JPS59500438A - Gold archival film suitable for digital data storage using low power writing lasers - Google Patents

Gold archival film suitable for digital data storage using low power writing lasers

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JPS59500438A
JPS59500438A JP58502171A JP50217183A JPS59500438A JP S59500438 A JPS59500438 A JP S59500438A JP 58502171 A JP58502171 A JP 58502171A JP 50217183 A JP50217183 A JP 50217183A JP S59500438 A JPS59500438 A JP S59500438A
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JP58502171A
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Inventor
シエブリン・クレイグ・マ−テイン
Original Assignee
バロ−ス・コ−ポレ−ション
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 低出力書込レしナを用いるディジタル・データ・ストレ−ジに適した金記録保存 フィルム″本発明は新規な高密度記録情報ストレージ媒体に関するもので、特に 低出力レーザ手段による記録に適したそのような媒体に関するものである。[Detailed description of the invention] Gold record keeping suitable for digital data storage using low power write recorders ``Film'' The present invention relates to a novel high-density recording information storage medium, particularly It concerns such a medium suitable for recording by low power laser means.

発明の背景 ディジタル・データの光学ストレージは比較的新しい技術で、光学技術を利用し たディジタル情報の貯蔵と消去に関し、ODD (光学ディジタル・データ)デ ィスクのような関連する特殊な媒体を用いる。類似するものとして、従来そのよ うなデータは、今日の高速ディジタル・コンピュータで一般に用いられているテ ープまたはディスクのような磁気媒体上に記録される。Background of the invention Optical storage of digital data is a relatively new technology that utilizes optical technology. Regarding the storage and erasure of digital information, ODD (optical digital data) using associated special media such as discs. As a similar thing, conventionally Such data is stored in the formats commonly used in today's high-speed digital computers. recorded on magnetic media, such as a tape or disk.

この開示は、光学的媒体と、それに関連した読取/書込技術と、特に低出力レー ザ装置の制御された照射エネルギの集束ビームを用いてディジタル情報を記録し たり読出したりするために用いられる装置とに関係するものである。This disclosure relates to optical media and related read/write techniques, and particularly to low power lasers. The device records digital information using a focused beam of controlled radiation energy. It relates to the devices used for reading and reading data.

技術者達に知られているように、そのようなシステムの設計や動作における成功 は、その記録媒体に大空く依存する。当該技術における技術者達は、いかにして 満足のいくODDディスク媒体の開発、特に現在利用可能な低出力レーザに適し たものでかつ10年以上の長い使用寿命を示すものの開発に折々悩まされてきた 。この発明は、この目的に適した実際のODDディスク、すなわち今日の高速コ ンビコータ・システムにおいて記録保存ス1ヘレージとして用いられ、かつその ような長い期間にわたって用いられるものを示している。Success in the design and operation of such systems, as known to engineers depends largely on the recording medium. How do engineers in this technology Development of satisfactory ODD disk media, especially suitable for currently available low power lasers From time to time, we have struggled to develop products that are durable and have a long service life of more than 10 years. . This invention is based on a practical ODD disk suitable for this purpose, i.e. today's high speed Used as record storage area in the Ambikota system and its storage area. This indicates something that will be used over a long period of time.

照射ビームに適した記録媒体ニー膜設:そのようなODD媒体としての条件は厳 しいものであり、たとえば高ビット密度、経費的に効率の良い情報記録、充分な 潜込/読取速度、さらに好ましくは低出力レーザの利用などが関係する。(技術 者達はそのようなレーザ処理の遂行の単純さ、速さ、能力を認識しており、読取 、・′潜込動作に関してレーザ・ビームは変調したり屈折させるだけでよい。) 関連する応用(たとえば、ビデオ・ディスク記録)において、技術者達はレーザ を利用しf、:、、そ[)てそれらの成る態様において゛情報層”として金属フ ィルムを用いた媒体を提示した。この層は、その層内に“ヒツト″として゛ボイ ド”(ピッ1−、ホール、バブルなど、または他の加工)を形成するために書込 レーザ・ビーム(よって軟化、溶融。Recording medium knee film configuration suitable for the irradiation beam: The conditions for such an ODD medium are strict. For example, high bit densities, cost-effective information storage, sufficient Involvement includes penetration/reading speed, and preferably the use of low power lasers. (Technology Recognizing the simplicity, speed, and power of performing such laser processing, ,'For the diving operation, the laser beam only needs to be modulated or refracted. ) In related applications (e.g., video disc recording), engineers Using f, :,, and [), the metal film is used as an "information layer" in their configuration. We presented a medium using film. This layer has voices within it as “hits”. writing to form a “do” (pitch, hole, bubble, etc., or other processing) Laser beam (thus softening and melting.

または蒸発させられる(熱的加工される)。そのようなフィルムは回転するディ スクの表面上にコーティングすることが可能である。or evaporated (thermally processed). Such films are It is possible to coat the surface of the screen.

ある技術者達は、そのようなレーザ記録が種々のコンピュータ記録(たとえば、 前述のODD媒体)として有望であろうと感じていた。彼等は、実際のシステム が低出力レーザ書込に反応する記録媒体を祷ち受け、したがってこれは現在の実 際の低出力レヘルで溶MA(または蒸発など)可能な情報層(材料)を発見でき るか否かにががるであろうと予想していた。これはまた、その関連するシステム の照射動帯にも依存するであろう。Some engineers believe that such laser recordings can be used to record various computer records (e.g. I felt that it would be promising as an ODD medium (as mentioned above). They are the actual system envisions a recording medium that is responsive to low-power laser writing, and therefore this is not the current practice. It is possible to discover information layers (materials) that can be dissolved in MA (or evaporated, etc.) at low power levels. I expected that there would be a lot of disagreement as to whether the This also means that its related system It will also depend on the irradiation zone.

したがって、技術者達は高い“熱効率″(記録位置に発生させられた熱のうちと れた(〕が“ビット″形のために効果的にその局所に蓄えられるかを示す尺反) を示すそのようなレーザ記録材料を折々探しめ続(プてさた。このために、彼等 は低融点で小さい熱放散性を有する記録材料(たとえば、テルル、鉛、ビスマス 、およびインジウム)を考慮してぎた。低融点はおそらく最小エネルギの書込パ ルスを可能にし、したがってシステムの費用を最小にするかまたはバンド幅を大 きくすることができる。Therefore, engineers are looking for a high "thermal efficiency" (a fraction of the heat generated at the recording location). () is effectively stored locally due to the “bit” shape) From time to time, they continue to search for such laser recording materials that show are recording materials with low melting points and low heat dissipation properties (e.g. tellurium, lead, bismuth , and indium). The low melting point is probably the lowest energy write parameter. to minimize system cost or increase bandwidth. I can listen.

また、技術者達はそのような記録には低出力レーザを用いなければならないと感 じていた(たとえば、レーf装置の動作寄金を延ばすためとその費用と寸法を小 さくするため)ので、そのような情報(吸収体)フィルムに選ばれる金属は゛際 立って低い″融点(゛適度に高い感度″)を有することがさらにめられ、それに よって請求められる″ビット・ボイド″が最小のレーザ出力で形成され得ること が望まれる。Engineers also feel that they must use low-power lasers for such recording. (For example, in order to extend the operation time of the laser f device and to reduce its cost and size. Therefore, the metal chosen for such information (absorber) films is extremely It is further preferred to have a significantly low “melting point” (“moderately high sensitivity”), and Therefore, the claimed "bit void" can be formed with minimal laser power. is desired.

Te吸収体フィルム: 現在、多くの技術者達がこのレーザ記録または関連するレーザ記録のためにテル ル(Te )吸収体フィルムの利用を実行しでいる。それに(よいくつかの理由 がある。テルルは魅力的な低い(バルクの)融点(約450 ’C)を有し、熱 伝導性が悪く、良好な感度とS 、′N比を提供できるJ:うに思わね、さらに それは薄いフィルムとして析出させるのに比較的便利である。ビスマスも同様な 理由で一般に提案されている。また関連する合金(たとえば、Te −Ge 。Te absorber film: Currently, many engineers are using this or related laser recording technology to We have already implemented the use of Te absorber film. Besides (for some reasons) There is. Tellurium has an attractively low (bulk) melting point (approximately 450'C) and It has poor conductivity and can provide good sensitivity and S,'N ratio. It is relatively convenient to deposit as a thin film. Same goes for bismuth It is commonly suggested for a reason. Also related alloys (e.g. Te-Ge).

T’e−へ5−36およびB* −SC>が…1味あるものどして示唆されてき た。5-36 and B*-SC> to T'e-... have been suggested as having a certain taste. Ta.

テルルは比較的低い熱逃散性を有するとともに、たとえばアルミニウムなどに比 べて低い書込スレッショルド((]きい)・エネルギを示プと考えらねできた。Tellurium has a relatively low heat dissipation property, and compared to, for example, aluminum. In all cases, the low write threshold (()) and energy could be considered as an indication.

たとえば3e11等の米国特許第4.222,071号を参照せよ:また5PI E、 Vol、 177、0ptical ■nformation 3t。See, e.g., U.S. Pat. No. 4,222,071 to 3e11 et al. E, Vol, 177, 0ptical ■nformation 3t.

rage、 1979.第56頁以後のZ echによる” Revievof  Qptical Storage Media”も参照じよ;さらにSP I  E、 VOl、 123.0ptical 3torage Materia Is and Methods、 i 977 、第2頁以後の3art01i niによる“QptiCal Recording Media Review ”も参照せよ。rage, 1979. “Review of” by Z ech after page 56 See also “Qptical Storage Media”; E, VOl, 123.0ptical 3torage Materia Is and Methods, i 977, 3art01i after page 2 “QptiCal Recording Media Review” by ni ”See also.

たとえば、この日artoli旧の論説は10!類の他の光学記録手段とともに そのような吸収体フィルム(″“加工可能な薄いフィルム″)を議論しており、 それらには四折禽の変化を伴なう光化学的変化を受けることが知られている有機 化合物である゛′光学ポリマー″が含まれている。Z echの論説は、レーザ 書込によって“°ピット″が吸収f4層に形成されるように配置されて用いられ る吸収体フィルムを議論しており、このビット情報は(Bel+の特許と同保に )反則能の変化によって検知される。For example, on this day, artoli's old editorial is 10! together with other optical recording means of the class We are discussing such absorbent films (“processable thin films”). They include organic compounds that are known to undergo photochemical changes that involve fourfold changes. Contains ``optical polymers,'' which are compounds. It is arranged and used so that "° pits" are formed in the absorbing f4 layer by writing. We are discussing the absorber film that will be used in this project, and this bit information is ) is detected by a change in foul ability.

そのような周知の゛′加工的記録′°においては、高い強度の照射ビーム(レー ザの゛′書書込ビームラによって与えられる熱エネルギ+、11、その゛′富込 位置″が少なくともそのビーム断面の一部分において溶解または加工されるよう なものであろう。そのとき表面張力がパ平面的空孔″を形成させると多くの人が 信じており(上で引用されたZ echによる論説を参照せよ)、それは通常若 干長円形の゛ピット″またはホールの形成となる。(CocllranとF e rrierによる” 1vleltino ト1oles in Metal  Films for Real−Time、High 1)ensity [) ata Storage”、SP(E p roceedings、 1977 年8月、、PI3〜P31を参照せよ) 吸収体フィルム: それらの1つの特徴として、関連する種類のレープ記録がそのような°゛吸収体 ″の融点よりかなり低い温度で(すなわち、その゛′バルクの融点″までそのビ ット位置を熱することなく)行ない得ることを私は発見した。そしてその結果、 比較的高い融点とむしろ高い熱伝導性(これらの特徴は当該目的のために技術1 達によって避けられてきたもの)を有する金のような材料が驚くべき良好な吸収 体フィルムを形成し、でれはテルルのような“今まで好まれてきた″吸収体と比 較し得る感度のものであることも私は発見した。In such well-known ``processing records'', a high intensity radiation beam (laser) is used. Thermal energy given by the writing beam beam of the position” is melted or processed in at least a portion of its beam cross section. It must be something. At that time, many people believe that the surface tension causes the formation of "plane-like pores". (see the editorial by Z ech cited above), which is usually This results in the formation of an oblong "pit" or hole. (Coclran and F. ``1vleltino to 1oles in Metal'' by rrier Films for Real-Time, High 1) intensity [) ata Storage”, SP (Ep roceedings, 1977 (August, see PI3-P31) Absorber film: One feature of them is that the related type of rape record is (i.e., up to its bulk melting point) I have found that you can do this without heating the cut position. And as a result, Relatively high melting point and rather high thermal conductivity (these features make technology 1 suitable for this purpose) Materials like gold have surprisingly good absorption (something that has been avoided by many) It forms a body film, and its desorption is compared to the “previously preferred” absorbers such as tellurium. I have also found that they are of comparable sensitivity.

もちろん、成る人達はチタンや金(また、白金、ロジウム、ニッケル、クロム、 マンガン、およびバナジウム;たとえば、3ellの米国特許第4 、285  、056 号マtc +tIBMのTD Bulletin、 1’971年3 月号、第301頁参照)のようなパ高融点” ′vJ利もそのような゛加工″吸 収体層として適するかもしれないということを漠然とは推測していた。しかしな がら、そのような推測ではパ感度″の実際の問題または上述のようにそれらの材 料へどのようにして低出力レープが記録することができるかなどに対して注意が 払われなかった。あるいは、それらの推測では関連する高い熱伝導性の問題を無 視してきた(熱が記録位置から放射状に伝導されて、書込エネルギが消耗され、 そして感度が悪くなる:金のような金属は高い熱伝導性を有するがTiやTeは そうでないことに留意)。Of course, those made of titanium, gold (also platinum, rhodium, nickel, chromium, Manganese, and vanadium; e.g., 3ell U.S. Pat. No. 4,285. , No. 056 matc + tIBM TD Bulletin, 1'971 3 The high melting point of polymers (see page 301 of the 2013 issue) also makes it difficult to absorb such processing. I had a vague idea that it might be suitable as a collection layer. However However, such speculation does not address the actual issue of performance sensitivity or, as mentioned above, Be careful about how low-power rapes can be recorded, etc. Not paid. Alternatively, those assumptions ignore the associated high thermal conductivity issue. (Heat is conducted radially from the recording position, writing energy is consumed, And sensitivity deteriorates: metals like gold have high thermal conductivity, but Ti and Te Note that this is not the case).

今まで観察音速は、一般に゛高融点″金属は吸収体の候補としては全くあり得な いと認識していた(たとえば、引用した米国特許第4.222,071号で述べ られているように、“低融点″で低い伝導性のTeは優秀な感度を与え、そして 低出力レーザによって記録することができるものとして認められた。したがって 、その全く逆のもの;すなわち高融点を有する良好な熱伝導体である金のような 金属は、理論的に最も不良な°゛吸収体゛′である筈である。)。Until now, observed sound velocities generally indicate that "high melting point" metals are completely unlikely candidates for absorbers. (e.g., as discussed in cited U.S. Pat. No. 4,222,071). The “low melting point” and low conductivity of Te gives excellent sensitivity and It has been recognized that it can be recorded by low power lasers. therefore , its exact opposite; i.e. gold, which has a high melting point and is a good thermal conductor. Metals should theoretically be the worst absorbers. ).

それにもかかわらず、本発明は、金のような丁度そのような金属が用いることが 可能で、かつ少なくとも知られている吸収体くたとえば非常に浸れた記録保存寿 命とともにTeと同等な感喚を有する吸収体)と同等に機能し得ることを示す。Nevertheless, the present invention provides that just such metals, such as gold, can be used. Possible and at least known absorbent materials, such as highly immersed archival It is shown that it can function equivalently to an absorber (which has the same sensation as Te) along with life.

さらにこの発明は、そのような吸収体フィルムが(従来技術が教えることと反し て)記録のためにそのビット位置を従来のバルクの金属溶融点まで力11熱され る必要のないことを明瞭に示す。The invention further provides that such an absorbent film (contrary to what the prior art teaches) ) The bit position is heated to the conventional bulk metal melting point for recording. clearly indicate that there is no need to

延長された記録保存寿命: 光学データ・ストレージ技術の大きな魅力はストレージ容1の増大(たとえば、 磁気テープの100倍のオーダ)か約束されることである。ここで意図されてい る光学データ・ディスクは、延長された10年以上のオーダの記録寿命の間その 上へ(″″消去不能の″)情報をストアすることが想定されるであろう。そのよ うな延長された寿命は従来技術において未だ達成されていない目標であり、技術 音速は心からそうしたいと願っている。本発明はそのような記録寿命を示す媒体 で特に光学大規模メモリやそのような応用に用いられるものを約束する。Extended record retention life: A major attraction of optical data storage technology is the ability to increase storage capacity1 (e.g. This is on the order of 100 times that of magnetic tape). is intended here optical data discs that last for an extended recording life on the order of 10 years or more. It would be expected to store (“non-erasable”) information. Such an extended lifespan is a goal that has not yet been achieved in the prior art; Sonic wishes to do so with all his heart. The present invention provides a medium that exhibits such a recording life. It is especially promising for use in optical large-scale memory and such applications.

