JPS59500992A - Island-shaped thermally permanent recording film suitable for digital data storage using low-power writing lasers - Google Patents

Island-shaped thermally permanent recording film suitable for digital data storage using low-power writing lasers

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JPS59500992A
JPS59500992A JP58502196A JP50219683A JPS59500992A JP S59500992 A JPS59500992 A JP S59500992A JP 58502196 A JP58502196 A JP 58502196A JP 50219683 A JP50219683 A JP 50219683A JP S59500992 A JPS59500992 A JP S59500992A
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Inventor
シエブリン・クレイグ・マ−テイン
Original Assignee
バロ−ス・コ−ポレ−ション
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 “低出力書込レーザを用いるディジタル・データ・ストレージに適したアイラン ド状熱絶縁性記録フィルム”本発明は新規な高密度記録情報ストレージ媒体に関 するもので、特に低出力レーザ手段による記録に適したそのような媒体に関する ものである。[Detailed description of the invention] “Iran suitable for digital data storage using low power writing lasers” The present invention relates to a novel high-density recording information storage medium. relating to such media particularly suitable for recording by low power laser means. It is something.

発明の背景 ディジタル・データの光学ストレージは比較的新しい技術1、光学技術を利用し たディジタ″情報0貯蔵8消去1関し、ODD (光学ディジタル・データ)デ ィスクのような関連する特殊な媒体を用いる。類似づるものとして、従来そのよ うなデータは、今日の高速ディジタル・コンビコータで一般に用いられているテ ープまたはディスクのような磁気媒体上に記録される。Background of the invention Optical storage of digital data is a relatively new technology1 that uses optical technology. Regarding the digital information 0 storage 8 erasure 1, the ODD (optical digital data) data using associated special media such as discs. Traditionally, it has been considered similar Such data is compatible with the data commonly used in today's high-speed digital combi coaters. recorded on magnetic media, such as a tape or disk.

この開示は、光学的媒体と、それに関連した読取/書込技術と、特に低出力レー ザ装置の制御された照射エネルギの集束ビームを用いてディジタル情報を記録し たり読出したりするために用いられる装置とに関係するものである。This disclosure relates to optical media and related read/write techniques, and particularly to low power lasers. The device records digital information using a focused beam of controlled radiation energy. It relates to the devices used for reading and reading data.

技術音速に知られているように、そのようなシステムの設計や動作における成功 は、その記録媒体に大きく依存する。当該技術における技術音速は、いかにして 満足のいく○DDディスク媒体の開発、特に現在利用可能な低出力レーザに適し たものでかつ10年以上の長い使用寿命を示寸ものの開発に折々悩まされてきた 。この発明は、この目的に適した実際のODDディスク、すなわち今日の高速コ ン特表昭59−500992 (4) ピユータ・システムにおいて記録保存ストレージとして用いられ、かつそのよう な長い期間にわたって用いられるものを示している。Success in the design and operation of such systems, as known in the technology Sonic depends largely on the recording medium. How is the technical speed of sound in this technology? Development of satisfactory DD disk media, especially suitable for currently available low power lasers We have struggled from time to time to develop products that are durable and have a long service life of more than 10 years. . This invention is based on a practical ODD disk suitable for this purpose, i.e. today's high speed N special table 1986-500992 (4) Used as archival storage in computer systems and as such. This indicates something that will be used for a long period of time.

照射ビームに適した記録媒体;−股部:そのようなODD媒体としての条件は厳 しいものであり、たとえば高ビット密度、経費的に効率の良い情報記録、充分な 書込/読取速度、さらに好ましくは低出力レーザの利用などが関係する。(技術 音速はそのようなレー)J′処理の遂行の単純さ、速さ、能力を認識しており、 読取/書込動作に関してレーザ・ビームは変調したり屈折さぼるだけでよい。) 関連する応用(たとえば、ビデオ・ディスク記録)において、技術音速はレーザ を利用した。そしてそれらの成る態様において゛情報層”として金属フィルムを 用いた媒体を提示した。この層は、その層内に゛ビット″として゛ボイド″(ビ ット、ホール、バブルなど、または他の加工)を形成するために書込レープ・ビ ームによって軟化、溶融。Recording medium suitable for the irradiation beam; - Crotch: The conditions for such an ODD medium are strict. For example, high bit densities, cost-effective information storage, sufficient Write/read speeds, and preferably the use of low power lasers, etc. are relevant. (Technology The speed of sound recognizes the simplicity, speed and ability of performing such a process, For read/write operations, the laser beam need only be modulated or deflected. ) In related applications (e.g. video disc recording), the technical speed of sound is was used. And in their configuration, a metal film is used as the "information layer". The medium used was presented. This layer has ``voids'' (bits) within the layer. write rape bits to form holes (cuts, holes, bubbles, etc., or other processing). Softened and melted by the foam.

または蒸発させられる(熱的加工される)。そのようなフィルムは回転するディ スクの表面上にコーティングすることが可能である。or evaporated (thermally processed). Such films are It is possible to coat the surface of the screen.

ある技術音速は、そのようなレーザ記録が種々のコンピュータ記録(たとえば、 前述のODD媒体)として有望であろうと感じていたつ彼等は、実際のシステム が低出力レーザ書込に反応する記録媒体を待ち受け、したがってこれは現在の実 際の低出力レベルで溶融(または蒸発など)可能な情報層(材料)を発見できる か否かにかかるであろうと予想していた。これはまた、その関連するシステムの 照射効率にも依存するであろう。Certain technologies show that the speed of sound is such that such laser recording can be used to record various computer records (e.g. They felt that it would be promising as an ODD medium (mentioned above), but they decided to develop an actual system. awaits a recording medium that responds to low-power laser writing, and thus this Discover information layers (materials) that can be melted (or evaporated, etc.) at extremely low power levels. I expected that it would be a matter of whether or not. This also means that its associated system It will also depend on the irradiation efficiency.

したがって、技術音速は高い“熱効率″(記録位置に発生させられた熱のうちど れだ(プが″゛ヒツト″形成ために効果的にその局所に蓄えられるかを示す尺度 )を示すそのようなレーザ記録材料を折々探しめ続けてきた。このために、彼等 は低融点で小さい熱放散性を有する記録材料(たとえば、テルル、鉛、ビスマス 、およびインジウム)を考慮してきた。低融点はおそらく最小エネルギの書込パ ルスを可能にし、したがってシステムの費用を最小にするかまたはバンド幅を大 きくすることができる。Therefore, the technical speed of sound has a high "thermal efficiency" (how much of the heat generated at the recording position is A measure of how effectively a protein can be stored locally to form a "human" ), we have continued to search for such laser recording materials. For this reason, they are recording materials with low melting points and low heat dissipation properties (e.g. tellurium, lead, bismuth , and indium). The low melting point is probably the lowest energy write parameter. to minimize system cost or increase bandwidth. I can listen.

また、技術音速はそのような記録には低出力レーザを用いな(プればならないと 感じていたくたとえば、レーザ装置の動作野命を延ばすためとその費用と寸法を 小さくするため)ので、そのよ−うな情報(吸収体)フィルムに選ばれる金属は パ際立って低い″融点(゛適度に高い感度″)を有することがさらにめられ、そ れによって請求められる“′ピット・ボイド″が最小のレーザ出力で形成され1 qることか望まれる。Also, the speed of sound technology requires that low-power lasers be used for such recording. For example, I feel that I want to extend the operating life of a laser device and reduce its cost and size. (to make it smaller), the metal selected for such an information (absorber) film is It is further desired that the material has an exceptionally low melting point (moderately high sensitivity); The “pit/void” claimed by this is formed with the minimum laser power and 1 q is desired.

Te吸収体フィルム: 現在、多くの技術音速がこのレーザ記録または関連するレーザ記録のためにテル ル(Te )吸収体フィルムの利用を実行している。それにはいくつかの理由が ある。テルルは魅力的な低い(バルクの)融点(約4.50℃)を有し、熱伝導 性が悪く、良好な感度とS/N比を提供できるように思われ、さらにそれは薄い フィルムとして析出させるのに比較的便利である。ビスマスも同様な理由で一般 に提案されている。また関連する合金(たとえば、7a −Qe 。Te absorber film: Currently, many technical sound speeds are used for this laser recording or related laser recording. We are implementing the use of Te absorbent film. There are several reasons for this be. Tellurium has an attractively low (bulk) melting point (approximately 4.50°C) and is a good thermal conductor. seems to be able to provide good sensitivity and signal-to-noise ratio, and furthermore it is thin It is relatively convenient to deposit as a film. Bismuth is also commonly used for similar reasons. has been proposed. Also related alloys (e.g. 7a-Qe).

Te −AS−8eおよびBi −3e )が興味あるものと1ノで示唆されて きた。Te-AS-8e and Bi-3e) were suggested in No. 1 as interesting. came.

テルルは比較的低い熱逃散性を有するとともに、たとえばアルミニウムなどに比 べて低い書込スレッショルド(しきい)・エネルギを示すと考えられてきた。た とえばBe11等の米国特許第4.222,071号を参照せよ:また5PIE 、Vol、177 、 OpNcal Information S t。Tellurium has a relatively low heat dissipation property, and compared to, for example, aluminum. It has been thought that all write thresholds and energy levels are low. Ta See, e.g., U.S. Pat. No. 4,222,071 to Be11 et al. , Vol. 177, OpNcal Information St.

rage、 1979.第56頁以後のZechによる” Revicvof  Qptical Storage Media”も参照せよ;さらに5PfE、  VOl、 123.0ptical 3torage MateriaIs  and Methods、 1977 、第2頁以後のBartoliniによ る”Qptical Recording Media Review”も参照 せよ。rage, 1979. "Revicvof" by Zech from page 56 onwards See also ``Qptical Storage Media''; further 5PfE, VOl, 123.0ptical 3torage MateriaIs and Methods, 1977, by Bartolini, pages 2 onwards. See also “Qptical Recording Media Review” Do it.

たとえば、この13 artol i旧の論説は10f4類の他の光学記録手段 とともにそのような吸収体フィルム(゛加工可能な薄いフィルム″)を議論して おり、それらには屈折率の変化を伴なう光化学的変化を受けることが知られてい る有機化合物である“光学ポリマー″が含まれている。Z echの論説は、レ ーザ書込によっ1″゛ビツト″が吸収体層に形成されるように配置されて用いら れる吸収体フィルムを議論しており、このビット情報は(Bellの特許と同様 に)反射能の変化によって検知される。For example, this 13 artol i old editorial describes other optical recording means of class 10f4. and discuss such absorbent films (“processable thin films”). They are known to undergo photochemical changes accompanied by changes in their refractive index. Contains "optical polymers," which are organic compounds that Z ech's editorial is It is arranged and used so that a 1" bit" is formed on the absorber layer by laser writing. This bit of information (similar to the Bell patent) ) detected by changes in reflectance.

そのような周知の゛′加工的記録″においては、高い強度の照射ビーム(レーザ の゛書込ビーム″)によって与えられる熱エネルギは、そのパ書込位置″が少な くともそのビーム断面の一部分において溶解または加工されるようなものであろ う。そのとき表面張力が゛平面的空孔″を形成させると多くの人が信じており( 上で引用されたZ echによる論説を参照せよ)、それは通常若干長円形の゛ ピット″またはホールの形成となる。(Cocl)ranとF errierニ よる”Melting l−1o1es in Metal Films fo r Real−Time、 ト1 igh [)ensity [)ata 3  torage” 、 3 PI E P roceedings、 1977 年8月、[−’17〜P31を参照せよ) 吸収体フィルム: それらの1つの特徴として、関連する種類のレーザ記録がそのような゛吸収体層 の融点よりかなり低い温度でくすなわち、そのパバルクの融点″までそのビット 位置を熱することなく)行ない得ることを私は発見した。そしてその結果、比較 的高い融点とむしろ高い熱伝導性(これらの特徴は当該目的のために技術者達に よって避けられてきたもの)を有する金のような材料が驚くべき良好な吸収体フ ィルムを形成し、それはテルルのようなパ今まで好まれてきた″吸収体と比較し 得る感度のものであることも私は発見した。In such well-known "processing records" a high intensity radiation beam (laser) is used. Thermal energy imparted by the ``writing beam'' of the At least a portion of the beam cross section may be melted or processed. cormorant. Many people believe that surface tension then causes the formation of "planar pores" ( (see the editorial by Z ech cited above), which are usually slightly oval in shape. This results in the formation of pits or holes. (Cocl) ran and Ferrier Ni By “Melting l-1o1es in Metal Films fo r Real-Time, t1 igh [)enity [)ata 3 3 PI E P roceedings, 1977 August 2017, [-'17~See p.31] Absorber film: One of their features is that a related type of laser recording is that is, up to the melting point of the bulk I have discovered that you can do this without heating the position. And as a result, comparison a high melting point and a rather high thermal conductivity (these characteristics are useful to engineers for this purpose). Materials such as gold, which have been avoided due to It forms a film, compared to the hitherto preferred absorbers such as tellurium. I've also found that it's all about the sensitivity you get.

もちろん、成る人達はチタンや金(また、白金、ロジウム、ニッケル、クロム、 マンガン、およびバナジウム;たとえば、Be1lの米国特許第4,285,0 56号またはIBMのTD Bulletin 、 1971年3月号、第30 1頁参照)のような“高融点″材料もそのような゛′加加工膜吸収体層して適す るかもしれないということを漠然とは推測していた。しかしながら、そのような 推測では゛′感度″の実際の問題または上述のようにそれらの材料へどのように して低出力レーザが記録することができるかなどに対して注意が払われなかった 。あるいは、それらの推測では関連する^い熱伝導性の問題を無視してきた(熱 が記録位置f)冒ろ放射状に伝導されて、書込エネルギが消耗され、そして感度 が悪くなる:金のような金属は高い熱伝導性を有するが王1やTeはそうでない ごとに留意)。Of course, those made of titanium, gold (also platinum, rhodium, nickel, chromium, manganese, and vanadium; e.g., U.S. Patent No. 4,285,0 to Beil No. 56 or IBM's TD Bulletin, March 1971, No. 30 "High melting point" materials such as I had a vague guess that it might happen. However, such Speculatively, the actual problem of "sensitivity" or how to those materials as mentioned above No attention was paid to whether low-power lasers could be used to record . Alternatively, those assumptions have ignored related thermal conductivity issues (thermal is conducted radially to the recording position f), the writing energy is consumed, and the sensitivity decreases. becomes worse: Metals like gold have high thermal conductivity, but King 1 and Te do not. ).

今まで観察音速は、一般に゛高融点″金属は吸収体の候補としては全(あり得な いと認識していた(たとえば、引用した米国特許第4,222,071号で述べ られているように、゛低融点″で低い伝導性のTeは優秀な感度を与え、そして 低出力レーザによって記録することができるものとして認められた。したがって 、その全く逆のもの;すなわち高融点を有する良好な熱伝導体である金のような 金属は、理論的に最も不良な゛′吸収体″である筈である。)。Up until now, observed sound velocities have generally shown that "high melting point" metals are unlikely candidates for absorbers. (For example, as stated in cited U.S. Pat. No. 4,222,071) As shown, the “low melting point” and low conductivity of Te gives excellent sensitivity and It has been recognized that it can be recorded by low power lasers. therefore , its exact opposite; i.e. gold, which has a high melting point and is a good thermal conductor. Metals should theoretically be the worst absorbers.)

それにもかかわらず、本発明は、金のような丁度ソのような金属が用いることが 可能で、かつ少なくとも知られている吸収体くたとえば非常に優れた記録保存寿 命とともにTeと同等な感喰を有する吸収体〉と同等に機能し得ることを示す。Nevertheless, the present invention provides that just such metals as gold can be used. possible and at least known absorbent materials, such as those with very good archival longevity. This shows that it can function in the same way as an absorber with an absorbency equivalent to that of Te.

さらにこの発明は、そのような吸収体フィルムが(従来技術が教えることと反し て)記録のためにそのビット位置を従来のバルクの金属溶融点まで加熱される必 要のないことを明瞭に示す。The invention further provides that such an absorbent film (contrary to what the prior art teaches) ) that bit position must be heated to the traditional bulk metal melting point for recording. Clearly show what is unnecessary.

延長された記録保存野ω: 光学データ・ストレージ技術の大きな魅力はストレージ技術の増大(たとえば、 磁気テープの10018のオーーダ)か約束されることである。ここで意図さ机 ている光学データ・ディスクは、延長された10年以−トのオーダの記録寿命の 間その上へく“′消去不能の″)情報をストアで−ろことが想定されるであろう 。そのような延長ぎれた寿のは従来技術において未だ達成されていない目標であ り、技術者)霊は心からそ−うしたいと願っている。本発明はそのような記録4 命を示す媒体で特に光学大規模メモリやそのような応用に用いられるものを約束 する。Extended archive field ω: A major attraction of optical data storage technology is the increasing availability of storage technology (e.g. 10,018 orders of magnetic tape). The machine intended here optical data discs with extended recording lives on the order of 10 years or more. It would be expected that additional "'non-erasable") information would be stored in the meantime. . Such an extended lifespan is a goal that has not yet been achieved with conventional technology. The spirit sincerely desires to do this. The present invention provides such records 4 The promise of life-indicating media, especially those used in optical large-scale memory and such applications. do.

対照的に、ビスマスやテルルのような一般に提案されている吸収体金属はあまり に速く酸化してしまうことが知られており、またさもなくば典型的な使用環境に おいて容易に性能劣化することが知られている;したがってそれらはそのような 記録保存には適さないものである(たとえば、後で引用するASh等による19 81年の論文;およびZechの論説;さらに後で述べる実施例Iによって示さ れるものを参照せよ)。技術者達はテルルが特に乏しい保存安定性を有している ことを認識しており、すなわらその続出信号は短時間で劣化する。この劣化は高 い湿度の環境の下に促進されるもので、典型:的には全体的な光の透過の急速な 増大によって特徴付けられくおそらく金属の一般的な酸化による)、またその金 属フィルム中の選択されたビット位置の゛欠陥位置″で始まる激しい腐蝕によっ て特徴付けられる。そしてビスマスも同様である。In contrast, commonly proposed absorber metals such as bismuth and tellurium are less It is known to oxidize quickly and otherwise are known to easily degrade in performance; therefore, they unsuitable for record keeping (e.g., ASh et al., cited later, 19 1981; and Zech's editorial; further illustrated by Example I, discussed below. ). Engineers believe that tellurium has particularly poor storage stability. It is recognized that the successive signals deteriorate in a short period of time. This deterioration is high Typically promoted under low humidity environments: rapid overall light transmission. (probably due to the general oxidation of the metal), and also that gold Due to severe corrosion starting at the "defect location" of the selected bit location in the It is characterized by And so is bismuth.

延長された記録保存安定性は金などの吸収体フィルムの同様な利用を示すこの発 明によっC説明され、これらの月利はコンピュータ情報ストレージ媒体としての 利用、特に(表■にあるように)コンピュータのためのそのような光学データ・ ディスク記録として用いるのに保存性が優れかつ安定である。Extended archival stability is evidenced by this development indicating similar utilization of absorbent films such as gold. These monthly interest rates are explained by C. Ming. The use of such optical data for computers, especially (as shown in Table ■) It has excellent storage stability and stability when used as a disc recording.

