JPS5952705A - 微少間隔測定方法 - Google Patents
微少間隔測定方法Info
- Publication number
- JPS5952705A JPS5952705A JP16214182A JP16214182A JPS5952705A JP S5952705 A JPS5952705 A JP S5952705A JP 16214182 A JP16214182 A JP 16214182A JP 16214182 A JP16214182 A JP 16214182A JP S5952705 A JPS5952705 A JP S5952705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- head
- recording medium
- wavelength
- theta1
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１１発明の技術分野
本発明は微少間隔測定方法に関し、更に詳しくは磁気記
録装置における磁気記録媒体と電磁変換素子間における
微少間隔測定方法に関する。
録装置における磁気記録媒体と電磁変換素子間における
微少間隔測定方法に関する。
（２）技術の分野および従来技術の問題点コンピュタ用
の外部記憶装置として用いられる磁気記憶装置では電気
信号で与えられた情報は磁気ヘッドを介して磁気信号に
変換され記録媒体に蓄えられる６また、情報の読み出し
は前述の逆変換を行なうことによシミ気信号として取シ
出される。このように磁気ヘッドと記録媒体を備えた磁
気デスク装置においては１回転する記録媒体によｐ生じ
る空気流によシヘッドは微少量（約０．５μｍ程度）浮
−ヒしている。而して、記録媒体の記録密度はこの浮上
ザで左右される。すなわち高い記録密度を得るには浮上
量を小さくすることが必要である。近時の記録装置の大
型化等に伴ない記録容量の増大化が要求され、これは必
然的に高い記録密度を要求する。従って浮上量はますま
す小さいものとなる。浮上量が小さくなると、ヘッドと
記録媒体との接近の機会が増大し、ヘッドクラッシュの
発生の問題が生じる。従って、この浮上り士がどの程度
の値であるかを正確に測定することがＭ【要な問題とな
る。
の外部記憶装置として用いられる磁気記憶装置では電気
信号で与えられた情報は磁気ヘッドを介して磁気信号に
変換され記録媒体に蓄えられる６また、情報の読み出し
は前述の逆変換を行なうことによシミ気信号として取シ
出される。このように磁気ヘッドと記録媒体を備えた磁
気デスク装置においては１回転する記録媒体によｐ生じ
る空気流によシヘッドは微少量（約０．５μｍ程度）浮
−ヒしている。而して、記録媒体の記録密度はこの浮上
ザで左右される。すなわち高い記録密度を得るには浮上
量を小さくすることが必要である。近時の記録装置の大
型化等に伴ない記録容量の増大化が要求され、これは必
然的に高い記録密度を要求する。従って浮上量はますま
す小さいものとなる。浮上量が小さくなると、ヘッドと
記録媒体との接近の機会が増大し、ヘッドクラッシュの
発生の問題が生じる。従って、この浮上り士がどの程度
の値であるかを正確に測定することがＭ【要な問題とな
る。
従来、浮上量の測定には第１図に示すような装置を用い
た単色光干渉方法にょシ行なわれていた。
た単色光干渉方法にょシ行なわれていた。
第１図において、ｌはガラス製のダミーティスフ２は磁
気ヘッド、３はビームスプリッタ−２４はカメラ、５は
モニターである。このように構成した装置を用いヘッド
２の浮上量（Ｓ）は単色光の干渉を利用して１ｌｌｌＪ
定されるｔしかるにこの一単色光（可視光）干渉方法に
よる場合、測定限度はせいぜい０２３μｍ程度であった
。、また％第２図に示す装＠を用いた白色光干渉方法に
よる方法も行なわれた。尚、第２図において６はスコー
プである。
気ヘッド、３はビームスプリッタ−２４はカメラ、５は
モニターである。このように構成した装置を用いヘッド
２の浮上量（Ｓ）は単色光の干渉を利用して１ｌｌｌＪ
定されるｔしかるにこの一単色光（可視光）干渉方法に
よる場合、測定限度はせいぜい０２３μｍ程度であった
。、また％第２図に示す装＠を用いた白色光干渉方法に
よる方法も行なわれた。尚、第２図において６はスコー
プである。