対照的に、ヒスマスやテルルのような一般に提案されている吸収体金属はあまり に速く酸化してしまうことが知られており、またさもなくば典型的な使用環境に おいて容易に性能劣化することが知られている;したがってそれらはそのような 記録保存には適さないものである(たとえば。In contrast, commonly proposed absorber metals such as hismuth and tellurium are less It is known to oxidize quickly and otherwise are known to easily degrade in performance; therefore, they It is not suitable for record keeping (e.g.

後で引用するΔsl+等による19s’tqの論文;およびZCCl)の論説; さらに後で述べる実施例■によって示されるものを参照せよ)。技術音速はテル ルが特に乏しい保存安定性を有していることを認識しており、すなわちその続出 信号は短時間で劣化する。この劣化は高い湿度の環境の下に促進されるもので、 典型的には全体的な光の透過の急速な増大によって特徴付けられ(おそらく金属 の一般的な酸化による)、まl、:その金属フィルム中の選択されたビット位置 のパ欠陥位置”で始まる激しい腐蝕によって特徴付けられる。そしてビスマスも 同様である。19s'tq paper by Δsl+ et al. cited later; and ZCCl) editorial; See also what is shown by Example 2 below). Technical speed of sound is tel It is recognized that the oil has a particularly poor storage stability, which means that the Signals degrade over a short period of time. This deterioration is accelerated in a high humidity environment. Typically characterized by a rapid increase in overall light transmission (possibly due to metal due to the general oxidation of), the selected bit position in the metal film. It is characterized by severe corrosion starting at the defect location of the bismuth. The same is true.

延長された記録保存安定性(引金などの吸収体フィルムの同様な利用を示すこの 発明によって説明され、これらの材料はコンピュータ情報ストレージ媒体として の利用、特に(表■にあるように)コンピュータのためのそのような光学データ ・ディスク記録として用いるのに保存性が優れかつ安定である。This demonstrates similar utilization of absorbent films for extended archival stability (such as triggers). The invention describes these materials as computer information storage media. The use of such optical data, especially for computers (as in Table ■) - Excellent storage stability and stability when used as disk recording.

したがって新規性の特徴として、私は長い保存寿命を示す記録のためにそのよう な材料の利用を意図する。すなわち、そのような材料は、典型的なFDPストレ ージや使用の間における酸化またはそのような雰囲気による劣化に対して優れて いるものである。したがって延長されたストレージ寿命にわたって、“読出″に 対して十分な反射安定性を保持することによって、記録された情報の″消失″が 起こらない。しかし、これだけでは実際のストレージ媒体または関連するシステ ムを提供することができず、特に“良好な″感度も要求される場合は問題で゛あ る。本発明はこねについて以後に示す。Therefore, as a feature of novelty, I The intention is to use materials that are That is, such materials can withstand typical FDP stress. Excellent resistance to deterioration due to oxidation or such atmospheres during storage and use. It is something that exists. Therefore, over an extended storage life, “read” By maintaining sufficient reflection stability against It won't happen. However, this alone does not require the actual storage medium or associated system. This is a problem especially when “good” sensitivity is also required. Ru. The invention will be described below with respect to kneading.

ここで示されている新規な記録媒体や関連する析出技術は、一般に前述の基準に 合うように、さらに可能な場合i、を以下の表Iに示された″目標性能基環′° の1つまたはそれ以上に合うように意図されるであろう。(へshとへl1en による“Qptical properties of 7’ellurium  l”11m5g5ed for Qata Recording”、5PfE  Pr。The novel recording media and associated deposition techniques presented here generally meet the aforementioned criteria. In addition, if possible, i, the ``target performance base ring'' shown in Table I below may be intended to fit one or more of the following: (hesh and hel1en “Qptical properties of 7’ellurium” by l"11m5g5ed for Qata Recording", 5PfE Pr.

ceedings、\10f、222.1980;およびRancourtによ る“Q63ign and producNon of Te1luri+、+ mOp目cat [)ata [) 1sks” 、 S P I E Pro ceedings。ceedings, \10f, 222.1980; and by Rancourt. “Q63ign and productNon of Te1luri+,+ mOpth cat [)ata [)1sks”, S P I E Pro ceedings.

Vol、 299. 1981 、を参照せよ。)表I(媒体の目標基準) 1、゛高い″感度: 低出力レーザ手段による記録を可能にする。゛′感度″はビット形成(スポット 反射性能における変化で、媒体中のホールまたは他のボイドあるいはそのような 変化の形成から生じるようなもので、意図した読取速度で適切な続出を与える) のために必要な最小のレーデ出力として理解される。本発明によれば、典型的に は約40〜60ナノ秒(パルス期間)の時間の5〜15m Wのオーダのレーデ 出力で′“潔込″することができる。しがも読出くすなりt5繰返し再生)によ っても劣化されない。Vol, 299. See 1981. ) Table I (target criteria for media) 1. High sensitivity: Allows recording by low power laser means. ``Sensitivity'' refers to bit formation (spot A change in reflective performance due to holes or other voids in the medium or such (such as those arising from the formation of changes, giving appropriate succession at the intended reading speed) It is understood as the minimum radar power required for According to the invention, typically is a radar of the order of 5-15 mW for a time of approximately 40-60 nanoseconds (pulse period). It is possible to ``clean up'' the output. Shigamo readout Kusunari t5 (repeated play) It will not deteriorate even if

1−A、 高いS/N:(適切な読出):Rへ〜1ノイズにス・1する約30〜 40dBの1y4in、ピーク信号のオークにおける(適切な読出に関する)ノ イズに対する信号の割合。1-A, high S/N: (appropriate readout): to R ~ 1 noise to 1 - about 30 ~ 40dB 1y4in, peak signal oak (for proper readout) ratio of signal to noise.

2、″記録保存安定性”;(10年以上の寿命):゛通常のコンピュータ環境″ におりて、約1o〜15年の間に最小の読出以下に落らることなく(最小のS/ Nを保って)使われまたは保存されることが可能。2. ``Record storage stability'' (life span of 10 years or more): ``Normal computer environment'' for about 10 to 15 years without falling below the minimum readout (minimum S/ N) can be used or stored.

3、″コンピュータ記録体”: 今日の高速ディジタル・コンピュータとともに動作する能力を意図する。たとえ ば、少なくとも今日の磁気ディスク・ストレージ装置と同じ能力を備える(たと えば、約106ビツト/cm’またはそれ以上のビット密度、即ち1゜−6以下 の生のビット・エラー率″)。3. “Computer record”: Intended for the ability to work with today's high speed digital computers. parable for example, at least as capable as today's magnetic disk storage devices (for example, For example, a bit density of about 106 bits/cm' or more, i.e. less than 1°-6 raw bit error rate”).

4、゛析出可能″: 適切なフィルムが″商業的規模″で析出可能で、再現性のある制御された特性を 示す。4. ``Can be precipitated'': Suitable films can be deposited on a “commercial scale” with reproducible and controlled properties. show.

5、゛重ね被膜(オーバーコート)可能″:吸収体フィルムは被膜を重ねること ができくたとえば、i ooo分の数インチまで)、上記の特徴を1み牲にする ことなく、たとえば、依然として適当な読出を与え、そのフィルムを機械的に保 護しかつ“表面汚れ″から守る(好ましくは重ね被膜はまた、熱や汚染ガスなど から吸収体フィルムを保護する)。5. ``Can be overcoated'': Absorber film can be overcoated (for example, up to a few inches of iooo), sacrificing one of the above features. for example, still give an adequate readout and mechanically preserve the film. protection and protection from “surface contamination” (preferably the overcoat also protects against heat, contaminant gases, etc.) protect the absorbent film from

したがって、ここて゛の目的は前述のおよび他の関連する特徴や利点を提供する ことである。より特定的な目的は、パアイラント(島)′°」、たは−そのよう な不連続な形態の金やそのような吸収体く情報)フィルムの析出を示すことであ る。もう1つの目的は延長された記録保存寿命のみならず低出力レーザに適する 良好な感度を示すようなフィルムを提示することである。さらにもう1つの目的 は、情報層を゛溶解″を必要としない記録に適した記録材の調製を示すことであ る:すなわち、その記録材のバルウの融点駆下に保らながら゛改変された反射能 ″のビット(ビット)の形成。Therefore, the objective here is to provide the aforementioned and other related features and advantages. That's true. A more specific purpose may be ``Pailand'', or - such It is possible to show the deposition of gold in a discontinuous form or such an absorbent film (information). Ru. Another purpose is to extend archival life as well as to be suitable for low power lasers. The objective is to present a film that exhibits good sensitivity. Yet another purpose is to demonstrate the preparation of a recording material suitable for recording that does not require "dissolving" the information layer. In other words, while maintaining the melting point of the recording material's bulk, ″Bit (bit) formation.

図面の簡単な説明 *発明のこれらおよび池の利点や特徴は、添付図面と関連して述べられる以下の 好ましい実施例の詳細な説明を参照することによって、技術音速によりよく認識 されるであろう。添付図面において同一参照符号は同一要素を示す。Brief description of the drawing *These and other advantages and features of the invention are described below in connection with the accompanying drawings. Become better aware of the technology of sound speed by referring to the detailed description of the preferred embodiment will be done. Like reference numbers indicate like elements in the accompanying drawings.

第1図は先行技術による記録媒体の理想化された部分断面図である。FIG. 1 is an idealized partial cross-sectional view of a recording medium according to the prior art.

第2図は本発明の原理による構造を示す新規な好ましい記録媒体の実施例の断面 図である。FIG. 2 is a cross-section of a novel preferred recording medium embodiment illustrating construction in accordance with the principles of the present invention. It is a diagram.

第3図は好ましいディスク記録体の実施例の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a preferred embodiment of the disc recording medium.

第4図は成る記録ヒツト位置の理想化された平面図である。FIG. 4 is an idealized plan view of the recording hit position.

第5図はもう1つの好ましい実施例の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of another preferred embodiment.

第6図は本発明によって書込まれたもう1つのビット位置の部分の大きく拡大さ れた平面慨略図である。FIG. 6 is a greatly enlarged portion of another bit position written by the present invention. FIG.

第7図は2つの実施例に関するλと艮躬率の関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between λ and error rate for two examples.

第8図はもう1つの実施例の大きく拡大された部分平面概略図である。FIG. 8 is a greatly enlarged partial planar schematic view of another embodiment.

第9図は本発明のもう1つの応用例の機械的概略図である。FIG. 9 is a mechanical schematic diagram of another application of the invention.

第10図、第11図、第12図、および第13図は種々の実施例におけるフィル ムの透過電子顕微鏡写真である。10, 11, 12, and 13 show filters in various embodiments. This is a transmission electron micrograph of the sample.

発明の詳細な説明 “Te例″:テルル吸収体:(゛制御”):第1図は光学記録媒体1の理想化さ れた断面の慨略図解であり、通常【まテルルに関する文M(たとえば、ASll の論文)に示されている方法に従って製造されて動作させられるものである。媒 体1は支持材2を備えており、その上には゛反射防止″ベース△Rを備え、八日 上には情報層(゛吸収体′°)5を備えている。Detailed description of the invention "Te example": Tellurium absorber: ('control'): Figure 1 is an idealized version of the optical recording medium 1. It is a schematic illustration of a cross-section of a It is manufactured and operated according to the method described in the paper of medium The body 1 is provided with a support material 2, on which is provided an "anti-reflection" base △R, An information layer ('absorber') 5 is provided on top.

好ましくはベースΔRは、“反射体岡3を備えており、その上に+、′1.5Δ 光性の″スペーサ°゛層4が載っている。層3と4は、それぞれ、意図された読 出/書込波長における1次反用と1次透過として特徴付けることができる。、1 m3゜4.5は従来技術で知られているよ゛うに〈△shの論文)、はとんとの 可視スペクトルにわたって低反射(反射防止)設計の多重層を形成することが理 解されるであろう。Preferably, the base ΔR is provided with a reflector plate 3, on which +, 1.5Δ A photosensitive spacer layer 4 is placed thereon. Layers 3 and 4 each have their intended readability. It can be characterized as first-order reflection and first-order transmission at the output/write wavelength. ,1 m3゜4.5, as is known in the prior art (paper by △sh), It makes sense to form multiple layers of low-reflection (anti-reflection) designs across the visible spectrum. It will be understood.

好ましくは、反射体3はアルミニウムまたはそのようなあり、一方、スペーサ4 は透明な溶融シリカまたはそのような週明な誘電体で、概略4分の1波長の厚さ [すなわら、N×λ/4.ここでN=1.3.5など]である。Preferably, the reflector 3 is aluminum or the like, while the spacer 4 is transparent fused silica or such a bright dielectric, approximately one quarter wavelength thick. [That is, N×λ/4. where N=1.3.5, etc.].

支持材2は、好ましくはコンピュータ・ディスク装置としてディジタル磁気記録 において現在用いられているタイプの研磨されたアルミニウム・ディスクからな り、それは反射体層3の析出のために十分に平滑で平らな表面にするために用い られる有機平滑化層(下地層)2−8が被せられる。The support material 2 is preferably used for digital magnetic recording as a computer disk drive. Made from polished aluminum discs of the type currently used in It is used to make the surface sufficiently smooth and flat for the deposition of the reflector layer 3. An organic smoothing layer (base layer) 2-8 is applied.

これは約1800(から数千) rpmで動作される14インチのディスクで、 良好な表面平滑性(たとえばピーク・ツー・ピークで4X10−’インチ以下の オーダ)を備えるものとして理解されるであろう。This is a 14-inch disk running at about 1800 (to several thousand) rpm. Good surface smoothness (e.g. less than 4 x 10-' inches peak-to-peak) order).

制御されたエネルギと波長の照射(レーザ)ビームがレーザ源りから媒体1へ照 射されて、゛ビット″またはそのような゛′加工″を層5上に形成し、゛書込″ が(たとえば、仮想線で示されたV″の位置に)なされる。より特定的に言えば 、直径0.8μIl(すなわち、8000Aまたは1、/Σ)の10mWのガウ シアン・ビームを用い、451n、/’sec、でスキャンして、Q、 8um の幅の成る最小長ざの゛ビット″(必ずしも円形または他の制御された形である 必要はない)を形成することが必要であろうくしかし、この条件は従来の手段に 対しては厳しすぎる)。A radiation (laser) beam of controlled energy and wavelength is directed from a laser source onto the medium 1. to form ``bits'' or such ``processes'' on layer 5 and to ``write'' them. is made (for example, at the position of V'' shown in phantom).More specifically, , 10 mW Gauss of diameter 0.8 μIl (i.e. 8000A or 1,/Σ) Using cyan beam, scan at 451n,/’sec, Q, 8um A minimum length of ``bits'' (not necessarily circular or other controlled shape) consisting of the width of However, this condition cannot be met by conventional means. too strict).

第1図の先行技術の記録体1は、主に以下の例の本発明の実施例に関する比較や 識別の手段を与えるために述べられるものである。そしてここで断わりのない限 り、すべての材料や方法や装置は現在良好に実施されている一般に知られている 手段によることを意図している。The prior art recording body 1 in FIG. It is mentioned to provide a means of identification. And unless otherwise specified here All materials, methods and equipment are currently well-practiced and generally known. It is intended by means.

ここで、金属記録フィルム5は゛′透明な″′誘電スペーサ4上に析出させられ 、その両方の厚さは周知の低い反射能の構造を形成するように選ばれる(たとえ ば3artoli旧の論説:λ=488nmで記録するとき3%以下の反射能が 8Qnn+のS + Ozスペーサ上の5直mのT1によって得られる)。次に 、各“ビット″(ビット)が記録される場合、このパ反射防止″下地は高いコン トラストの読取に適したパビット″を形成するように加工される。そして記録す る波長が変えられる場合は、同様の結果を得るようにそのスペーサ厚さが容易に 変えられる。この“3重層″または゛ダーク・ミラー([) ark M 1r ror ) ”構造における(吸収体5上の)表面反射能は゛ゼロ″または吸収 体厚さとスペーサ厚ざを1凋整することに、よって選択される1直にすることが できる。ここで“3重カ″は、1つの面上に吸収体を備え、他の面に反射体を備 えた透明なスペーサがらなっていると理解できる。Here, the metal recording film 5 is deposited on the ``transparent'' dielectric spacer 4. , the thickness of both of which are chosen to form a structure of known low reflectivity (e.g. Old editorial: When recording at λ = 488 nm, the reflectivity is less than 3%. (obtained by T1 of 5 mm on S+Oz spacer of 8Qnn+). next , each “bit” (bit) is recorded, this reflective anti-reflection substrate has a high The trust is processed to form a pavit suitable for reading. If the wavelength of be changed. This “triple layer” or “dark mirror ([)ark M1r” ror) "The surface reflectivity (on the absorber 5) in the structure is "zero" or absorption By adjusting the body thickness and spacer thickness by 1, it is possible to select 1 shift. can. Here, "triple fiber" has an absorber on one surface and a reflector on the other surface. It can be understood that it consists of transparent spacers.

挾1(・i音速はある場合には反射体フィルムか省略することができ(たとえば 、°“誘電体ミラー″によって)、またスベー4J/Iが他の材料や構造(たと えば、より熱絶縁的な数層の同様な材料)から形成し得ることを認識するであろ う。1 (・i Sound velocity can be omitted in some cases with a reflector film (for example, , ° by “dielectric mirror”), and Sub-4J/I can be used with other materials and structures (with For example, it will be appreciated that it could be formed from several layers of similar material that are more thermally insulating. cormorant.

