JPS5958748A - エツクス線発生装置 - Google Patents
エツクス線発生装置Info
- Publication number
- JPS5958748A JPS5958748A JP16895582A JP16895582A JPS5958748A JP S5958748 A JPS5958748 A JP S5958748A JP 16895582 A JP16895582 A JP 16895582A JP 16895582 A JP16895582 A JP 16895582A JP S5958748 A JPS5958748 A JP S5958748A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- gas
- capacitor
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）発明の技術分野
本発明はエックス線発生装置に係り、とくに気体放電に
よって生成されるプラズマから発生ずるエックス線を利
用するガスプラズマ型エックス線発生装置におりるガス
噴出と放電開始の相対的タイミングを設定するための機
構に関する。
よって生成されるプラズマから発生ずるエックス線を利
用するガスプラズマ型エックス線発生装置におりるガス
噴出と放電開始の相対的タイミングを設定するための機
構に関する。
（ｂ）技術の背景
ガスプラズマ型エックス線発生装置は、従来から用いら
れている電子衝撃型のエックス線発生装置に比べ、エッ
クス線発生効率が１０（ｉＹ以上Ｉｒ１ｉ＜、高密度４
１５ Ｍ１回路パターンの露光等に用いる高輝度・高効
率エックス線源としてすぐれており、その実用化が期待
されている。
れている電子衝撃型のエックス線発生装置に比べ、エッ
クス線発生効率が１０（ｉＹ以上Ｉｒ１ｉ＜、高密度４
１５ Ｍ１回路パターンの露光等に用いる高輝度・高効
率エックス線源としてすぐれており、その実用化が期待
されている。
（Ｃ）従来技術と問題点
高輝度・高効率のガスプラズマ型エックス線発生装置を
得るためには、効率よく高温度・高密度のプラズマを発
生し、かつガス１月によるエックス線の吸収をできるだ
け少なくすることが必要であり、このために、エックス
線発生室内においてガスをできるだけ局在化することが
必要となる。
得るためには、効率よく高温度・高密度のプラズマを発
生し、かつガス１月によるエックス線の吸収をできるだ
け少なくすることが必要であり、このために、エックス
線発生室内においてガスをできるだけ局在化することが
必要となる。
その具体的な実現方法として、小孔を開閉する弁を高速
動作させ、これによって該小孔から、例えばクリプトン
のような放電ガスを、真空排気されている容器内にパル
ス状に噴出させてガス柱（ガスバフと称されている）を
形成させ、該ガス柱近傍に設りられたアノード−カソー
ド間に、ガス噴出に同期してｊ１電圧を印加して放電を
起させることが行われている。
動作させ、これによって該小孔から、例えばクリプトン
のような放電ガスを、真空排気されている容器内にパル
ス状に噴出させてガス柱（ガスバフと称されている）を
形成させ、該ガス柱近傍に設りられたアノード−カソー
ド間に、ガス噴出に同期してｊ１電圧を印加して放電を
起させることが行われている。
この場合、放電開始のタイミングは、前記ガス柱がプラ
ズマのηユ成に最も適したガス密度と形状に形成される
時期に選ぶことがｙ計量である。
ズマのηユ成に最も適したガス密度と形状に形成される
時期に選ぶことがｙ計量である。
すなわち、上記のタイミングより早過ぎる場合には生成
されるプラズマの密度が充分でなく、一方、遅過ぎる場
合にはガス柱がその軸と垂直方向に拡がってしまい、放
電はこのように拡がって低密度になったガス柱表面に沿
って行われる。したがって、いずれの場合においてもエ
ックス線発生効率が低くなってしまうからである。
されるプラズマの密度が充分でなく、一方、遅過ぎる場
合にはガス柱がその軸と垂直方向に拡がってしまい、放
電はこのように拡がって低密度になったガス柱表面に沿
って行われる。したがって、いずれの場合においてもエ
ックス線発生効率が低くなってしまうからである。
従来、ガスプラズマ型エックス線発／、Ｌ装置において
は、上記のような放電開始のタイミング合せは第１図に
示すような方式で行われ−どいた。
は、上記のような放電開始のタイミング合せは第１図に
示すような方式で行われ−どいた。
すなわち、第１図において第１の１−リガーセネレータ
１を起動することによって第１のスパークギャップスイ