尚、第一図および第２図中りは可視光である。このよう
な装置を用いた場合、ヘッド浮上ｉ： （Ｓｔは、白色
光の干渉色をカラースケールと対照させることによって
測定される。白色光干渉方法による場合、測定限度は０
２μｍ８８度であｐ、測定精度は００５μｍ程度であっ
た。従って、更に微少の浮上量を測定するためにはこれ
らのいずれの方法も未だ不十分である。
な装置を用いた場合、ヘッド浮上ｉ： （Ｓｔは、白色
光の干渉色をカラースケールと対照させることによって
測定される。白色光干渉方法による場合、測定限度は０
２μｍ８８度であｐ、測定精度は００５μｍ程度であっ
た。従って、更に微少の浮上量を測定するためにはこれ
らのいずれの方法も未だ不十分である。
（３）発明の目的
本発明は従来正確な測定が不可能てらった磁気記録媒体
と電磁変換素子間において測定精度の良い微少間隔測定
方法を提供することをその目的とするものであシ、可視
光から紫外光においてほぼ均一な光強度分布を有する光
源と回折格子の組み合わせによるモノクロメークと、 可視光から紫外光においてほぼ均一な受光感度分布を有
する受光素子と、可視光から紫外光において光透過性を
有する模擬記録媒体又は可視光から紫外光において光透
過性をイ１する模擬ヘッドとを用い、模擬記録媒体とヘ
ッドあるいは記録媒体と模擬ヘッドとを組み合わせ、模
擬媒体あるいは模擬ヘッドを透過した単色光がヘッド面
あるいは媒体面との間で生じる光干渉を利用し次式＝（
式中、Ｓはヘッドと媒体の間隔、ｊは干渉縞の−Ｉｊか
した数、λ、は最初に測定した単色光の波長λ２は１個
干渉縞を動かした後測定した単色光の波長、θは光源か
ら被測定物に照射される法線からの角度を表わす） で表わされる式を用いて記録媒体と電磁変換素子間の微
少間隔を算出するととを特徴とする。
と電磁変換素子間において測定精度の良い微少間隔測定
方法を提供することをその目的とするものであシ、可視
光から紫外光においてほぼ均一な光強度分布を有する光
源と回折格子の組み合わせによるモノクロメークと、 可視光から紫外光においてほぼ均一な受光感度分布を有
する受光素子と、可視光から紫外光において光透過性を
有する模擬記録媒体又は可視光から紫外光において光透
過性をイ１する模擬ヘッドとを用い、模擬記録媒体とヘ
ッドあるいは記録媒体と模擬ヘッドとを組み合わせ、模
擬媒体あるいは模擬ヘッドを透過した単色光がヘッド面
あるいは媒体面との間で生じる光干渉を利用し次式＝（
式中、Ｓはヘッドと媒体の間隔、ｊは干渉縞の−Ｉｊか
した数、λ、は最初に測定した単色光の波長λ２は１個
干渉縞を動かした後測定した単色光の波長、θは光源か
ら被測定物に照射される法線からの角度を表わす） で表わされる式を用いて記録媒体と電磁変換素子間の微
少間隔を算出するととを特徴とする。
以下、本発明の一実施例を第３図に基いて説明する。第
３図において７は全反射ミラー、８は媒体（ディスク）
、９はヘッド、ｌｏは受光カメラ、１１はモニター、１
２はカメラコントローラテする。このように装置におい
て、光源（図示せず）および（ｊｊ１折格子からなるモ
ノクロメータが用いられる。光源と１７では、紫外（Ｕ
Ｖ）光から可視光マチはｙ均一な光強度をｂえる重水素
光源を用いる。捷た、回折格子としては可視〜紫夕）用
あるいは可視用、紫外用のものを用いる。受光素子とし
て紫外用カメラを用い波長０．２ ｌｔｍ 〜０８μｍ
の範囲の受光ｔＰｌ−性を有する。−また、光路中に導
入されるレンズ、ディスク等は全てＵＶ用石英、寸たは
ほたる石等を用いて紫外領域での光透過損失を制してい
る。
３図において７は全反射ミラー、８は媒体（ディスク）
、９はヘッド、ｌｏは受光カメラ、１１はモニター、１
２はカメラコントローラテする。このように装置におい
て、光源（図示せず）および（ｊｊ１折格子からなるモ
ノクロメータが用いられる。光源と１７では、紫外（Ｕ
Ｖ）光から可視光マチはｙ均一な光強度をｂえる重水素
光源を用いる。捷た、回折格子としては可視〜紫夕）用
あるいは可視用、紫外用のものを用いる。受光素子とし
て紫外用カメラを用い波長０．２ ｌｔｍ 〜０８μｍ
の範囲の受光ｔＰｌ−性を有する。−また、光路中に導
入されるレンズ、ディスク等は全てＵＶ用石英、寸たは
ほたる石等を用いて紫外領域での光透過損失を制してい
る。
更にミう−等も反射膜や保欣棹等について紫夕１用にア