しICがって新規性の特徴として、私は長い保存寿命を示す記録のためにそのよ うな材料の利用を意図づる。すなわち、そのような材料は、典型的なFDPスト レージや使用の間にお【ブる酸化またはそのような雰囲気による劣化に対して優 れているものである。したがって延長されたストレージ寿命にわたって、°゛読 出″に対して十分な反射安定性を保持することによって、記録された情報の゛消 失″が起こらない。しかし、これだけでは実際のストレージ媒体または関連する システムを提供することができず、特に゛良好な″感度も要求される場合は問題 である。本発明はこれについて以後に示す。Therefore, as a novelty feature, I use such products for records that exhibit a long shelf life. The intention is to use eel materials. That is, such materials Resistant to oxidation or deterioration caused by such atmospheres during storage or use. This is what is happening. Therefore, over an extended storage life, reading Erasing recorded information by maintaining sufficient reflective stability against However, this alone does not require the actual storage media or related This is a problem if the system cannot provide the It is. The invention will be described hereinafter in this regard.

ここで示されているrT)llな記録媒体や関連する析出技術は、一般に前述の 基準(こ合一うように、さらに可能な場合は以下の表I【こ示された″′目標性 能基準″の1つまたはそれ以上に合うように意図されるであろ゛う。(Ashと A++enによる” Q ptical p roperties of Te llurium FilmsUsecl ror 1)ata Recordi ng” 、 3 p l l:: pr。The rT)ll recording medium and associated deposition techniques presented here are generally similar to those described above. Criteria (in accordance with (Ash and "Q physical properties of Te" by A++en lurium Films Usecl ror 1) ata Recordi ng”, 3 p l l:: pr.

ceedings、01.222,1980;およびRancourt ニよる 6°[)esign and production of l−elluri umOptical [)at:a [) 1sks” 、 S P I E  ProceCdingS。ceedings, 01.222, 1980; and Rancourt 6°[)sign and production of l-elluri umOptical [) at: a [) 1sks”, S P I E ProceCdingS.

Vol、299,1981.を参照せよ。)疼I(媒1μ」口艷旦遭」− 1、゛高い″感度: 低出力レーザ手段による記録を可能にする。゛感度′″はビット形成(スポット 反則性能における変イしで、媒体中のホールまたは他のボイドあるいはそのよう な変化の形成から生じるようなもので、意図した読取速度で適切な読出を与える )のために必要な最小のレーザ出力として理解される。本発明によれば、典型的 には約40〜60ナノ秒くパルス期間)の時間の5〜15111 Wのオーダの レーザ出力で゛書込″することができる。しかも読出くずなわちW!返し再生) によっても劣化されない。Vol, 299, 1981. See. ) Pain I (medium 1 μ” 口艷dan encounter”) 1. High sensitivity: Allows recording by low power laser means. ``Sensitivity'' is determined by bit formation (spot A change in fouling performance, caused by holes or other voids in the media or the like. such as those resulting from the formation of changes that give adequate readout at the intended readout speed. ) is understood as the minimum laser power required for According to the invention, typical on the order of 5 to 15111 W for a time of approximately 40 to 60 nanoseconds (pulse duration). It is possible to "write" with laser output.Moreover, the read-out waste (W! return reproduction) It is not degraded by

1−A、 高いS/N:(適切な読出):RAMノイズに対する約30〜40d BのM in、ピーク信号のオーダにおける(適切な読出に関するンノイズに対 する信号の91合。1-A, High S/N: (adequate readout): about 30-40d against RAM noise M in of B, on the order of the peak signal (with respect to noise for proper readout) 91st signal.

2、゛記録保存安定性°″;(10年以上の寿命)二“′通常のコンピュータ環 境″において、約10〜15年の間に最小の読出以下に落ち−ることなく(最小 のS/Nを保って)使われまたは保存されることが可能。2. ``Record storage stability °''; (life span of 10 years or more) 2. 10 to 15 years without falling below the minimum readout (minimum can be used or stored while maintaining the same S/N ratio.

3、゛′コンピュータ記録体″: 今日の高速ディジタル・コンピュータとともに動作する能力を意図する。たとえ ば、少なくとも今日の磁気ディスク・ストレージ装置と同じ能力を備える(たと えば、約106ビツト、、’cm’またはそれ以上のビット密度、即ち10−6 以下の生のビット・エラー率″′)。3. ``Computer record'': Intended for the ability to work with today's high speed digital computers. parable for example, at least as capable as today's magnetic disk storage devices (for example, For example, a bit density of about 106 bits, 'cm' or more, i.e. 10-6 Raw bit error rate ″′) below.

4、パ析出可能″: 適切なフィルムが″商業的規模″て析出可能で、再現性のある制御された特性を 示す。4. Possible to deposit”: Suitable films can be deposited on a “commercial scale” with reproducible and controlled properties. show.

5、゛重り被膜(オーバーコート)可能″:吸収体フィルムは被膜を重ねること ができ(たとえば、1000分の数インチまで)、上記の特徴を犠牲をこするこ となく、たとえば、依然として適当な読出を与え、そのフィルムを機械的に保護 しかつ゛表面汚れ″から守る(好ましくは重ね被膜はまた、熱や汚染ガスなどか ら吸収体フィルムを保護する)。5. "Overcoat possible": Absorbent film can be overcoated (e.g., up to a few thousandths of an inch), and the above features can be sacrificed by scraping. for example, still give adequate readout and protect the film mechanically. and protects against "surface contamination" (preferably the overcoat also protects against heat, contaminant gases, etc.) protect the absorbent film from

したがって、ここでの目的は前述のおよび他の関連する特徴や利点を提供するこ とである。より特定的な目的は、″゛アイランド島〉°°またはそのような不連 続な形態の金やそのような吸収体く情報)フィルムの析出を示すことである。も う1つの目的は延長された記録保存ヅI命のみならず低出力レーザに適する良好 な感度を示すようなフィルムを提示することである。さらにもう1つの目的は、 情報層を゛溶解″を必要としない記録に適した記録材の調製を示づ−ことである :すなわち、その記録材のバルクの融点以下に保ちながらパ改変された反射能″ のビット(ビット)の形成。Therefore, the objective here is to provide the aforementioned and other related features and advantages. That is. A more specific purpose may be ``Island'' or such unrelated The purpose of this study is to demonstrate the deposition of continuous forms of gold and such absorbent (information) films. too Another purpose is to provide extended record keeping as well as good performance suitable for low power lasers. The goal is to present a film that exhibits a high level of sensitivity. Yet another purpose is The purpose of this invention is to demonstrate the preparation of a recording material suitable for recording that does not require ``dissolution'' of the information layer. : That is, the reflectance is modified while keeping the temperature below the melting point of the bulk of the recording material. Formation of bits (bits).

図面の簡単な説明 本発明のこれらおよび他の利点や特徴は、添付図面と関連して述べられる以下の 好ましい実施例の詳細な説明を参照することによって、技術音速によりよく認識 されるであろう。添付図面において同一参照符号は同一要素を示す。Brief description of the drawing These and other advantages and features of the invention are set forth below in conjunction with the accompanying drawings. Become better aware of the technology of sound speed by referring to the detailed description of the preferred embodiment will be done. Like reference numbers indicate like elements in the accompanying drawings.

第1図は先行技術による記録媒体の理想化された部分断面図である。FIG. 1 is an idealized partial cross-sectional view of a recording medium according to the prior art.

第2図は本発明の原理による構造を示づ新規な好ましい記録媒体の実力1例の断 面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of one example of the performance of a new preferred recording medium illustrating the structure according to the principles of the present invention. It is a front view.

第3図は好ましいディスク記録体の実施例の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a preferred embodiment of the disc recording medium.

第4図は成る記録ビット位置の理想化された平面図である。FIG. 4 is an idealized plan view of the recorded bit positions.

第5図はもう1つの好ましい実施例の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of another preferred embodiment.

第6図は本発明によって書込まれたもう1つのビット位置の部分の大きく拡大さ れた平面概略図である。FIG. 6 is a greatly enlarged portion of another bit position written by the present invention. FIG.

第7図は2つの実施例に関するλと反射率の関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between λ and reflectance for two embodiments.

第8図はもう1つの実施例の大きく拡大された部分平面概略図である。FIG. 8 is a greatly enlarged partial planar schematic view of another embodiment.

第9図は本発明のもう1つの応用例の機械的概略図である。FIG. 9 is a mechanical schematic diagram of another application of the invention.

第10図、第11図、第12図、および第13図は種々の実施例におけるフィル ムの透過電子顕微鏡写真である。10, 11, 12, and 13 show filters in various embodiments. This is a transmission electron micrograph of the sample.

発明の詳細な説亙 ” T e例″:テルル吸収体;(パ制御″):第1図は光学記録媒体1の理想 化された断面の概略図解であり、通常はテルルに関する文献(たとえば、Ast +の論文)に示されている方法に従って製造されて111flEさせられるもの である。媒体1は支持材2を備えており、その上には゛反則防止″ベースA R を備え、AR上には情報層(“吸収体″)5を備えている。Detailed description of the invention "Te example": Tellurium absorber; (Pa control): Figure 1 shows the ideal optical recording medium 1. is a schematic illustration of a cross-section that has been visualized, usually in the tellurium literature (e.g. Ast. 111flE produced according to the method shown in + paper) It is. The medium 1 is provided with a support 2, on which is mounted an "anti-foul" base A and an information layer ("absorber") 5 on the AR.

好ましくはベースΔRは、パ反射体パ層3を備えており、その上には透光性の“ ′スペーサ層4が載っている。層3と4は、それぞれ、意図された続出/書込波 長における1次反射と1次透過として特徴付けることができる。層3゜4.5は 従来技術で知られているように< A shの論文)、はとんどの可視スペクト ルにわたって低反射(反射防止)設計の多重層を形成することが理解されるであ ろう。Preferably, the base ΔR includes a reflector layer 3, and a transparent “ 'A spacer layer 4 is placed thereon. Layers 3 and 4 are intended follow-on/write waves, respectively. can be characterized as first-order reflection and first-order transmission at long distances. Layer 3°4.5 is As is known in the prior art (Ash paper), most of the visible spectrum It will be appreciated that the Dew.

好ましくは、反射体3はアルミニウムまたはそのようなあり、一方、スペーナ4 は透明な溶融シリカまたはそのような透明な誘電体で、概略4分の1波1Xの厚 さしすなわち、N×λ/4.ここでN=1.3.5など]である。Preferably, the reflector 3 is aluminum or the like, while the spanner 4 is transparent fused silica or such transparent dielectric, approximately 1/4 wave 1X thick. That is, N×λ/4. where N=1.3.5, etc.].

支持材2は、好ましくはコンピュータ・ディスク装置としてディジタル磁気記録 において現在用いられているタイプの研磨されたアルミニウム・ディスクからな り、それは反射体層3の析出のために十分に平滑で平らな表面にするために用い られる有機平滑化層(下地層)2−8が被せられる。The support material 2 is preferably used for digital magnetic recording as a computer disk drive. Made from polished aluminum discs of the type currently used in It is used to make the surface sufficiently smooth and flat for the deposition of the reflector layer 3. An organic smoothing layer (base layer) 2-8 is applied.

これは約1800(から数千)rpmで動作される14インチのディスクで、良 好な表面平滑性(たとえばピーク・ツー・ピークで4X10−’インチ以下のオ ーダ)を漸えるものとして理解されるであろう。This is a 14-inch disk running at about 1800 (to a few thousand) rpm, and Good surface smoothness (e.g. less than 4 x 10-' inches peak-to-peak) It can be understood as a gradual change in

制御されたエネルギと波長の照射(レーザ)ビームがレーザ源りから媒体1へ照 射されて、゛ビット″またはそのような゛′加工″を層5上に形成し、゛′書書 込が(たとえば、仮想線で示された′V″の位置に)なされる。より特定的に言 えば、直径0.8μm (すなわち、8000△または1/Σ)の10m Wの ガウシアン・ビームを用い、45m/sec、でスキャンして、0.8μmの幅 の成る最小長さの゛ビット″(必ずしも円形または他の制御された形である必要 はない)を形成することが必要であろうくしかし、この条件は従来の手段に対し ては厳しすぎる)。A radiation (laser) beam of controlled energy and wavelength is directed from a laser source onto the medium 1. to form a ``bit'' or such ``process'' on the layer 5, (e.g. at the 'V' position shown in phantom).More specifically, For example, a 10 m W with a diameter of 0.8 μm (i.e. 8000△ or 1/Σ) Using a Gaussian beam, scanning at 45 m/sec, 0.8 μm width A minimum length of ``bit'' (not necessarily circular or other controlled shape) However, this condition is (too strict).

第1図の先行技術の記録体1は、主に以下の例の本発明の実施例に関する比較や 識別の手段を与えるために述べられるものである。そしてここで断わりのない限 り、すべての材料や方法や装置は現在良好に実施されている一般に知られている 手段によることを意図している。The prior art recording body 1 in FIG. It is mentioned to provide a means of identification. And unless otherwise specified here All materials, methods and equipment are currently well-practiced and generally known. It is intended by means.

ここで、金属記録フィルム5は゛′透明な″誘電スペーサ4上に析出させられ、 その両方の厚さは周知の低い反射能の構造を形成するように選ばれる(たとえば 13 artol iniの論説;λ−488nmで記録するとき3%以下の反 射能が8QnmのS + 02スペーサ上の5qmのTiによって得られる)。Here, a metal recording film 5 is deposited on a ``transparent'' dielectric spacer 4; The thicknesses of both are chosen to form a structure of known low reflectivity (e.g. 13 artol ini editorial; less than 3% reaction when recording at λ-488nm (obtained by 5qm of Ti on S + 02 spacer with radiation of 8Qnm).

次に、各゛ビット″クビッ1〜)が記録される場合、この゛′反反射防止上下地 高いコントラストの読取に4適した゛′ビット″・を形成するように加工される 。そして記録する波長が変えられる場合は、同様の結果を得るようにそのスペー サ厚さが容易に変えられる。この゛3重層″′またはパダーク・ミラー([)  ark M 1rror ) ”構造における(吸収体5上の)表面反射能は゛ ゼロ″または吸収体厚さとスペーサ厚さを調整することによって選択される値に することができる。ここでパ3重層″は、1つの面上に吸収体を備え、他の面に 反射体を備えた透明なスペーサからなっていると理解できる。Next, when each ``bit'' is recorded, this ``anti-reflection top and bottom Processed to form 4 'bits' suitable for high contrast reading . and if the recording wavelength is changed, the space should be adjusted to obtain similar results. The thickness can be easily changed. This "triple layer"' or Padark mirror ([) The surface reflectivity (on the absorber 5) in the “ark M1rror)” structure is “ to zero” or a value selected by adjusting absorber thickness and spacer thickness can do. Here, the "P3 layer" has an absorbent material on one side and a It can be understood that it consists of a transparent spacer with a reflector.

技術音速はある場合には反則体フィルムが省略することができ(たとえば、゛誘 電体ミラー″によって)、またスペーサ4か他の材料や構造(たとえば、より熱 絶縁的な数層の同様な材料)から形成し1qることを認識するであろう。In some cases the technical sound velocity may be omitted (e.g. electrical mirrors”), as well as spacers 4 or other materials and structures (e.g. It will be appreciated that it is formed from several insulating layers of similar materials).

したがってここで、コーティング・パラメータは、書込ビームがこの吸収体層に 集光されたときに、竿のいわゆるディスクが意図された記録周波数に苅して゛′ 反射防止″条件を適当に備えるように選択される。[それに関しては、Llal ’4jlJm E 1ectronics、 VOI、 QE 14. No  、 7 、 JutV、1978.を見J: ;一般的な先行技術に関しては次 の典型的な文献を見よ: 13 artol ini等による’Qptical [)isk 3ystems Emeroe”、IEEE Spectrum。So here the coating parameters are such that the writing beam hits this absorber layer. When the light is focused, the so-called disk of the rod is tuned to the intended recording frequency. [For that matter, Llal '4jlJm E 1 electronics, VOI, QE 14. No , 7, JutV, 1978. See J:; Regarding general prior art, see: See the typical literature: 13 'Qptical by artol ini et al. [) isk 3 systems Emeroe”, IEEE Spectrum.

△ugust 1978.p、20;および3artoliniによる”Qpt ical Recording fvledia Review ” 、 3P IEp roceedings、\10f、123,1977、l)、2: ” 0ptical 5toraoe fvlaterials and Meth ods”、 SPI E Proceedings、 VOI、 177.0p tical ■nformation 5tora9e、 1979. p、  56゜]好ましくは、析出は層5の反射率が予め決められた反射率レベルに達す るまで熱蒸発によって進められる。△gust 1978. p, 20; and “Qpt” by 3artolini ical Recording fvledia Review”, 3P IEp roceedings, \10f, 123, 1977, l), 2:” 0ptical 5toraoe fvlaterals and Meth ods”, SPI E Proceedings, VOI, 177.0p tical ■nformation 5tora9e, 1979. p, 56°] Preferably, the deposition is such that the reflectance of layer 5 reaches a predetermined reflectance level. The process proceeds by thermal evaporation until

技術音速が知っているように、これは経験的になされることが可能で、または層 5が析出されるときく引用したZechの文献に述べられている析出技術を参照 せよ)吸収体フィルムの反射率を(たとえば、参考試片上で)連続的に監視する ことにより可能であり、あるいは析出監視のための同様の適当な光学的技術によ っても可能で、さらに析出した質量の監視のように一般に知られている他の方法 や電気的特性によっても可能である。As the technology knows, this can be done empirically, or by layer When 5 is precipitated, refer to the precipitation technique described in the frequently cited Zech literature. ) Continuously monitor the reflectance of the absorber film (e.g. on a reference specimen) or by similar suitable optical techniques for precipitation monitoring. It is also possible to use other commonly known methods such as monitoring the deposited mass. This is also possible depending on the electrical characteristics.

こ−うして、被覆されたディスク2上へアルミニウムの不透明層3を蒸着するこ とができる(すべての光学的特性かのレーデ・スペクトルに関して選ばれる)。Thus, depositing an opaque layer of aluminum 3 onto the coated disk 2 (selected with respect to the Rede spectrum of all optical properties).

次に、SiO2(溶融シリカまたはそのような°゛透明″誘電体)の層4が層3 上に制御された厚ざまで蒸着され、この厚さは動作波長のλ。に関連しているく ここでは、1/4λ。または3/4λ。のいずれかよりわずかに小さいものであ る)。Next, a layer 4 of SiO2 (fused silica or such a "transparent" dielectric) is applied to layer 3. is deposited on top to a controlled thickness, this thickness being at the operating wavelength λ. related to Here, 1/4λ. or 3/4λ. is slightly smaller than either ).

層4上には吸収体フィルム5が意図された反射率を生ずる厚さまで蒸着される( 以下を参照せよ)。On layer 4 an absorber film 5 is deposited to a thickness that yields the intended reflectance ( (see below).