ッチ２ （トリガー電極をイｒし、これによって主電極
間に放電を生じさ・已、この放電電流によって閉動作を
行う形式のスイッチ素子）の主電極Ｐｉ−１１２間が閉
じられて電磁石コイル３が励磁され、磁性体片４が吸引
される結果、弁５が図上左方向に動き、小孔６から放電
ガスが噴出される。
１を起動することによって第１のスパークギャップスイ
ッチ２ （トリガー電極をイｒし、これによって主電極
間に放電を生じさ・已、この放電電流によって閉動作を
行う形式のスイッチ素子）の主電極Ｐｉ−１１２間が閉
じられて電磁石コイル３が励磁され、磁性体片４が吸引
される結果、弁５が図上左方向に動き、小孔６から放電
ガスが噴出される。
−力、前記第１のトリガーゼネレータ１からの信号が遅
延回路７によって所定時間、例えば１Ｏｕｓ程度の時間
、遅延されて第２のトリガーゼネレータ８に入力すると
該第２のトリガーゼネレータ８はこれによって起動し、
第２のスパークギャップスイッチ９の主電極旧−０２間
を閉じ、その結果、前記小孔６を有するカソード而１１
とアノード１２間にコンデンサー■０の高電圧が印加さ
れ、噴出ガス柱１３の表面に沿って放電が行われる。
延回路７によって所定時間、例えば１Ｏｕｓ程度の時間
、遅延されて第２のトリガーゼネレータ８に入力すると
該第２のトリガーゼネレータ８はこれによって起動し、
第２のスパークギャップスイッチ９の主電極旧−０２間
を閉じ、その結果、前記小孔６を有するカソード而１１
とアノード１２間にコンデンサー■０の高電圧が印加さ
れ、噴出ガス柱１３の表面に沿って放電が行われる。
上記放電によって生じた正負荷電粒子は、放電電流によ
って生ずる磁界により自己集束し、高温高密度のプラズ
マ柱１４を生成する。このようにして生成されたプラズ
マ柱から発生したエックス線（Ｘ−ｒｎｙ ）が外部へ
取出され、露光等に利用されるのである。
って生ずる磁界により自己集束し、高温高密度のプラズ
マ柱１４を生成する。このようにして生成されたプラズ
マ柱から発生したエックス線（Ｘ−ｒｎｙ ）が外部へ
取出され、露光等に利用されるのである。
なお、第１図においてＣＩは電磁石コイル３を励磁する
電流を蓄えるためのコンデンサー、Ｒ１およびＲ２は充
電抵抗、ν１およびｖ２は直流電源である。
電流を蓄えるためのコンデンサー、Ｒ１およびＲ２は充
電抵抗、ν１およびｖ２は直流電源である。
上記従来の方式によれば、電磁石コイル３と、弁５にｆ
ｊｔ元力をｌｊ、えるためのばね１５の過渡特性等にも
とづく弁５の機械的動作の遅れを老慮した上で、遅延回
路７による遅延時間を設定することになり、ガス噴出と
放電開始との最適タイミングを調整するだめの実用的回
路構成はきわめて複雑・高価になるという欠点を有して
いた。
ｊｔ元力をｌｊ、えるためのばね１５の過渡特性等にも
とづく弁５の機械的動作の遅れを老慮した上で、遅延回
路７による遅延時間を設定することになり、ガス噴出と
放電開始との最適タイミングを調整するだめの実用的回
路構成はきわめて複雑・高価になるという欠点を有して
いた。
（ｄ）発明の目的
本発明は上記従来の方式の欠点を改良し、比較的簡単な
構成によってガス噴出と放電開始とのタイミング合せを
可能とするタイミング機構を提供することを目的とする
。
構成によってガス噴出と放電開始とのタイミング合せを
可能とするタイミング機構を提供することを目的とする
。
（ｅ）発明の構成
本発明は、弁を開閉させて噴出されるガスプラズマ型中
を放電させてエックス線を発η巳さ・Ｕるエックス線発
生装置において、放電開始のためのタイミング機構とし
て該弁の動作によって起動される機械的スイッチ機構を
用いることを特徴とする。
を放電させてエックス線を発η巳さ・Ｕるエックス線発
生装置において、放電開始のためのタイミング機構とし
て該弁の動作によって起動される機械的スイッチ機構を
用いることを特徴とする。
（ｆ）発明の実施例
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す図であって、第１図と
同じものには同一符号を付しである。
同じものには同一符号を付しである。
第２図においては、磁性体片４は導電性の支持棒１７に
、１−り支持されている。該支持棒１７の−ｙ１１１ば
、弁５を支持しζいる支持棒１６と絶縁物を介して連結
されており、フ１ミだ、他端には電極１８が取付りられ
ている。該電極】）（は、例えば前記支持４Ｐ１７に袴
＋ｙ） ｔｆｆ Ｍ ｌる金属片等により端子■９と導
通されている。なお、端ｊ’１９１１ブｒ装置ハウジン
グ１００と電気的に絶縁され゛（いる。