したかってここで、コーティング・パラメータは、書込ビームかこの吸収体層に 集光されたときに、そのいわゆるディスクが意図された記録周波数に対して“反 則防止″条件を適当に備えるように選択される。[それに関しては、Be1l  と3 pongによる“A nti −Reflection 3 truc+ ures for Qptical Recording”、 Journal  of Quantum E 1ectronics、 Vol、 QE 14  、 No 、 7. JulV、1978.を見よ;一般的な先行技術に関し ては次の典型的な文献を児よ: Bartolint等による’ Q ptic alDisk Systems Emerge ” 、(EEE Spectr um 。Here, the coating parameters are different from the writing beam to this absorber layer. When the light is focused, the so-called disk becomes “reverse” to the intended recording frequency. [For that matter, Be1l] “Anti-Reflection 3 truc+” by 3 pong ures for Qptical Recording”, Journal of Quantum E 1 electronics, Vol, QE 14 , No, 7. JulV, 1978. See; regarding general prior art. Please refer to the following typical literature: 'Qptic' by Bartolint et al. alDisk Systems Emerge”, (EEE Spectr Um.

△ugust 1978.+1.20:およびBartoliniによる”Qp tical Recording Media Review ” 、 Sp  [Ep roceedings、\10f、123.1977、 p、2 :  ”Qptical 3 torage 〜Iaterials and fvl ethods” 、 3pIF Proceedings、 Vol、 177 、0ptical information 3torage、 1979.  p 、 56゜]好ましくは、析出は層5の反射率が予め決められた反射率レベ ルに達するまで熱蒸発によって進められる。△gust 1978. +1.20: and “Qp” by Bartolini tical Recording Media Review”, Sp [Ep roceedings, \10f, 123.1977, p, 2: “Qptical 3 storage ~ Materials and fvl ethods”, 3pIF Proceedings, Vol, 177 , 0ptical information 3torage, 1979.  p, 56°] Preferably, the deposition is performed such that the reflectance of layer 5 is at a predetermined reflectance level. is advanced by thermal evaporation until it reaches a point.

技術音速が知っているように、これは経験的になされることが可能で、またはP ii′!5が析出されるとき(引用したZechの文献に述べられている析出技 術を参照せよ)吸収体フィルムの反射率を(たとえば、参考試片上で)連続的に 監視することにより可能であり、あるいは析出監視のための同様の適当な光学的 技術によっても可能で、さらに析出した質量の監視のように一般に知られている 他の方法や電気的特性によっても可能ぐある。As technology knows, this can be done empirically, or P ii′! 5 is precipitated (precipitation technique described in the cited Zech literature) Continuously measure the reflectance of the absorber film (e.g. on a reference specimen) or a similar suitable optical method for deposition monitoring. It is also possible by techniques, more commonly known as monitoring the deposited mass Other methods and electrical characteristics are also possible.

こうして、被覆されたディスク2上へアルミニウムの不透明層3を蒸着すること ができるくすべての光学的特性かのレーザ・スペクトルに関して選ばれる)。次 に、5102 (溶融シリカまたはそのような゛透明な″誘電体)の層4が層3 上に制御された厚さまで蒸着され、この厚さは動作波長のλ0に関連している( ここでは、1/4λ、または3/4λ。のいずれかよりわずかに小さいものであ る〉。Thus depositing an opaque layer 3 of aluminum onto the coated disk 2 (can be selected with respect to all optical properties of the laser spectrum). Next Then layer 4 of 5102 (fused silica or some such "transparent" dielectric) is added to layer 3. is deposited on top to a controlled thickness, this thickness being related to the operating wavelength λ0 ( Here, 1/4λ or 3/4λ. is slightly smaller than either ru〉.

層4上には吸収体フィルム5が意図された反射率を生ずる厚さまで蒸着される( 以下を参照せよ)。On layer 4 an absorber film 5 is deposited to a thickness that yields the intended reflectance ( (see below).

記録媒体1の反射能は、各ビット位置” v ”で書込レーザ[からの照射ビー ムによって改変されて、適当な手段で検知する場合、その゛ボイド領域″V(す なわら゛′ピッ1−″)は従来技術において知られているように比較的高い反躬 率のスポラI−′′としてその周囲の低い反射率の″非ボイド″のバックグラウ ンドから識別することができる。The reflectivity of the recording medium 1 is determined by the irradiation beam from the writing laser at each bit position “v”. When detected by appropriate means, the “void region” V (all However, as is known in the prior art, A ``non-void'' background of low reflectivity around it as a spora I-'' of It can be identified from the

たとえば、3ellの米国特許第4.285.056@はそのような媒体を述べ ており、そこでは吸収体層と透過スペーサ層の両方にあいた゛穴″として記録さ れ、それらの穴とそれらの間にある露出(照射)されていない領域の長さは周波 数情報を伝達する特定の情報トラックに沿って変化させられる。この特許にはま た、通常の蒸発技術または電子ビーム7ii3発技術を用いて析出さけられる種 々の材料(たどえば、チタン、ロジウム、白金、金、ニツウル、クロム、マンカ ン、およびバナジン)が挙げられている。これに比べて、K eezer等の米 国特許第4,183,094号は、そのようなビットを形成することなり゛干渉 変化″を生じるTe −GO−8e −3材料上へのレーザ記録を述べている。For example, 3ell U.S. Patent No. 4.285.056@ describes such a medium. where it is recorded as a "hole" in both the absorber layer and the transparent spacer layer. and the length of the holes and the unexposed (illuminated) area between them is the frequency The numbers are varied along specific information tracks that convey information. This patent Seeds deposited using conventional evaporation techniques or electron beam 7ii triple bombardment techniques may also be used. various materials (such as titanium, rhodium, platinum, gold, nitrogen, chromium, manka) vanadine). In comparison, rice such as K. National Patent No. 4,183,094 discloses that forming such bits is describes laser recording on Te-GO-8e-3 material which results in a change of 1.

しかしながら3ellのは、そのスペーサ層が書込ビームによって加熱されるこ とが必要であるということにおいて本件の意図するところと異なっている。つま り、彼のスペーサ層はそれ自身除去されるために(すなわら、さもなくばその中 にボイドを形成するために)あるいは分解または昇華させられるに充分なほど加 熱されねばらず、そして上の層(たとえば、金の層)を取除<パバブル″を生成 するに充分なガスを生じる必要がある。本件の場合、木質的にはビームの1ネル キは類似のスペーサ層によって吸収される必要はない。However, the 3ell has its spacer layer heated by the writing beam. This differs from the intent of this case in that it is necessary. wife and his spacer layer is removed by itself (i.e., otherwise (to form voids) or to decompose or sublimate must be heated and the top layer (e.g. gold layer) removed to produce a pubble It is necessary to generate enough gas to In this case, in terms of wood quality, one channel of the beam It is not necessary that the ki be absorbed by a similar spacer layer.

テルルは、技術者一般に好まれる″低融点、/低伝導性′。Tellurium is generally preferred by engineers for its ``low melting point, low conductivity''.

金属である。なぜならば、それtL Iflれた感度を示し、したがって必要な (スレッシ」ルド)レーナ土込出力が小さくてよいと考えられているからである 。It is metal. This is because it shows a greater sensitivity and therefore the required (Threshold) This is because it is considered that the Lena soil-filling output can be small. .

たとえばこの考えは、Be1fとBartol i旧の米国特許第4.222, 071号で述べられており、そこでは同様のテルル のレーザ出力を必要とするものであるとして特徴付はられている(これは約20 %の光学効率を仮定して適切な続出を達成するためであり、この目標は記録され たビデオ信号を約110〜50dBのS / Nで再生を可能にするが、または ゛放送品質″の読み戻しを可能にすることである。)。For example, this idea was introduced by Belf and Bartol i in old U.S. Pat. No. 4.222, No. 071, where similar tellurium It has been characterized as requiring a laser power of approximately 20 % optical efficiency to achieve a suitable sequence, and this goal is recorded This enables playback of video signals with an S/N of approximately 110 to 50 dB, or (It is to enable readback of ``broadcast quality.'')

[それらはまた、固体のGaAu−△Sの照射レーザを指定し、直径約1ミクロ ンの連続的ビームを記録表面へ与える。その間、記録表面はビームに対して動き 続ける。]米国特許第4,222,071号は、その吸収体がTeのような“低 融点金属”でなければならないことを強調している(また、゛連続的フィルム″ として析出されるべきで、′顕微鏡的に集塊”であってはならない:すなわち、 明らかに以下のようなパアイランド″または゛島状の″形態であってはならない )。[They also specify a solid-state GaAu-ΔS irradiation laser, approximately 1 micron in diameter. A continuous beam of light is applied to the recording surface. Meanwhile, the recording surface moves relative to the beam. continue. ] U.S. Pat. No. 4,222,071 discloses that the absorber is a It emphasizes that it must be a ``melting point metal'' (also a ``continuous film''). and should not be 'microscopically agglomerated': i.e. It must not be in the form of a pai-island or “island” that is clearly: ).

吸収体層5の調製;(第1図): 吸収体層5は好ましくは比較的薄いテルルの層からなっており、それはスペーサ 層4(その記録表面(よ比較的平滑で、λ/20以下である)上へ(熱的に恭発 させられて)蒸着される。そのl’−eは好ましくは大きなハツチ・コーティン グ・チャンバを用いて高真空中で蓋発させられて、より良い均一性を確保づるた めに大きなコーティング距離とサブストレート2重回転″すどが採用され、たと えばソースのために高融点金属のボーi〜が用いられる[1.2111の箱型の コーティング・チャンバかAShの文献で用いられている]。すべての塵や汚れ は、最も厳格なバクリーン・ルーム″技術を用いて厳しく減少され杓ばならない 。Preparation of absorber layer 5 (Fig. 1): The absorber layer 5 preferably consists of a relatively thin layer of tellurium, which is separated by a spacer. onto layer 4 (its recording surface is relatively smooth and below λ/20) evaporated). The l'-e preferably has a large hatchet coatin. The slivers are cap-generated in a high vacuum using a vacuum chamber to ensure better uniformity. A large coating distance and double rotation of the substrate are adopted for the purpose. For example, the refractory metal Boi~ is used for the sauce [1.2111 box-shaped The coating chamber is used in the ASh literature]. all dust and dirt must be severely reduced using the most rigorous "Bakulean Room" technique. .

v7ストレート2は、望ましい平滑さまで研磨されてかつ薄い反1)1層3の析 出を受入れるに適した平滑さまで゛サビング(subiJing :下塗り)” 2−Srコーティングされたく意図した照射スペクトルに関して少なくとも“動 作部分゛における高い反則能)平らなアルミニウム板からなつかった。アルミニ ウムは完全な反射体ではないので、ある場合には“′多重積層の誘電体″または そのようなもので置換え1qることを技術音速は認識するであろう。v7 Straight 2 is polished to the desired smoothness and coated with a thin 1) layer 3 analysis. ``SubiJing (undercoat)'' to a smoothness suitable for accepting 2-Sr coating at least “dynamic” with respect to the intended irradiation spectrum. High fouling ability in the working area) Made from a flat aluminum plate. aluminum Since aluminum is not a perfect reflector, in some cases it can be used as a “multilayer dielectric” or Technicians will recognize that replacing 1q with such.

同様にしてスペーサ4が反射体3上に析出させられる。Spacers 4 are deposited on the reflector 3 in a similar manner.

スペーサ4は誘電体材料で、それはレーザ・スペクトルの“動作部分″に対して 比較的透明である。約1 583Aの蒸WSi○2 (二酸化珪素)が本目的( たとえば、λ=6328Aでの書込/a出)に関して満足するものであることか わかった。テルルの吸47体苦5は、意図1[る記録レーザ・スベクl〜ルの高 い吸収体として理解される(たとえば、典型的には2596の吸収性:30%の 反用性;約4 5%のビーム・エネルギの透過:3層打消しのためにそれは反射 よりも多く透過しなければならない)、、吸収層5の厚さはスペーサ4の厚さに 依存する。透過される光が減少させられるべき場合、スペーサ厚さは増大させら れることが望まれるであろーう(NXλ7/4周期;おそらく熱損失も減少する ことが望まれるであろう〉。Spacer 4 is a dielectric material, which is used for the "active part" of the laser spectrum. Relatively transparent. Steamed WSi○2 (silicon dioxide) of approximately 1,583 A is used for this purpose ( For example, should the writing/a output at λ=6328A be satisfied? Understood. Tellurium's absorption 47 body pain 5 is the intention 1 (e.g. typically 2596 absorbency: 30% Reversibility; transmission of approximately 4.5% of beam energy; due to 3-layer cancellation it is reflected ), the thickness of the absorbing layer 5 is equal to the thickness of the spacer 4. Dependent. If the transmitted light is to be reduced, the spacer thickness should not be increased. (NXλ7/4 period; probably also reduces heat loss) It would be desirable.

技術賃達は,低融点と比較的短い熱発散長さく低い伝導性)を有するTe吸収体 5を照射レーザ・エネルギの保存の助けとなる良好なパ高感度″材尉と考えてい る。レーザ・ソースLからの書込ビームが層5の゛′V″位置へ注がれるとき、 そのエネルギの成る小ざい部分は反則され、他の小さい部分は吸収され、大きな 部分が透過される。透過した部分は層3によって反射されて(主k)層5内に吸 収される。したがって、大割エネルギと反射された工未ルギの両方がフィルム5 を加熱し、透過損失を最小にする〈注:5の析出は“3重層”を形成する)。吸 収体厚さまたは均一性における変動は、細心に除去されるべきである。なぜなら ば、この変動は吸収体フィルム中に吸収される書込エネルギを減少させ、かつ感 度を劣化させるからである。The technology is to develop a Te absorber with a low melting point, relatively short heat dissipation length and low conductivity. 5 is considered a "highly sensitive" material that helps conserve the irradiated laser energy. Ru. When the writing beam from the laser source L is focused on the layer 5 at the ``V'' position, Small portions of that energy are deflected, other small portions are absorbed, and large Parts are transparent. The transmitted part is reflected by layer 3 (main k) and absorbed into layer 5. will be collected. Therefore, both the bulk energy and the reflected energy are absorbed by the film 5. heating to minimize transmission losses (note: the precipitation of 5 forms a "triple layer"). Sucking Variations in body thickness or uniformity should be carefully removed. because For example, this variation reduces the writing energy absorbed into the absorber film and reduces the sensitivity. This is because it deteriorates the quality.

結果: 本目的に関して、°゛感度″は指定された最小の続出を与えるに十分な反射能( または同様の読出特性)を変えるのに必要な書込エネルギFWとして理解される 。result: For our purposes, ° ``sensitivity'' is sufficient reflectivity ( or similar read characteristics) is understood as the write energy FW required to change the .

集光された書込ビームの強度や露出時間は、必要な読出品質などを与える(V位 置での)反射能において指定された変化を生じさせるのに十分なだ()吸収体層 5の温度を昇温するものであると理解される(たとえば、それによって先行技術 において技術音速に知られているような適当なコントラストまた(よS 、、/  N比が実現される)。約15MH2のバンド幅に関する40〜5Qd3の典型 的なS/N比(ビーク・ツー・ピーク信号対RMSノイズ)を参照せよ。The intensity and exposure time of the focused writing beam give the required readout quality (around V). absorber layer () sufficient to cause a specified change in reflectivity (at) 5 (e.g., thereby increasing the temperature of the prior art) An appropriate contrast as is known from the technology of sound speed and (yoS,,/ N ratio is realized). Typical of 40-5Qd3 for a bandwidth of about 15MH2 See standard signal-to-noise ratio (beak-to-peak signal to RMS noise).

ここで、テスト記録が6328Aで動作するガス・レー+f (He −Ne  )ビームで行なわれ、その記録時間は30〜470ナノ秒(通常は101n W で40ナノ秒または約400pJ)である。これは、低出力で読出すときに最小 の適切な読出または約40+dBのS/Nを生じるように意図しており、たとえ ば、その出力は同じまたは同様のレーザ装置を用いて得られる1 50〜500 pJ、/cm2 (p J−10−” watt−sec 、またはジュール) である。1X(D意図された組上げに関して、レーザは直径約1/2から1位置 へ集光されて約40ナノ秒の書込パルスを仮定する[昇温から6即まで60ナノ 秒であり、これはisoorpmの回転のディスクに適応するとともに開運する ガルボミラー(galvo−mirror)集光特性にも適応する]。Here, the test record is gas Ray +f (He-Ne) operating at 6328A. ) beam, and the recording time is 30 to 470 nanoseconds (usually 101nW). 40 nanoseconds or about 400 pJ). This is the minimum when reading at low power. is intended to produce a good readout or S/N of approximately 40+dB, For example, the output power is 150-500 which can be obtained using the same or similar laser equipment. pJ, /cm2 (pJ-10-” watt-sec, or joule) It is. 1X (D For the intended assembly, the laser is approximately 1/2 diameter Assuming a write pulse of approximately 40 nanoseconds focused on the seconds, which adapts to the rotation of the isoorpm disc and opens the door. Also applicable to galvo-mirror light collection characteristics].