記録媒体1の反射能は、各ビット位置II V I+で書込レーザ[−からの照 射ビームによって改変されて、適当な手段で検知する場合、その゛ボイド領域″ V(すなわちパビットパ〉は従来技術において知られているように比較的パ高い 反射率のスポット″としてその周囲の低い反射率の″非ボイド″のバックグラウ ンドから識別することができる。The reflectivity of the recording medium 1 is determined by the illumination from the writing laser [-] at each bit position II V I+. If modified by the radiation beam and detected by appropriate means, the "void region" V (i.e. Pabit Pa) is relatively high Pa as is known in the art. A ``non-void'' background of low reflectance around it as a ``spot of reflectance'' It can be identified from the

たとえば、3ellの米国特許第4.285.056号はそのような媒体を述べ ており、そこでは吸収体層と透過スペーサ層の両方にあいた゛′穴″として記録 され、それらの穴とそれらの間にある露出く照射)されていない領域の長さは周 波数情報を伝達する特定の情報トラックに沿って変化させられる。この特許に1 よまた、通常の蒸発技術または電子ビーム蒸発技術を用いて析出させられる種々 の材料(たとえば、チタン、ロジウム、白金、金、ニッケル、クロム、マンガン 、およびバナジン)が挙げられている。これに比べて、K eezer等の米国 特許第4.183,094号は、そのようなビットを形成することなくパ干渉変 化″を生じるTe −Ga −8e −8材料上へのレーザ記録を述べている。For example, U.S. Patent No. 4.285.056 to 3ell describes such a medium. where the holes are recorded as holes in both the absorber layer and the transparent spacer layer. and the length of those holes and the unexposed area between them is the circumference. It is varied along a particular information track that conveys wavenumber information. 1 for this patent There are also various types deposited using conventional evaporation techniques or electron beam evaporation techniques. materials (e.g. titanium, rhodium, platinum, gold, nickel, chromium, manganese) , and vanadine). In comparison, in the United States, K. Patent No. 4,183,094 discloses a method for making interference changes without forming such bits. describes laser recording on Te-Ga-8e-8 material, which results in "oxidation".

しかしながらBe1lのは、そのスペーサ層が書込ビームによって加熱されるこ とが必要であるということにおいて本件の意図するところと異なっている。つま り、彼のスペーサ層はそれ自身除去されるためにくずなわら、さもなくばその中 にボイドを形成するために)あるいは分解または昇華さゼられるに充分なほど加 熱されねばらず、そして上の層(たとえば、金の層)を取除り゛′バブル″を生 成するに充分なガスを生じる必要がある。本件の場合、本質的にはビームのエネ ルギは類似のスペーサ層によって吸収される必要はない。However, Be1l's spacer layer is heated by the writing beam. This differs from the intent of this case in that it is necessary. wife , the spacer layer itself has to be scraped to be removed, otherwise (to form voids in the The top layer (e.g. gold layer) must be heated and removed to create a ``bubble''. It is necessary to generate enough gas to achieve this. In this case, essentially the beam energy lugi need not be absorbed by a similar spacer layer.

テルルは、技術者一般に好まれる゛低融点/低伝導性″金属である。なぜならば 、それは優れた感度を示し、したがって必要な(スレッショルド)レーザ書込出 力が小さくてよいと考えられているからである。Tellurium is a ``low melting point/low conductivity'' metal that is generally favored by engineers because , it shows excellent sensitivity and therefore the required (threshold) laser writing output This is because it is thought that the force is small.

たとえばこの考えは、Be1l と[3artoliniの米国特許第4.22 2,071号で述べられており、そこでは同様のテルルのフィルムがその上に書 込むのに15m Wのオーダのレーザ出力を必要とするものであるとして特徴付 けられている(これは約20%の光学効率を仮定して適切な続出を達成するため であり、この目標は記録されたビデオ信1号を約40〜50dBのS/Nで再生 を可能にするか、または゛′放送品質″の読み戻しを可能にすることである。) 。For example, this idea is illustrated by Beil and [3 artolini U.S. Pat. No. 4.22] No. 2,071, where a similar tellurium film was written on it. Characterized as requiring a laser output on the order of 15 mW to penetrate (This assumes an optical efficiency of about 20% to achieve adequate successive outputs.) The goal is to reproduce the recorded video signal with an S/N of approximately 40 to 50 dB. (or enable ``broadcast quality'' readback). .

[それらはまた、固体のGa −A (J、−ASの照射レーザを指定し、直径 約1ミクロンの連続的ビームを記録表面へ与える。その間、記録表面はビームに 対して動き続ける。]米国特許第4,222,071号は、その吸収体がTOの ような″低融点金属”でなければならないことを強調している(また、パ連続的 フィルム″として析出されるべきで、″顕微鏡的に集塊”であってはならない: すなわち、明らかに以下のようなパアイランド″または゛島状の″形態であって はならない)。[They also specify a solid-state Ga-A (J,-AS irradiation laser, with diameter A continuous beam of about 1 micron is applied to the recording surface. Meanwhile, the recording surface is exposed to the beam. keep moving against it. ] U.S. Pat. No. 4,222,071 discloses that the absorber is made of TO. It is emphasized that the material must be a “low melting point metal” such as Should be deposited as a ``film'' and not ``microscopically agglomerated'': In other words, it clearly has the following "pa-island" or "island-like" form. ).

吸収体層5の調製;(第1図): 吸収体層5は好ましくは比較的薄いテルルの層からなって83す、それはスペー サ層4(その記録表面は比較的平滑で、λ、/ 20以下である)上へ(熱的に 蒸発させられて)蒸着される。その1eは好ましくは大きなバッチ・コーティン グ・チャンバを用いて高真空中で蒸発させられて、より良い均一性を確保づるた めに大きなコーディング距離とサブストレードパ2重回転″などが採用され、た とえばソースのために高融点金属のボードが用いられる[1.2111の箱型の コーティング・チャンバが△shの文献で用いられているコ。すべての塵や汚れ は、最も厳格な゛′クリーン・ルーム″技術を用いて厳しく減少されねばならな い。Preparation of absorber layer 5 (Fig. 1): The absorber layer 5 preferably consists of a relatively thin layer of tellurium 83, which is free of space. (Thermal evaporated) and deposited. 1e is preferably a large batch coating The slag is evaporated in high vacuum using a vacuum chamber to ensure better uniformity. In order to achieve For example, a high melting point metal board is used for the source [1.2111 box-shaped board] The coating chamber used in the Δsh literature. all dust and dirt must be severely reduced using the most rigorous “clean room” techniques. stomach.

サブストレート2は、望ましい平滑さまで研磨されてかつ薄い反射層3の析出を 受入れるに適した平滑さまで゛サビング(subbing :下塗り〉′”2− 8でコーティングされた(意図した照射スペクトルに関して少なくとも“動作部 分″における高い反射能)平らなアルミニウム板からなつ約600Aが好ましい )が満足のいくものであることがわがった。アルミニウムは完全な反射体ではな いので、おる場合には゛多重積層の誘電体″またはそのようなもので置換え得る ことを技術者j幸は認識するであろう。The substrate 2 is polished to the desired smoothness and deposited with a thin reflective layer 3. Subbing (priming) to a level suitable for acceptance 2- 8 (at least for the intended irradiation spectrum) 600 A is preferred, made of a flat aluminum plate. ) was found to be satisfactory. Aluminum is not a perfect reflector. If so, it can be replaced with ``multilayer dielectric'' or something like that. Engineers will recognize this.

同様にしてスペーサ4が反射体3上に析出させられる。Spacers 4 are deposited on the reflector 3 in a similar manner.

スペーサ4は誘電体材料で、それはレーザ・スペクトルのパ動作部分″に対して 1ヒ較的透明である。約1583Aの蒸着Sin、(二酸化珪素)が本目的(た とえば、λ−6328Aでの書込/読出)に関して満足するものであることがわ かった。テルルの吸収体層5は、意図する記録レーザ・スペクトルの高い吸収体 として理解される(たとえば、典型的には25%の吸収性;30%の反射性;約 45%のビーム・エネルギの透過:3層打消しのためにそれは反射J:りも多く 透過しな【プればならない)。吸収層5の厚さはスペーサ4の厚さに依存する。Spacer 4 is a dielectric material, which 1. It is relatively transparent. Approximately 1583A of vapor-deposited Sin, (silicon dioxide) was used for this purpose (silicon dioxide). For example, it was found to be satisfactory in terms of writing/reading with λ-6328A. won. The tellurium absorber layer 5 is a high absorber for the intended recording laser spectrum. (e.g., typically 25% absorptive; 30% reflective; approx. Transmission of 45% of beam energy: due to 3 layer cancellation it is reflected Don't be transparent. The thickness of the absorption layer 5 depends on the thickness of the spacer 4.

透過される光が減少させられるべき場合、ノペーナ厚さは増大させられることが 望まれるであろう(NXλ/4周期;おそらく熱損失も減少づることか望まれる であろう)。If the light transmitted is to be reduced, the nopena thickness can be increased. would be desirable (N Will).

技術音速は、低融点と比較的短い熱発散長さく低い伝導性)を有するTe吸収体 5を照射レーザ・エネルギの保存の助けとなる良好なパ高感度″材料と考えてい る。レーザ・ソース1−からのよ込ビームが層5のV′”位置へ注がれるとき、 そのエネルギの成る小さい部分は反則され、他の小さい部分は吸収され、大きな 部分が透過される。透過した部分は層3によって反射されて〈主に)層5内に吸 収される。したがって、入射エネルギと反射されたエネルギの両方がフィルム5 を加熱し、透過損失を最小にする(注:5の析出は゛′3重層”を形成する)。Te absorber with low melting point and relatively short heat dissipation length (long and low conductivity) 5 is considered a good "high-sensitivity" material that helps conserve the emitted laser energy. Ru. When the read beam from the laser source 1- is focused on the layer 5 at the V''' position, A small portion of that energy is deflected, another small portion is absorbed, and a large Parts are transparent. The transmitted part is reflected by layer 3 and (mainly) absorbed into layer 5. will be collected. Therefore, both the incident energy and the reflected energy are absorbed by the film 5. is heated to minimize transmission loss (note: the precipitation of 5 forms a ``trilayer'').

吸収体厚さまたは均一性における変動は、細心に除去されるべきである。なぜな らば、この変動は吸収体フィルム中に吸収される書込エネルギを減少させ、かつ 感度を劣化させるからである。Variations in absorber thickness or uniformity should be carefully eliminated. Why If so, this variation will reduce the writing energy absorbed into the absorber film and This is because sensitivity deteriorates.

結果: 本目的に関して、゛°感度″は指定された最小の続出を与えるに十分な反射能( または同様の続出特性)を変えるのに必要な書込エネルギEWとして理解される 。result: For our purposes, "sensitivity" is sufficient reflectivity ( or similar successive characteristics) is understood as the writing energy EW required to change the .

集光された書込ビームの強度や露出時間は、必要な読出品質などを与える(■位 置での)反射能において指定された変化を生しさせるのに十分なだけ吸収体層5 の温度を背部するものであると理解される(たとえば、それによって先行技術に おいて技術省達に知られているような適当なコントラスI〜またはS 、/ N 比が実現される)。約15MH2のバンド幅に関する40〜50dBの典、鎧的 なS/N比(ビーク・ツー・ピーク信号対RMSノイズ)を参照せよ。The intensity and exposure time of the focused writing beam are determined to give the required readout quality, etc. absorber layer 5 sufficiently to produce a specified change in reflectivity (at (e.g., thereby reducing the temperature of the prior art) any suitable contrast I~ or S, /N as known to the Department of Technology in ratio is achieved). 40-50dB typical for a bandwidth of about 15MH2, See signal-to-noise ratio (beak-to-peak signal to RMS noise).

ザ(He −Ne >ビームで行なわれ、その記録時間は30〜470ナノ秒( 通常は10mWで40ナノ秒または約400pJ)である。これは、低出力で読 出すときに最小の適切な続出または約40+dBのS/Nを生じるように意図し ており、たとえば、その出力は同じまたは同様のレーザ装置を用いてjqられる 1 50〜500pJ/cm2 (1)J= 10− ” watt−sec  、またt、J ジュール) テアル。コノ意図された組上げに関1ノで、レーザ は直径約1/2から1ミクロン(すなわち、5000〜10000A)のビット 位置へ集光されて約40ナノ秒の書込パルスを仮定ターる[背温から冷IIまで 60ナノ秒であり、これは1800rpII+の回転のディスクに適応するとと もに関連するガルボミラー(galvo−mirror)集光特性にも適応する ]。The recording time is 30 to 470 nanoseconds (He-Ne). Typically 40 nanoseconds at 10 mW or about 400 pJ). This can be read at low power. It is intended to produce a minimum adequate follow-up or approximately 40+dB S/N when outputting. e.g., its output can be jqed using the same or similar laser equipment. 1 50-500 pJ/cm2 (1) J=10-” watt-sec , also t, J Joule) Theal. At the first stage of the intended assembly, the laser is a bit with a diameter of about 1/2 to 1 micron (i.e. 5000 to 10000A) Assuming a write pulse of about 40 nanoseconds focused on the position [backwarm to cold II] 60 nanoseconds, which corresponds to a disk rotating at 1800rpII+. It also adapts to the galvo-mirror light collection characteristics associated with ].

記録体1はそのようにして記録される。(文献などにおける比較し得る状況のも のに関して)そのTeフィルムは比較的低出力レーザ・パルスで十分に溶解する ことができて、よく知られているパビット″または゛クレータ(crat1〜3 %のバックグラウンドに対して約50%のビット反射率)与えるが、ごくわずか の″ノイズ″も伴なう。The recording body 1 is recorded in this way. (Comparable situations in literature, etc.) ) The Te film is sufficiently melted by relatively low power laser pulses. The well-known "pavit" or "crater" (crat1~3) gives about 50% bit reflectance against % background) but very little Also accompanied by "noise".

そのような゛ビット・ビット″は実際にボイドを形成するようである(たとえば 、ASllの文献中の写真を見よ。それは2〜10mW、100ナノ秒のレーザ ・パルスで記録された同様のTeフィルム中の゛クレータ゛°である。そこでは 反射モードにおいて用いられたl−eの250Aのフイ過率、37%の吸収率を 示したとされる。)。しかし、そのようなTeフィルムは連続的な層として析出 されるという事実にかかわらず゛ビット・ビット”<v>の形成はそれを包囲す るリム(rim)を伴なうとその文献に述べられている。そして、このリムは前 述の“ノイズ″と密接な関係があると考えられている。It appears that such "bit-bits" actually form voids (e.g. , see the photo in the ASll literature. It is a 2-10mW, 100ns laser - A crater in a similar Te film recorded with a pulse. Where The filtration rate of 250A of le used in reflection mode, the absorption rate of 37% It is said that it was shown. ). However, such Te films are deposited as a continuous layer. Despite the fact that It is stated in that document that the rim is accompanied by a rim. And this rim is the front It is thought that there is a close relationship with the "noise" mentioned above.

明らかに、成る最小昇温時間内の成る最小書込エネルギE、lv (たとえば、 40ナノ秒以内の約10mWのレーザ)が適切な゛ホール″を形成するために必 要である(たとえば、高出力をあまりゆっくりと与えると吸収体の熱は逃げ去っ て、したがって゛ビット″が書込まれない。)。Obviously, the minimum writing energy E, lv within the minimum heating time (for example, About 10 mW of laser power (within 40 nanoseconds) is required to form a proper “hole”. (For example, if high power is applied too slowly, the heat from the absorber will escape.) Therefore, the ``bit'' is not written.)

そのような″ホール″または″′ビット″は第1図において“v″でホールの位 置として暗示されている。そして、少なくとも吸収体材料5のいくらかが明らか にそのビット位置で軟化して移動し、そこの厚さを減少させて反射能を増大きせ る(少なくともそれは従来技術か教えるものである:たとえば、△shの文献お よび引用された米国特許第4゜222.071@を児よ)。Such a "hole" or "bit" is indicated by the position of the hole at "v" in Figure 1. It is implied as a position. And at least some of the absorber material 5 is clear It softens and moves at that bit location, decreasing the thickness there and increasing the reflectivity. (At least it is prior art or what is taught; for example, the △sh literature and and cited U.S. Pat. No. 4,222,071@).

そのようなスポットは従来技術で知られている手段で読出すことができる;たと えば、同様のレーザ盗用いて低出力で(たとえば、上述のレーザを用いて3mW で)。(適当な光検知器で)受取られる反射エネルギにおける増大(よ記録され たビットを表わす出力信号を生じるように検知される。これらのビットはバック グラウンドから容易に識別できる。もちろんこの読取]−ネルギはそのように記 録されたビットを°゛消消去法たは撹乱するには不十分なものである。[注;読 出は、Teの表面で反射された光に対してパビット深さ″が位相変化を生じて、 それによって最大のコントラス1〜を1qるような周波数f、で行なわれる。] EUiUJLえLl: 私は、文献に述べられたように(たとえば、Δshの文献の酸化などを参照せよ )この°’re配録体”′の記録保存安定性&;J =しく乏しく゛ことを知っ た。たとえば、知られている温度・湿度の周期の下に、記録体1(層5上に保護 膜のないもの)は約2〜3週間でその反射能が50%増大し、これは主に酸化な どによることが明らかである(゛ホール″は゛高い″相対的反射率を有すべきで あるが、酸化はホール間の゛″バックグラウンド反射率″を増大させ、必要な5 27Nを喪失させる。)。例1のTeフィルムはそのような゛時効(エージング )′″の後の全体的な光透過における急速な増大によって特徴付けられることが わかるであろう。Such spots can be read out by means known in the art; For example, similar lasers can be used at lower powers (e.g. 3mW using the laser mentioned above). in). An increase in the reflected energy received (with a suitable photodetector) is sensed to produce an output signal representing the bits that have been detected. These bits are back Easily identified from the ground. Of course this reading] - Nergi is recorded as such. This is insufficient to erase or perturb the recorded bits. [Note; reading In the output, the Pavit depth'' causes a phase change for the light reflected on the surface of Te, This is done at a frequency f such that the maximum contrast is 1q. ] EUiUJL: I am using the oxidation method as stated in the literature (see e.g. the oxidation of ) I know that the storage stability of this recording is poor. Ta. For example, under a known temperature/humidity cycle, recorder 1 (protected on layer 5) (without membrane) increases its reflectivity by 50% in about 2-3 weeks, which is mainly due to oxidation. It is clear that (the ``hole'' should have a ``high'' relative reflectance) However, oxidation increases the ``background reflectance'' between holes and reduces the required 5 27N is lost. ). The Te film of Example 1 has such "aging" )′” can be characterized by a rapid increase in overall light transmission after You'll understand.

これは、おそらくその金属の一般的な酸化のみならず、その金属フィルム中の゛ ′欠陥位置″か−う始まる激しい位置選択的な腐蝕によるものである(MIL  5PEC#810−Bによる同様のテストを参照)。This is probably due to not only the general oxidation of the metal, but also the This is due to intense location-selective corrosion that begins at the 'defect location' (MIL). 5PEC#810-B).

これは前述の“記録保存メモリ″の要件(通常のコンピュータの動作/保存条件 に約10年さらされる:表Iを児よ)に対して非常に不適当である。This is based on the above-mentioned “record storage memory” requirements (normal computer operating/storage conditions). It is very unsuitable for children (see Table I) for about 10 years.

実施例 以下の例は本発明によるアイランド・フィルム形態の“°低温″′吸収体のいく つかの典型的な利用や利点を示すものである。その利点や特徴は、上述の” T e例″と比較することによって、よりよく評価されるであろう。Example The following examples illustrate some of the “°cold” absorbers in the form of island films according to the present invention. It indicates some typical uses and benefits. Its advantages and characteristics are mentioned above. It will be better evaluated by comparing with "Example e".