レンジし１ｃものを用いる。特にミラーについては、第
１図および第２図１に示しｆニビームスブリッタ一方式
ではＵＶ〜可祝領域全般に十分な時性が得られないので
、本例においては、第３図に示すように入射光緋色［（
光源から被測定的に１５゜射される法線からの角度）θ
１と反射光線角度（被測定物から受光素子へ反射される
法線からの角度）θ２とを微少角、例えば５°程度に定
めθｌ−０２として全反射形とする。すなわち、θ１は
！Ｍ ８７デイスク面で全反射しない臨界角よりも小さ
な角度である。
レンジし１ｃものを用いる。特にミラーについては、第
１図および第２図１に示しｆニビームスブリッタ一方式
ではＵＶ〜可祝領域全般に十分な時性が得られないので
、本例においては、第３図に示すように入射光緋色［（
光源から被測定的に１５゜射される法線からの角度）θ
１と反射光線角度（被測定物から受光素子へ反射される
法線からの角度）θ２とを微少角、例えば５°程度に定
めθｌ−０２として全反射形とする。すなわち、θ１は
！Ｍ ８７デイスク面で全反射しない臨界角よりも小さ
な角度である。
今、）’を源から発せられ１と光は全反射ミラー７で全
反射され入射角θ１でディヌク８を透過しヘッド９に到
る。ヘッド９で反射角θ２で反射された光は受光カメラ
１０で受光されこの様子がモニター１１で監視される。
反射され入射角θ１でディヌク８を透過しヘッド９に到
る。ヘッド９で反射角θ２で反射された光は受光カメラ
１０で受光されこの様子がモニター１１で監視される。
測定は次の如くして行なう。
まず、弁筺から被測定物への光照射後、任意の点で光干
渉した波長λ１を求め、同一点でモノグロメーターの波
長を連続的に変化させｊ個（普通は１）干渉縞がずれた
時の波長λ２を求める。得られたλ１、およびλ２の値
から次式： によシＳ（浮上量°）を算出する。このλ、の限界値は
光源、受光素子および光路中物質によって定まる。尚２
製造チエツクのようにはヌ等しい浮上量（予め分かって
いる浮上量）を数多く測定する場合は次式により更に簡
便に測定できる。
渉した波長λ１を求め、同一点でモノグロメーターの波
長を連続的に変化させｊ個（普通は１）干渉縞がずれた
時の波長λ２を求める。得られたλ１、およびλ２の値
から次式： によシＳ（浮上量°）を算出する。このλ、の限界値は
光源、受光素子および光路中物質によって定まる。尚２
製造チエツクのようにはヌ等しい浮上量（予め分かって
いる浮上量）を数多く測定する場合は次式により更に簡
便に測定できる。
（ｎは干渉縞の次数であり、浮上量が予知できれば推定
される） 本発明けこのように波長の短い光を用いしかも波長の畑
い光でも受光できるカメラｆ：用いてヘッドと媒体との
微少間隔を測定するようにしたものであり、λ＝０．２
μｍ程度１で、すなわち５−０１μｎｔ；限度の１ｆｉ
Ｑ定を可能に［７た。首だ測定精度は実験的１て±００
０５ ｉｔｍをイｅられた。このように本発明方法によ
れば、測定限界および測定精度ともに向上に、高密度記
録を得ろための微少間隔のＣ：ｊ定が可能である。
される） 本発明けこのように波長の短い光を用いしかも波長の畑
い光でも受光できるカメラｆ：用いてヘッドと媒体との
微少間隔を測定するようにしたものであり、λ＝０．２
μｍ程度１で、すなわち５−０１μｎｔ；限度の１ｆｉ
Ｑ定を可能に［７た。首だ測定精度は実験的１て±００
０５ ｉｔｍをイｅられた。このように本発明方法によ
れば、測定限界および測定精度ともに向上に、高密度記
録を得ろための微少間隔のＣ：ｊ定が可能である。
第１図および第２図は従来方法による説明図、第３図は
本発明の一実ｈｉｌｊ例を示す説明ジ１である。 ７・・・・・・ミラー、８・・・・・・岸体、９・・・
・・ヘッド、ｌＯ・・・・・・カメラ、１１・・・・・
モニタ、１２・・・・・・カメラコントローラ。 第１図 第２図 ム ↑ １ 第３図
本発明の一実ｈｉｌｊ例を示す説明ジ１である。 ７・・・・・・ミラー、８・・・・・・岸体、９・・・
・・ヘッド、ｌＯ・・・・・・カメラ、１１・・・・・
モニタ、１２・・・・・・カメラコントローラ。 第１図 第２図 ム ↑ １ 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、可視光から紫外光においてほぼ均一な光強度分布を
有する光源と回折格子の組み合わせによるモノクロメー
