JPS595217A - 光フアイバを用いたパルスエンコ−ダ - Google Patents
光フアイバを用いたパルスエンコ−ダInfo
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- JPS595217A JPS595217A JP11406082A JP11406082A JPS595217A JP S595217 A JPS595217 A JP S595217A JP 11406082 A JP11406082 A JP 11406082A JP 11406082 A JP11406082 A JP 11406082A JP S595217 A JPS595217 A JP S595217A
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- 208000018583 New-onset refractory status epilepticus Diseases 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 13
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 3
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- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
- G01D5/34723—Scale reading or illumination devices involving light-guides
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ハ光ファイバを用いたノ臂ルスエンコーダに関し
、特にサーゲモータの回転角や回転速度を検出するため
の光学式パルスエンコーダに関する。
、特にサーゲモータの回転角や回転速度を検出するため
の光学式パルスエンコーダに関する。
一般に光７アイノクヲ用いり／臂ルスエンコータハ、外
部光源から入力用光ファイバに導入された光を、可動ス
リット板および固定スリット板を介して受光用光ファイ
バで受け、可動スリット板の移動に伴う光の明暗を受光
用光ファイバの出力端において計測することにより、可
動スリット板に結合されているサーゼモータ等の回転角
度や回転速度を測定するものである（特願昭５７−５０
０６０号参照）。可動スリット板または固定スリット板
には、回転方向の検出や回転角の絶対値の検出のために
複数チャネルが設けられている。受光用光フアイ・ぐは
このチャネルの各りに対応して一本ずつ設置されている
。
部光源から入力用光ファイバに導入された光を、可動ス
リット板および固定スリット板を介して受光用光ファイ
バで受け、可動スリット板の移動に伴う光の明暗を受光
用光ファイバの出力端において計測することにより、可
動スリット板に結合されているサーゼモータ等の回転角
度や回転速度を測定するものである（特願昭５７−５０
０６０号参照）。可動スリット板または固定スリット板
には、回転方向の検出や回転角の絶対値の検出のために
複数チャネルが設けられている。受光用光フアイ・ぐは
このチャネルの各りに対応して一本ずつ設置されている
。
従来の、光ファイノぐを用いたパルスエンコーダにおい
ては、入力用光ファイバから出て受光用光ファイバに向
う光はレンズにより平行光線にした後、可動スリット板
および固定スリット板を通過させていた。レンズにより
平行光線を得るためには、入力用光ファイ・ぐの口径は
出来るだけ小さいものでなければならない。細い光ファ
イバでは充分な光量を導入できないので、受光用光ファ
イ・ぐの各々に対応して一本ずつ入力用光ファイバが設
けられていたうこのため、可動スリット板または固定ス
リット板に設けられたチャネル数の増加に伴って、受光
用光ファイバの本数のみならず入力用光ファイバの本数
および光コネクタのピン数が増加し装置価格が高くなる
という問題があった。
ては、入力用光ファイバから出て受光用光ファイバに向
う光はレンズにより平行光線にした後、可動スリット板
および固定スリット板を通過させていた。レンズにより
平行光線を得るためには、入力用光ファイ・ぐの口径は
出来るだけ小さいものでなければならない。細い光ファ
イバでは充分な光量を導入できないので、受光用光ファ
イ・ぐの各々に対応して一本ずつ入力用光ファイバが設
けられていたうこのため、可動スリット板または固定ス
リット板に設けられたチャネル数の増加に伴って、受光
用光ファイバの本数のみならず入力用光ファイバの本数
および光コネクタのピン数が増加し装置価格が高くなる
という問題があった。
さらに、入力用光ファイバの出力端と受光用光ファイ・
ぐの入力端との位置合せは、各光ファイバの口径が極め
て小であるため、非常な困雛を伴うという問題もあった
。
ぐの入力端との位置合せは、各光ファイバの口径が極め