例■;金による吸収体;第2図: テルルのフィルム5の代わりに゛金吸収体″のフィルム15が用いられるという 特徴以外は、新規な記録体10(第2図)において上述の゛”le例″の動作、 材料、方法。Example ■; Absorber made of gold; Figure 2: It is said that a gold absorber film 15 is used in place of the tellurium film 5. Other than the characteristics, the operation of the above-mentioned "le example" in the new recording medium 10 (FIG. 2), Materials, methods.

および構造がここで再び繰返される。and the structure is repeated here again.

記録体10は支持体12を備え、その上にはパ反射防止″ベース1−△R(第1 図のARと同様、好ましくは反射層13を備え、13上には透過スペーサ層14 が載っている)が載っており、サブストレート1−AR(そのスペーサ14)上 に吸収体フィルム15が被せられている。The recording body 10 includes a support 12, on which a reflective anti-reflection base 1-△R (first Like the AR shown in the figure, preferably a reflective layer 13 is provided, and a transparent spacer layer 14 is provided on 13. ) is placed on the substrate 1-AR (its spacer 14) An absorbent film 15 is placed over the top.

ここで、その特徴によれば、吸収体15は吸収体フィルムとして機能するように 析出(“’l−e例′におりるTBフィルムに幾分類似;たとえば、幾分類似の 過程で類似の手段によって)させられた″アイランド層″からなる″金″のフィ ルムからなっている。ここで、析出の間に非常に深い注意が吸収体厚さを制御す るために払われて、さらに以下に述べられるような意図した最小の゛ダーク・ミ ラー″反射率R(たとえば、ここでは10%が選ばれる)を形成する。重要なこ とは、第11図(Teの10万倍の顕微鏡写真)に示されて後程)ホへられるよ うに、フィルム15が最適の結果のためにアイランド状態に不連続に形成されて いることである。Here, according to its characteristics, the absorber 15 functions as an absorber film. Deposition (somewhat similar to the TB film in 'l-e example'; e.g. ``gold'' filaments consisting of ``island layers'' formed (by similar means in the process) It consists of Lum. Here, very deep care is taken to control the absorber thickness during deposition. the intended minimum “dark mirror” as described below. form the reflectance R (e.g. 10% is chosen here). is shown in Figure 11 (100,000 times Te micrograph) and will be shown later. In addition, the film 15 is formed discontinuously into islands for optimum results. It is that you are.

その他の点では、下に横たわるスペーサ層141反射体層13.およびサブスト レート12は(少なくとも機能的に)”le例″と同じであり、したがって先行 技術において理解されているように(たとえば、引用された文献を見よ)吸収体 15を伴なった゛′3重層″として機能すると考えられる。Otherwise, the underlying spacer layer 141 reflector layer 13. and subst Rate 12 is (at least functionally) the same as the "le example" and is therefore absorber as understood in the art (see e.g. cited references) It is believed that it functions as a ``trilayer'' with 15.

したがって、金吸収体フィルム15は、好ましくはSiO2スペーナ4の表面上 に金を蒸着することによって形成される。それはよく知られている″゛3重層′ ″効果を監視しながら)5の表面反射能が予め選択された値Rm (ここでは1 0%の反射率)へ下がるまで“島状″構造を形成するように注意して行なわれる 。反射率RITlは適切なパ書込″と読出に適応する値に都合良くセットするこ とが可能である。ここで、約10%(このレーザの適当な焦点会わせなどのため の最小値)は随意的に選択された。幾分驚くべきことに、(Te例におけるよう な)前述のレーザ・ビームを用いた“書込″が前述のような適切な続出を与える に十分な反射率の変化(すなわち、パ書込まれた″スポットは25〜55%の反 射率を示し、25〜40dB範囲のめられるS/Nを生じる;ある場合には30 〜50%増で十分である)を生じることがわかった。技術音速は、゛バージン( 未使用または最初の)″吸収体フィルムに対して、他のどのような゛堰小反射率 ″の埴が選択し得るかを認識するであろう。Therefore, the gold absorber film 15 is preferably applied on the surface of the SiO2 spanner 4. It is formed by depositing gold on. It is the well-known ``triple layer'' The surface reflectivity of 5 (while monitoring the effect) is set to a preselected value Rm (here 1 Care is taken to form an “island” structure until the reflectance drops to 0% (0% reflectance). . The reflectance RITl can be conveniently set to a value that accommodates the appropriate parameter writing and reading. is possible. Here, about 10% (due to proper focusing of this laser, etc.) ) was chosen arbitrarily. Somewhat surprisingly, (as in the Te example ) "Writing" with the laser beam described above gives the appropriate sequence as described above. change in reflectance sufficient to indicates the emissivity and yields an acceptable S/N in the range of 25 to 40 dB; in some cases 30 ~50% increase is sufficient). The technical speed of sound is ``virgin ( unused or first)” relative to the absorber film, any other ゛weir small reflectance ``You will recognize that the clay can be selected.

吸収体層15の調製;(第2図): 吸収体層15はスペーサ層14(づなわら、比較的平滑面上;たとえば、その0 .52の記録表面)上へ(熱的に蒸発させられて・)蒸着された非常に薄いパア イランド析出′″の金からなっている。やや予期しなかったことであるが、10 %の“最小反射率”R111までこの゛3重層コーティング″上金が析出される 場合、″アイランド″゛が形成されて、意図された1ノー If&込ビーム(6 3,38△、10mW。Preparation of absorber layer 15 (FIG. 2): The absorbent layer 15 is arranged on the spacer layer 14 (on a relatively smooth surface; for example, its .. 52 recording surfaces) deposited (by thermal evaporation) onto Somewhat unexpectedly, 10 Gold is deposited on this ``triple layer coating'' up to a ``minimum reflectance'' of R111 of %. In this case, an “island” is formed and the intended 1 no. 3,38△, 10mW.

40ナノ秒)に照射されたとき、反射率が著しく変化する(全く望ましく、また 全く予期しなかったことである);それは適当な続出のために全く十分である( たとえば、約10%から約25〜55%へ増大ザる;以下の結果の詳細な議論を 参照せよ)。40 nanoseconds), the reflectance changes significantly (which is entirely undesirable and It was quite unexpected); it is quite sufficient for a suitable sequel ( For example, increasing from about 10% to about 25-55%; see detailed discussion of results below. (see).

したがって吸収体フィルム15は、好ましくは現在の好ましい技術を用いてスペ ーサ層14上に真空蒸着される(たとえば、“紳″金か大きな真空チャンバ内で 約10−6〜10−7Jorr 、の真空度て析出され、それは抵抗加熱される モリブデン・ボートを用いて約5〜10△/ SeCの析出速度で行なわれる) a tEtしくは、シリカ層14もそれ自体同様に金のフィルム15を蒸着される前 に真空蒸着される。すべてのリブストレートは光学的薄いフィルムのためのこの 良好な実施に従って清浄化される。The absorber film 15 is therefore preferably fabricated using currently preferred technology. vacuum deposited (e.g., "gold" in a large vacuum chamber) onto the surface layer 14. It is deposited at a vacuum level of about 10-6 to 10-7 Jorr, and it is resistance heated. (performed using a molybdenum boat at a deposition rate of approximately 5-10△/SeC) a Alternatively, the silica layer 14 may also be coated with the gold film 15 before being deposited on it as well. is vacuum deposited. All rib straights are optically thin film for this Cleaned according to good practice.

(熱蒸発による)この析出は、フィルム15の反射率として予め決められた゛最 小反射率レベル”(Rm)が得られるまで必要な゛′アイランド″形成を進める ことが重要である。さもなくば目的とする結果が得られないであろう。This precipitation (due to thermal evaporation) is caused by a predetermined maximum reflectance of the film 15. Proceed with the necessary “island” formation until a small reflectance level (Rm) is obtained. This is very important. Otherwise, the desired result will not be obtained.

技術音速が知っているように、これは経験的に、または満足のい<″アイランド ″が現われるまで吸収体フィルム15が析出さぼられる間の参考試片の表面反射 率を連続的に監視することによって行なうことができる(引用されたZ ech の文献において彼によって述べられている析出技術、または析出した質但あるい は析出中の電気的特性を監視するような他の知られている方法による技術を参照 せよ)。As technology knows, this cannot be done empirically or without Surface reflection of the reference specimen while the absorber film 15 is deposited until `` appears. This can be done by continuously monitoring the rate (cited in Z ech The precipitation technique described by him in the literature, or the precipitated quality or refer to techniques with other known methods such as monitoring electrical properties during deposition Do it).

血1: 結果は、特に予期した特性に照らして、また” T e例″において前述のよう にvA製されたTe吸if!2体のような従来の媒体と比較して、非常に驚くべ きものである。すなわち、記録体101.Jその上に記録されて、続出されて、 ” T e例″におけるようにその感度などが測定されて評価されたくたとえば 、前述のタイプの1−(e−Neレーザ・システムを用いて〉。そのように書込 まれたビット位置は゛′集塊ホール″のようであるくそこでは、吸収体が゛集塊 ″に形成され、吸収体材料はホールの周囲あるいはそれを越える方向へ移動させ られる)。穴の直径は読取ビームの直径と比較し1qるもので(たとえば、その 174〜3/4)、反射率における同様の増大や高い出力信号を示す。Blood 1: The results are consistent, especially in the light of the expected properties, and as described above in "Te Example". Te sucking made by vA! Very surprising compared to traditional media like 2 bodies. It is a kimono. That is, the recording body 101. J It was recorded on it, and it was published one after another, For example, if the sensitivity is measured and evaluated as in "T e example", , using a 1-(e-Ne laser system) of the type previously described. The bit position where the absorber is placed is like an “agglomeration hole” where the absorber is “agglomerated”. ” and the absorber material is moved around or beyond the hole. ). The diameter of the hole is 1q compared to the diameter of the reading beam (e.g. 174-3/4), showing a similar increase in reflectance and higher output signal.

第6図はそのような顕微鏡写真で児られるような゛集塊ホール″<または゛擬似 ピッ1〜″)を示す美術的な表現である。ここで、゛′集塊ホール”15Pは概 略円形の担込まれたスポットとして、ま/ζは書込まれていないバージンの吸収 体フィルム15v中の物理光学的不一連続として理解されるであろう。スポット 15pはレーザ・ビーム直径のオーダ(たとえば、その40〜120%)であり 、その周囲に゛リム″または部分的なリムを含む。リムの内側は、通常は比較的 少ない吸収体材料が存在している;そこに存在するものは吸収体小球gcに集塊 化されて見られ、その多くのものは比較的大きいものである(たとえば、多くの ものはバージン・フィルム15vや第11図の小さな゛′アイランド″より大き くて、通常比較的遠く離れた所にはわずかしか存在しない)。要するに、スポッ ト15pは選択された読出波長(λW)に対する゛光学的ホイド″または不連続 性をI!lJ或し、一方、バージン・アイランド・フィルム15vは比較的連続 のく部分的)反射体として理解されるであろう。Figure 6 shows the ``agglomeration hole'' < or ``pseudo This is an artistic expression that shows the ``Agglomeration Hole'' 15P. As a roughly circular loaded spot, Ma/ζ absorbs unwritten virgin material. It will be understood as a physical-optical discontinuity in the body film 15v. spot 15p is on the order of the laser beam diameter (e.g. 40-120% of it) , containing a ``rim'' or partial rim around its periphery.The inside of the rim is usually relatively Less absorber material is present; what is present is agglomerated into absorber globules gc many of which are relatively large (e.g., many The item is larger than the virgin film 15v or the small ``island'' in Figure 11. (usually only a few exist over relatively large distances). In short, spot 15p is an "optical hoid" or discontinuity for the selected readout wavelength (λW). I love sex! lJ or, on the other hand, Virgin Island Film 15v is relatively continuous It will be understood as a (partial) reflector.

したがって、技術音速はそのような″゛集塊ホール″15Pがテルルについて知 られているもののような従来のビットと機能的に等価であり1nることを認識す るであろう(Te例および引用文献を児よ)。Therefore, the technical speed of sound is such that such "agglomeration hole" 15P is known for tellurium. Recognize that it is functionally equivalent to traditional bits such as (see examples and references).

後で詳述されるように、そのような″島状″吸収体フィルムは優れた記録体を形 成し得ることがわかる;著しい記録保存安定性、予期できぬほど高い感度、およ び高いS/Nを備え、一方、驚くほど低い書込エネルギおよび明らかに低い書込 温度を要するだけであり、さらに重ねコーティングに対して明らかに良好な対応 性を有している。[、ここで有用なオーバコーティングは実際の有用性の範囲を 越えて動作性能を劣化させはしない。現在、下e吸収体については劣化し、おそ らくこの理由は吸収体材料物質の相対的な移動を明らかに必要としているからで あろう。これに対比して、本発明は、ビット位置からその吸収体のほとんどまた はすべてをそのように移動させる必要なしに、読取ビームを通すためのビット・ ホールを°゛記録る″すなわち′あける″ことができるということに技術音速は 気付いて心地良く驚かされるであろう。本発明は単に゛集塊化″することによっ て実施することができ、したがってピッ1ル位置内で吸収体を再配列させるが、 そのビット位置の外側へはほとんどまたは全く材料を移動さぼる必要がなく、あ るいはその領域外へ取除く必要はない。]詳細は以下に与えられている。As detailed later, such "island" absorber films form excellent recording media. It shows what can be achieved; remarkable archival stability, unexpectedly high sensitivity, and and high S/N, while surprisingly low write energy and significantly lower write Requires only temperature and clearly supports overcoating It has a sexual nature. [, where useful overcoating limits the range of actual usefulness to The operating performance will not be deteriorated by exceeding the limit. Currently, the lower e-absorber is deteriorating and is likely to The reason for this is that it clearly requires relative movement of the absorber material. Probably. In contrast, the present invention provides almost all of its absorber from the bit position. bits to pass through the read beam without having to move everything that way. The technological speed of sound lies in the fact that holes can be recorded or drilled. You will be pleasantly surprised to find out. The present invention is achieved by simply "agglomerating" It can be carried out by There is little or no need to move material outside of that bit location; There is no need to remove it outside the area. ] Details are given below.

吸収体フィルムのアイランド形状: 第11図は、上述のような金吸収体フィルムの最初のバージン(ずなわち、その 上に記録されていない)反射表面の顕微鏡的平面図(10万倍の透過電子顕微鏡 写真)である。この表面は物理的に不連続または部分的に不連続な゛島状″構造 のように見え、かなり均一なパターン(SiO2スペーサ上のセミアイランド) を示していることが明らかであろう。この例■に関して、アイランドは数100 直径を有しており、それと同様な寸法の間隔で隔てられていることがわかるであ ろう(たとえば、5000〜100・フィルム15は、成る′″%%ボイド″′ 範囲すであろう(たとえば、数%から10%のボイド)。Island shape of absorber film: FIG. 11 shows the first virgin of the gold absorber film as described above. Microscopic plan view of the reflective surface (not recorded above) (Transmission electron microscope at 100,000x magnification) photo). This surface is a physically discontinuous or partially discontinuous “island” structure. It looks like a fairly uniform pattern (semi-island on SiO2 spacer) It is clear that it shows. Regarding this example ■, the number of islands is several hundred. It can be seen that they have a diameter and are separated by intervals of similar dimensions. Wax (for example, 5000-100% film 15 consists of '''%% void''' (e.g., a few percent to 10% void).

今、前述のようなレーザ記録ビームへこのバージン・フィルムの一部をさらせば 、これらの゛アイランド″を゛集塊化″させ、その位置の゛′パーセント・ボイ ド冒′を増大させ(より大ぎなアイランド間隔)、いくらかのアイランド物質を その位置から周辺部へまた周辺を越えて排出しく噴出物eを見よ)、成る場合に はそこへく小さな、必ずしも連続的ではない)゛′リム″を形成する。こうして 第6図のよ′うな゛集洩ホール″を形成する。ここで、この過程は゛集塊化″と して特徴付けられる。Now, if we expose a portion of this virgin film to a laser recording beam as described above, , these ``islands'' will be ``agglomerated'' and the ``percent void'' at that location will be reduced. Increase the deforestation (larger island spacing) and add some island material. If the ejecta ejected from that position to the surrounding area or beyond the surrounding area (see e), forms a small (not necessarily continuous) ``rim'' there. A "collection hole" as shown in Figure 6 is formed.Here, this process is called "agglomeration". It is characterized as

このパアイランド″構造は予期されなかった。さらに驚くべぎことは通常の″記 録特性″が実現されたことと、゛バルクの金′″の特性が示すものと全く異なっ た効果を示したことであった。This pie island “structure” was unexpected. What is even more surprising is that The fact that the “recording properties” have been realized is completely different from those shown by the “bulk gold” properties. The results showed a positive effect.

上述のように、ODD吸収体フィルムを゛′アイランド″構造に形感することは 、文献では述べられていない;それのみならず文献は本イ1の良好な実施と相反 するものである(たとえば、米国特許第4,222,071号が明らかにしてい るように;上記の議論を見よ)。As mentioned above, creating an ``island'' structure in the ODD absorber film is , is not stated in the literature; not only that, but the literature contradicts good implementation of this I. (e.g., as disclosed in U.S. Pat. No. 4,222,071) (see discussion above).

そのよ−うなアイランド形成を制御する少なくともいくつかの第1次因子は:  吸収体材料、析出速度、付着;サブストレートの材料と状R(たとえば、清浄さ 、粗さ、など)および温度:゛核生成層″の存在、蒸気汚染物の存在(真空度) 、およびそのような因子であり、それらは技術音速によって認識されることであ ろう。たとえば、あまりに冷たいサブストレートでは連続的なフィルムを形成し 、しかしあまりに高温では全くフィルムを形成しないであろう。At least some of the primary factors controlling such island formation are: Absorber material, deposition rate, adhesion; substrate material and shape (e.g. cleanliness) , roughness, etc.) and temperature: presence of “nucleation layer”, presence of vapor contaminants (degree of vacuum) , and such factors, and they are to be recognized by the technical speed of sound. Dew. For example, a substrate that is too cold may form a continuous film. , but at too high a temperature it will not form a film at all.

この点に関して、技術音速は第12図と第13図を第11図と比べることができ る。第12図において、先行技術で知られているように核生成のための酸化ビス マス層で覆われたシリカのサブストレートを除けば(例Iのように)同様なフィ ルムが形成されている。第13図も同様であって、代わりにクロムの核生成層が 用いられている。第11図と比へて、第12図はより広い間隔の薄いアイランド を示しムである(アイランドはない〉。In this regard, the technical speed of sound can be compared to Figures 12 and 13 with Figure 11. Ru. In FIG. 12, bis oxide for nucleation is shown as known in the prior art. A similar fibre, except for the silica substrate covered with a mass layer (as in Example I) A rum is formed. Figure 13 is similar, with a chromium nucleation layer instead. It is used. Compared to Figure 11, Figure 12 shows thin islands with wider spacing. (There are no islands).