、１−り支持されている。該支持棒１７の−ｙ１１１ば
、弁５を支持しζいる支持棒１６と絶縁物を介して連結
されており、フ１ミだ、他端には電極１８が取付りられ
ている。該電極】）（は、例えば前記支持４Ｐ１７に袴
＋ｙ） ｔｆｆ Ｍ ｌる金属片等により端子■９と導
通されている。なお、端ｊ’１９１１ブｒ装置ハウジン
グ１００と電気的に絶縁され゛（いる。
一方、弁装置ハウジング１００の端部には、前記電極１
８と距離Ｉ〕を以て対向する電極２０が設りられている
。該電極２０は弁装置ハウジング１００と電気的に絶縁
され、か−〕後述するように電極１８と接触する場合の
ｆ！ＩＩ７撃を緩和するために、弁装置ハウジングｌＯ
Ｏに対し移動可能なようにされている。２１は、」二記
のようにして移動した電極２ｏを初期位置に復帰させる
ためのばねである。
８と距離Ｉ〕を以て対向する電極２０が設りられている
。該電極２０は弁装置ハウジング１００と電気的に絶縁
され、か−〕後述するように電極１８と接触する場合の
ｆ！ＩＩ７撃を緩和するために、弁装置ハウジングｌＯ
Ｏに対し移動可能なようにされている。２１は、」二記
のようにして移動した電極２ｏを初期位置に復帰させる
ためのばねである。
ここで、第１のトリガーゼネレータｌを起動させ、これ
によって第１のスパークギャップスイッチ２の主電極ｌ
１ｌ−Ｒ２間が閉しられると、電磁石コ一方、」二記の
ようにして磁セＩ体片４が吸引されることにより電極１
８と電極２０とが接触すると、コンデンサ−２２に蓄え
られていた電ｔ；Ｉが第２のスパークギャップスイッチ
９の１−リガー電極［Ｉ３と主電極０１間を通して放電
し、該第２のスパークギャソプスイｙ ”１−９が閉じ
られる。その結果、小孔６を有するカソード面１工とア
ノード１２との間にコンデンカ・−１０の高電圧が印加
され、噴出ガス柱１３の表面に沿って放電が起り、以下
第１図の説明と同様にしてエックス線（Ｘ−ｒａｙ ）
が放射される。
によって第１のスパークギャップスイッチ２の主電極ｌ
１ｌ−Ｒ２間が閉しられると、電磁石コ一方、」二記の
ようにして磁セＩ体片４が吸引されることにより電極１
８と電極２０とが接触すると、コンデンサ−２２に蓄え
られていた電ｔ；Ｉが第２のスパークギャップスイッチ
９の１−リガー電極［Ｉ３と主電極０１間を通して放電
し、該第２のスパークギャソプスイｙ ”１−９が閉じ
られる。その結果、小孔６を有するカソード面１工とア
ノード１２との間にコンデンカ・−１０の高電圧が印加
され、噴出ガス柱１３の表面に沿って放電が起り、以下
第１図の説明と同様にしてエックス線（Ｘ−ｒａｙ ）
が放射される。
本発明によれば、弁５が開かれてからごｚンデンザ−２
２の放電が行われるまでの時間は電極１Ｂと電極２０の
間の距団ｔＤによって決り、この距＋１ｌｌＩ Ｉ）は
、例えば電極２０の支持棒に刻まれたねじｆ’ｉＨ２Ｊ
＋と、これに噛め合って取イ＾ｊりられζいるＩｌ！
Ｉｌｌねし２４を用いて調節することができるので、結
局ガスの噴出と該ガスの放電開始とのタイミングをＭ
通値に調整可能となる。
２の放電が行われるまでの時間は電極１Ｂと電極２０の
間の距団ｔＤによって決り、この距＋１ｌｌＩ Ｉ）は
、例えば電極２０の支持棒に刻まれたねじｆ’ｉＨ２Ｊ
＋と、これに噛め合って取イ＾ｊりられζいるＩｌ！
Ｉｌｌねし２４を用いて調節することができるので、結
局ガスの噴出と該ガスの放電開始とのタイミングをＭ
通値に調整可能となる。
第２図において、ＣＩは？ｌｉ研イ」−レイルＳ（全励
磁する電流を蓄えるためのコンデンサー、１？１と１７
２と１？３は充電＋ｌＶ抗、ν１とｖ２とｖ３は直ｌｒ
ｉ ？ｈ 源テアル。
磁する電流を蓄えるためのコンデンサー、１？１と１７
２と１？３は充電＋ｌＶ抗、ν１とｖ２とｖ３は直ｌｒ
ｉ ？ｈ 源テアル。
なお、支持棒ＩＧと支持棒１７の間Ｇこ電気的導通をも
たせた場合には、前記第２のスパークギャップスイッチ
！ｌ 、（１ｉｉ１１−ｒＨｌおよびコンデンサ−２２
とその充電用の電源を省略した構成とすることが、また
、第１図の構成に本発明のスイッチ機構を用いて第２の
トリガーゼネレータ８を起動さ−Ｕるようにすれば、遅
延回路７を省略した構成にすることが、それぞれ可能で
ある。
たせた場合には、前記第２のスパークギャップスイッチ
！ｌ 、（１ｉｉ１１−ｒＨｌおよびコンデンサ−２２
とその充電用の電源を省略した構成とすることが、また
、第１図の構成に本発明のスイッチ機構を用いて第２の
トリガーゼネレータ８を起動さ−Ｕるようにすれば、遅
延回路７を省略した構成にすることが、それぞれ可能で
ある。
（ｇ）発明の効果