て小であるため、非常な困雛を伴うという問題もあった
。
本発明の目的は、上述の従来技術における問題にかんが
み、平行光線形成用レンズに替えてプリズムを用いると
いう構想に基づき、光ファイバを用いたノ９ルスエンコ
ーダにおいて、入力用光ファイノ々とじて大口径のもの
を用いることを可能にし、それにより、チャネル数が大
であっても入力用光フプイ・譬の本数を増加させる必要
性をなくして装置価格を低下させるとともに、入力用光
ファイバと受光用光ファイバとの位置合せを容易にする
ことにある。
み、平行光線形成用レンズに替えてプリズムを用いると
いう構想に基づき、光ファイバを用いたノ９ルスエンコ
ーダにおいて、入力用光ファイノ々とじて大口径のもの
を用いることを可能にし、それにより、チャネル数が大
であっても入力用光フプイ・譬の本数を増加させる必要
性をなくして装置価格を低下させるとともに、入力用光
ファイバと受光用光ファイバとの位置合せを容易にする
ことにある。
上記の目的達成のための本発明の要旨は、外部光源よシ
光を導入するための入力用光ファイバ、該入力用光ファ
イバから出力される光を受光する受光面と、該受光面に
入射された光を反射させる反射面と、該反射面により反
射された光を出力する出力面とを備えたプリズム、該プ
リズムの出力面から出力された光を受光する固定スリッ
ト板、該固定スリット板を通過した光を受光する可動ス
リ、ト板、該可動スリット板を通過した光を集光させる
集光レンズ、および該集光レンズにより集光された光を
導くための受光用光ファイバを具備する光ファイ・ぐを
用いたＡＩルスエンコーダニアル。
光を導入するための入力用光ファイバ、該入力用光ファ
イバから出力される光を受光する受光面と、該受光面に
入射された光を反射させる反射面と、該反射面により反
射された光を出力する出力面とを備えたプリズム、該プ
リズムの出力面から出力された光を受光する固定スリッ
ト板、該固定スリット板を通過した光を受光する可動ス
リ、ト板、該可動スリット板を通過した光を集光させる
集光レンズ、および該集光レンズにより集光された光を
導くための受光用光ファイバを具備する光ファイ・ぐを
用いたＡＩルスエンコーダニアル。
本発明の一態様によれば、該固定スリット板は該プリズ
ムの出力面に格子ツクターンを蒸着して形成されたもの
である。
ムの出力面に格子ツクターンを蒸着して形成されたもの
である。
本発明の他の態様によれば、該プリズムは骸反射面を斜
辺部とする直角プリズムである。
辺部とする直角プリズムである。
更に本発明の他の態様によれば、該プリズムの該反射面
を放物曲面として、該出力面から出力された光は平行光
線にされる。
を放物曲面として、該出力面から出力された光は平行光
線にされる。
以下、本発明の実施例を図面によって詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例による光ファイバを用いたパ
ルスエンコーダを示す垂１１断面図である。
ルスエンコーダを示す垂１１断面図である。
同図において、１はサー♂モータ（図示せず）のシャフ
トに結合される回転自在のシャフトであり、シャフト１
に回転スリット板２が押え板３を介して固着されている
。シャフト１はベアリング４を介して外枠５に係合して
いる。入力用光コネクタ６に入力用光ファイノ４７が接
続されている。入力用光ファイバ７の出力端に直角プリ
ズム８の受光面が接しており、外部光源（図示せず）か
ら入力用光コネクタ６に導かれた光は入力用光ファイバ
７を通って直角プリズム８の受光面に入り、直角プリズ
ム８の斜面である反射面で反射されて他の一面である出
力面から出力される。入力用光ファイ・々７および直角
プリズム８は取付部９によって固定されている。直角プ
リズム８の出力面に対向して固定スリット板１０が取付
部９に固定されており、固定スリット板１０を通過した
光は回転スリット板２に到達し、回転スリット板２を通
った光はチャンネル毎に設けられた集光レンズ１１およ
び１２によって集光され、集光された光はそれぞれ、チ
ャンネル毎に設けられた受光用光ファイバ１３および１
４によって出力用光コネクタ１５および１６に導かれる
。１７はノ９ルスエンコーダを保護するケースである。
トに結合される回転自在のシャフトであり、シャフト１
に回転スリット板２が押え板３を介して固着されている
。シャフト１はベアリング４を介して外枠５に係合して
いる。入力用光コネクタ６に入力用光ファイノ４７が接
続されている。入力用光ファイバ７の出力端に直角プリ
ズム８の受光面が接しており、外部光源（図示せず）か
ら入力用光コネクタ６に導かれた光は入力用光ファイバ
７を通って直角プリズム８の受光面に入り、直角プリズ
ム８の斜面である反射面で反射されて他の一面である出
力面から出力される。入力用光ファイ・々７および直角
プリズム８は取付部９によって固定されている。直角プ
リズム８の出力面に対向して固定スリット板１０が取付
部９に固定されており、固定スリット板１０を通過した
光は回転スリット板２に到達し、回転スリット板２を通