引用されたレーザ装置はく引用された出力レベルで)第13図のフィルム上に全 りパ潜込む″ことができなかった;一方、第12図のフィルムはわずかに低い感 度を除(プば第11図(例■)のものと同様に書込むことができた。The laser device quoted (at the power level quoted) is fully exposed on the film in Figure 13. On the other hand, the film in Figure 12 had a slightly lower impression. It was possible to write in the same way as in Figure 11 (Example ■) except for degrees.

技術音速はそのような“アイランド″パターンが(読出/摺込条件のような因子 を考慮して;たとえば書込エネルギ、ビーム幅、/l、など)あるめられる結果 を与えることができることを認識するであろう。こうして例■において、約40 00〜10000人の直径の満足のい<゛′ビット・ホール″が特定の書込ビー ムなどを用いて形成される(満足のい<S/Nなどを与える)。The technical speed of sound depends on such "island" patterns (factors such as readout/printing conditions). (e.g. writing energy, beam width, /l, etc.) You will realize that you can give Thus, in example ■, about 40 A satisfactory bit hole with a diameter of 0 to 10,000 can be (gives a satisfactory S/N, etc.).

大きすぎるがま、たけ小さすぎるアイランド直径は、満足のいくものでないと推 測されるであろう。より特定的に言えば、バージンのアイランドの寸法や間隔は 記録に際して前述の集塊化に適したものでなければならず、平均アイランド直径 は連続体フィルムになりつつあるものよりも遥かに小さいくすなわち、十分な間 隔二 個々のアイランドを熱的に隔離するパーセント・ボイド):さらにそのア イランドの寸法は選択されたλ(R、/ Wレーザ)に対して(比較的連続の) ゛光学反射体″のように吸収体フィルム15が′見える″ように十分な大きさく %ボイドが十分小さい)である必要がある。間隔が十分であるなら、スポットが レーザ加熱(その上に書込まれる)されるとき、フィルム15に“光学的スイッ チ″を生じるように前記の“集塊ホール″を形成し、検知される反射率において 茗しい変化を示すように゛集塊化″するであろう。その著しい反射率の変化はめ られるS/Nなどと対応し、ずなりも、゛スポット″が゛相対的に透明″になり 、そして従来の゛ビット″のように、関連する光学システムに対して相対的な゛ 開口″(透明)となる。It is recommended that an island diameter that is too large or too small is unsatisfactory. It will be measured. More specifically, the dimensions and spacing of virgin islands are When recording, it must be suitable for agglomeration as described above, and the average island diameter is much smaller than what is becoming a continuum film, i.e. 2. Percentage void that thermally isolates individual islands): Furthermore, the area The dimensions of the field are (relatively continuous) for the selected λ(R,/W laser) Large enough so that the absorber film 15 can be ``visible'' like an ``optical reflector.'' % void must be sufficiently small). If the spacing is sufficient, the spot When laser heated (written on), the film 15 has an “optical switch” The above-mentioned "agglomeration hole" is formed so as to produce a "ch", and the detected reflectance is It will be ``agglomerated'' showing a subtle change.The remarkable change in reflectance is expected. Corresponding to the S/N, etc., the ``spot'' becomes ``relatively transparent''. , and like a traditional ``bit'', the ``bit'' relative to the associated optical system. Opening'' (transparent).

前述の他には、ここで、書込ビームはビット位置内のアイランドに作用して″“ 集塊化″を生じかつ(通常は)それに伴なって平均アイランド寸法および間隔の 増大(増加させられた%ボイド領域)を生じる。初期の(バージン)%ボイドは 、意図した放射状の最小の熱損失に十分適応し、かつ初期反射率(Ro)がめら れるパはぼゼロ値(゛ターフ・ミラー″としてめられる)を越えるほど大ぎくな いと推定される。In addition to the above, the writing beam now acts on the islands within the bit locations to agglomeration” and (usually) an associated increase in average island size and spacing. resulting in an increase (increased % void area). The initial (virgin)% void is , sufficiently accommodating the intended minimum radial heat loss, and with an initial reflectance (Ro) of The resulting power is so great that it exceeds the zero value (referred to as a ``turf mirror''). It is estimated that

もちろん、その光学的下サブストレートに3重層が形成される場合、その吸収体 ・スペーサ・反射体は、実際上、反射能を増大さける(たとえばここで、約10 %から約30%へ)。Of course, if a triple layer is formed on the optical lower substrate, the absorber ・The spacer/reflector actually increases the reflective power (for example, here about 10 % to about 30%).

通常、この書込操作は、要するにビット位置の吸収体物質をかなり除去するため に、その吸収体フィルムへエネルギを与えるものである。こうして、書込まれて いないスポットが25%吸収、45%透過、30%反射を示J場合、゛書込まれ た″スポットはその書込波長に関してこれらの値をそれぞれ約30%、10%、 60%へ変えるであろう。Typically, this write operation essentially removes a significant amount of absorber material at the bit location. In addition, it provides energy to the absorber film. In this way, it is written If the spot shows 25% absorption, 45% transmission, and 30% reflection, then The ``spot'' has these values about 30%, 10%, and 10%, respectively, with respect to its writing wavelength. It will change to 60%.

このパ書込″はパーセントボイド(領域)を増大させるので、その書込ビームは 明らかにその書込スポットのアイランドへエネルギを与え、それらアイランドの 平均寸法を増大させ、かつそれらの平均間隔をも増大させる(すなわち、それら はより少ない数のアイランドへ″集塊化″すところで、゛アイランド形態の薄い 金属フィルム″は、文献において一般的命題としていくらかの注目を受けていた くたとえば、□ oremusによるこれと同じ題名の文献、J。This write beam increases the percent void (area), so the write beam Obviously it gives energy to the islands of that writing spot and the increase their average dimensions and also increase their average spacing (i.e., their ``agglomeration'' into a smaller number of islands; ``metallic films'' have received some attention as a general proposition in the literature. For example, the article with the same title by □ oremus, J.

Ap+1.Physics: June 1966、Vol、37.#7゜P2 775以下を見よ。そこでは金のフィルムが述べられテイル。; Truong 等によル”Qptical QOnStanlS of△ggregated  gold F ilm ”、Journal of Qptica13ocie ty Am 、Vol、66、#2. Febrllary 1976、P12 4以下も見よ。そこでは金のフィルムが300℃に熱せられたガラス・サブスト レート上に蒸着で形成され、その著音速は“粒子それら自身がバルクの光学定数 を有していると仮定しても妥当である′と考えている。;A nderssOn とN、ormanによる’ 3 truciral and E 1ectri cal P roperties of D 1scontinuous G  oldl”11m5 on Glass” 、 Vacuum 、 VO+、  27. #4. 1977、 pergamon press、 Qreat  [3ritain、も見よ。Ap+1. Physics: June 1966, Vol, 37. #7゜P2 See below 775. There the gold film is mentioned and tailed. ; Truong Qptical QOnStanlS of△ggregated gold F ilm”, Journal of Qptica13ocie ty Am, Vol, 66, #2. February 1976, P12 See also 4 below. There, a gold film was heated to 300 degrees Celsius on a glass substrate. The particles are formed by vapor deposition on the surface of the particles, and their remarkable sonic speed is determined by the fact that the particles themselves have bulk optical constants. We believe that it is reasonable to assume that the ;AnderssOn and N, orman's 3 trucilal and E 1ectri cal P properties of D 1 continuous G oldl"11m5 on Glass", Vacuum, VO+, 27. #4. 1977, pergamon press, Qreat [See also 3ritain.

それはそのようなフィルムの電気抵抗を調べてd5す、この抵抗がバルクの金の 抵抗より大きいことを示している。)。It examines the electrical resistance of such a film and determines whether this resistance is the same as that of bulk gold. This shows that it is greater than the resistance. ).

しかし、金または池のいずれかの金属のそのような″゛アイランドフィルム″を ODDレーザ記録媒体として用いることが何らかの利点を備えているということ を誰も発見できなかったようである。実際、技術音速は゛連続的″吸収体フィル ムのみを意図していたようである。(たとえば、引用した米国特許第4,222 ,071号を児よ。それは吸収体が゛′集塊化″されてはならず、゛連続的フィ ルム″でなければならないことを示している。;またはI BM−TDB、Ma rch 197L P4O10を見よ。それは連続的゛金+アモルファス副層の ような金属層パを示しており、そのアモルファスはシリコンのようなものである 。これらの層は金、結晶質シリコン、およびアモルファス・シリコンの混合物″ を形成するように111熱される。)。However, such “island film” of either gold or pond metal That there are some advantages to using it as an ODD laser recording medium. No one seems to have discovered it. In fact, the technical speed of sound is determined by a "continuous" absorber filter. It seems that it was intended only for (For example, cited U.S. Pat. No. 4,222 , No. 071, child. That is, the absorber must not be ``agglomerated'' and must be a ``continuous fibre''. or IBM-TDB, Ma See rch 197L P4O10. It is a continuous gold + amorphous sublayer. It shows a metal layer like that, and its amorphous state is similar to silicon. . These layers are a mixture of gold, crystalline silicon, and amorphous silicon'' 111 is heated to form. ).

そのような゛″島状″吸収体フィルムを形成するパ3重層構造″上にそのような ゛′最小反射率″析出を私が形成したのは全(思いがけない偶然であった。さも なくば、私は、長い使用野分にわたって十分な感度とS/Nを示すそのようなO DD記録体を提供することtよできなかったであろう(以下参照)。Such a layer is formed on the triple layered structure forming such an “island-like” absorber film. It was entirely by chance that I formed the ``minimum reflectance'' precipitate. Without such an O It would not have been possible to provide a DD record (see below).

ところで、前述のように、そのような″゛アイランド″吸収体フィルムはやや異 常で、奇妙にも比較的低いエネルギのパ書込パルス″によって影響され、金の公 表されている溶融点まで加熱していないことが明らかであるのに、そのアイラン ドが拡がって再集塊化する。これは文献によって予想されるものではない!。By the way, as mentioned above, such "island" absorber films are somewhat different. The gold public The iron is clearly not heated to its stated melting point. The soil spreads and reagglomerates. This is not what is expected by the literature! .

多くの技術音速は、薄い金属フィルムがバルクの金属の性質を示すであろうと仮 定してきた。わずかの人達は、それと異なって、成る性質(ODディスク記録体 に関係付(プられたものではないが)は辰なるであろうと述べてきた。Many technologies hypothesize that a thin metal film will exhibit properties of the bulk metal. have been established. A few people have different characteristics (OD disc recording). I have said that the relationship (though not the one drawn) will be a dragon.

そして、技術者は、そのような゛アイランド゛吸収体フィルムが(前述のような >00デイスクにおいてどのように機能するかを確信することができなかった。And engineers believe that such "island" absorber films (such as those mentioned above) Couldn't be sure how it would work on >00 disks.

技術音速は、そのようなアイランド・フィルムがレーザ書込することができて、 そのような゛′東塊ホール″を形成することがいかに驚くべきことかを認識する である・う。むしろ人は、書込位置において軟化された材料をそのように拡げる ″ためには吸収体フィルムの連続性が必要であると予想するかもしれない(たと えば引用したZ echの文献が前提としているようにそのビット位置を引き拡 げる:゛表面張力″が゛平面向寒み″を生じる)。The technology is sonic that such island films can be laser written, Recognizing how amazing it is to form such a ``Tokyo Hole'' Yes, it is. Rather, one spreads the softened material at the writing position in such a way that One might expect that continuity of the absorber film would be necessary for For example, if the bit position is expanded as assumed in the cited Z ech document, Geru: ``Surface tension'' causes ``plane cooling'').

それは゛’Te例″におけるテルル記録体の記録保存安定性より優れていること がわかった(さらに従来知られているいずれのテルル記録体よりも優れている) 。たとえば、〈周期的な昇温/高i!i1爪の環境の下の)゛時効″テストで光 学的反射能におりる変化を監視すれば、このへUフィルムが、類似するテルルの フィルムより著しく安定であることがわかるであろう。技術音速は金のフィルム がここで述べた厳しい“記録保存″条件に十分適することをよく認識そのような 成る金吸収体が、吸収体として十分なほど゛敏感″であり得たということは大ぎ な驚ぎであった。すなわちこの場合、情報は、5〜15mW/10〜100ナノ 秒(または100〜1000p、J、)の出力で、その金3重層上に十分にパ書 込む″ことが可能である。これはまことに驚くべきことで;それは理論的な予想 される感度レベルより)本かに高く、文献が教えるものとは誠に異なるものであ る。It is superior to the record storage stability of the tellurium recording medium in the ``Te example''. (and better than any previously known tellurium recorder) . For example, <periodic temperature rise/high i! i1 under the nail environment) light in the ``aging'' test Monitoring of changes in optical reflectance shows that this HeU film is superior to that of similar tellurium. It will be found to be significantly more stable than film. Technology sound speed is gold film It is well recognized that such It is highly unlikely that a gold absorber composed of It was a great surprise. In other words, in this case, the information is 5-15 mW/10-100 nanometers. (or 100 to 1000p, J,) output, which is sufficient to print on the gold triple layer. This is truly surprising; it defies theoretical predictions. The level of sensitivity shown is actually quite high (as compared to the level of sensitivity reported) and is very different from what the literature teaches. Ru.

すなわち、Teのようなよく知られて受入れられている゛良好な吸収体”と比較 して、金は比較的高い(バルクの)融点(Teの約4.50℃に対して約106 3℃)を有し、また優れた熱伝導性(Teのそれは非常に乏しく二金は最高に属 する)を有する。したがって人は、金吸収体が実際には全く感度を示さず、テル ルの感度に比べて遥かに劣ると予想するであろう。i.e. compared to well-known and accepted "good absorbers" such as Te. Therefore, gold has a relatively high (bulk) melting point (about 106°C compared to about 4.50°C for Te). 3℃), and has excellent thermal conductivity (that of Te is very poor, while that of dimetallic metals is the highest). have). One might therefore conclude that the gold absorber is actually not sensitive at all and that One would expect that the sensitivity would be far inferior to that of the standard.

ずなりも文献は、チタンより遥かに優れた感度を有するものとしてテルルを賞賛 しており、チタンは金のように高い融点を有するがTeのような乏しい熱伝導性 を有する。Zunari literature praises tellurium as having far superior sensitivity than titanium. Titanium has a high melting point like gold but poor thermal conductivity like Te. has.

それでは、なぜ金が吸収体として比較し得るのであろう?(たとえば、Teはい ずれの金属よりも最も低い熱伝導性を有し、一方今の熱伝導性はTeの約100 倍であり、CUと八〇だけが金より高い熱伝導性を示ずだ【プである)。So why is gold comparable as an absorber? (For example, Te yes It has the lowest thermal conductivity than the other metals, while the current thermal conductivity is about 100% that of Te. Only CU and 80 do not exhibit higher thermal conductivity than gold.

1つの理由(以下参照)は異なった書込機構(゛ピッ(へ形成″または″書込″ )が関係しているのかもしれない。One reason (see below) is that different writing mechanisms (“forming to” or “writing”) ) may be related.

それに関連する理由は、前述のような金のフィルムの“アイランド″形態かもし れない。フィルムの反射能を変えるためには、予想されるより逃かに低い書込エ ネルギ、または″バルクの金″の性質が示すものより逃かに低い書込エネルギを 明らかに必要とする。A related reason is the “island” form of the gold film as mentioned above. Not possible. In order to change the reflectivity of the film, it is necessary to energy, or much lower write energy than the nature of “bulk gold” would suggest. Obviously you need it.

低温記録: 大きな驚きは、示された″反射率変化″がそのような低い(書込〉出力レベルで かつ明らかにそのような低い温度で起こることである(この徴候は約300℃で 起こり、それは金の公表されている融点の1063℃よりかなり低く、これは金 のアイランドがポリマーに析出させられてその上に記録されるという例によって 確められている。なぎならそのポリマーの融点はこの1063℃よりかなり低い からである。以下の例を参照Iよ)。これは、吸収体として、金のような゛°高 高融点材材料すなわち、優れた保存特性を有し、したがって長いか命にわたって 腐蝕や性能の劣化などの危険性を軽減する材料)に技術音速の注目を向けさせる かもじれない。Low temperature record: The big surprise is that the ``reflectance change'' shown is at such low (write) output levels. and clearly occurs at such low temperatures (this symptom appears at about 300°C). occurs, which is considerably lower than gold's published melting point of 1063°C, which is By example, islands of are deposited on a polymer and recorded on it. It's confirmed. The melting point of Naginara's polymer is much lower than this 1063℃. It is from. (See example below). As an absorber, it can be used as a High melting point material i.e. has excellent storage properties and therefore for a long or lifetime Materials that reduce risks such as corrosion and performance deterioration) will draw attention to technology Maybe.

もちろん、そのフィルムの島状構造によって、この明らかに減少された融点を説 明できるかもしれないし、また(よパ溶W?”以外の書込機構を働か眩ているの かもしれず、まだ誰も確信はない。1つの理論ににれは、そのようなアイランド は高い内部エネルギを有しているので、比較的小さい書込ビーム・エネルギでそ れらの“分裂″′を引起こずことができ、したがって″それらを融解させる″必 要なく集IfA化さすことができる。Of course, the island structure of the film explains this apparently reduced melting point. I'm not sure if I can use a writing mechanism other than "Yopa-ryu W?" Maybe, but no one is sure yet. One theory is that Nire is such an island. has a high internal energy, so a relatively low writing beam energy can without causing their “splitting” and thus eliminating the need to “melt them”. It can be made into a collection IfA without any need.

とにかく技術音速は、明らかにそのような新規な゛金吸収体″の利用性を歓迎す るであろう。なぜならば、よく知られている方法での製造、析出、および取扱い の容易さに加えて、優れた記録保存安定性およびコンピュータ・ディスク記録体 としての利用適合性(たとえば、表I参照)によるのみならず、金の上に通常の ″変調″を書込みにおいて特別でユニークな利点をもたらすからであるくたとえ ば、その吸収体ビット位置を従来の溶融点温度まで加熱する必要がない)。また 、書込エネルギや記録温度におりる減少も高く評価されるであろう;これらは3 声かに少ないエネルギの“レーザ書込″の可能性と、より小さなビット領域への 書込の可能性を約束する。この理由のために、スペーナ(および何らかの被覆材 )は以下に議論されるように比較的低熱容量の良好な熱絶縁体である場合が最良 であると考えられる。In any case, the speed of sound technology clearly welcomes the availability of such novel "gold absorbers". There will be. Because of the well-known manufacturing, precipitation, and handling In addition to the ease of storage, excellent storage stability and computer disk recording Not only due to its suitability for use as ``Modulation'' is often referred to as ``modulation'' because it offers special and unique advantages in writing. (e.g., there is no need to heat the absorber bit location to conventional melting point temperatures). Also , the reduction in write energy and recording temperature will also be appreciated; these are 3 Possibility of “laser writing” with significantly less energy and writing to smaller bit areas Promises the possibility of writing. For this reason, a spanner (and some cladding) ) is a good thermal insulator with a relatively low heat capacity as discussed below. It is thought that.

上述の゛’Te例″における丁e吸収体の場合のように、吸収体フィルムの溶解 (加工)に特有の強烈な熱や巨視的な変化を必要とせずに(たとえば、吸収体材 料のそのような大ぎな移動を必要とせずに)ビットが記録されるというシステム は技術音速に歓迎されるであろう。Dissolution of the absorber film, as in the case of the Tee absorber in the ``Te example'' above. (for example, absorbent material) without the need for intense heat or macroscopic changes typical of A system in which bits (without requiring such large transfers of material) are recorded. will be welcomed by the speed of technology.

