JPS5956576U - 半導体装置の特性測定装置 - Google Patents

半導体装置の特性測定装置

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JPS5956576U
JPS5956576U JP15285282U JP15285282U JPS5956576U JP S5956576 U JPS5956576 U JP S5956576U JP 15285282 U JP15285282 U JP 15285282U JP 15285282 U JP15285282 U JP 15285282U JP S5956576 U JPS5956576 U JP S5956576U
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semiconductor device
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device characteristic
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JP15285282U
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Inventor
鹿中　利行
Original Assignee
日本電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のダイオード■１測定装置の基本的回路図
、第２図は本考案の一実施例を示すダイオードＶＦ測定
装置の回路図である。 １・・・・・・ダイオード、２・・・・・・電源、３，
３ａ。 ３ｂ・・・・・・正極性電流供給端子（ＡＦＴ）、４．
　４ａ。 ４ｂ・・・・・・負極性電流供給端子（ＫＦＴ）、５．
　５ａ。 ５ｂ・・・・・・正極性電圧検出端子（ＡＳＴ）、６．
６ａ。 ６ｂ・・・・・・負極性電圧検出端子（ＫＳＴ）、７・
・・・・・電圧計。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 正極性及び負極性それぞれに独立して電流供給用の接触
    端子と電圧検出用の接触端子とを有する半導体装置の特
    性測定装置において、前記接触端子のうち少なくとも１
    つは試料に対して複数個の接触点を有することを特徴と
    する半導体装置の特性測定装置。
JP15285282U 1982-10-08 1982-10-08 半導体装置の特性測定装置 Pending JPS5956576U (ja)

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