った光はチャンネル毎に設けられた集光レンズ１１およ
び１２によって集光され、集光された光はそれぞれ、チ
ャンネル毎に設けられた受光用光ファイバ１３および１
４によって出力用光コネクタ１５および１６に導かれる
。１７はノ９ルスエンコーダを保護するケースである。
図においては簡単化のために２チャンネル分の集光レン
ズ、受光用光ファイバおよび出力用光コネクタだけが示
されているが、チャンネル数が更に多い場合にはそれに
応じて集光レンズ、受光用光ファイノ々および出力用光
コネクタの斂も増加する。
ズ、受光用光ファイバおよび出力用光コネクタだけが示
されているが、チャンネル数が更に多い場合にはそれに
応じて集光レンズ、受光用光ファイノ々および出力用光
コネクタの斂も増加する。
第２図は第１図に示した回転スリット板２を模式的に承
り平面図である。同図において、回転スリ、ト板２は図
面の簡単化のために２チヤンネルのアブソリ、−トディ
スクとなっており、２１および２２はスリットを示して
いる。実際のアブソリ、−トディスクは同心円上に形成
された様々の大きさの多数のスリットを有しており、回
転角の絶対値が容易に検出できる。
り平面図である。同図において、回転スリ、ト板２は図
面の簡単化のために２チヤンネルのアブソリ、−トディ
スクとなっており、２１および２２はスリットを示して
いる。実際のアブソリ、−トディスクは同心円上に形成
された様々の大きさの多数のスリットを有しており、回
転角の絶対値が容易に検出できる。
チャンネル数が多数であっても、入力用光ファイバ７に
、第１図に示されるように口径の大きいものを用いるこ
とにより一本の入力用光ファイ／ぐで外部光源から光を
導くことができる。大口径の入力用光ファイ・９７から
出力された光は、直角プリズム８を通ってその出力面か
らほぼ平行光線となりて出力されるので、直角プリズム
８の出力面に対する受光用光ファイバ１３および１４の
入力端の位置合せには従来のような困督は伴なわない。
、第１図に示されるように口径の大きいものを用いるこ
とにより一本の入力用光ファイ／ぐで外部光源から光を
導くことができる。大口径の入力用光ファイ・９７から
出力された光は、直角プリズム８を通ってその出力面か
らほぼ平行光線となりて出力されるので、直角プリズム
８の出力面に対する受光用光ファイバ１３および１４の
入力端の位置合せには従来のような困督は伴なわない。
また、入力用光ファイバの個数は、チャンネル数に無関
係に１個ですむため、装置価格も従来に比べて低くなる
。
係に１個ですむため、装置価格も従来に比べて低くなる
。
第３図は本発明の第二の実施例に用いられる直角プリズ
ムおよび固定スリット板を概略的に示す断面図である。
ムおよび固定スリット板を概略的に示す断面図である。
同図において、直角プリズム８′の出力面に固定スリッ
トの・リーンを直接蒸着して固定スリット板１０′とし
ており、第１図に示した直角プリズム８と固定スリット
板１０に替えて、第３図の固定スリット板１０′が蒸着
された直角プリズム８′を用いることにより、固定スリ
ット板１０が不要になる。
トの・リーンを直接蒸着して固定スリット板１０′とし
ており、第１図に示した直角プリズム８と固定スリット
板１０に替えて、第３図の固定スリット板１０′が蒸着
された直角プリズム８′を用いることにより、固定スリ
ット板１０が不要になる。
第４Ｖは本発明の第三の実施例に用いられる変形直角プ
リズムを概略的に示す断面図である。大口径の人力用光
ファイバ７（第１図）から出力される光は必ずしも平行
光線とはならない。そこで第４図に示されるように、直
角プリズムの斜面を放物曲面として出力面から出力され
る光を平行光線に近づけた。これにより、集光レンズ１
１および１２による集光性がよくなり明暗比の良好な出
力光が出力用光コネクタ１５および１６に得られる。
リズムを概略的に示す断面図である。大口径の人力用光
ファイバ７（第１図）から出力される光は必ずしも平行
光線とはならない。そこで第４図に示されるように、直
角プリズムの斜面を放物曲面として出力面から出力され
る光を平行光線に近づけた。これにより、集光レンズ１
１および１２による集光性がよくなり明暗比の良好な出
力光が出力用光コネクタ１５および１６に得られる。
以上の実施例の説明では回転スリ、ト板に２チヤンネル
のスリットが設０られている場合について説明したが、
前述の如く更に多数のチャネルのアブソリュートディス
クｉ４ネルの場合には本発明により得られる利益、すな
わら、入力用光ファイバの本数が一本で済むという利益
は一層顕著となる。
のスリットが設０られている場合について説明したが、
前述の如く更に多数のチャネルのアブソリュートディス
クｉ４ネルの場合には本発明により得られる利益、すな
わら、入力用光ファイバの本数が一本で済むという利益
は一層顕著となる。
入力用光ファイバは大口径の一本のファイバに替えて、
小口径の多数のファイノ々で実現してもよい。この場合
でも入力用光ファイバと受光用光ファイ・ぐとは１対１