オーバコーティング;効果“ ゛王e例″ではTe吸収体フィルム上に5in(100これは1つの擬似オーバ コート・のようであったが、技術音速が望むような種類の真の機能的なオーバコ ート(たとえば、表面の塵や埃などをぼかし:水や酸素のような蒸気の進入を防 ぎ;さらに書込熱を保持するなどのためのもので、引掻き傷を生じること、なく 取扱えて記録できる1000分の数インチの透明なポリマー)を与えはしなかっ た。このS10コートは゛ビット形成″に影響を与えなかったが、必要な書込エ ネルギを約2倍に増大させたくおそらく、それがビット位置のTeフィルムを押 え付けて、そこのTe祠の移動を阻害するからであろう。)。Overcoating; Effect“ In the "Example", 5 inches (100 mm) was applied on the Te absorber film. It was like a coat, but a true functional overcoat of the kind that TechSonic wants. (e.g., blurring dirt and dust from surfaces; preventing the ingress of vapors such as water and oxygen) Also, it is used to retain the heat of writing, so it does not cause scratches. does not provide a clear polymer (a few thousandths of an inch) that can be handled and recorded. Ta. This S10 coat did not affect the "bit formation", but required writing You probably want to increase the energy by about 2 times if it pushes the Te film at the bit position. This is probably because it is attached and obstructs the movement of the Te shrine there. ).

技術者達は、<Teにおけるビットや他の金属におけるバブルなどのような)パ 加工記録″がどのような“オーバコート″によっても阻害されるであろうと予想 してきたくたとえば、そのオーバニー1−がピット位置から吸収体を排除するこ とを妨げ、いかなる゛噴出物(エジェクタ)″をも妨げる。)。Engineers have discovered that patterns such as bits in Te and bubbles in other metals It is expected that the "processing record" will be obstructed by any "overcoat". For example, if you want to remove the absorber from the pit position, and prevent any ``ejector'').

しかし、例Iのような金のフィルムが同様にオーバコートされたとき、そのよう な障害はほとんどあるいは全・り規われず、感度がほんの少しだけ劣化した。こ れは異なったタイプのビット形成機構が働いている証拠である。However, when a gold film like Example I is similarly overcoated, such There were few or no disturbances, and the sensitivity was only slightly degraded. child This is evidence that different types of bit forming mechanisms are at work.

これは、その瞬間記録機構が全く新規なものであるという考えを強化し、これに は技術者達も同意するであろうくアイランド物質の加工や移動が゛ビット″のそ のような低出力書込に伴なうとしてもオーバコートによってその書込機構が阻害 されることは少なく、これは前述の゛″集塊化と矛盾するものではない)。これ はそのような吸収体の魅力を増大さける。なぎならば、オーバコーティングに影 響されないということは、非常に重要なことだからである。This reinforces the idea that the instantaneous recording mechanism is entirely novel, and this Engineers would agree that the processing and movement of island materials is Even if it is accompanied by a low-power write like (This is consistent with the above-mentioned agglomeration). increases the attractiveness of such absorbers. If it is Nagi, there is a problem with overcoating. This is because not being affected is extremely important.

゛バルクのAu ”の特性の喪 : 前記の例■やその他に基づくもう1つの特徴として、そのような(金の)パアイ ランド・フィルム″吸収体が、その報告されている“バルクの″(金の)特性か ら予想されるようには搬舞わないこ・とがわかるであろう(たとえば、熱の半行 方向の伝導が重要ではなさそうである)。そのような゛島状フィルム特性″の発 見は重要であり、さらに以下で議論する。Mourning of the characteristics of “Bulk Au”: Another feature based on the above example ■ and others is that such (gold) paai Is the land film “absorber” compatible with its reported “bulk” (gold) properties? It can be seen that heat does not spread as expected (for example, heat directional conduction does not seem to be important). The development of such “island film characteristics” The view is important and will be discussed further below.

これらの゛集塊ホール″′ (反射スイッチ)はその吸収体く金の)溶融温度よ りかなり低い温度で形成されるよ′うであり、それは吸収体の排除とほとんどま たは全く関係なく、さらにその書込は遥かに小さな書込エネルギしか必要としな いようである。These ``agglomeration holes'' (reflective switches) It appears to be formed at a fairly low temperature, which is almost identical to the expulsion of the absorber. Or it doesn't matter at all, and furthermore, the write requires much less write energy. It looks ugly.

通常、そのような島状吸収体フィルムはODディスクを形成するために利用し得 ると技術者達は予想するであろう(たとえば、表Iの要件のすべてまたはほとん どを満足す純金の代わりに、受石の錫を含む金で(蒸着された)吸収体を構成す ること以外は例【と同様である。これは蒸着の都合でラミネート(ramina te)として施される: @初に金2次に錫、その次に金(あるいは錫と金の2 重層を加えてもよい)。加熱によって、この゛′ラミネー1〜″はALI/Sn 合金を形感するように相互拡散するであろう(はとんどが金で、したがって°′ 金の特性″が優勢であろう)。Typically, such island-like absorber films can be utilized to form OD disks. (e.g., all or most of the requirements in Table I) Instead of pure gold that satisfies the This is the same as the example except for the following. This is a laminate (lamina) for vapor deposition reasons. applied as te): @ first gold, second then tin, then gold (or two of tin and gold) (Additional layers may be added.) By heating, this “laminate 1~” becomes ALI/Sn. They will interdiffuse to form an alloy (mostly gold and therefore °' properties of gold will prevail).

このAu /Snフィルムが例■のアイランド・フィルム(第2図の15)と置 換えられて、同様にその上に書込まれる。効果は例1と定性的には同様であった が、逃かに優れた保存性と幾分劣った感度を示した。This Au/Sn film is placed with the island film of example (15 in Figure 2). and written on it as well. The effect was qualitatively similar to Example 1. However, it showed excellent storage stability and somewhat poor sensitivity.

AUの付着性: 金のアイランドは、シリカに全く弱くしか付着していないことも観察されたくた とえば、容易に拭ぎ取ることができる)。また、より良い熱絶縁のために透明の ポリマー・スペーサで置換えたとき、金はほとんど全(付着しなかった(粘着係 数がO)。Adhesion of AU: It was also observed that the gold islands were only weakly attached to the silica. (e.g., can be easily wiped off). Also transparent for better thermal insulation When replaced with a polymer spacer, almost all the gold (no adhesion) The number is O).

したがって、薄い錫の゛′ストライク(strike) ” (アイランド形態 の予備蒸着;例酊参照)が考えられて゛核生成フィルム″として施され、そして これはカラス上に形成されたくそれに続いて八〇のアイランドが蒸着される)。Therefore, a thin tin “strike” (island form) A pre-deposition of This should be formed on top of the glass, followed by the deposition of 80 islands).

後程ポリマーのスペーサが用いられた。例■が示すように、結果は、特にポリマ ー・サブストレートで非常に有望であった(金のイ」着性は大きく改善され、し かもそのアイランド構造は変化しなかった)。Polymer spacers were used later. As example ■ shows, the results are particularly - The adhesion of gold to the substrate was greatly improved; (maybe the island structure did not change).

例m:snフラッジ]、 (flasll ) 、/ポリマー上にAU(第5図 ): 透明なポリマーくたとえば、デフロン)がスペーサとして用いられて錫フラッシ ュ(“ストライク″、粘着促進剤として)が純金の吸収体の下へ挿入されること 以外は例I(第2図)と同様であることを第5図は示している。したがって以前 のように、我々はディスク212、そのデ′イスク上のサビング@212−3、 次に反射体213.(透明なテフロンまたはそのようなポリマーの)スペーサ2 14゜および吸収体15(アイランド形状の純△u ;しがしアイランドの3n の層ST上に蒸着されている)からなる3重層の2−八Rを有する。この上に以 前と同様に書込まれた。Example m: sn fludge], (flasll), /AU on polymer (Fig. ): A clear polymer (e.g. DEFRON) is used as a spacer to connect the tin flash. (“strike”, as an adhesion promoter) is inserted under the solid gold absorbent body. FIG. 5 shows that everything else is similar to Example I (FIG. 2). Therefore before As in, we have disk 212, subbing@212-3 on that disk, Next, reflector 213. Spacer 2 (of clear Teflon or similar polymer) 14° and absorber 15 (island-shaped pure △u; Shigashi island 3n 2-8R (deposited on top of the layer ST). On top of this Written as before.

艶1: 例■と同様であるが、金の付谷性、感度、続出、および保存性が太き(改善され た。ずなわら、その金(アイランド)は、そのサブストレート(透明なポリマー ・スペーサ上の3nアイランド)へしっかりと付着した。感度と続出が大きく改 善されて、したがって、この3nストライクはくポリマーへの)付着性を改善す るのみならず光学的続出を高めるためにも働くと考えられ、それは少ながらず驚 くべきことである。Gloss 1: Same as Example ■, but gold has thicker (improved) troughability, sensitivity, continuation, and preservability. Ta. Zunawara, the gold (island) is the substrate (transparent polymer). ・It adhered firmly to the 3n island on the spacer. Sensitivity and successive changes have greatly improved. Therefore, this 3n strike film has improved adhesion (to polymers). It is thought that it not only works to improve the optical success rate, but also to increase the optical success rate, which is no small surprise. This is something that should be done.

そのような驚くべき光学的効果の1つが第7図に示されており、それ(ま波長に 対するバージンのアイランド・フィルムの反則率(および屈折率)である。例■ のような純金のアイランド吸収体は、曲線Δで描かれたような屈折率の変化と曲 線Bのような反射率/λ特性を示す。これは明らかにHe−Neレーザ・スペク トル(6338人)の上方や下方では良好に動作しないことを示している(たと えば、ODディスクの必要なフォーマット形成は44oO人などでは実行不能で 、その代わりにQa−△Sレーザを用いても実行不能である)。全り驚<べきこ とに、Sn (アイランド)ストライクを与えれば、曲線Cで示されたように、 その吸収体の反射のカーブを゛平坦化″するように働く。One such surprising optical effect is shown in Figure 7, and it This is the fouling index (and refractive index) of the virgin island film. Example■ A pure gold island absorber, such as It shows reflectance/λ characteristics like line B. This is clearly a He-Ne laser spec. (6338 people) indicates that it does not work well above or below the For example, the necessary formatting of an OD disk cannot be performed by a 44 degree person. , it is also not viable to use a Qa-ΔS laser instead). Completely surprised If a Sn (island) strike is applied to this, as shown by curve C, It acts to "flatten" the reflection curve of the absorber.

技術習性は、そのよ−うな増大された照射帯幅がいかに重要か認識するであろう 。Technicians will recognize how important such increased beam width is. .

例I (SI O2上のt’1ljAu >の記録保存性は若干不十分であるく たとえば、水蒸気の浸入に対する抵抗において不十分;これはおそらく非常に弱 い何着性にょる)。一方、この、A、u/Snアイランド構造は逼かに優れてい る。Example I (t’1ljAu on SI O2) has slightly insufficient record keeping properties. For example, it is insufficient in its resistance to water vapor ingress; this is probably very weak. How many people wear it). On the other hand, this A, u/Sn island structure is extremely superior. Ru.

もちろん、ポリマーは非常に熱劣化しやツ<;シたがって(Sn 、それに続く Δ(Jのための)蒸着ステップはその温度限界(〜100 ’C)以下に保たれ る。そのような金フィルム(はここで説明されたような“記録保存″条件に耐え 得るに違いない。そのような゛′金記録体″は、意図された典型的な保存や使用 の条件の下に、10年のオーダにわたって適当な続出(30+d B)を維持で きるように設計さ例■が再現される。しかし保護用オーバコートとして、その吸 収体層15上に透明なポリマーのスーパーコートが施される。Of course, polymers are highly susceptible to thermal degradation and therefore (Sn, followed by Δ(for J) The deposition step is kept below its temperature limit (~100’C) Ru. Such gold films (which can withstand "archival" conditions such as those described here) I'm sure you'll get it. Such ``golden records'' are Under the conditions of ■Example designed to be reproduced. However, as a protective overcoat, A transparent polymer supercoat is applied onto the acquisition layer 15.

■: 感度がわずかに劣化することを除けば例■と同様で、一応合格である。オ ーバコーティングに対するそのJ:うな許容性は注目ずべき特性で:技術におい て非常に望まれるものである。■: Same as Example ■ except that the sensitivity deteriorates slightly, so it is passed the test. O Tolerance to carbon fiber coatings is a remarkable property: in technology This is highly desirable.

伊 ° と口 で く ム金が日時 看されたちの:(同様の少量の%の)錫が (予備的な“′ストライク″としてでなく)金と同時に析出させられることを除 【プば、例■と同様である。It was said that the date and time of the gold was: (a similar small amount of %) tin. except that it is deposited simultaneously with gold (rather than as a preliminary “strike”). [This is the same as example ■.

結果: 例■と全く同様である。Result: Exactly the same as Example ■.

例■;例■と同様であるが、Si 02がポリ二二ヒにでいる: 5i02の薄い層がポリマーのスペーサ214(第5図)上に重ねられることを 除けば例■と同様で、その3i 02上に3nのストライクか蒸着されて、次に 金が蒸着される。Example ■; Same as Example ■, but Si02 appears in Poly22H: A thin layer of 5i02 is deposited on the polymeric spacer 214 (Figure 5). Except for this, it is the same as Example ■, and a 3n strike is deposited on the 3i 02, and then Gold is deposited.

Li二 例■と同様であるが、感度はかなり減少した。Li2 Example Same as ■, but the sensitivity was significantly reduced.

そのようなポリマー・スペーサが実施可能であるのに、シリカが嫌われる(シリ カは好ましいものとして広く報告されている)ことは技術習性にとって驚きとな ろう。While such polymeric spacers are viable, silica is discouraged (silica (widely reported as favorable) may come as a surprise to technical habits. Dew.

例■;へu/3b: 錫(ポリマー上でかつ5toz上のストライク)がアンチモンに置換えられるこ とを除けば例■と同様である。Example ■; to u/3b: Tin (strike on polymer and above 5 toz) is replaced with antimony. This is the same as Example ■ except for.

旺: 先の例より優れた感度であるが記録保存性は非常に劣っており、また驚く べきことに°゛噴出れた′°小球(第4図のe参照;この場合光の例と比べて噴 出物eが比較的少ない)よりもホール内集塊やリング集塊(第4図参照:それぞ れエレメントi、r)を形成する傾向がある。Wang: Although the sensitivity is better than the previous example, the recording stability is very poor, which is surprising. As expected, the small sphere ejected (see e in Figure 4; in this case, compared to the example of light, the ejected In-hole agglomerations and ring agglomerates (see Figure 4: elements i, r).

第4図はそのようなALI /Sb吸収体上に書込まれた典型的な“集塊ホール ″を理想化して示しており、゛バージン″アイランド配列■はここでは示されて いない。Figure 4 shows a typical “agglomerate hole” written on such an ALI/Sb absorber. The “virgin” island array is shown here as an idealization. not present.

後者の特性(゛′唱出物′°よりむしろリンクや局所的な集塊物を作りやすい) は印象的である。それは集塊物の移動の発達を制御できる可能性を明示しており 、さらにくすべての゛噴出物″eを■止づると予想される)オーバコーティング によって最小限しか影響されないようなボール形成機構を暗示する。The latter property (easiness to create links and local agglomerations rather than ``synthesizers'') is impressive. It demonstrates the possibility of controlling the development of agglomerate movement. , overcoating (which is expected to further stop all ejecta) This implies a ball-forming mechanism that is minimally influenced by

(同じ濃度の)そのようなAu、/Sb合金の同時蒸着は類似の結果を示すであ ろう。Co-deposition of such Au,/Sb alloys (at the same concentration) would show similar results. Dew.

例■; AU 、/3b /Sn : Snストライクに続いてアンチモン゛ストライク″が施され、その後に金が型温 されることを除りば例■(ポリマー上に3nストライクが施されている)と同様 である。Example ■; AU, /3b /Sn: Following the Sn strike, an antimony strike is applied, and then the gold is heated to the mold temperature. Same as example (3n strike is applied on the polymer) except that It is.

楯二宋−: 例■とほとんど同様であるが、感度がわずかに劣り、記録保存性は わずかに優れ、さらに“噴出物″が一般的に少ない傾向にある(第4図のように 、しがし例■よりは少し多い)。Au −3n−3bの同時蒸着は同様な結果を 生じるであろう。Tae 2 Song -: Almost the same as Example ■, but the sensitivity is slightly inferior and the record keeping is poor. It is slightly better, and there is also a tendency for there to be fewer “ejecta” in general (as shown in Figure 4). , slightly more than example ■). Simultaneous deposition of Au-3n-3b gave similar results. will occur.

九l二二(: パラジウムが金と置換ねること、およびサブストレ−トが透明なポリマー・スペ ーサであることを除けば例Iと同様である。Nine l22 (: Palladium replaces gold and the substrate is a transparent polymeric spacer. This is similar to Example I, except that it is a server.

旺: 例■とほとんど同様で、例■と■のように慨して゛噴出物′°が少ない( ゛′リム集塊物″はもう少し多そうである)。O: Almost the same as Example ■, but like Examples ■ and ■, there is generally less ejecta ( There seems to be a little more ``rim conglomerate'').

金の代わりにPdを用いることを除けば例■と同様である(Pdはポリマー上で Snストライク上に蒸着される)。Same as Example ■ except that Pd is used instead of gold (Pd is (deposited on the Sn strike).

旺:@れた記録保存性以外は例医と同様である。あるいは例■と同様である(た とえば、拡がったバンド幅。O: It is the same as the usual doctor except for the record keeping ability. Or it is similar to example ■ ( For example, increased bandwidth.

然気侵入に対する抵抗性、ざらにバージンのへ〇アイランドの関連する転位など )。Resistance to natural gas intrusion, related dislocations of virgin hex islands, etc. ).

f!1tXf:Au/Pbラ−1:ネート:錫が鉛で置換えられることを除りば 例■と同様であり、吸収体フィルム15(第2図)は金・鉛・金・鉛・金の一連 のアイランド層からなっており、各層は適当なアイランド構造である。加熱した とき、これらのアイランド層は容易に相互拡散(その距離は非常に短い)してA  U / p li合金アイランドを形成する。ALIが主要成分であるので、 第1次近似としてpbの性質は無視し得る。したがって、その合金は主に金の特 性″を示すであろう。f! 1tXf:Au/Pb-1:Nate: except that tin is replaced with lead This is the same as Example ■, and the absorber film 15 (Fig. 2) is a series of gold, lead, gold, lead, and gold. It consists of island layers, each layer having a suitable island structure. heated When these island layers easily interdiffuse (the distance is very short), A Form U/pli alloy islands. Since ALI is the main component, As a first approximation, the nature of pb can be ignored. Therefore, the alloy is mainly made of gold. It will show "sexuality".

フィルム15は試験の都合のために゛ラミネート″として蒸着されたが、技術習 性には他の方法も可能であろう。Film 15 was deposited as a ``laminate'' for testing purposes; Other methods of sex are also possible.