記録体1はそのようにして記録される。(文献などにおける比較し得る状況のも のに関して)そのTeフィルム(,1比較的低出カレーず・パルスで十分に溶解 することができて、よ(知られているパビッ1−″または“クレータ(crtI ter)”を生じ、良好な読出(たとえば、λ−632a人で1〜3%のパセク グラウンドに対して約50%のビット反射率)与えるが、ごくわずかの゛ノイス ″も伴なう。The recording body 1 is recorded in this way. (Comparable situations in literature, etc.) ) The Te film (1) has a relatively low output and dissolves well with pulses. can be yo (known as Pavi 1-'' or ``Crater (crtI) ter)” with good readout (e.g. 1-3% pasec in λ-632a) The bit reflection rate is about 50% relative to the ground), but there is very little noise. ” is also included.

そのようなパビット・ピッ1−′′は実際にボイドを形成するようである(たと えば、△shの文献中の写真を児よ。それは2〜10mW、100ナノ秒のレー ザ・パルスで記録された同様のTeフィルム中の゛クレータ″である。そこでは 反射モードにおいて用いられたTeの25OAのフィルムは4500A波長にお いて57%の反射率、6%の透過案、37%の吸収率を示したとされる。)。し かし、そのようなTeフィルムは連続的な層として析出されるという事実にかか わらず゛ビット・ビット”(V)の形成はそれを包囲するリム(rim )を伴 なうとその文献に述べられている。そして、このリムは前述の“ノイズ″′と密 接な関係があると考えられている。It appears that such a Pavitt pi 1-'' actually forms a void (and For example, look at the photos in the literature of △sh. It is a 2-10mW, 100ns laser. ``Crater'' in a similar Te film recorded in The Pulse. A 25OA film of Te used in reflection mode has a wavelength of 4500A. It is said to have a reflection rate of 57%, a transmission rate of 6%, and an absorption rate of 37%. ). death However, due to the fact that such Te films are deposited as a continuous layer, However, the formation of a “bit-bit” (V) is accompanied by a rim surrounding it. It is stated in that document. And, this rim is closely related to the “noise” mentioned above. It is believed that there is a close relationship.

明らかに、成る最小昇温時間内の成る最小書込エネルギEw (たとえば、40 ナノ秒以内の約10mWのレーザ)が適切な“ホール′°を形成するために必要 である(たとえば、高出力をあまりゆっくりと与えると吸収体の熱は逃げ去って 、したがって″゛ビツト″書込まれない。)。Obviously, the minimum writing energy Ew within the minimum temperature rising time (for example, 40 Approximately 10 mW laser power (within nanoseconds) is required to form a proper “hole” (For example, if high power is applied too slowly, the heat from the absorber will escape , so the "bit" is not written. ).

そのような゛ホール″または゛″ピツI〜″第1図において°′V″でホールの 位置として暗示されている。そして、少なくとも吸収体材料5のいくらかが明ら かにそのピッ1ル位置で軟化して移動し、そこの厚さを減少させて反射能を増大 させる(少なくともそれは従来技術が教えるものである;たとえば、へshの文 献および引用された米国特許第4222.071号を児よ)。Such a ``hole'' or ``pitch I~'' in Figure 1 shows the hole at ``V''. Implied as a location. Then, at least some of the absorbent material 5 is revealed. The crab softens and moves at the pill location, reducing the thickness there and increasing reflective ability. (at least that is what the prior art teaches; for example, the sentence No. 4,222,071).

そのようなスポットは従来技術で知られている手段で読出すことができる;たと えば、同様のレーザを用いて低出力で(たとえば、上述のレーザを用いて311 Wで)。(適当な光検知器で)受取られる反射エネルギにおける増大は記録され たヒツトを表わす出力信号を生じるように検知される。これらのピッ1〜はバッ クグラウンドから容易に識別できる。もらろんこの読取エネルギはそのように記 録されたビットを“消去″または撹乱するには不十分なものである。[注:読出 は、Teの表面で反射された光に対して゛ビット深さ″が位相変化を生じて、そ れによって最大のコントラストを得るような周波数f6で行なわれる。]mえ【 1: 私は、文献に述べられたように(たとえば、△shの文献の酸化などを参照せよ )この゛”Te記録体″の記録保存安定性は著しく乏しいことを知った。たとえ ば、知られている温度・湿度の周期の下に、記録体1(層5上に保護膜のないも の)は約2〜3週間でその反射能が50%増大し、これは主に酸化などによるこ とが明らかである(“ホール″は゛高い″相対的反射率を有すべきであるが、酸 化(jホール間の゛″バックグラウンド反則率′°を増大さけ、必要なS7/  Nを喪失させる。)。例1のTeフィルムはそのよ−うな“′時効(エージング )″の後の全体的な光透過における急速な増大によって特徴付けられることがわ かるであろう。Such spots can be read out by means known in the art; For example, using a similar laser at low power (e.g. 311 using the laser described above) ). The increase in reflected energy received (with a suitable photodetector) is recorded. is sensed to produce an output signal representative of the hit. These pins 1~ easily identified from the background. The reading energy of Moraron is recorded as such. It is insufficient to "erase" or disturb the recorded bits. [Note: Reading The "bit depth" causes a phase change for the light reflected on the Te surface, and This is done at a frequency f6 that provides the maximum contrast. 】me【 1: I, as stated in the literature (see e.g. oxidation of △sh literature, etc. ) I learned that the storage stability of this "Te recording medium" is extremely poor. parable For example, recording medium 1 (the one without a protective film on layer 5) under known temperature and humidity cycles. ), its reflective ability increases by 50% in about 2 to 3 weeks, and this is mainly due to oxidation. (the “hole” should have a “high” relative reflectance, but the acid (to avoid increasing the ``background foul rate'' between holes), cause loss of N. ). The Te film of Example 1 has such "aging" )'' is characterized by a rapid increase in overall light transmission. It will cost you money.

これは、おそらくその金属の一般的な酸化のみならず、その金属フィルム中の“ 欠陥位置″から始まる激しい位置選択的な腐蝕によるものである(MIL 5P EC#810−8による同様のテストを参照)。This is probably due to not only the general oxidation of the metal, but also the “ This is due to severe position-selective corrosion starting from the defect location (MIL 5P (See similar test by EC#810-8).

これは前述の″′記録保存メモリ“の要件(通常のコンピュータの動作7/保存 条件に約10年さらされる;表■を見よ)に対して非常に不適当である。This is based on the requirements for "archive storage memory" mentioned above (Normal Computer Operation 7/Storage Memory). exposed to conditions for about 10 years; see Table ■).

実施例 以下の例は本発明によるアイランド・フィルム形態のパ低温″吸収体のいくつか の典型的な利用や利点を示すものである。その利点や特徴は、上述の” T e 例″と比較することによって、よりよく評価されるであろう。Example The following are some examples of cryoabsorbers in the form of island films according to the present invention. It shows typical uses and benefits of. Its advantages and characteristics are described above. It will be better evaluated by comparing it with "Example".

例■;金による吸収体:第2図: テルルのフィルム5の代わりに“全吸収体″のフィルム15が用いられるという 特徴以外は、新規な記録体10(第2図)において上述の“”Te例″の動作、 材料、方法。Example ■; Absorber made of gold: Figure 2: It is said that a "total absorber" film 15 is used in place of the tellurium film 5. Other than the characteristics, the operation of the above-mentioned ""Te example" in the new recording medium 10 (FIG. 2), Materials, methods.

および構造がここで再び繰返される。and the structure is repeated here again.

記録体10は支持体12を備え、ぞの上にはパ反射防止″ベース1−△R(第1 図の△Rと同様、好ましくは反射層13を局え、13土には透過スペーサ層14 が載っているlが載っており、サブストレート1−△R(そのスペー+j14〉 上に吸収体フィルム15か被せられている。The recording body 10 includes a support 12, and on top of it is a reflective anti-reflection base 1-△R (first Similar to △R in the figure, preferably a reflective layer 13 is provided, and a transparent spacer layer 14 is placed on the layer 13. is placed on it, and the substrate 1-△R (its space + j14〉 An absorbent film 15 is placed on top.

ここで、その特徴によれば、吸収体15は吸収体フィルムとして機能するように 析出(” 18例″におけるTeフィルムに幾分類似;たとえば、幾分類似の過 程で類似の手段によって)させられた″アイランド層″からなる゛′金″のフィ ルムからなっている。ここで、析出の間に非常に深い注意が吸収体厚さを1il I御するために払われて、さらに以下に述べられるような意図した最小の゛ダー ク・ミラー″iiJ案R(たとえば、ここでは10%が選ばれる)を形成する。Here, according to its characteristics, the absorber 15 functions as an absorber film. precipitation (somewhat similar to the Te film in “Example 18”; e.g. ``gold'' filaments consisting of ``island layers'' made by similar means) It consists of Lum. Here, during the deposition very careful attention has been paid to reducing the absorber thickness to 1il. Intended minimum damage paid to control I and further described below. form a plan R (for example, 10% is chosen here).

重要なことは、第11図(Teの10万倍の顕微鏡写真)に示されて後程述べら れるように、フィルム15が最適の結果のためにアイラン1〜状態に不連続に形 成されていることである。The important thing is shown in Figure 11 (100,000 times Te micrograph) and will be discussed later. The film 15 is discontinuously shaped into the air condition 1 to condition for optimal results. This is what is being done.

その他の点では、下に横たわるスペーサ層149反射体層13.およびサブスト レート12はく少なくとも機能的に〉“”Tee例″同じであり、したがって先 行技術において理解されているように(たとえば、引用された文献を児よ)吸収 体15を伴なった゛3重層”として機能すると考えられる。Otherwise, the underlying spacer layer 149 reflector layer 13. and subst Rate 12 is at least functionally the same as the Tee example, so Absorption as understood in the technical field (e.g., reading the cited literature) It is thought that it functions as a "triple layer" with the body 15.

したがって、金吸収体フィルム15は、好ましくは3io2スペーサ4の表面上 に金を蒸着プることによって形成される。それはよく知られている゛3重層″効 果を監視しながら)5の表面反射能が予め選択された値Rm (ここでは10% の反射率)へ下がるまでパ島状″構造を形成するように注意して行なわれる。反 射率Rmは適切な゛書込″と読出に適応する直に都合良くセットすることが可能 である。ここで、約10%(このレーザの適当な焦点会わせなどのための最小値 )は随意的に選択された。幾分驚くべきことに、(Te例におけるような)前述 のレーザ・ビームを用いた゛書込″が前述のような適切な読出を与えるに十分な 反射率の変化(yなわら、″書込まれた″スポットは25〜55%の反fA率を 示し、25〜4(、)dB範囲のめられる3 、、/ Nを生じる;ある場合に は3 Q−5Q%増で十分である)を生じることがわかった。技術音速は、“バ ージン(未使用または最初の〉パ吸収体フィルムに対して、伯のどのような゛最 小反射率″の1直が選択し得るかを認識するであろう。Therefore, the gold absorber film 15 is preferably applied on the surface of the 3io2 spacer 4. It is formed by evaporating gold onto the surface. This is the well-known "triple layer" effect. The surface reflectivity of 5 is set to a preselected value Rm (here 10%) This is done with care to form an island-like structure until the reflectance decreases to The emissivity Rm can be conveniently set directly to accommodate appropriate "writing" and reading. It is. Here, about 10% (minimum value for proper focusing of this laser, etc.) ) were chosen arbitrarily. Somewhat surprisingly, the aforementioned (as in the Te example) “Writing” with a laser beam of Changes in reflectance (while the "written" spot has an anti-fA ratio of 25-55%) 3, , / N in the range of 25 to 4(,) dB; in some cases It was found that an increase of 3Q-5Q% is sufficient. The technical speed of sound is - For unused or original absorbent film, It will be appreciated that one option with "small reflectivity" can be selected.

吸収体層15の調製:(第2図): 吸収体層15はスペーサ層14(すなわち、比較的平滑面上;たとえば、その0 .52の記録表面)上へ(熱的に蒸発させられて)蒸着された非常に薄い゛アイ ランド析出″の金からなっている。やや予期しなかったことであるが、10%の ゛°最小反射率”Rmまでこの゛3重層コーティング″上金が析出される場合、 パアイラントパが形成されて、意図されたし・−ザ1!:込ビーム(6338人 、1.0mW。Preparation of absorber layer 15: (Fig. 2): The absorber layer 15 is located on the spacer layer 14 (i.e., on a relatively smooth surface; e.g. .. A very thin eye deposited (thermally evaporated) onto the recording surface of 52 Somewhat unexpectedly, 10% of When gold is deposited on this “triple layer coating” up to the “minimum reflectance” Rm, Pai Lantpa was formed and intended...-The 1! : Include beam (6338 people) , 1.0mW.

40ナノ秒)に照射されたとき、反射率が著しく変化する(全く望ましく、また 全く予期しなか−)たことである);ぞれは適当な続出のために全く十分である (たとえば、約10%から約25−55%へ増大する:1ス下の結果の詳細イT 議論を参照せよ)。40 nanoseconds), the reflectance changes significantly (which is entirely undesirable and Totally unexpected-); each is quite sufficient for a proper sequel. (For example, increasing from about 10% to about 25-55%: Result details below (see discussion).

したがって吸収体フィルム15は、好ましくは現在の好ましい技術を用いてスベ ー+1′層−14上に真空蒸着される(たとえば、゛′純″金か人さな真空チャ ンバ内で約10−6〜1 Q−’ 1orr 、の真空度で析出され、それは抵 抗加の析出速度で行なわれる)。The absorbent film 15 is therefore preferably made of a smooth material using currently preferred technology. -1' layer -14 is vacuum deposited (e.g., 'pure' gold or a thin vacuum chamber). It is deposited in the chamber at a vacuum level of about 10-6 to 1Q-'1 orr, and it is (performed at a deposition rate of less than

好ましくは一シリカ帝14もそれ自体同様に金のフィルム15を蒸着される前に 真空蒸着される。すべてのサブストレートは光学的薄いフィルムのためのこの良 好な実施に従って清浄化される。Preferably, the silica 14 is itself similarly deposited with a gold film 15 before being deposited. Vacuum deposited. All substrates have this quality for optically thin films. Cleaned according to good practice.

(熱蒸発による)この析出は、フィルム15の反射層として予め決められた゛最 小反射率レベル”(Rm)が得られるまで必要な゛アイランド″形成を進めるこ とが重要である。さもなくば目的とする結果が得られないであろう。This precipitation (due to thermal evaporation) is caused by a predetermined maximum Proceed with the necessary “island” formation until a small reflectance level (Rm) is obtained. is important. Otherwise, the desired result will not be obtained.

技術音速が知っているように、これは径験的に、または満足のいり°゛アイラン ド″現われるまで吸収体フィルム15が析出させられる間の参考試片の表面反射 率を連続的に監視することによって行なうことができる(引用されたZ ech の文献において彼によって述べられている析出技術、または析出した質量あるい は析出中の電気的1h性を藷視するような他の知られている方法ににる技術を参 照せよ)。As technology knows, this is not possible empirically or satisfactorily. The surface reflection of the reference specimen while the absorber film 15 is deposited until it appears This can be done by continuously monitoring the rate (cited in Z ech The precipitation technique described by him in the literature, or the precipitated mass or Refers to other known techniques such as monitoring electrical properties during deposition. Shine on).

結果: 結果は、特に予期した特性に照らして、また” T e例″。result: The results, especially in light of the expected properties, are also "T e example".

において前述のように調製されたT’e吸収体のような従来の媒体と比較して、 非常に驚くべきものである。すなわち、記録体10はその上に記録されて、読出 されて、”7−e例″におけるようにその感度などが測定されて評価されたくた とえば、前述のタイプのHe−Neレーザ・システムを用いて)。そのように書 込まれたビット位置は゛集塊ホール゛′のようである(そこでは、吸収体が゛集 塊″に形成され、吸収体材料はホールの周囲あるいはそれを越える方向へ移動さ せられる)、、穴の直径は読取ビームの直径と比較し1qるもので(たとえば、 その1/4〜3./4>、反射率における同様の増大や高い出力信号を示す。Compared to conventional media such as T'e absorbers prepared as described above in It's very surprising. That is, the recording medium 10 is recorded on and read out. and its sensitivity was measured and evaluated as in “Example 7-e”. For example, using a He-Ne laser system of the type described above). write like that The inserted bit position is like an ``agglomeration hole'' (where the absorber is agglomerated). The absorber material moves around or beyond the hole. The diameter of the hole is 1q compared to the diameter of the reading beam (e.g. 1/4~3. /4>, showing a similar increase in reflectance and higher output signal.

