-05-09 JP JP6769983U patent/JPS59174379U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5481784U (ja) * | 1977-11-17 | 1979-06-09 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008101576A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Toppan Printing Co Ltd | クライオポンプ及びそれを用いた真空装置 |
WO2009013807A1 (ja) * | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | クライオポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0343430Y2 (ja) | 1991-09-11 |
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