[注: この合金のパラミナ(laminar ) ”形態は単に調製および研 究の便宜のために選ばれる。しかし、一度合金の条件が落着いてR適化されれば 、技術習性はスパッタリングまたは高真空中の仙の知られている信頼し1qる方 法で゛同時蒸発″、すなわらより均一な合金の実現を可能にする方法によって蒸 着することを好むであろう。そのようなうミナ・フィルムはやや均一性に欠ける おそれがあり、したがってほとんどの応用に関しては゛最適″ではないであろう 。しかし、たとえば同時蒸発装置に比べて、それは第1次近似に基づいて進めて いくには非常に速く、安く。[Note: The "laminar" form of this alloy is simply a matter of preparation and polishing. selected for convenience of research. However, once the alloy conditions are settled and R is optimized, , the technology is sputtering or high vacuum in a known and reliable way. evaporated by ``co-evaporation'', a method that allows the realization of more homogeneous alloys. would prefer to wear it. Such umina films are somewhat non-uniform. and therefore may not be ``optimal'' for most applications. . However, compared to e.g. a co-evaporator, it proceeds based on a first approximation. Very fast and cheap to go.

および便利に行なうことができる。] 症1: 前述のようなくまた第11図などに示されたような)゛アイランド″よ りむしろ“フィラメント状″で疑似不連続形態に析出することを除1プばおおむ ね例■と同様である。これは第10図において10万倍の電子顕微鏡写真で示さ れており、第8図において1対の隔てられた生電極とともに理想化されて示され ている。この゛′疑似アイランド” (”島状″または゛′半島状″)形態は前 述の様式で゛集関化″するように見え、例Iなどで上述されたよ−うな様式、で 、もっと不連続り゛′疑似ビット″)である゛′小球″を形成する。したがって 機能的には同様であると考えられる。しかしながら、これらのフィラメント状半 島は、例Iなどの゛アイランド″より追かに低い横方向の電気抵抗を示ツー(そ れでもしかし、かなり高い抵抗である)。さらに、それらは“集塊ホール″を書 込むのと同様に機能するので、それらは前述の′″アイランド″同等の″熱絶縁 性”を維持していると考えられる。゛アイランド″と同様に、そのようなフィラ メント状構造も″島状″として特徴付レプることができる。それは他の“島状″ フィルムと同様に“集塊ホール″を形成して記録する。and can be carried out conveniently. ] Symptom 1: As mentioned above, or as shown in Figure 11) In most cases, it is possible to avoid precipitation in a pseudo-discontinuous form in the form of filaments. This is the same as example ■. This is shown in Figure 10 using an electron micrograph at a magnification of 100,000 times. and is shown idealized in Figure 8 with a pair of spaced live electrodes. ing. This “pseudo-island” (“island-like” or “peninsula-like”) form is It appears to be ``aggregated'' in the manner described above, and in the manner described above in Example I etc. , forming ``globules'' that are more discrete ``pseudo bits''). therefore It is thought that they are functionally similar. However, these filamentary semi- Islands exhibit even lower lateral electrical resistance than "islands" such as Example I. However, the resistance is quite high). Furthermore, they write “agglomeration holes”. They function similarly to the aforementioned ``island'' equivalents of ``thermal insulation''. It is thought that it maintains its "sexuality".Similar to "island", such filament Mento-like structures can also be characterized as "island-like". It is another “island” Similar to film, "agglomeration holes" are formed and recorded.

この場合、感度は最高であって、純金の場合(例■)より優れている。たとえば テルル吸収体と概略等しい゛′感度″であり、しばしばそれより優れていたくた とえば、” T e例″の感度の約2分の1が測定されたことがある)。すなわ ち、この場合5〜15111W/10〜100ナノ秒(または100〜1000 p 、J、)の出力範囲で、その金・鉛3重層に情報が十分に“′書込む”こと ができる。さらに特定的に言えば、約40ナノ秒はどの短い間の5mWの出力で ゛′反躬能の変化″が見られる。いくつかのサンプルでは約10〜15ナノ秒の 間の1〜2mWの出力によってパ変化″シ;他のサンプルでは10mWで、もっ と短い時開で変化を示す。いずれの場合も充分な読出(たとえば、30〜40d BのS/N >を示す。これはまことに驚くべぎことで、理論が予想した感度レ ベルの何倍もあり、文献から予想されるものとは全く矛盾するものである。しか しながら、その記録保存性は非常に低かったくほとんどの目的に対して、純Au や△u−8bのようには許容できない)。In this case, the sensitivity is the highest and is better than in the case of pure gold (Example ■). for example It has approximately the same ``sensitivity'' as tellurium absorbers, and is often superior to it. For example, about half the sensitivity of the "Te example" has been measured). Sunawa In this case, 5~15111W/10~100 nanoseconds (or 100~1000 In the output range of p, J,), information is sufficiently “written” into the gold/lead triple layer. Can be done. More specifically, approximately 40 nanoseconds is a short period of 5 mW output. ``Changes in reactivity'' can be seen, with some samples exhibiting changes of about 10 to 15 nanoseconds. The output power of 1-2 mW between the The change is shown in a short period of time. In either case sufficient readout (e.g. 30-40d S/N of B> is shown. This is truly surprising, as the sensitivity level predicted by theory It is many times higher than Bell, and is completely inconsistent with what would be expected from the literature. deer However, its archival properties are very low, and for most purposes, pure Au and △u-8b).

また、AU /Sbの場合のように比較的小さな゛噴出物″が観察される。Also, relatively small "ejecta" are observed as in the case of AU/Sb.

1在: 例■〜X■のいくつかの結果が、次のテーブル■において比較的大稚拙に定性的 に比較されている。ここで、同様の構造と動作/テスト条件を仮定し、それにオ ーバコーチインクを加える。[注:S’yは感度であり、A’ Vは保存性であ り;゛リム″や゛噴出物″はリムまたは噴出物の形成の可能性(たとえば、高、 低)を示し; ” i ″” 。1 present: Some results of examples ■~X■ are shown in the following table ■ in a relatively crude manner. compared to. Now, assuming similar construction and operating/test conditions, we will - Add evacuee ink. [Note: S’y is sensitivity, A’V is preservability. ``rim'' or ``ejecta'' indicates the possibility of rim or ejecta formation (e.g., high, low); “i””.

′2°″などは、それぞれ゛最良″、“′2番目に良″などを意味し;××は゛ ′利用不能″を示ず。]S’y: 4° 5° 1° 2° 3° 40噴出物  高 高 低 中 中 低 したがってたとえば、ここでの1つの一般的な教えは、前述の“′3重層構造″ の吸収体フィルムを備えたODティスクの製造において、その吸収体材料をアイ ランド形状に施すことによって驚くほど良好な感度が得られるということである 。さらに、たとえば良好な感度を確保しイfがら記録保存寿命を延ばすために、 金やパラジウムのような負金属また(よそれらの合金が吸収体としで蒸着し得る ことが教えられる。``2°'' means ``best'', ``second best'', etc.; ×× means ``second best'', etc. Does not indicate 'unavailable'.] S'y: 4° 5° 1° 2° 3° 40 ejecta High High Low Medium Medium Low So, for example, one general teaching here is the aforementioned "'trilayer structure" In the production of OD disks with an absorber film, the absorber material is By applying it to the land shape, surprisingly good sensitivity can be obtained. . Furthermore, for example, in order to ensure good sensitivity and extend the archival lifespan, Negative metals such as gold and palladium or their alloys can be deposited as absorbers. Things can be taught.

またさらに、金のようなアイランド・フィルム吸収体は感度を増づために(たと えば少量%の)鉛またはアンチモンのような成分と組合わすことが可能で、また 記録保存性や光学特性の改善(たとえばバンド幅の増大)のために錫のような成 分と組合わせることも可能である。Additionally, island film absorbers such as gold can be used to increase sensitivity (and It can be combined with ingredients such as lead or antimony (e.g. in small amounts (%)), and materials such as tin for improved archival properties and optical properties (e.g. increased bandwidth). It is also possible to combine it with minutes.

さらに、金またはパラジウムなどを他の成分と組合わせることによって、ホール 形成集塊化(幾構をある程度制御することができる(たとえば、ある場合はリム の粒が優勢で、他の場合は噴出物が優勢であり、Au+pbまたはP(++s  n k;j ”噴出物″′の可能性を最小にし、Au +3n +3bはS’y 、△L y、バンドパスを増大させ噴出物を減少さじる。)。In addition, by combining gold or palladium with other ingredients, holes can be Formation agglomeration (geometry can be controlled to some degree (e.g. rim grains predominate, in other cases ejecta predominate, Au+pb or P(++s Minimize the possibility of n k;j “ejecta”′ and Au +3n +3b , ΔLy, increases the bandpass and reduces the ejecta. ).

また、金を鉛、錫、またはアンチモンと組合わせることは、その(サブストレー トへの)付着性を改善して、吸収体とスペーサの界面における湿気の侵入を阻止 するようであり、すなわち記録保存性を増大させる。Also, combining gold with lead, tin, or antimony Improves adhesion (to the absorber and spacer) and prevents moisture from entering at the interface between the absorber and the spacer. It seems to increase archival stability.

技術音速は、そのような吸収体フィルムに関して、電子ビーム記録やfR記録の ような他の記録方法に気付くであろう。The technical speed of sound is higher than that of electron beam recording or fR recording for such absorber films. You may notice other recording methods such as

熱で聞(ブられる゛′ラシャタ・フィルム゛′;第9図:第9図(よ主題の゛照 射集塊化″アイランド・フィルムのもう1つの応用を概略的に図解している。こ こで、アイランj・・フィルム(ab、 )は、フレーム部材r内の適当イより ブストレート上に析出されている(たとえば、上記の例と同様に透明なポリマー のオーバコートを伴ったガラス上のAUまたはA1合金)。放射エネルギ源LS (たとえば、ムab上に照射ビームb1を速読的に(または周期的に)当てる。Figure 9: Figure 9 This schematically illustrates another application of ``radio agglomerated'' island films. Here, the airlan j...film (ab, ) is inserted from an appropriate position inside the frame member r. deposited on the blastrate (for example, a transparent polymer as in the example above) AU or A1 alloy on glass with an overcoat of Radiant energy source LS (For example, the irradiation beam b1 is applied quickly (or periodically) onto the mu ab.

初めは、フィルムabはビームb、のほとんどを反射する(たとえば、反射ビー ムb、として第1の検知装置D1へ反射する)。しかし、フィルムab(その上 のビームが当たる部分)がLSによ〕−1−子め決められたレベルまで昇温(た とえば、すぐ近くの火や炎によるように、集塊化温度まで)されるとき、それは 集塊化して(b、のλ1に対して)゛′透明化”する( 、ICがってフィルム abはλ1に対して比較的透明に見える)。こうしてabはビームb1を通し、 関連する第2の検知装置D2による検知に適した透過ビームD2となる。Initially, film ab reflects most of beam b (e.g., the reflected beam reflected to the first detection device D1 as a beam b). However, film ab (on top The part that the beam hits) is heated by the LS to a predetermined level. For example, by a nearby fire or flame, up to the agglomeration temperature), it It agglomerates and becomes ``transparent'' (with respect to λ1 of b). ab appears relatively transparent to λ1). Thus ab passes beam b1, This results in a transmitted beam D2 suitable for detection by the associated second detection device D2.

ソースLSは、通常、装置D2へ向【プられて不動であってもよく、その初めの 照射エネルギ(ビームh、)によってフィルムabに穴が溶量される。Source LS may be stationary, typically directed towards device D2, and its initial Holes are formed in the film ab by the irradiation energy (beam h,).

または代わりに、ビームb1がフィルムabを横切ってスキャンされてそこへパ ターンを゛書込″シてもよい。また不動のblの場合、エッチされた″゛マスク ″全体照射する″゛後方らの照射″のソースであってもよい(たとえば、ディス プレイまたは光学的プリンティング・ブレート−を作るために)。技術者達は、 他の同様の応用も想い付くであろう。or alternatively, beam b1 is scanned across film ab and the beam b1 is You can also ``write'' the turns. Also, in the case of immovable BL, the etched ``mask'' It may also be a source of “overall illumination” or “backward illumination” (e.g., (to make a play or optical printing plate). The engineers are Other similar applications may also come to mind.

変化例: 技術者達は、そのような゛アイランド”(または゛島状′)フィルムが、ある場 合には他の金属やそれらの合金(たとえば、Allまたはpdの他の2元系合金 や3元系合金など、またはPt、 Cu、Ag、R’hなどの他の金属)で構成 することができる。多くの例において、その吸収体フィルムは、反射防止または 同様な光学的下地構造に都合良く結合される。Example of change: Engineers believe that such ``island'' (or ``island'') films may other metals or their alloys (e.g. All or other binary alloys of PD). or other metals such as Pt, Cu, Ag, R'h) can do. In many instances, the absorber film is antireflective or Conveniently bonded to similar optical substrate structures.

また成る例においては、そのようなアイランド・フィルムは、たとえば他の蒸着 技術〈蒸着は非常に実際的で、例1のように、反射層、スペーサなどのような他 の関連する層を析出させるのに用いることもできる)によって析出される。゛′ 合金″に関しては、通常、同時蒸着が好ましい。In other examples, such island films may be The technique (evaporation) is very practical, as in Example 1, it can be used to (can also be used to deposit the associated layer of).゛′ For alloys, co-evaporation is usually preferred.

吸収体を析出させるためには、スパッタリングのような他の方法も可能である。Other methods are also possible for depositing the absorber, such as sputtering.

とにかく、通常は析出したアイランド構造を制御するために、析出の間、そのフ ィルムを監視することが望ましい。In any case, it is usually necessary to control the deposited island structure during the precipitation. It is advisable to monitor the film.

丸1: ここで述べられた好ましい実施例は単なる例であり、本発明は発明の精神から離 れることなく、構造や配列さらに利用において種々の修正や変更が可能であるこ とが理解されよう。Circle 1: The preferred embodiments described herein are merely examples and the invention departs from the spirit of the invention. It is possible to make various modifications and changes in structure, arrangement, and usage without being affected. It will be understood that

本発明はさらに変更可能である。たとえば、ここで述べられた手段や方法もまた 、適当に照射されたときに先学的にスイッチされるように用いられる他の極薄フ ィルムに適用可能である。The invention is capable of further modifications. For example, the means and methods mentioned here also , other ultra-thin films used to be pre-switched when properly illuminated. Applicable to films.

本発明の可能な変化の上記の例は単なる例示である。したがって、本発明は添付 された請求の範囲に示された発明の範囲内のあらゆる可能な修正や変更を含むも のと考えるべきである。The above examples of possible variations of the invention are merely illustrative. Therefore, the present invention is attached including all possible modifications and changes within the scope of the invention as set forth in the claims appended hereto. should be considered.