第6図はそのような顕微鏡写真で児られるような′″集塊ホール″(またはパ擬 似ビット″)を示す美術的な表現である。ここで、“′集塊ホール”15pは慨 略円形の書込まれたスポットとして、または書込まれていないバージンの吸収体 フィルム15v中の物理光学的不連続として理解されるであろう。スポット15 pはレーザ・ビーム直径のオーダ(たとえば、その40〜120%)であり、そ の周囲に゛リム″または部分的なリムを含む。リムの内側は、通常は比較的少な い吸収体材料が存在している:そこ(こ存在するものは吸収体小球gCに集塊化 されて見られ、その多くのものは比較的大きいものであるくたとえば、多くのも のはバージン・フィルム15vや第11図の小さなパアイランド″より大きくて 、通常比較的遠く離れた所にはわずかじか存在しない)。要するに、スポット1 5+・は選択された読出波長(λW)に対する゛光学的ボイド″または不連続性 を禍成し、一方、バージン・アイランド・フィルム15v1よ比較的連続のく部 分的)反射体として理解されるであろう。Figure 6 shows the ``agglomeration hole'' (or pseudo-hole) that is produced in such micrographs. It is an artistic expression that indicates "similar bit").Here, "agglomeration hole" 15p is generally As a roughly circular written spot or as an unwritten virgin absorber It will be understood as a physical-optical discontinuity in the film 15v. spot 15 p is on the order of the laser beam diameter (e.g. 40-120% of it); Contains a "rim" or partial rim around the periphery of the rim.The inside of the rim usually has relatively little There is some absorbent material present: what is present is agglomerated into absorber globules gC. Many of them are relatively large; for example, many of them are It's bigger than Virgin Film 15V or the small Pa Island'' in Figure 11. , there are usually only a few over relatively large distances). In short, spot 1 5+ is an “optical void” or discontinuity for the selected readout wavelength (λW) On the other hand, Virgin Island Film 15v1 had a relatively continuous ending. may be understood as a (partial) reflector.

したがって、技術音速はそのような゛集塊ホール″15Pがテルルについて知ら れているもののような従来のビットと機能的に等価であり得ることを認識するで あろう(Te例および引用文献を見よ)。Therefore, the technical speed of sound is such that such "agglomeration holes" 15P are known for tellurium. Recognizing that it can be functionally equivalent to traditional bits such as (See Te example and references).

後で詳述されるように、そのような、G状”吸収体フィルムは優れた記録体を形 成し得ることがわかる:著しい記録保存安定性、予期できぬほど高い感度、およ び高いS、/Nを備え、一方、驚くほど低い書込エネルギおよび明らかに低い書 込温度を要するだけであり、さらに重ねコーティングに対して明らかに良好な対 応性を有している。[、ここで有用なオーバコーティングは実際の有用性の範囲 を越えて動作性能を劣化させはしない。現在、Te吸収体については劣化し、お そらくこの理由は吸収体材料物質の相対的な移動を明らかに必要としているから であろう。これに対比して、本発明は、ヒツト位置からその吸収体のほとんどま たはすべてをそのように移動させる必要なしに、読取ビームを通すためのビット ・ホールを“記録する″すなわち゛あける″ことができるということに技術音速 は気付いて心地良く驚かされるであろう。本発明は中に゛集塊化″することによ って実施することができ、したがってビット位置内で吸収体を再配列させるが、 そのビット位置の外側l\はほとんどまたは全く材料を移動させる必要がなく、 あるいはその領域外へ取除く必要はない。1詳細は以下に与えられている。As will be detailed later, such a G-shaped absorber film forms an excellent recording medium. See what's possible: remarkable archival stability, unexpectedly high sensitivity, and and high S,/N, while surprisingly low write energy and clearly low write It only requires a higher temperature at It has responsiveness. [, where the useful overcoating is within the range of practical usefulness The operating performance will not deteriorate beyond this point. Currently, Te absorbers are deteriorating and Perhaps the reason for this is that it clearly requires relative movement of the absorber material. Will. In contrast, the present invention removes most of the absorber from the human location. or a bit to pass the reading beam through without having to move everything that way. ・Technical speed of sound lies in the fact that it is possible to “record” or “open” holes. You will be pleasantly surprised to find out. The present invention is achieved by "agglomerating" the can be implemented, thus reordering the absorber within the bit position, but Outside of that bit location l\\ requires little or no material movement; Or there is no need to remove it outside of that area. 1 details are given below.

吸収体フィルムのアイランド形状: 第11図は、上述のような金吸収体フィルムの最初のバージン(すなわち、その 上に記録されていない)反射表面の顕微鏡的平面図(10′Fi倍の透過電子顕 微鏡写真)である。この表面は物理的に不連続または部分的に不連続な゛島状″ 構造のように見え、かなり均一なパターン(S102スペーサ上のセミアイラン ド)を示していることが明らかであろう。この例■に関して、アイランドは数1 00直径を有しており、ぞれと同様な寸法の間隔で隔てられていることがわかる であろう(たとえば、5000〜100・フィルム15は、成る゛%ボイド″範 囲を示すであろう(にとえば、数%から10%のボイド)。Island shape of absorber film: FIG. 11 shows the first virgin (i.e. its Microscopic top view of the reflective surface (not recorded above) (transmission electron microscopy at 10'Fi microscopic photograph). This surface is a physically discontinuous or partially discontinuous “island” Looks like a structure, fairly uniform pattern (semi island on S102 spacer) It is clear that this indicates that Regarding this example ■, the island is number 1 It can be seen that they have a diameter of 0.00 and are separated by intervals of similar dimensions. (For example, 5000-100 film 15 will be in the "% void" range) (e.g., a few to 10% voids).

今、前述のようなレーザ記録ビームへこのバージン・フ塊化パさ已、その位置の ′″パーセンi〜ボイド°°を増大さt!(より大きなアイランド間隔)、いく らかのアイランド物質をその位置から周辺部へ、また周辺を越えて排出しく噴出 物eを児よ)、成る場合にはそこへ(小さな、必ずしも連続的ではない)“リム ″を形成でる。こうして第6図のような゛集塊ホール″を形成する。ここで、こ の過程は゛集塊化″として特徴イ」けられる。Now, pass this virgin agglomeration to the laser recording beam as described above, and then '''% i~ Increase void °° t! (larger island spacing), go Ejecting large amounts of island material from the location to the surrounding area and beyond the surrounding area. (e), if it becomes, there will be a (small, not necessarily continuous) “rim” In this way, an ``agglomeration hole'' as shown in FIG. 6 is formed. Here, this This process is characterized as "agglomeration."

この゛アイランド″構造は予期されなかった。さらに驚くl\きことは通常の° ′記録特性″が実現されたことと、゛バIレクの金″の特性が示すものと全く責 なった効果を示したことてあった。This “island” structure was unexpected. What is even more surprising is that We take no responsibility whatsoever for the realization of the 'recording characteristics' and the characteristics of the It has been shown that the effect of

上述のように、ODD吸収体フィルムを゛′アイランド″IM造に形成すること は、文献では述べられていない:それのみならず文献は本件の良好な実施と相反 するものである(たとえば、米国特許第4,222,071号が明ら力\にして いるように;上記の議論を児よ)。As mentioned above, forming the ODD absorber film into an “island” IM structure is not mentioned in the literature; not only that, but the literature contradicts good practice in this case. (For example, U.S. Pat. No. 4,222,071 clearly states that (as per the above discussion).

そのようなアイランド形成を制御する少なくともいくつかの第1次因子は: 吸 収体材料、析出速度、付霜;サブストレートの材料と状態(たとえば、清浄さ、 粗さ、など)および温度;゛核生成著″の存在、蒸気汚染物の存在(真空度)、 およびそのような因子であり、それらは技術音速によって認識されることであろ う。たとえば、あまりに冷たいサブストレートでは連続的なフィルムを形成し、 しかしあまりに高温では全くフィルムを形成しないであろ゛う。At least some of the primary factors controlling such island formation are: Repository material, deposition rate, frosting; substrate material and condition (e.g. cleanliness, roughness, etc.) and temperature; presence of ``nucleation'', presence of vapor contaminants (degree of vacuum), and such factors, and they may be recognized by the technical speed of sound. cormorant. For example, a substrate that is too cold will form a continuous film; However, at too high a temperature, no film will form at all.

この点に関して、技術音速は第12図と第13図を第11図と比べることが℃き る。第12図において、先行技術で知られているように核生成のための酸化ビス マス層で覆われたシリカのサブストレートを除けば(例1のよ“)に)同様なフ ィルムが形成されCいる。第13図も同様であって、代わりにクロムの核化成層 が用いられている。第11図と比べて、第12図はより広い間隔の薄いアイラン ドを示しているように見え、一方、第13図は連続的な金のフィルムである(ア イランドはない)。In this regard, the technical speed of sound can be compared to Figures 12 and 13 with Figure 11. Ru. In FIG. 12, bis oxide for nucleation is shown as known in the prior art. A similar film (as in Example 1) except for the silica substrate covered with a mass layer A film is formed. Figure 13 is similar, but instead the nucleation layer of chromium is used. Compared to Figure 11, Figure 12 shows thinner islands with wider spacing. Figure 13, on the other hand, is a continuous gold film (A There is no Iran).

引用されたレーザ装置は(引用されL出力レベルで2第13図のフィルム上に全 く“書込む″ことができなかった;一方、第12図のフィルムはわずかに低い感 度を除けば第11図(例■)のものと同様に書込むことができた。The quoted laser device (as quoted) is shown in full on the film in Figure 13 at the L output level. On the other hand, the film in Figure 12 had a slightly lower sensitivity. It was possible to write in the same manner as in Fig. 11 (Example ■), except for the degree.

技術音速はそのような゛アイランド″パターンが(読出7/書込条件のような因 子を考慮して;たとえば書込1ネルギ、ビーム幅、λ、など)あるめられる結果 を与えることができることを認識するであろう。こうして例■において、約40 00〜10000Aの直径の満足のいり゛ビット・ホール″が特定の書込ビーム などを用いて形成される(ii足のい<S/Nなどを与える)。The technical speed of sound is determined by such "island" patterns (due to factors such as read/write conditions). (e.g. writing energy, beam width, λ, etc.) You will realize that you can give Thus, in example ■, about 40 A satisfactory bit hole with a diameter of 00 to 10,000 A can be used for specific writing beams. It is formed using (ii, give <S/N, etc.).

大きすきるかまたは小さすぎるアイランド直径は、満足のいくものでないと1「 測されるであろう。より特定的に占えば、バージンのアイランドの寸法や間隔は 記録に際して前)ホの集塊化に適したものでなEプればならず、平均アイランド 直径は連続体フィルムになりつつあるものよりも遥かに小さい(itなわち、十 分な間隔二 個々のアイランドを熱的に隔離するパーセント・ボイド);さらに そのアーイランドの1仏は選択されたλ(R、、、’ Wレーザ)に対して(比 較的連続の)゛光学反射体″のよ)に吸収体フィルム15がパ見える″ように十 分な大きさく%ボイドが十分小さい)である必要がある。間隔が十分であるなら 、スポットがレーザ加熱(その上に書込まれる)されるとき、フィルム15に“ °光f的スイッチ″を生じるように前記の゛集塊ホール″を形成し、検知される 反則iにおいて著1ノい変化を示す、よらに゛集塊化″するであろう。その著し い反射率の変化はめられるS 、/ Nなどと対応し、すなわち、゛スポット″ が゛相対的に透明″になり、そして従来の゛ビット″のように、関連する光学シ ステムに対して相対的な゛開口″(透明)となる。Island diameters that are too large or too small may be unsatisfactory. It will be measured. More specifically, the dimensions and spacing of virgin islands are When recording, the average island must be suitable for agglomeration. The diameter is much smaller than what is becoming a continuum film (i.e. 2% void thermally isolating individual islands); One Buddha of that island is (ratio) for the selected λ(R,,,'W laser) The absorber film 15 is placed in a relatively continuous manner (like an optical reflector) so that the absorber film 15 is visible. % voids must be sufficiently small). If the spacing is sufficient , when the spot is laser-heated (written on it), the film 15 “ The above-mentioned “agglomeration hole” is formed to produce an “optical switch” and is detected. The foul i will show a marked change and become more agglomerated. It corresponds to S, /N, etc., where a change in reflectance is included, that is, a "spot" becomes ``relatively transparent'' and, like a traditional ``bit'', the associated optical system It becomes an "opening" (transparent) relative to the stem.

前)ホの他には、ここで、書込ビームはビット位置内のアイランドに作用して゛ 集塊化″を生じかつ(通常は)それに伴なって平均アイランド寸法および間隔の 増大(増加させられた%ボイド領域)を生じる。初期のくバージン)%ボイドは 、意図した放射状の最小の熱損失に十分適応し、かつ初期反射率(Ro)がめら れる゛はぼゼロ随(“ダーク・ミラー″としてめられる)を越えるほど大きくな いと推定される。In addition to (previously), here the writing beam acts on an island within the bit position. agglomeration” and (usually) an associated increase in average island size and spacing. resulting in an increase (increased % void area). The initial virgin)% void is , sufficiently accommodating the intended minimum radial heat loss, and with an initial reflectance (Ro) of It is so large that it exceeds Bozero Zui (known as "Dark Mirror"). It is estimated that

もちろん、その光学的下サブストレートにζ′3手芒が形成される場合、その吸 収体・スペー1す・反q・1体は、実際上、反射能を増大させる(たとえばここ で、約10%から約30%へ)e 通常、この書込操作は、要するにピッ1ル位置の吸収体物質をかなり除去するた めに、その吸収体フィルムへ]−ネルギを与えるものである。こうして、よ込ま れていないスポットが25%吸収、45%透過、30%反剣を示す場合、゛′書 込まれた″スポットはその書込波長に関してこれらの値をそれぞれ約30%、1 0%、60%へ変えるであろう。Of course, if a ζ′3 awn is formed in its optical lower substrate, its absorption The object, space 1, reflection q, 1 body actually increases the reflective power (for example, here (from about 10% to about 30%) Normally, this writing operation consists of removing a significant amount of the absorber material at the pill location. It provides energy to the absorbent film. In this way, I read If a spot that is not covered shows 25% absorption, 45% transmission, and 30% anti-sword, then The written "spot" has these values about 30% and 1, respectively, with respect to its writing wavelength. It will change to 0%, 60%.

この′″書込″はパーセント・ボイド(領域〉を増大さぜるので、その書込ビー ムは明らかにその書込スポットのアイランドへエネルギを与え、それらアイラン ドの平均寸法を増大させ、かつそれらの平均間隔をも増大させるくすなわら、そ れらはより少ない数のアイランドへ゛集塊化”すところで、パアイランド形態の 薄い金属フィルム″は、文献において一般的命題としてい(らかの注目を受けて いたくたとえば、Ool’emusによるこれと同じ題名の文献、J。This ``write'' increases the percent void (area), so the write The system clearly energizes the writing spot islands and This increases the average size of the nodes and also increases their average spacing. They "agglomerate" into fewer islands, and the island form "thin metal films" are a common proposition in the literature (following the attention of R. For example, the article with the same title by Ool'emus, J.

へpp、physics: 、June 1966、Vol、37.#7゜P2 775以下を見よ。そこでは金のフィルムが述べられている。: T ruon g等による”Qptical Con5tants ofAQgregated  gold Film n 、Journal or QptiCa13oc* ety ハ、、m 、V61. 6 6 、 # 2 、 F cbruar\ l 197(3,P124以下も見よ。そこでは金のフィルムが300℃に熱せ られたカラス・ケアストレート上に蒸着で形成され、その執音速は゛粒子それI う自身がバルクの光学定数を有していると仮定しても妥当である″と考えている 。;△n d e r S S OnとNOrmanによる’ 3 truct ural and E 1eCtriCal properties or [ )iscOntinllous GoldFilms on Glass” 、  Vacuum 、 Vol、 27. #4.1977、 Pergamon  press、 Great Br1tain、も見よ。pp, physics:, June 1966, Vol. 37. #7゜P2 See below 775. Gold film is mentioned there. : T ruon "Qptical Con5tants of AQ aggregated" gold Film n, Journal or QptiCa13oc* ety c, m, V61. 6 6, #2, F cbruar\ l 197 (See also 3, P124 and below. There, a gold film is heated to 300°C. It is formed by vapor deposition on the glass care straight, and its sonic velocity is We believe that it is reasonable to assume that the material itself has bulk optical constants. . ;△n d e r S 3 truct by S On and NO Orman ural and E 1eCtriCal properties or [ ) iscOntinllous Gold Films on Glass”, Vacuum, Vol, 27. #4.1977, Pergamon See also press, Great Br1tain.

それはそのようなフィルムの電気抵抗を調べており、この抵抗がバルクの金の抵 抗より大きいことを示し・ている。)。It examines the electrical resistance of such films, and this resistance is similar to that of bulk gold. It shows that the resistance is greater than the resistance. ).

しかし、金または他のいずれかの金属のそのような°“アイランド・フィルム° ′をODDレーレー録媒体として用いることが河らかの利点を備えているという ことを誰も発見できなかったようである。実際、技術音速は゛連続的″吸収体フ ィルムのみを意図していたようである。(たとえば、引用した米国特許第4.2 22.071号を見よ。それは吸収体が“集塊化″されてはならず、°゛連続的 フィルム″でなければならないことを示している。;またはI B IVI − TDB、 March 1971 、 P2O31を見よ。それ)よ連続的“金 +アモルファス副欝のような金属層′″を示しており、そのアモルファスはシリ コンのようなものである。これらの層(ま金、結晶質シリコン、およびアモルフ 7・ス・シリコンの混合物”を形成するようにlIl熱される。〉。However, such an island film of gold or any other metal It is said that using ' as an ODD relay recording medium has obvious advantages. No one seems to have discovered that. In fact, the technical sound velocity is a ``continuous'' absorber film. It seems that it was intended only as a film. (For example, cited U.S. Pat. No. 4.2 See issue 22.071. It is important that the absorber is not “agglomerated” and is continuous. or IB IVI - See TDB, March 1971, P2O31. It) Continuous “money” +It shows a metal layer like an amorphous sub-layer, and the amorphous is a silicon layer. It's like a con. These layers (metallic, crystalline silicon, and amorphous 7. heated to form a mixture of silicon.