に対応させる必要がないので、入力用光ファイ・々と受
光用光ファイバとの位置合せは従来のような困難を伴な
わない。
小口径の多数のファイノ々で実現してもよい。この場合
でも入力用光ファイバと受光用光ファイ・ぐとは１対１
に対応させる必要がないので、入力用光ファイ・々と受
光用光ファイバとの位置合せは従来のような困難を伴な
わない。
また、回転スリット板れ第２図に示した如き、同心円状
に複数のスリットを１１Ｉ１１えたアブソリュートディ
スクに替えて、牛径方向に伸びる多数のスリットを備え
た第５図に示される形式のものでもよい。第５図におい
て、回転スリット板２′の表面にクロム蒸鬼、エツチン
グ処理等を施して透明部のスリ、 ） ２１’と不透明
部が正確なピッチで刻まれている。この場合、固定スリ
ット板としては、例えば第６図に示される２チヤンネル
のスリット板の如き被数チャンネルのものが用いられる
。第６図において、固定スリット板ｌＯ′に扛上下２列
のスリッ）１０．．１０．が設０られており、各スリッ
トの中およびピッチは回転スリット板のスリットの巾お
よびピッチと実質的に吟しくなっている。上側のスリッ
トには、回転スリット板２′とスリットのピッチが等し
く、互いに１／４波長（９０°）位相のずれたスリット
を設けたことにより、回転スリット板２の回転力向の検
出が可能となる。
に複数のスリットを１１Ｉ１１えたアブソリュートディ
スクに替えて、牛径方向に伸びる多数のスリットを備え
た第５図に示される形式のものでもよい。第５図におい
て、回転スリット板２′の表面にクロム蒸鬼、エツチン
グ処理等を施して透明部のスリ、 ） ２１’と不透明
部が正確なピッチで刻まれている。この場合、固定スリ
ット板としては、例えば第６図に示される２チヤンネル
のスリット板の如き被数チャンネルのものが用いられる
。第６図において、固定スリット板ｌＯ′に扛上下２列
のスリッ）１０．．１０．が設０られており、各スリッ
トの中およびピッチは回転スリット板のスリットの巾お
よびピッチと実質的に吟しくなっている。上側のスリッ
トには、回転スリット板２′とスリットのピッチが等し
く、互いに１／４波長（９０°）位相のずれたスリット
を設けたことにより、回転スリット板２の回転力向の検
出が可能となる。
さらに、以上の実施例においては回転スリット板が用い
られているが、１転スリツト板に替えて、直線に沿って
移動するりニア可動スリット板を用いることも可能であ
る。
られているが、１転スリツト板に替えて、直線に沿って
移動するりニア可動スリット板を用いることも可能であ
る。
以上説明したように、本発明によれば、入力用光ファイ
バからの光をプリズムで受けたことにより、光ファイバ
を用いたパルスエンコーダにおいて、入力用光ファイ・
９として大口径のものを用いることが可能となり、従っ
て受光用光ファイバの本数が大であっても入力用光ファ
イ・ぐの本数は大口径のファイ・々一本で済むため、装
置価格が低くなり、且つ、入力用光ファイバと受光用光
ファイ・ぐとの位買合せが容易になるという効果が得ら
れる。
バからの光をプリズムで受けたことにより、光ファイバ
を用いたパルスエンコーダにおいて、入力用光ファイ・
９として大口径のものを用いることが可能となり、従っ
て受光用光ファイバの本数が大であっても入力用光ファ
イ・ぐの本数は大口径のファイ・々一本で済むため、装
置価格が低くなり、且つ、入力用光ファイバと受光用光
ファイ・ぐとの位買合せが容易になるという効果が得ら
れる。
第１図は本発明の一実施例による光ファイバを用いた・
ぐルスエンコーダを示す垂直断面図、第２図は第１図に
示した回転スリット板を模式的に示す平面図、第３図は
本発明の第二の実施例に用いられる直角プリズムおよび
固定スリット板を概略的に示す断面図、第４図は本発明
の第三の実施例に用いられる変形直角プリズムを概略的
に示す断面図、第５図は本発明の第四の実施例に用いら
れる回転スリット板の一部を示す平面図、そして第６図
は第５図の回転スリット板を用いた場合の固定スリット
板の１例を示す平面図である。 １・・・シャフト、２・・・回転スリット板、３・・・
押え板、４・・・ベアリング、５・・・外枠、６・・・
入力用光コネクタ、７・・・入力用光ファイ・々、８・
・・直角プリズム、９・・・取付部、１０・・・固定ス
リット板、１１゜１２・・・集光レンズ、１３．１４・
・・受光用光ファイバ、１５．１６・・・出力用光コネ
クタ、１７・・・ケース。 特許出願人 ファナック株式会社 特許出願代理人 弁理士 育 木 朗 弁理士西舘和之 弁理士 山 口 昭 之 第３図 第６図
ぐルスエンコーダを示す垂直断面図、第２図は第１図に
示した回転スリット板を模式的に示す平面図、第３図は
本発明の第二の実施例に用いられる直角プリズムおよび
固定スリット板を概略的に示す断面図、第４図は本発明
の第三の実施例に用いられる変形直角プリズムを概略的
に示す断面図、第５図は本発明の第四の実施例に用いら
れる回転スリット板の一部を示す平面図、そして第６図
は第５図の回転スリット板を用いた場合の固定スリット