タと、可視光から紫外光においてほぼ均一な受光感度分
布を有する受光素子と、可視光から紫外光において光透
過性を有する模擬記録媒体又は可視光から紫外光におい
て光透過性を有する模擬ヘッドとを用い、模擬記録媒体
とヘッドあるいは記録媒体と模擬ヘッドとを組み合わせ
、模擬媒体あるいは模擬ヘッドを透過した単色光がヘッ
ド面あるいは媒体面との間で生じる光干渉を利用し次式
： （式中、Ｓはヘッドと媒体の間隔、ｊは干渉縞の動かし
た数、λ１は最初に測定した単色光の波長、λ２は１個
干渉縞を動かした後測定した単色光の波長θは光源から
被測定物に照射される法線からのる、磁気記録装置にお
ける磁気記録媒体と電磁変換素子間の微少間隔測定方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16214182A JPS5952705A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 微少間隔測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16214182A JPS5952705A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 微少間隔測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952705A true JPS5952705A (ja) | 1984-03-27 |
Family
ID=15748809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16214182A Pending JPS5952705A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 微少間隔測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952705A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0196384A2 (en) * | 1985-04-01 | 1986-10-08 | Magnetic Peripherals Inc. | Calibration standard for flying height testers and method of manufacturing same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5158971A (ja) * | 1974-11-20 | 1976-05-22 | Nippon Naitoronikusu Kk | Atsumikei |
| JPS55103404A (en) * | 1979-02-02 | 1980-08-07 | Nec Corp | Measuring method of film thickness |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP16214182A patent/JPS5952705A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5158971A (ja) * | 1974-11-20 | 1976-05-22 | Nippon Naitoronikusu Kk | Atsumikei |
| JPS55103404A (en) * | 1979-02-02 | 1980-08-07 | Nec Corp | Measuring method of film thickness |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0196384A2 (en) * | 1985-04-01 | 1986-10-08 | Magnetic Peripherals Inc. | Calibration standard for flying height testers and method of manufacturing same |
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