そのような“島状″吸収体フィルムを形成する3重だ1構造″上にそのようなパ 最小反@率″析出を私が形成したのは全く思いがけない偶然であった。さもなく ば、私は、長い使用寺命にわたって十分な感度とS/′Nを示すそのようなOD  D記録体を提供することはできなかったであろう(以下参照)。Such a package is placed on a ``triple layer structure'' forming such an ``island-like'' absorber film. It was entirely by chance that I formed the "minimum anti-rate" precipitate. If so, I would like such an OD to exhibit sufficient sensitivity and S/N over a long service life. It would not have been possible to provide a D record (see below).

ところで、前述のように、そのような゛′アイランド″吸収体フィルムはやや異 常で、奇妙にも比較的低いエネルギの゛書込パルス″によって影響され、金の公 表されている溶融点まで加熱していないことが明らかであるのに、そのアイラン ドりく拡がって再¥塊化する。これは文献によって予想されるものではない!。By the way, as mentioned above, such "island" absorber films are somewhat different. The gold public The iron is clearly not heated to its stated melting point. It spreads dramatically and becomes a lump again. This is not what is expected by the literature! .

多くの技術音速は、薄い金属フィルムがバルクの金属の性質を示すであろうと仮 定してきた。わずかの人達は、それと異なって、成る性質(ODディスク記録体 に関係付(プられたものではないが)は異なるであろうと述べてきた。Many technologies hypothesize that a thin metal film will exhibit properties of the bulk metal. have been established. A few people have different characteristics (OD disc recording). I have said that the relationship (though not the relationship) would be different.

そして、技術者は、そのような゛′アイランド″吸収体フィルムが(前述のよう な)ODディスクにおいてどのように機能するかを確信することができなかった 。And engineers believe that such "island" absorber films (as mentioned above) ) I couldn't be sure how it would work on an OD disk. .

技術音速は、そのようなアイランド・フィルムがレーザ書込することができて、 そのような゛′集塊ホール″を形成することがいかに驚くべきことかを認識する であろう。むしろ人は、書込位置において軟1ヒされた材料をそのようにパ拡げ る°ためには吸収体フィルムの連続性が必要であると予想するかもしれない(た とえば引用したZ echの文献が前提としているようにそのヒ”ット位置を引 き拡げる:“°表面張力″か゛平面的窪み″を生しる)。The technology is sonic that such island films can be laser written, Recognizing how amazing it is to form such an “agglomeration hole” Will. Rather, one should not spread the softened material at the writing position in such a way. One might expect that continuity of the absorber film would be necessary for For example, as the cited Z ech document assumes, the hit position cannot be derived. Expanding: Produces “surface tension” or “planar depression”).

“記録保存安定性″:(環境による劣化に対する抵抗性)それは゛”Te例゛′ におけるテルル記録体の記録保存安定性より優れていることがわかったくさらに 従来知られているい11゛れのテルル記録体よりも優れている)。たとえば、く 周期的な胃温、/高湿度の環境の下の〉゛時効″テストで光学的反射能における 変化を監視すれば、このへ〇フィルムが、類似するテルルのフィルムより著1ノ く安定でおることかわかるであろう。技術音速は金のフィルムかここで述べた厳 しい°゛記記録保存系条件十分適することをよく認識そのような成る金吸収体か 、吸収体として十分なほど゛敏感″であり1qたということは大きな驚きであっ た。すなわちこの場合、情報は、5〜15mW/10〜100ナノ秒(または1 00〜1000p、J、)の出力で、その金3重世上に十分に゛書込む″ことが 可能である。これはまことに驚くべきことで:それは理論的な予想される感度レ ベルより逼かに高く、文献か教えるものとは誠に異なるものである。“Record storage stability”: (resistance to environmental deterioration) Furthermore, it was found that the record storage stability is superior to that of tellurium record media in (This is superior to the previously known 11 tellurium recording media.) For example, ``Aging'' test under periodic stomach temperature/high humidity environment in optical reflectance If you monitor the changes, you will notice that this film is significantly better than similar tellurium films. You can see how stable it is. Technical sound velocity is gold film or the strict mentioned here. It is well recognized that new record-keeping system conditions are well suited for such gold absorbers. It was a big surprise that it was ``sensitive'' enough to be used as an absorber and weighed 1q. Ta. That is, in this case, the information is transmitted at 5-15 mW/10-100 nanoseconds (or 1 With an output of 00~1000p, J,), it is possible to sufficiently ``write'' on the gold triple world. It is possible. This is truly surprising: it exceeds the theoretically expected sensitivity level. It is much higher than Bell, and it is truly different from what is written or taught.

すなわち、°「eのようなよく知られ−C受入れられている゛良好な吸収体″と 比較して、金(L比較的高い(バルクの)融点(Teの約450℃に対して約1 063℃)を有し、また優れた熱伝導性(1−eのそれは非常に乏しく:金は最 高に属する)を有する。したがって人は、金吸収体か実際には仝(感度を示さず 、テルルの感度に比べて遥かに劣ると予想するであろう。i.e. well-known and accepted ``good absorbers'' such as ``e'' and In comparison, gold (L) has a relatively high (bulk) melting point (approximately 1 063°C) and excellent thermal conductivity (that of 1-e is very poor: gold is the (belongs to high). Therefore, one can assume that the gold absorber is actually not (shows no sensitivity) , one would expect the sensitivity to be far inferior to that of tellurium.

すなわち文献は、チタンより通かに優れた感度を有するものとしてテルルを賞賛 しており、チタンは金のように高い融点を有するがTeのような乏しい熱伝導性 を有プる。That is, the literature praises tellurium as having significantly better sensitivity than titanium. Titanium has a high melting point like gold but poor thermal conductivity like Te. have.

それでは、なぜ金が吸収体として比較し1qるのであろう?(たとえば、Tel いずれの金属よりも最も低い熱伝導性を有し、一方今の熱伝導性はTeの約10 0倍であり、CUとAgだけが金より高い熱伝導性を示すだけである)。So why is gold 1q higher as an absorber? (For example, Tel It has the lowest thermal conductivity of any metal, while the current thermal conductivity is about 10 that of Te. 0 times, and only CU and Ag exhibit higher thermal conductivity than gold).

1つの理由(以′F参照)は異なった書込樋溝(″゛ビツト形成または゛書込″ )が関係しているのかもしれない。One reason (see below) is that different writing grooves (“bit formation” or “writing”) ) may be related.

それに関連する理由は、前述のような金のフィルムの゛アイランド″形態かもし れない。フィルムの反射能を変えるためには、予想されるより遥かに低い書込エ ネルギ、または゛バルクの金パの性質が示すものより逼かに低い書込エネルギを 明らかに必要とする。The related reason is the “island” form of the gold film as mentioned above. Not possible. To change the reflectivity of the film, a much lower writing energy than expected is required. energy, or write energy much lower than that indicated by the properties of the bulk gold powder. Obviously you need it.

低温記録: 大きな驚きは、示された“′反射率変化”がそのような低い(書込)出力レベル でかつ明らかにそのような低い温度で起こることである(この徴候は約300℃ で起こり、それは金の公表されている融点の1063℃よりかなり低く、これは 金のアイランドかポリマーに析出させられてその上に記録されるという例によっ て確められている。なぎならそのポリマーの融点はこの1063℃よりかなり低 いからである。1メ下の例を参照せよ)。これは、吸収体として、金のような″ 高融点″材料(すなわら、f9れた保存特性を有し、したがって長いか命にわた って腐蝕や性能の劣化などの危険性を軽減する材料)に技術音速の注目を向(ブ させるかもしれない。Low temperature record: The big surprise is that the “´reflectance change” shown is at such a low (write) output level. and clearly occurs at such low temperatures (this symptom is around 300°C , which is considerably lower than gold's published melting point of 1063°C, which is For example, gold islands are deposited on a polymer and recorded on it. It has been confirmed that The melting point of Naginara's polymer is much lower than this 1063℃. It is the body. (See example one page below). It is like gold as an absorber High melting point'' materials (i.e. have good storage properties and therefore last for a long or lifetime) The technology is focusing attention on the speed of sound (materials that reduce risks such as corrosion and performance deterioration). I might let you.

もちろん、そのフィルムの島状構造によって、この明らかに減少された融点を説 明できるかもしれないし、または′“溶解″以外の未込機溝を動かせているのか もしれず、まだ3Wも確信はない。1つの理論によれば、そのようなアイランド は高い内部エネルギを有しているので、比較的小さい書込ビーム・エネルギでそ れらの゛分裂″を引起こすことができ、したがって′それらを融解させる″必要 なく集塊化さすことができる。Of course, the island structure of the film explains this apparently reduced melting point. Is it possible to clarify the problem, or are you able to move the unloading machine groove other than ``dissolution''? Maybe, but I'm still not sure about 3W. According to one theory, such islands has a high internal energy, so a relatively low writing beam energy can can cause their ``splitting'' and therefore the need to ``melt them'' It can be agglomerated without being agglomerated.

とにかく技術音速は、明らかにそのような新規な1′金吸収体″の利用性を歓迎 するであろう。なぜならば、よく知られている方法での製造、析出、および取扱 いの容易さに加えで、優れた記録保存安定性およびコンピュータ・ディスク記録 体としての利用適合性(たとえば、表I参照)にJ:るのみならず、金の上に通 帛の″変調″を出込みにおいて特別でユニークな利点をもたらすからである(た とえば、その吸収体ビット位置を従来の溶融照温r5.まて加熱づる必要がない )。また、書込エネルギや記録温度にお(プる減少も高く評価されるであろう: これらは遥かに少ないエネルギの“レーザ書込″の可能性と、より小さなビット 領域への書込の可能性を約束する。この理由のために、スペーサ(および何らか の被覆材)は以下に議論されるよ゛うに比較的低熱容量の良好な熱絶縁体である 場合が最良であると考えられる。Anyway, Technological Speed obviously welcomes the availability of such a novel 1'gold absorber'. will. Because of the well-known manufacturing, precipitation, and handling In addition to ease of storage, excellent storage stability and computer disk recording Not only is the suitability for use as This is because the "modulation" of the fabric offers special and unique advantages in loading and unloading. For example, the absorber bit position may be changed to a conventional melting temperature r5. Well, there's no need to heat it up. ). Also, the reduction in write energy and recording temperature will be appreciated: These offer much less energy “laser writing” possibilities and smaller bits. Promises the possibility of writing to the area. For this reason, spacers (and any cladding) is a good thermal insulator with a relatively low heat capacity, as discussed below. considered to be the best case.

上述の°゛Te例°′にお()るTe吸収体の場合のように、吸収体フィルムの 溶解(加工)に特有の強烈な熱や巨視的な変化を必要とせずに(たとえば、吸収 体÷4料のそのような大きな移動を必要とせずに)ビットが記録されるというシ ステムは技術音速に歓迎されるであろう。As in the case of the Te absorber in the above Te example, without the need for intense heat or macroscopic changes typical of melting (processing) (e.g. absorption). The system in which bits are recorded without requiring such a large movement of body ÷ 4 bits The stem will be welcomed by the technology Sonic.

オーバコーティング;効果: ” Te例″ではTe吸収体フィルム上に5iO(100これは1つの擬似オー バコー1−のようであったが、技術音速が望むような種類の真の機能的なオーバ コート(たとえば、表面の塵や埃などをばかし:水や潴素のような蒸気の進入を 防ぎ;さらに書込熱を保持するなどのためのもので、引掻き傷を生じることなく 取扱えて記録できるi ooo分の数インチの透明なポリマー)を与えはしなか った。この3iQコートは゛ヒツト形成″に影響を勺えなかったが、必要な書込 エネルギを約2倍に増大させたくおそらく、それがビット位置のTOフィルムを 押え付(プて、そこのTO林の移動を阻害するからであろう。)。Overcoating; Effect: In the "Te example", 5iO (100) is applied on the Te absorber film. It was like Baco 1-, but with a true functional override of the kind that Technological Speed wanted. Coat (e.g. remove dust and dirt from the surface; prevent the ingress of vapors such as water and hydrogen) Prevent; also to retain the heat of writing, without causing scratches. It does not provide a transparent polymer (a few inches long) that can be handled and recorded. It was. Although this 3iQ coat had no effect on "hit formation", it was necessary to You probably want to increase the energy by about 2 times, and it is possible to increase the TO film at the bit position. Holding down (probably because it obstructs the movement of the TO forest there).

技術音速は、(TOにおけるピッ1〜や他の金属におけるバブルなどのような) ゛加工記録″がどのよ−)な゛′オー/\コート°°によっても阻害されるであ ろうと予想してきたくたとえば、そのオーバコートがピット位置から吸収体を排 除することを妨げ、いかなる″噴出物(エジェクタ)″をも妨げる。)。Technical speed of sound (such as pips in TO and bubbles in other metals) It may also be inhibited by the ``processing records''). For example, if you expect that the overcoat will displace the absorber from the pit location. prevents any "ejector" from being removed. ).

しかし、例1のような金のフィルムが同様にオーバコートされたとき、そのよう な障害はほとんどあるいは全・(現わねず、感度がほんの少しだけ劣化した。こ れは責・(^つたターイブのビット形成機構が(資)いている証拠である。However, when a gold film like Example 1 is similarly overcoated, such There was little or no disturbance, and the sensitivity was only slightly degraded. This is evidence that the bit formation mechanism of the taib is working.

これは、その瞬間記録機構が全く新規なものであるという考えを強化し、これに は技術音速も同機するであろう(アイランド物質の加工や移動が゛ピット″のそ のような低出力書込に伴なうとしてもオーバコートによってその書込機構が阻害 されることは少なく、これは前述の゛集塊化″と矛盾するものではない)。これ はそのような吸収体の魅力を増大させる。なぜならば、オーバコーティングに影 響されないということは、非常に重要なことだからである。This reinforces the idea that the instantaneous recording mechanism is entirely novel, and this The technological speed of sound will also be the same (the processing and movement of island materials will be Even if it is accompanied by a low-power write like (This is consistent with the above-mentioned ``agglomeration''). increases the attractiveness of such absorbers. This is because it affects overcoating. This is because not being affected is extremely important.

゛バルクのAll”の特性の喪失: 前記の例Iやその他に基づくもう1つの特徴として、そのような(金の)″″ア イランドフィルム′°吸収体が、その報告されている゛バルクの″り金の)特性 から予想されるようには振舞わないことがわかるであろう(たとえば、熱の半径 方向の伝導が重要で(よなざそうである)。そのような“島状フィルム特性゛′ の発見は重要であり、さらに以下で議論する。Loss of “bulk All” properties: Another feature, based on Example I above and others, is that such (gold) Iran film'° absorber has its reported ``bulk'' properties. (e.g., the radius of heat Directional conduction is important (it seems like it's yonaza). Such “island film characteristics” The findings are important and are discussed further below.

これらの″集塊ホール″(反身Jスイッチ)はぞの吸収体(金の)溶融温度より かなり低い温度で形成されるようであり、それは吸収体の排除とほとんどまたは 全く関係なく、さらにその書込は逼かに小さな書込エネルギしか必要としないよ うである。These "agglomeration holes" (anti-body J switches) are lower than the melting temperature of the absorber (gold). It appears to form at fairly low temperatures, which is associated with the exclusion of absorbers and little or It doesn't matter at all, and furthermore, the write requires much less write energy. It's good.

通常、そのような島状吸収体フィルムはODディスクを形成するために利用し得 ると技術音速は予想するであろう(たとえば、表Iの要件のリベてまたはぼとん とを満足寸純金の代わりに、少耐の錫を含む金で(蒸着された)吸収体を構成す ること以外は例■と同様である。これは蒸着の都合でラミネート(ramina te)として施される: 最初に金1次に錫、その次に金(あるいは錫と金の2 重層を加えてもよい)。加熱によって、この゛ラミネー1〜″はAll/Sn合 金を形成するように相互拡散するであろう(はとんどが金で、したがって金の特 性″が侵%9であろう)。Typically, such island-like absorber films can be utilized to form OD disks. the technical speed of sound would be expected (e.g., without the requirements of Table I Instead of pure gold, the absorber is made of gold containing tin (deposited) with low resistance. Other than that, it is the same as Example ■. This is a laminate (lamina) for vapor deposition reasons. applied as: first gold, then tin, then gold (or two pieces of tin and gold) (Additional layers may be added.) By heating, this laminate 1~'' becomes an All/Sn composite. will interdiffuse to form gold (mostly gold and therefore the special properties of gold). %9).

このAU /Snフィルムが例Iのアイランド・フィルム(第2図の15)と置 換えられで、同様(こその上に8込まれる。効果は例1と定性的には同様であっ たが、逃かに優れた保存性と幾分劣った感度を示した。This AU/Sn film is placed with the island film of Example I (15 in Figure 2). The effect is qualitatively the same as in Example 1. However, it exhibited excellent storage stability and somewhat inferior sensitivity.