板の１例を示す平面図である。 １・・・シャフト、２・・・回転スリット板、３・・・
押え板、４・・・ベアリング、５・・・外枠、６・・・
入力用光コネクタ、７・・・入力用光ファイ・々、８・
・・直角プリズム、９・・・取付部、１０・・・固定ス
リット板、１１゜１２・・・集光レンズ、１３．１４・
・・受光用光ファイバ、１５．１６・・・出力用光コネ
クタ、１７・・・ケース。 特許出願人 ファナック株式会社 特許出願代理人 弁理士 育 木 朗 弁理士西舘和之 弁理士 山 口 昭 之 第３図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、外部光源より光を導入するための入力用光ファイバ
、骸入力用光ファイバから出力される光を受光する受光
面と、該受光面に入射された光を反射させる反射面と、
該反射面により反射含れた光を出力する出力面とを備え
たプリズム、核プリズムの出力面から出力された光を受
光する固定スリット板、該固定スリット板を通過した光
を受光する可動スリット板、該可動スリット板を通過し
た光を集光させる集光レンズ、および該集光レンズによ
り集光された光を導くための受光用光ファイバを具備す
る光ファイバを用いたパルスエンコーダ。 ２、該固定スリット板は該プリズムの出力面に格子／臂
ターンを蒸着して形成されたものである特許請求の範囲
第１項記載のノやルスエンコーダ。 ３、該プリズムは該反射面を斜辺部とする直角プリズム
である特許請求の範囲第１項記載のパルスエンコーダ。 ４、該プリズムの該反射面を放物曲面として該出力面か
ら出力される光を平行光線にした特許請求の範囲第３項
記載のノ４ルスエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11406082A JPS595217A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 光フアイバを用いたパルスエンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11406082A JPS595217A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 光フアイバを用いたパルスエンコ−ダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS595217A true JPS595217A (ja) | 1984-01-12 |
Family
ID=14628021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11406082A Pending JPS595217A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 光フアイバを用いたパルスエンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS595217A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2390897A (en) * | 2002-04-11 | 2004-01-21 | Agilent Technologies Inc | Optical encoder device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5512481A (en) * | 1978-07-13 | 1980-01-29 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Encoder |
| JPS5722511A (en) * | 1980-07-17 | 1982-02-05 | Fanuc Ltd | Pulse encoder |
-
1982
- 1982-07-02 JP JP11406082A patent/JPS595217A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS5722511A (en) * | 1980-07-17 | 1982-02-05 | Fanuc Ltd | Pulse encoder |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2390897A (en) * | 2002-04-11 | 2004-01-21 | Agilent Technologies Inc | Optical encoder device |
| GB2390897B (en) * | 2002-04-11 | 2005-08-10 | Agilent Technologies Inc | Optical encoder device |
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