浄書(内容に変更なし) FIG、3゜ FIG、4゜ FIG、7゜ 手続補正書く方式) 昭和59年1月25日 特許庁長官殿 1、事件の表示 国際出願番号:PCT/1Js831008042、発明の名称 低出力書込レーザを用いるディジタル・データ・ス1〜レージに適したアイラン ド状熱絶縁性記録フィルム 3、補正をする壱 事件との関係 特許出願人 任 所 アメリカ合衆国、48232 ミシガン州、デトロイトバロース・ブレ イス(損壊なし) 名 称 バロース・コーポレーション 代表者 ウィリアムス、ウォルター・ジエイ4、代理人 住 所 大阪市北区天神橋2丁目3番9号 八千代第一ビル自発補正 6、補正の対象 7、補正の内容 以上Engraving (no changes to the content) FIG, 3゜ FIG, 4° FIG, 7° Procedure amendment writing method) January 25, 1980 Commissioner of the Patent Office 1.Display of the incident International application number: PCT/1Js831008042, title of the invention Island suitable for digital data storage using low power writing lasers C-shaped thermally insulating recording film 3. First, make corrections. Relationship to the incident: Patent applicant Address: Detroit Burroughs Bure, Michigan, 48232, United States Chair (no damage) Name: Burroughs Corporation Representative: Williams, Walter Jiei 4, agent Address: 2-3-9 Tenjinbashi, Kita-ku, Osaka, Yachiyo Daiichi Building, voluntary correction 6. Subject of correction 7. Contents of correction that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、 光学式データ記録システムにおいて、次のものを備えた組合せ。 熱絶縁性光学記録媒体。 処方された波長の記録照射を与えるための手段。 与えられるデータに従って処方された最小の書込1ネルギ・レベルを与える前記 照射を調節するための手段。 前記処方されたビームの調節された照射を前記記録媒体上に集光するための手段 。 前記集光された記録ビームと前記記録媒体の間で相対的な動きを与えるための手 段。 前記記録媒体は同様な照射ビームで読出すために用いられるが、その照射ビーム は減少させられた出力レベルである。前記媒体はポリマー・丈ブストレート手段 十へアイランド形状に析出させられた吸収体材料の少なくとも1層の極薄の不連 続な層を含み、°前記不連続層は前記記録媒体の処方されたビット位置に前記書 込エネルギ・レベルで前記ビームを与えることによって゛集塊化”され、それに よって前記動きの間にその光学的特性を変え、関連する続出手段によって検知さ れる。前記アイランドフィルムは前記ビームの幅よりかなり小さな平均幅を有す る吸収体材料の明瞭に分離されている゛アイランド″を示している。 2、 前記記録ビームと対応づる予め決められた波長と幅を有する読取照射ビー ムを与えるための手段を含む請求の範囲第1項記載の発明6集光のための前記手 段と、相対的な動きを与えるための前記手段が、それぞれ前記媒体上に続出ビー ムを集光するためと前記相対的な動きを与えるために用いられる。前記媒体の光 学的特性における前記変化は、前記集光された読取ビームと前記媒体の間の相対 的な動きの間に前記媒体から反射された光がいわゆるデータに従って変化するよ うに、前記読取ビームのエネルギ・レベルと波長に関連して選択されて採用され る。さらに前記読取ビームの読取エネルギ・レベルは光学的変化を示す前記デー タのその後の続出性に重大な影響を与えないように選択される。前記吸収体材料 は負金属を含んでいる。 3、 光学式データ記録システムにおいて、次のものを備えた組合せ。 前記媒体の光学的検知可能な変化の並びとしてその上に記録されたデータを有す る光学媒体。 予め決められた波長と書込エネルギ・レベルを有する読取照射ビームを与えるた めの手段。 前記媒体上に前記読取ビームを集光するための手段。 前記集光された読取ビームと前記媒体の間に相対的な動きを与えるための手段。 前記媒体はポリマー・サブストレート手段上へアイランド形状に析出させられた 吸収体材料の少なくとも1層の不連続な層を含んでおり、前記不連続な層は前記 媒体の処方されたピッ]〜位置に前記書込エネルギ・レベルの前記読取ビームを 与えることによって“集塊化シ、そうして前記動きの間に関連する読取手段によ って処方された検知を受取るように、その光学的特性を検知可能に変化させる。 前記層は1層以上の吸収体材料の明瞭に区分されたパアイランド″を示し、前記 アイランドは前記ビームの幅よりかなり小さな平均幅を有している。 4、 記録照射のためにデータ調節されて集光された書込ビームを前記媒体上へ 与え、同時にそれらの間に相対的な動きを与えて、データ・ビットを描く処方さ れた書込エネルギのパルスを与えるように前記ビームがデータ調節され得る光学 データ・ストレージ・システムにおいて用いる光学媒体。 前記媒体はポリマー・サブストレー1〜手段上へ不連続なアイランド形状に析出 させられた少なくとも1層の熱絶縁性吸収体材料の層を含んでおり、前記層は前 記ビーム・パルスを与えることによってその処方されたビット位置において゛集 塊化”され、処方された関連する光学検知手段によって前記動きの間に読出すこ とを可能にするために、そこを光学検知可能に変化さぜ゛る。前記アイランド層 は前記ビームの幅よりかなり小さな平均幅を有する明瞭に区分された吸収体材料 の゛アイランド形状を示すように形成されている。 5、 次のことを備えた請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかの項に記載さ れた発明。前記照射はレーザ源からのものである。前記媒体は反射層、前記反射 層に被さっているポリマー・スペーサ層、および前記スペーサ層に被さっている アイランド形状の吸収体を含む複数の層からなっている。前記層の厚さや光学的 特性および前記吸収体層の光学的に検知し得る変化が関連する読取レーザのエネ ルギ・レベルや波長と関連して選択され、そうして前記集光された読取レーザ・ ビームと前記媒体の間の相対的な動きの間に、読取レーザは記録されたデータに 従って変化する前記媒体からの読取ビームを反射する。さらに前記読取ビームの 強度は前記変えられた光学特性のその後の読取特性を著しく変化させないように 選択される。前記ポリマー・スペーサは記録するときには比′軸的良好な熱絶縁 体であり、前記照射に対しては比較的透光性のものである。 6、 前記吸収体アイランド層が真空中の溶融液から蒸発によって析出させられ ることを特徴とする請求の範囲第5項記載の発明。 7、 前記吸収体アイランド層の全体的な厚さが数百オングストロームまたはそ れ以下のオーダであることを特徴とする請求の範囲第6項記載の発明。 8、 前記ポリマー・スペーサ層がポリテトラフルオロエ9、 前記媒体は非常 に低い熱伝導性を有する前記ポリマーを含む反射防止ベースを備えて、その上に 前記アイランド層が析出されられて形成され、それによって前記媒体のうに選択 されることを特徴とする清泉の範囲第1項ないし10、 前記アイランド層が処 方された始めの最小反射率値を示すまで析出させられることを特徴とする請求の 範囲第9項記載の発明。 11、 前記アイランド層がその反射率をモニタされながら蒸着によって形成さ れることを特徴とする請求の範囲第10項記載の発明。 12、 記録の間に前記ビット位置へ入射づる書込エネルギを保持するように前 記ポリマー・サブストレートが選択されて、前記アイランド層が析出させられて 用いられ、それによって前記吸収体材料がそのバルクの溶m温度まで加熱される 必要なく低出力/低温度記録を可能にしたことを特徴とする請求の範囲第1項な いし第4項のいずれかの項に記載された発明。 13、 前記アイランドの平均サイズと平均間隔が、そのような記録の間に、そ のような゛集塊化′″を可能にして、各記録されたビット位置で著しい反射率の 変化を起こすように形成されるよう選択されて用いられることを特徴とする請求 の範囲第1項ないし第4項のいずれかの項に記載された発明。 14、 前記アイランド層が記録に際してそのような変化を生じ、さらに記録ヒ ツト位置から殆ど吸収体材料の排除を伴なうことを必要としないことを特徴とす る請求の範囲第1項ないし第′4項のいずれかの項に記“載された発明。 15、 前記アイランド層が保護的デフォーカシング・オーバコートで覆われて おり、さらに反射防止ベースの部分として働く透光性のポリマー上に析出させら れていることを性懲とリ−,る請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかの項に 記載された発明。 、 16、 光学記録システムにおいて長期の記録保存期間にわたって用いられる光 学データ記録媒体としての媒体の製造方法。前記システムは予め決められた波長 と処方された書込エネルギのデータ調節されたレーザ書込ビームを備え、前記ビ ームは前記媒体上に集光されて、一方、前記ビームと前記媒体の間には相対的な 動きが与えられる。前記方法は次のステップを含む。 その上に処方された照射透光性誘電体スペーサ層を有する反射性の支持手段を提 供するステップ。 前記スペーサ層上へアイランド形状に1層またはそれ以上の吸収体層を析出させ るステップ。 前記層の厚さや光学特性は、前記書込波長における反射防止状態が前記媒体の記 録されていない部分で優勢であるように選択される。 ざらに前記層の厚さと光学的特性は次のように選択される。前記書込ビームのデ ータ調節は、前記吸収体層の選択されたビット位置へ、前記書込エネルギの処方 された書込パルスを与える。そのような各位置への照射はその位置の反射防止状 態を検知し得るほど改変し、処方された光学的続出を可能にするようにその光学 的特性を変える。前記ポリマー層の厚さや材質は、照射されるアイランド位i6 における熱保存性を最大にして感度を最適なものにするように選択されて構成さ れる。 17、 前記吸収体層は、処方された低い反射率レベルが最初に検知されるまで 蒸着されることを特徴とする請求の範囲第16項記載の発明。 18、 改良された照射記録用の記録ブランク(blank )を調製する方法 。それによれば情報層は勺ブス1〜レート手段上に配置されており、処方された 書込エネルギと波長の光エネルギ書込ビームを与えることによって、ディジタル ・データ・ビットを記録するために用いられる。この方法は次のステップを含む 。 前記サブストレー1〜手段上への処方された比較的微小厚さの°゛吸収体材料″ を析出させるステップ。それによって、分離された゛′アイランド″配列を示し かつ処方された初期反射率を有する不連続な記録フィルムを形成する。前記フィ ルムは前記書込ビームに対して゛光学的に連続″のように見える。そうして、そ のような書込ビームを前記記録フィルム中の°゛ビット位位置へ当てることが可 能で、かつ選択された位置へ前記書込エネルギの処方された書込パルスを与える ためにデータ調節することができる。こうして前記吸収体アイランドの処方され た゛集塊化′°を引起こし、前記フィルムを光学的に不連続とし、そこに光学的 な孔をあけ、それによって前記データを表わす各書込位置の検知される反射率に 変化を及ぼす。前記吸収体材料は、“集塊化″を引起こすように周囲の光学的/ 熱的環境と関連して選択されて蒸着される。 19、 前記サブストレート手段が光学的反射防止サブストレートを含んでおり 、処方された低レベルの最初の反則率を示すまで前記吸収体材料が蒸着されるこ とを特徴とする請求の範囲第18項記載の方法。 20、前記吸収体材料が、最初の初期反射率を示すまで析出させられる処方され た°゛吸収体金属″の主゛要部分を含むことを特徴とする請求の範囲第19項記 載の方法。 21、 前記金属が付着性を向上させるために少なくとも1種類の他の金属と組 合わされて用いられることを特徴とする請求の範囲第19項記載の方法。 22、 低出力記録照射源を用いるもので、比較的長期の記録保存寿命にわたっ て用いられる記録ブランクを提供する方法。前記照射源はある与えられた波長と 比較的低い書込エネルギの書込ビームを与える。前記方法は次のものを含む。 成る与えられた波長において処方された光学的熱的特性を示す記録部分を有する ザブストレートの提供。 前記サブストレートの前記部分上への処方された情報コーティングの付与。この コーティングのための材料は少なくとも1種類の゛吸収体金属″を含みかつ成る 与えられた波長で処方された吸収能と゛初期反射率″を示すように選IRされ、 また前記書込エネルギの書込パルスを受取って処方された“続出反射率″まで変 化させられる。これは前記コーティング上の処方された゛′ビット位置″に記録 されるべき情報に対応している。 この情報コーティングは、処方された初期反射率を示寸よ゛うな寸法と間隔に分 離されたアイラン1−の形成された1層またはそれ以上の極薄の不連続アイラン ド図として析出させられる。また前記書込エネルギのパルスの付与によって゛′ 集塊化″され、そして前記読出反QJ率レベルに対する反射率において変化を生 じ、それによって初期反射率を示す記録されていない領域に比べて良好に検知さ れる読出コントラストを与える。少なくとも前記層の1つは貴金属を含んでいる 。 23、 前記サブストレートが反射防止に形成されており、前記情報コーティン グ金属が初期反射率として゛最初の最小反gFI率″を生じるに十分な深さだけ 蒸着されて、比較的数が少な(て間隔の大きな″′アイランド″を形成するよう 集塊化するように用いられることを特徴とする請求の範囲第22項記載の方法。 24、 前記サブストレートがスペーサとその下にある反射体表面を含み、これ らに金属アイランド層を重ねて″3重層″が形成されることを特徴とする請求の 範囲第23項記載の方法。 25、 前記ポリマーがポリ1〜テラフルオロエチレンからなることを特徴とす る請求の範囲第1頃、第3項、第4項。 第5項、第16項、第181兵、または第22項のいずれかの項に記載された発 明。 26、 前記吸収体は貴金属に加えて少なくとも1種類の共存成分金属を含み、 前記共存成分金属の少なくとも1種類が前記貴金属の析出に先立って前記ポリマ ー・サブストレート上へアイランド形状に独立に析出させられて、それによって 前記ポリマー・サブストレー1〜上への前記貴金属の付着性を向上させることを 特徴とする請求の範囲第25項記載の発明。 27、 そのような多a層のアイランド層は、前記ポリマー・サブストレートへ の付着性を向上させるために用いられる極薄の金属“ストライク″からなる最初 のアイランド析出層を伴なって析出させられることを特徴とする請求の範囲第2 5項記載の発明。 [Claims] 1. In an optical data recording system, a combination comprising: A thermally insulating optical recording medium. A means for providing recording radiation of a prescribed wavelength. Means for adjusting said irradiation to provide a prescribed minimum write 1 energy level according to the data provided. Means for focusing a regulated illumination of the prescribed beam onto the recording medium. a means for imparting relative movement between the focused recording beam and the recording medium; Step. The recording medium is used for reading with a similar radiation beam, but at a reduced power level. The medium is a polymer length straightening means; at least one layer of ultra-thin, discontinuous absorbent material deposited in the form of islands; said discontinuous layer is "agglomerated" by applying said beam at said writing energy level to a prescribed bit location of said recording medium; thus changing its optical properties during said movement and being detected by the associated follow-up means. It will be done. The island film has an average width that is significantly smaller than the width of the beam. 2. A read illumination beam with a predetermined wavelength and width corresponding to said recording beam. Invention 6 as set forth in claim 1, comprising means for providing a light beam. steps and said means for imparting relative motion, each of which has a successive bead on said medium. It is used to focus the beam and to give the relative movement. light of said medium The change in optical properties is such that during the relative movement between the focused reading beam and the medium the light reflected from the medium changes according to the so-called data. The choice is made in relation to the energy level and wavelength of the reading beam. Further, the reading energy level of the reading beam is indicative of the data indicating optical changes. selected so as not to have a significant impact on the subsequent succession of the data. The absorber material contains negative metals. 3. In optical data recording systems, a combination comprising: having data recorded thereon as an array of optically detectable changes in said medium. optical media. to provide a read illumination beam having a predetermined wavelength and writing energy level. means of means for focusing the read beam onto the medium; means for imparting relative motion between the focused reading beam and the medium; The medium comprises at least one discontinuous layer of absorber material deposited in the form of an island onto a polymeric substrate means, the discontinuous layer being located at the prescribed peak of the medium. "agglomeration" by applying said reading beam at said writing energy level to said "agglomerated" beam, and thus by an associated reading means during said movement. detectably changes its optical properties to receive the prescribed detection. The layer exhibits one or more layers of well-defined islands of absorber material, the islands having an average width significantly smaller than the width of the beam. 4. Data conditioning for recording exposure. a focused writing beam onto the medium and at the same time relative motion therebetween to create a prescription for writing data bits. An optical medium for use in an optical data storage system, wherein the beam may be data conditioned to provide pulses of written energy. The medium comprises at least one layer of thermally insulating absorbent material deposited in the form of discrete islands on the polymeric substrate 1 to means, said layer being is 'agglomerated' at its prescribed bit position by applying a recording beam pulse and can be read out during said movement by prescribed associated optical sensing means. In order to make this possible, we are changing it so that it can be optically detected. The island layer is formed to exhibit a distinct island shape of absorber material having an average width significantly less than the width of the beam. 5. Any claim described in any one of claims 1 to 4 that includes the following: invention. The radiation is from a laser source. The medium is comprised of a plurality of layers including a reflective layer, a polymeric spacer layer overlying the reflective layer, and an island-shaped absorber overlying the spacer layer. The thickness and optical properties of the layer and the optically detectable changes in the absorber layer are related to the reading laser energy. selected in conjunction with the optical level and wavelength, so that during the relative movement between the focused read laser beam and the medium, the read laser It therefore reflects the reading beam from the changing medium. Furthermore, the intensity of the reading beam is selected such that it does not significantly change subsequent reading characteristics of the altered optical properties. The polymer spacer is a relatively good thermal insulator when recording and is relatively transparent to the radiation. 6. The absorber island layer is deposited by evaporation from a melt in vacuum. The invention according to claim 5, characterized in that: 7. The total thickness of the absorber island layer is several hundred angstroms or less. 7. The invention according to claim 6, characterized in that the order of magnitude is less than or equal to . 8. The polymeric spacer layer is formed by polytetrafluoroe9, the medium comprising an antireflection base comprising the polymer with very low thermal conductivity, on which the island layer is deposited; Seisen ranges 1 to 10 characterized in that the medium is selected accordingly, and the island layer is treated. 10. The invention according to claim 9, characterized in that the deposition is performed until it exhibits an initial minimum reflectance value. 11. The island layer is formed by vapor deposition while its reflectance is monitored. The invention according to claim 10, characterized in that: 12. Before recording, the write energy incident on the bit position is retained during recording. The polymer substrate was selected and used to deposit the island layer, thereby allowing low power/low temperature recording without the need for the absorber material to be heated to its bulk melting temperature. Claim 1, which is characterized in that The invention described in any of Items (4) to (4) above. 13. The average size and average spacing of said islands have changed over the course of such recording. Claim 1, characterized in that the material is selected and used in such a way that it is formed so as to enable "agglomeration" such as "agglomeration" to cause a significant change in reflectance at each recorded bit position. The invention described in any one of Items 1 to 4. 14. The island layer causes such a change during recording, and furthermore, the recording history It is characterized in that it does not require the removal of almost any absorbent material from the 15. The island layer is covered with a protective defocusing overcoat, and further comprises a portion of an antireflection base. Precipitated on a translucent polymer that acts as a The invention as set forth in any one of claims 1 to 4, which relates to sexual punishment. , 16. Light used in optical recording systems over long-term archiving periods A method for manufacturing a medium as an academic data recording medium. The system includes a data-conditioned laser writing beam of a predetermined wavelength and prescribed writing energy; A beam is focused onto the medium while relative motion is imparted between the beam and the medium. The method includes the following steps. Provides a reflective support means having an irradiated translucent dielectric spacer layer formulated thereon. step to serve. depositing one or more absorber layers in the form of islands on the spacer layer; step. The thickness and optical properties of the layer are such that the anti-reflection state at the writing wavelength is recorded on the medium. selected to be dominant in the unrecorded areas. In general, the thickness and optical properties of the layers are selected as follows. The writing beam The data adjustment provides prescribed write pulses of the write energy to selected bit locations of the absorber layer. Irradiation to each such location is performed using anti-reflection coatings at that location. detectably alters its optical properties to enable the prescribed optical delivery. The thickness and material of the polymer layer are selected and configured to maximize thermal preservation at the irradiated island site i6 and optimize sensitivity. It will be done. 17. The invention of claim 16, wherein the absorber layer is deposited until a prescribed low reflectance level is first detected. 18. Method for preparing recording blanks for improved exposure recording. Therein, the information layer is disposed on the bus 1 and is used to record digital data bits by providing a writing beam of optical energy with a prescribed writing energy and wavelength. . The method includes the following steps. Depositing a prescribed relatively small thickness of ``absorber material'' onto said substray 1 to means, thereby exhibiting an array of isolated ``islands'' and having a prescribed initial reflectance. Forms a continuous recording film. The above fee The beam appears ``optically continuous'' with respect to the writing beam. It is possible to apply a writing beam such as The data can be adjusted to provide prescribed write pulses of the write energy to selected locations. This causes a prescribed ``agglomeration'' of the absorber islands, rendering the film optically discontinuous and perforating it with an optical hole, thereby allowing the detection of each written position representing the data. changes the reflectance. The absorber material is selected and deposited in conjunction with the surrounding optical/thermal environment to cause "agglomeration". 19. said substrate means comprises an optical anti-reflection substrate, and said absorber material is deposited until it exhibits a prescribed low level of first foul rate; 19. The method according to claim 18, characterized in that: 20. Claim 19, characterized in that the absorber material comprises a main portion of a formulated "absorber metal" which is deposited until it exhibits an initial initial reflectance. How to put it on. 21. The method of claim 19, wherein the metal is used in combination with at least one other metal to improve adhesion. 22. It uses a low-power archival radiation source and has a relatively long archival lifespan. method of providing recording blanks for use in The radiation source provides a writing beam of a given wavelength and relatively low writing energy. The method includes: The substrate has a recording portion exhibiting prescribed optical and thermal properties at a given wavelength. Application of a formulated information coating onto said portion of said substrate. The material for this coating comprises and comprises at least one ``absorber metal'' selected to exhibit a prescribed absorption power and ``initial reflectance'' at a given wavelength, and an IR of said writing energy. After receiving the pulse pulse, the prescribed “successive reflectance” is changed. be made to become This corresponds to the information to be recorded at the prescribed ``bit positions'' on the coating. One or more layers of ultra-thin discontinuous island formed of spaced apart island 1- It is precipitated as a code diagram. Also, by application of the write energy pulse, it is "agglomerated" and produces a change in reflectance with respect to the read anti-QJ ratio level. , which results in better detection compared to unrecorded areas that exhibit early reflectance. Provides readout contrast that is consistent with At least one of the layers includes a noble metal. 23. The substrate is anti-reflective and the information coating is The metal is deposited to a depth sufficient to produce an initial reflectance of ``initial minimum anti-gFI'' and agglomerates to form relatively few and widely spaced ``islands.'' 23. The method of claim 22, wherein the substrate comprises a spacer and an underlying reflector surface; 24. The method according to claim 23, wherein a "triple layer" is formed by stacking a further metal island layer. 25, characterized in that the polymer consists of poly1 to terafluoroethylene; Claims 1, 3, and 4. An organization listed in any of Sections 5, 16, 181st, or 22. Akira. 26. The absorber includes at least one kind of coexisting component metal in addition to the noble metal, and at least one kind of the coexisting component metal is added to the polymer prior to precipitation of the noble metal. 26. The invention as claimed in claim 25, characterized in that the noble metal is independently deposited in islands onto the substrate, thereby improving the adhesion of the noble metal onto the polymer substrate. 27. Such multi-a layer island layers are deposited with an initial island deposit layer of ultra-thin metal "strike" used to improve adhesion to the polymer substrate. The invention according to claim 25, characterized in that:
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4252890A (en) * 1968-08-26 1981-02-24 Xerox Corporation Imaging system which agglomerates particulate material
JPS58121156A (en) * 1981-12-31 1983-07-19 インタ−ナシヨナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−シヨン Optical memory medium

Patent Citations (2)

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