八11の付着性: 金のアーイラントは、シリカに全く弱くしか付着していないことも観察されたく たとえば、容易に拭き取ることができる)。ま7C1より良い熱絶縁のために透 明のポリマー・スペーサで置換えたとき、金はほとんど全く付着しなかったく粘 着係数がO)。Adhesion of 811: It should also be observed that the gold irlant adheres only weakly to the silica. (for example, can be easily wiped off). Transparent for better thermal insulation than 7C1 When replaced with a bright polymer spacer, the gold remains sticky with almost no adhesion. The arrival coefficient is O).

したがって、薄い錫の゛ス1−ライク(Strike) ” (アイランド形態 の予備蒸着;例■参照)が考えられてパ核生成フィルム″として施され、そして これはカラス上に形成さhたくそれに続いてΔ11のアイランドが蒸着される) 。後程ポリマーのスペーサが用いられた。例■が示すように、結果(j、特にポ リマー・サブストレートで非常に有望であった(金の付着性は大きく改善され、 しかもそのアイランド構造は変化しなかった)。Therefore, thin tin strike 1-like (island form) A pre-deposition of This is formed on top of the glass and subsequently islands of Δ11 are deposited) . Polymer spacers were used later. As example ■ shows, the result (j, especially the point showed great promise on reamer substrates (gold adhesion was greatly improved; Moreover, the island structure did not change).

透明なポリマー(たとえば、テフロン)がスペーサとして用いられて錫フラッシ ュ(゛ストラーイク″、粘着促進剤として)が純金の吸収体の下へ挿入されるこ と以外は例I(第2図)と同様であることを第5図は示している。したがって以 前のように、我々はディスク212、そのディスク上のザピング日212− S 、次に反射体213.(透明なテフロンまたはそのようなポリマーの)スペーサ 214゜および吸収体15(アイランド形状の純All:Lかしアイランドの3 nの層5T−Fに蒸着されている)からなる3Φ層の2−へRを有する。この上 に以前と同様に書込まれた。A clear polymer (e.g. Teflon) is used as a spacer to connect the tin flash. A "strike" (as an adhesion promoter) is inserted under the pure gold absorbent body. FIG. 5 shows that it is otherwise similar to Example I (FIG. 2). Therefore, the following As before, we have disk 212, the zapping date 212-S on that disk , then the reflector 213. Spacers (of clear Teflon or similar polymer) 214° and absorber 15 (island-shaped pure All: L or island 3 n layer 5T-F) of 3Φ layer 2-to-R. above this Written as before.

皮1 例■と同様であるが、金の(4着性、感度、続出、および保存性が大きく改善さ れた。すなわら、その金〈アイランド)は、そのサブストレート(透明なボリン −・スベーリ上のSnアイランド)へしっかりと付着した。感度と読出が大きく 改善されて、したかつて、この3nストライクは(ポリマーへの)付着性を改善 するのみならず光学的読出を高めるためにも働くと考えられ、それ)ユ少なから ず驚くべきことである。skin 1 Same as Example ■, but the adhesion, sensitivity, retention, and storage stability of gold (4) are greatly improved. It was. In other words, the gold (island) is the substrate (transparent bolin). -・Sn islands on the suberi) were firmly attached. Greater sensitivity and readout Once improved, this 3n strike improves adhesion (to polymers). It is thought that it not only works to improve the optical readout, but also to enhance the optical readout. That's really surprising.

そのような驚くべき光学的効果の1つが第7図に示されており、それは波長に対 づるバージンのアイランド・フィルムの反射率(および屈折率)である。例Iの ような純金のアイランド吸収体は一1曲線Aで描かれたような屈折率の変化と曲 線Bのような反射率/λ特性を示す。これは明らかに)−1e−Neレーザ・ス ペクトル(6338へ)の上方や下方では良好に動作しないことを示している( たとえば、ODディスクの必要なフォーマット形成は4400△などでは実行不 能で、その代わりにQa−ASレレーを用いても実行不能である)。全く驚くべ きことに、Sn (アイランド)ストライクを与えれば、曲線Cで示されたよう に、その吸収体の反射のカーブを゛平坦化″するように働く。One such surprising optical effect is shown in Figure 7, which shows that it depends on wavelength. This is the reflectance (and refractive index) of a virgin island film. Example I A pure gold island absorber has a change in refractive index and curvature as shown in curve A. It shows reflectance/λ characteristics like line B. This is clearly)-1e-Ne laser beam This shows that it does not work well above or below the spectrum (to 6338). For example, the necessary formatting of an OD disk cannot be performed with a 4400△ etc. (and it is not feasible to use a Qa-AS relay instead). totally surprising In particular, if a Sn (island) strike is applied, as shown by curve C, In addition, it acts to ``flatten'' the reflection curve of the absorber.

技術高速(よ、そのようlテ増大されIζ照射帯幅がいかに重要か認識するであ ろう。As the technology increases, so do you realize how important the width of the Iζ radiation zone is. Dew.

例1 (Si 02土の純A(1)の記録保存性は若干不十分である(たとえば 、水蒸気の浸入に対する抵抗にJ3いて不十分;これはおそらく非常に弱い付着 性による)。一方、このAu 、/ S n 、7フイランド構造は遥かに優れ ている。Example 1 (Si 02 soil pure A (1) has slightly insufficient record keeping properties (for example , J3 is insufficient in resisting water vapor ingress; this is probably due to very weak adhesion. depending on gender). On the other hand, this Au, / S n, 7-field structure is far superior. ing.

もちろん、ポリ7−は非常に熱劣化しゃす<ニジたがって(Sn 、それに続く △(lのための)蒸着ステップはその温度限界(〜100℃)以下に保lごれる 。そのような金フィルムはここで説明されたような“記録保存″条件に耐え得る に違いない。そのような゛金記録体”は、意図された典型的な保存や使用の条件 の下に、10年のオーダにわたって適当な続出(30+d B>を維持できるよ うに設計さ例■が再現される。しかし保護用オーバコートとして、その吸収体層 15上に透明なポリマーのスーパーコートが施される。Of course, poly7- is highly thermally degraded (Sn), followed by △The deposition step (for l) can be kept below its temperature limit (~100°C) . Such gold films can withstand "archival" conditions such as those described here. It must be. Such “gold records” must be kept under typical conditions of storage and use for which they were intended. Under this, it is possible to maintain a suitable succession (30+dB>) for on the order of 10 years. ■ The designed example is reproduced. However, as a protective overcoat, its absorbent layer A clear polymeric supercoat is applied over 15.

結果: 感度がわずかに劣化することを除けば例■と同様で、一応合格である。Result: Same as example (■) except for a slight deterioration in sensitivity, so it passed the test.

オーバコーティングに対するそのような許容性は注目すべき特性て:技術におい て非常に望まれるものである。Such tolerance to overcoating is a remarkable property: This is highly desirable.

彷v:@■とi革であるか、合金か同時蒸着されたもの:く同様の少■の%の) 錫が(予備的な゛ストライク″としてでなく)金と同時に析出させられることを 除けば、例肝と同様である。彷v: @■ and i leather, alloy or co-deposited: same small%) that the tin is deposited simultaneously with the gold (rather than as a preliminary "strike"). Other than that, it is the same as example liver.

$102の薄い暖がポリマーのスペーサ214(第5図)上に重ねられることを 除けば例■と同様で、その5iOz上に3nのストライクが落着されて、次に金 が蒸着される。A thin layer of $102 is superimposed on the polymeric spacer 214 (Figure 5). Other than that, it is the same as Example ■, and a 3n strike is landed on the 5iOz, and then gold is landed. is deposited.

Ll: 例■と同様であるが、感度はかなり減少した。Ll: Same as Example ■, but the sensitivity was significantly reduced.

そのようなポリマー・スペーサが実施可能であるのに、シリカか嫌われる(シリ カは好ましいものとして広く報告されている)ことは技術高速にとって驚きとな ろう。Although such polymeric spacers are viable, silica or (widely reported as favorable) is a surprise to Technological High Speed. Dew.

例■:Au/Sb: 錫(ポリマー上でかつ5in2上のストライク)がアンチモンに置換えられるこ とを除けば例■と同様である。Example ■: Au/Sb: Tin (strike on polymer and on 5in2) is replaced with antimony This is the same as Example ■ except for.

il: 先の例より優れた感度であるが記録保存性は非常に劣っており、また驚 くべきことに“′噴出された”小球(第4図のe参照;この場合光の例と比べて 噴出物eが比較的少ない)よりもホール内集塊やリング集塊(W54図参照;そ れぞれエレメント1.r)を形成する傾向がある。il: Although the sensitivity is better than the previous example, the recording stability is very poor, and it is also surprisingly It should be noted that the “ejected” globules (see Figure 4 e; in this case, compared to the light example) In-hole agglomerations and ring agglomerates (see figure W54; Each element 1. r).

第4図はそのようなA u y’ S ’b吸収体上に出込まれたリカ型、的な ゛集塊ホール″を理想化して示しており、“バージン″アイランド配列Vはここ では示されていない。Figure 4 shows the shape of the Rika type that is injected onto such an A u y'S'b absorber. The “agglomeration hole” is idealized and the “virgin” island arrangement V is shown here. It is not shown.

後者の特性(″゛噴出物゛°よりむしろリングや局所的な集塊物を作りやすい) は印象的である。それ)ま集塊物の移動の光jヱを制御でさる可能性を口n示し ており、さらに(すへての゛′噴出物” eを阻止すると予想される)オーバコ ーティングによって最小限しか影響されないようなホール形成り横を暗示する。The latter properties (prone to forming rings and localized agglomerates rather than ``ejecta'') is impressive. It also shows the possibility of controlling the light of the movement of agglomerates. In addition, overcoat (which is expected to prevent all ejecta) This suggests a hole formation profile that is minimally affected by heating.

(同じよ2度の)そのようなΔu、/3b合金の同時蒸着は類似の結果を示すで あろう。Co-deposition of such a Δu,/3b alloy (on the same two occasions) shows similar results. Probably.

例■; Au /3b /3n : 3nストライクに続いてアンチモン゛′ストライク″が施され、その後に金が蒸 着されることを除けば例■(ポリマー上にSr+ストライクが施されている)と 同様である。Example ■; Au /3b /3n: The 3n strike is followed by an antimony strike, followed by gold evaporation. Example ■ (Sr + strike is applied on the polymer) except that it is worn The same is true.

ILL’ 例■とほとんど同様であるが、感度がわずかに劣り、記録保存性はわ ずかに優れ、さらに゛′噴出物″が一般的に少ない傾向にある(第4図のように 、しかし例■よりは少し多い)。All −3n−3bの同時酒肴は同aな結果 を生じるであろう。ILL' It is almost the same as Example ■, but the sensitivity is slightly inferior and the storage stability is poor. In addition, there is a tendency for there to be fewer ``ejecta'' (as shown in Figure 4). , but slightly more than Example ■). All-3n-3b's simultaneous drinking and snacking results are the same. will occur.

例IX;Pd: パラジウムか金と置換ねること、およびナブストレートが透明なポリマー・スペ ーサであることを除けば例■と同様である。Example IX; Pd: Palladium or gold may be substituted and the nubstrate may be made of clear polymeric material. This is the same as example (■) except that it is a server.

結果二 例Iとほとんど同様で、例■と■のように慨して゛噴出物″が少ない( ″リム集塊物′°はもう少し多そうである)。Result 2: Almost the same as Example I, and as in Examples ■ and ■, there was generally less "ejecta" ( ``rim agglomerates''° seem to be a little more numerous).

金の代わりにPdを用いることを除()ば例■と同様である(1〕dはポリマー 上で3nストライク上に蒸着される)。Same as Example ■ except that Pd is used instead of gold (1) d is a polymer (deposited on the 3n strike above).

結果: 優れた記録保存性以外は例■と同様である。あるいは例■と同様である (たとえば、拡がったバンド幅。Results: Same as Example ① except for excellent record keeping properties. Or similar to example ■ (For example, increased bandwidth.

蒸気浸入に対する抵抗性、さらにバージンのAuアイランドの関連する転位など )。Resistance to vapor infiltration, as well as associated dislocations of virgin Au islands, etc. ).

例XI;All/Pbラミネート: 錫が鉛で置換えられることを除けば例訂と同様であり、吸収体フィルム15(第 2図)は金・鉛−今一鉛・金の一連のアイランド層からなっており、各層は適当 なアイランド構造である。h■熱したとさ、これらのアイランド層は容易に相互 拡散(その距Mは非常に短い)してA u 、、、/ p h合金アイランドを 形成する。AUが主要成分であるので、第1次近似としてPbの性質は無視し得 る。したがって、その合金は主にパ金の特性″を示すであろう。Example XI; All/Pb laminate: It is the same as the example revision except that tin is replaced with lead, and absorber film 15 (No. Figure 2) consists of a series of island layers of gold/lead-Imaichi lead/gold, each layer being It has an island structure. When heated, these island layers easily interact with each other. Diffusion (the distance M is very short) to form A u , , / p h alloy islands Form. Since AU is the main component, the properties of Pb can be ignored as a first approximation. Ru. Therefore, the alloy will exhibit primarily the properties of gold.

フィルム15は試験の都合のために“ラミネート”として蒸着されたが、技術高 速には他の方法も可能であろう。Film 15 was deposited as a “laminate” for testing convenience, but Other methods may be possible as well.

[注: この合金の゛ラミナ(lamir+ar )”形態は単に調製および研 究の便宜のために選ばれる。しかし、一度合金の条件が落着いて最適化されれば 、技術高速はスパッタリングまたは高真空中の他の知られている信頼し得る方法 で“同時蒸発″、すなわらより均一な合金の実現を可能にする方法によって蒸着 することを好むであろう。そのようなうミナ・フィルムはやや均一性に欠けるお それがあり。[Note: The “laminar” form of this alloy is simply a matter of preparation and polishing. selected for convenience of research. However, once the alloy conditions are settled and optimized, , high speed techniques can be obtained by sputtering or other known reliable methods in high vacuum Deposited by “co-evaporation”, a method that allows the realization of more homogeneous alloys. would prefer to do so. Such a thin film may be slightly uneven. There is that.

したがってけどんどの応用に関しては゛R適″′ではないであろう。しかし、た とえば同時蒸発′A置に比べて、それは第1次近似に基づいて進めていくには非 常に速く、安く。Therefore, it would not be suitable for most applications. Compared to, for example, the simultaneous evaporation 'A' position, it is impractical to proceed on the basis of a first approximation. Always fast and cheap.

および便利に行なうことができる。] Ll: 前述のようなくまた第11図などに示されたような)゛アイランド″よ りむしろ゛フィラメント状″で疑似不連続形態に析出することを除けばおおむね 例■と同様である。これは第10図において10万倍の電子顕微鏡写真で示され ており、第8図においC1対の隔てられた上電極とともに理想化されて示されて いる。この°゛疑似アーイランド°゛ (“′島状“または゛半島状″)形態は 前述の様式で“集塊化″するように児え1例1などで上述されたような様式で、 もつと不連続(“疑似ピッド°)である゛小球パを形成する。したがって機能的 には同様であると考えられる。しかしながら、これらのフィラメント状半島は、 例Iなどの“アイランド″より遥かに低い横方向の電気抵抗を示す(それでもし かし、かなり高い抵抗である)。さらに、それらは゛集塊ホール″を書込むのと 同様に機能するので、それらは前述の゛アイランド″と同等の゛熱絶縁性″を維 持していると考えられる。゛アイランド形状と同様に、そのようなフィラメント 状構造も″′島状″として特徴付けることができる。それは他の゛°島島状ラフ ルムと同様に″゛集塊ホール″を形成して記録する。and can be carried out conveniently. ] Ll: Not only as mentioned above, but also as shown in Figure 11 etc.) Rather, except for the fact that it precipitates in a pseudo-discontinuous form in the form of filaments, This is the same as Example ■. This is shown in Figure 10 using an electron micrograph at a magnification of 100,000 times. and is shown idealized in FIG. 8 with the C1 pair of spaced upper electrodes. There is. This °゛pseudo-island°゛  (“island-like” or “peninsula-like”) form is "Agglomerate" in the manner described above, such as in Example 1, It forms small spheres that are discontinuous (“pseudo-pid°”). It is thought that the same applies to However, these filamentary peninsulas exhibits a much lower lateral electrical resistance than “islands” such as Example I (and However, the resistance is quite high). Additionally, they write “agglomeration holes” and Functioning similarly, they maintain the same 'thermal insulation' as the 'islands' mentioned above. It is thought that it has.゛Such filament as well as island shape The shaped structures can also be characterized as "island-like". It's like other ゛° insular rough In the same way as a lume, an "agglomeration hole" is formed and recorded.