本発明によれば、比較的簡単な構成によりガス噴出と放
電開始とのタイミングを、任意の最適値に、容易に設定
することが＋＋Ｊ能となり、これによってガスプラズマ
型のエックス線発生装置の動作を確実にすることができ
るとともに低置な装置を提供できる効果がある。
電開始とのタイミングを、任意の最適値に、容易に設定
することが＋＋Ｊ能となり、これによってガスプラズマ
型のエックス線発生装置の動作を確実にすることができ
るとともに低置な装置を提供できる効果がある。
第１図はガスプラズマ型のエックス線発生装置におりる
従来の夕・イミング合−已機横を説明するだめの図、第
２図は本発明に係るタイミング合せ機構の一実施例の構
成と動作を説明ずイ）／、：めのである。 図において、■および８はそれぞれ第１および第２のト
リガーゼネレータ、２および９はそれぞれ第１および第
２のスパークギャップスイッチ、３は電磁石コイル、４
は磁性体片、５は弁、６は小孔、７は遅延回路、ｌＯお
よび２２は：Ｉンデンザー、１１はカソード面、１２は
アノード、１３は噴出ガス柱、１４はプラズマ柱、１５
および２１はばね、１６および１７は支持棒、１８およ
び２０は電極、１９は端子、２３ばねじ部、２４はｄＢ
ｊｌｌねじ、１００ば弁装置ハウジングである。
従来の夕・イミング合−已機横を説明するだめの図、第
２図は本発明に係るタイミング合せ機構の一実施例の構
成と動作を説明ずイ）／、：めのである。 図において、■および８はそれぞれ第１および第２のト
リガーゼネレータ、２および９はそれぞれ第１および第
２のスパークギャップスイッチ、３は電磁石コイル、４
は磁性体片、５は弁、６は小孔、７は遅延回路、ｌＯお
よび２２は：Ｉンデンザー、１１はカソード面、１２は
アノード、１３は噴出ガス柱、１４はプラズマ柱、１５
および２１はばね、１６および１７は支持棒、１８およ
び２０は電極、１９は端子、２３ばねじ部、２４はｄＢ
ｊｌｌねじ、１００ば弁装置ハウジングである。
Claims (1)
- 弁を開閉させて噴出されるガス中を放電させてエックス
線を発生させるエックス線発生装置において、放電開始
のためのタイミング機構として該弁の動作によって起動
される機械的スイッチ機構を用いることを特徴とするエ
ックス線発生装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16895582A JPS5958748A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | エツクス線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16895582A JPS5958748A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | エツクス線発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5958748A true JPS5958748A (ja) | 1984-04-04 |
Family
ID=15877645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16895582A Pending JPS5958748A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | エツクス線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5958748A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0195495A2 (en) * | 1985-02-27 | 1986-09-24 | Maxwell Laboratories, Inc. | System for generating soft X rays |
-
1982
- 1982-09-28 JP JP16895582A patent/JPS5958748A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0195495A2 (en) * | 1985-02-27 | 1986-09-24 | Maxwell Laboratories, Inc. | System for generating soft X rays |
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