この場合、感度は最高であって、純金の場合(例I)より(9れている。たとえ ばテルル吸収体と概略等しい“感度″てあり、しばしばそれより優れていた(た とえば、” Te例″の感度の約2分の1が測定されl−ことがある)、、づな わら、この場合5 ”□ 15 In W 、/ 10〜100ナノ秒(または 100〜10001) 、 、j、 )の出力範囲で、その金・鉛3重層に情報 が十分に″書込む″ことができる。さらに特定的に言えば、約40ナノ秒はどの 短い間の5mWの出力で″反射能の変化″か見られる。いくつかのサンプルでは 約10〜15ナノ秒の間の1〜2mWの出力によって“変化″シ;他のサンプル では101nWで、もつと短い時間で変化を示す。いずれの場合も充分な読出( たとえば、30〜40dBのS 、/ N )を示す。これ(よまことに驚くべ きことで、理論が予想した感度レベルの何倍もあり、文献から予想されるものと は全く矛盾するものである。しかしなから、その記録保存性は非常に低かったく ほとんどの目的に対して、耗Auやへu−3bのようには許容できない)。In this case, the sensitivity is the highest and is (9) lower than in the case of pure gold (Example I). It has a "sensitivity" that is roughly equal to that of tellurium absorbers, and is often superior to it (for example, For example, about one-half of the sensitivity of the "Te example" may be measured). Straw, in this case 5”□ 15 In W, / 10-100 nanoseconds (or In the output range of 100 to 10001), , j, ), information is transmitted to the gold/lead triple layer. can be sufficiently ``written''. More specifically, about 40 nanoseconds A "change in reflectivity" can be seen with a short period of 5 mW output. In some samples "changed" by a power of 1-2 mW for about 10-15 nanoseconds; other samples Then, at 101 nW, it shows a change in a relatively short time. In either case, sufficient readout ( For example, 30 to 40 dB of S,/N). This (very surprising) The sensitivity level is many times higher than that predicted by theory and is in line with what would be expected from the literature. is completely contradictory. However, its record keeping ability is very low. For most purposes, it is not as acceptable as worn Au or U-3B).

また、Au /Sbの場合のように比較的小さな゛噴出物°′が観察される。Also, relatively small ``ejecta'' are observed as in the case of Au/Sb.

1江: 例1−XIのいくつかの結果が、次のテーブル■において比較的大雑器に定性的 に比較されている。ここで、同様の構造と動作/テスト条件を仮定し、それにオ ーバコーティングをb■える。[注: S′\lは感度てあり、AI Vは保存 性であり:″゛゛リム″゛噴出物″はリムまたは噴出物の形成の可能性(たとえ ば、高、低)を示し;1°”。1st river: Some of the results of Example 1-XI are shown qualitatively in the following table. compared to. Now, assuming similar construction and operating/test conditions, we will Remove the server coating. [Note: S'\l is sensitivity, AI V is storage ``rim'' ``ejecta'' refers to the possibility of rim or ejecta formation (e.g. 1°”.

°°2°″などは、それぞれ゛最良″、“2番目に良″などを意味し;X×は“ ′利用不能″を示す。]U と 掴〃担 掴ハ坐 部μ少 Au/Sn/sb 印l樽S’Y: 4° 5°  l’ 2° 3° 4゜A’y: 4° l’ 5共4.、x3° 3゜x りだ 低 低 高 高 中 高 噴出物 高 高 低 中 中 低 したがってたとえば、ここでの1つの一般的な教えは、前述の“′3重層構造” の吸収体フィルムを備えたODディスクの製造において、その吸収体材料をアイ ランド形状に施すことによって驚くほど良好な感度が得られるということである 。さらに、たとえば良好な感度を確保しながら記録保存寿命を延ばすために、金 やパラジウムのような貴金属またはそれらの合金が吸収体として蒸着し得ること が教またさらに、金のようなアイランド・フィルム吸収体は感!褒を増すために (たとえば少量%の)鉛またはアンチモンのような成分と組合わすことが可能で 、また記録保存性や光学特性の改善Cたとえばハント幅の噌大)のために錫のよ うな成分と組合わせることも可能である。°°2°” means “best”, “second best”, etc.; X× means “ Indicates 'unavailable']U and grab hold hold hold part μ small Au/Sn/sb mark l barrel S’Y: 4° 5°  l’ 2° 3° 4゜A’y: 4° l’ 5 Both 4. , x3° 3゜x Rida Low Low High High Medium High Ejecta High High Low Medium Medium Low So, for example, one general teaching here is the aforementioned “trilayer structure”. In the production of OD disks with absorber films, the absorber material is By applying it to the land shape, surprisingly good sensitivity can be obtained. . In addition, for example, in order to extend archival life while ensuring good sensitivity, or noble metals such as palladium or their alloys can be deposited as absorbers. What's more, the gold-like island film absorber is amazing! to increase reward Can be combined with ingredients such as lead or antimony (e.g. in small percentages) , and also to improve archival properties and optical properties (e.g., large hunt width), such as tin. It is also possible to combine it with eel ingredients.

Δらに、金また(ユバラジウムなどを他の成分と組合わじることによって、ホー ル形成集綿1ヒ機構をある程度制御することがでさる(たとえば、ある場合はリ ムの粒が優勢τ、他の場合は噴出物が優勢であり、At++PbまたはP(1+ S口は゛噴出物″の可能性を最小にし、八〇 +3 II +S+1はS’ y  、 A’ y 、バンドパスを増大させ噴出物を減少させる。)。ΔAlso, by combining gold or uvaradium with other ingredients, It is possible to have some control over the collection mechanism (e.g., if there is In other cases, ejecta are dominant, and At++Pb or P(1+ S mouth minimizes the possibility of "ejecta", 80 + 3 II + S + 1 is S'y , A'y, increase bandpass and reduce ejecta. ).

また、金を鉛、錫、またはアンチモンと組合わせること(よ、その(サブストレ ートへの)付着性を改善して、吸収体とスペーサの界面における湿気の侵入を阻 IFするようであり−1すなわち記録保存性を増大させる。Also, combining gold with lead, tin, or antimony This improves adhesion (to the absorber and spacer) and prevents moisture intrusion at the absorber-spacer interface. It seems to increase the IF -1, that is, record retention.

技術高速は、そのような吸収体フィルムに関して、電子ビーム記録やIR記録の ような池の記録方法に気付くであろう。Technological high-speed technology is developing electronic beam recording and IR recording for such absorber films. You will notice a similar method of recording ponds.

熱で開けられる゛′ラシャタ・フィルム″:第9図:第9図は主題の“照射集塊 化′°アーイランド・フィルムのもう1つの応用を機略的に図解している。ここ で、アイランド・フィルム(ab、 )は、フレーム部材r内の適当なサブスト レート上に析出されている(たとえば、上記の例と同様に透明なポリマーのオー バコートを伴ったガラス上の八〇またはAl1合金)。放射エネルギ源1−3( たとえば、ムab上に照射ピ゛−ムb、を連続的に(または周期的に)当てる。``Rashata film'' opened by heat: Figure 9: Figure 9 shows the subject of ``irradiation conglomerate''. This is a clever illustration of another application of Island film. here Then, the island film (ab, ) is attached to a suitable substrate in the frame member r. (e.g. transparent polymeric acid as in the example above) 80 or Al1 alloy on glass with Bacote). Radiant energy source 1-3 ( For example, an irradiation beam b is applied continuously (or periodically) onto beam ab.

初めは、フィルムabはビームb1のほとんどを反引するくたとえば、反射ビー ムbr として第1の検知装置D1へ反@する)、、シかし、フィルムa1〕( その上のし−ムが当たる部分)がLSによって予め決められたレベルまで胃温( たとえば、づぐ近くの火や炎によるように、集塊化温度まで)されるとき、それ は集塊化して(b、のλ1に対して)“透明化″Jる(したがってフィルムab はλ1に対して比較的透明に見える)。こうしてabはビームb1を通し、関連 する第2の検知装置D2による検知に適した透過ビームD2となる。Initially, the film ab repulses most of the beam b1, e.g. film a1), a film a1] ( The temperature of the stomach (the area above which the beam touches) reaches a predetermined level by the LS. When it is brought to agglomeration temperature (for example, by a nearby fire or flame), it is agglomerated (for λ1 of b) and “transparent” J (thus film ab appears relatively transparent to λ1). Thus ab passes through beam b1 and the related The transmitted beam D2 becomes suitable for detection by the second detection device D2.

ソース1Sは、通常、装置D21\向けられて不動であってもよく、その初めの 照射エネルギくビームb、)によってフィルムabに穴が溶量される。Source 1S may be stationary, usually directed towards device D21\, and its initial A hole is formed in the film ab by the irradiation energy beam b,).

または代わりに、ビームb1がフィルムabを横切ってスキャンされてそこヘバ クーンを“書込シてもよい。また不動のblの場合、エッチされた“マスク″全 体を照射するパ後方からの照射パのソースであってもよい(たとえば、ディスプ レイまたは光学的プリンティング・プレートを作るために)。技術音速は、他の 同様の応用も想い付くであろう。or alternatively, beam b1 is scanned across film ab to Kuhn may be “written”. Also, in the case of immovable BL, the entire etched “mask” The source of the radiation source may be from the rear of the body (for example, a display (to make a ray or optical printing plate). Technique speed of sound is other Similar applications may come to mind.

変化例: 技術音速は、そのような°′アイランド″(または゛島状″)フィルムが、ある 場合には他の金属やてれらの合金(たとえば、Auまたはpdの他の2ヲ5系合 金や3元系合金など、またはpt 、 Cu 、△o、Rhなどの他の金属)で 偶成することができる。多くの例において、その吸収体フィルムt、t、反射防 止または同様な光学的下地構造に都合良く結合される。Example of change: The technology is sonic that there are such °'island' (or 'island-like') films. In some cases, other metals or alloys thereof (e.g. Au or other 2-5 alloys of PD) may be used. gold, ternary alloys, or other metals such as pt, Cu, △o, Rh) Can be combined. In many instances, the absorber film t, t, antireflection or a similar optical substrate.

また成る例においては、そのようなアイランド・フィルムは、たとえば他の蒸着 技術(蒸着は非常に実際的で、例1のように、反射層、スペーサなどのような他 の関連する層を析出させるのに用いることもできる)によって析出される。“合 金”に関しては、通常、同時蒸着が好ましい。In other examples, such island films may be techniques (evaporation is very practical, as in Example 1, it is possible to (can also be used to deposit the associated layer of). “Go For gold, co-evaporation is usually preferred.

吸収体を析出させるためには、スパッタリングのような他の方法も可能である。Other methods are also possible for depositing the absorber, such as sputtering.

とにかく、通常は析出したアイランド溝道を制御するために、析出の間、そのフ ィルムを監視することが望ましい。In any case, it is usually necessary to control the island groove path during precipitation. It is advisable to monitor the film.

11: ここで述べられた好ましい実施例は単なる例であり、本発明は発明の精神から離 れることなく、構造や配列さらに利用において種々の修正や変更が可能であるこ とが理解されよう。11: The preferred embodiments described herein are merely examples and the invention departs from the spirit of the invention. It is possible to make various modifications and changes in structure, arrangement, and usage without being affected. It will be understood that

本発明はさらに変更可能である。たとえば、ここで述べられた手段や方法もまた 、適当に照射されたときに光学的にスイッチされるように用いられる他の極薄フ ィルムに適用可能である。The invention is capable of further modifications. For example, the means and methods mentioned here also , other ultra-thin films used to be optically switched when properly illuminated. Applicable to films.

本発明の可能な変化の上記の例(ま単なる例示である。したがって、本発明は添 付された請求の範囲に示された発明の範囲内のあらゆる可能な修正や変更を含む ものと考えるべきである。The above examples (which are merely illustrative) of possible variations of the invention; therefore, the invention including all possible modifications and changes within the scope of the invention as set forth in the appended claims. It should be considered as a thing.

FIG、3゜ FIG、7゜FIG, 3゜ FIG, 7°

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1. 光学式データ記録システムにおいて、次のものを備えた組合せ。 光学記録媒体。 処方された波長の記録照射を与えるための手段。 与えられるデータに従って処方された最小の書込エネルギ・し//\ルを与える 前記照射を調節するための手段。 前記処方されたビームの調節された照射を前記記録媒体上に集光するだめの手段 。 前記集光された記録ビームと110記記録媒体の間で相対的な動きを与えるため の手段。 前記記録媒体は同様な照射ビームで読出すために用いられるが、その照射ビーム は減少させられた出力レベルである。前記媒体はアイランド形状に析出させられ た金を含む吸収体材料の少なくとも一層の極薄の不連続な層を備え、前記不連続 蕾は前記記録媒体の処方されたビット位置に前記1込エネルギ・レベルで前記ビ ームを与えることによって″゛集塊化″され、それによって前記動きの間にその 光学的特性を変え、関連する読出手段によって検知される。前記アイランドフィ ルムは前記ビームの幅よりかなり小さな平均幅を有する吸収体材料の明瞭に分離 されている“アイランドパを示している。 2、 前記記録ビームと対応する予め決められた波長と幅を有する読取照射ビー ムを与えるための手段を含む請求の範囲第1項記載の発明、、集光のための前記 手段と、相対的な動きを与えるための前記手段が、それぞれ前記媒体上に続出ビ ームを集光するためと前記相対的な動ぎを与えるために用いられる。前記媒体の 光学的特性にお()る前記変化は、前記集光された読取ビームと前記媒体の間の 相対的な動きの間に前記媒体から反射された光がいわゆるデータに従って変化す るように、前記読取ビームのエネルギ・レベルと波長に関連して選択されて採用 される。さらに前記読取ビームの読取エネルギ・レベルは光学的変化を示す前記  。 データのその後の読出性に重大な影響を与えないように選択される。 3、 光学式データ記録システムにおいて、次のものを備えた組合せ。 前記媒体の光学的検知可能な変化の並びとじてその上に記録されたデータを有す る光学媒体。 予め決められた波長と書込エネルギ・レベルを有する読取照射ビームを与えるた めの手段。 前記媒体上に前記読取ビームを集光するための手段。 前記集光された読取ビームと前記媒体の間に相対的な動きを与えるための手段。 前記媒体はアイランド形状に析出さじられた第1金の吸収体材料の少なくとも1 層の不連続な層を含んでおり、前記不連続な層は前記媒体の処方されIζビット 位置に前記書込エネルギ・レベルの前記読取ビームを与えることによつて゛東関 化″シ、そうして前記動きの間に関連する読取手段によって処方された検知を受 取るように、その光学的特性を検知可能に変化させる。前記層は1層以上の吸収 体材料の明瞭に区分されたパアイランド′°を示し、前記アイランドは前記ビー ムの幅よりかなり小ざな平均幅を有している。 4、 記録照射のためにデー′り調節されて集光された書込ビームを前記媒体上 へ与え、同時にそれらの間に相対的な8きを与えて、データ・ビットを描く処方 された書込エネルギのパルスを与えるように前記ビームがデータ調節され得る光 学データ・ストレージ・システムにおいて用いる光学媒体。 前記媒体は不連続なアイランド形状に析出させられた金または金合金の吸収体材 料の少なくとも1つの層を含んでおり、前記層は前記ビーム・パルスを与えるこ とによってその上の処方されたビット位置において゛集塊化″され、処方された 関連する光学検知手段によって前記動きの間に読出すことを可能にするために、 そこを光学検知可能に変化さける。前記アイランド層は前記ビームの幅よりかな り小さな平均幅を有する明瞭に区分された吸収体材料の“アイランド”を示すよ うに形成されている。 5、 次のことを備えた請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかの項に記載さ れた発明。前記照射はレーザ源からのちのである。前記媒体は反射層、前記反射 層に被さっている透明な誘電体の低熱伝導性スペーサ層、および前記スペーサ層 に被さっているアイランド形状の吸収体を含む複数の層からなっている。前記層 の厚さや光学的特性および前記吸収体層の光学的に検知し1qる変化が関連する 読取レーザのエネルギ・レベルや波長と関連して選択され、そうして前記集光さ れた読取レーデ・ビームと前記媒体の間の相対的動きの間に、読取レーザは記録 されたデータ(こ従って変化する前記媒体からの読取ビームを反射づる。さらに 前記読取ビームの強度は前記変えられた光学特性のその後の読取特性を著しく劣 化さじないように選択される。 6、 前記吸収体アイランド層が真空中の溶融液からの蒸発によって析出させら れることを特徴とする請求の範囲第5項記載の発明。 7、 前記吸収体アイランド層の全体的な厚さが数1o。 オングストロームまたはそれ以下のオーダであることを特徴とする請求の範囲第 6項記載の発明。 8、 前記スペーサ層がポリマーからなることを特徴とする請求の範囲第7項記 載の発明。 9、 前記媒体は反射防止ベースを備えてその上に前記アイランド層が析出させ られて形成され、それによって前記媒体の記録されていない部分で、処方された 最小の反射層を示すことを特徴とする請求の範囲第1項ないし第4項のいずれか の項に記載された発明。 10、前記アイランド層が処方された初めの最小反射率値を示すまで析出させら れることを特徴とする請求の範囲第9項記載の発明。 11、 前記アイランド暖がその反射率をモニタされながら溶着によって形成さ れることを特徴とする請求の範囲第10項記載の発明。 12、 前記アイランド層は非常に低い熱伝導性を有する誘電体上に析出させら れて、そのような記録の間に前記ピッ1〜位置へ入射する書込エネルギを保持す るために用いられ、それによって前記吸収体材料がぞのバルクの溶融温度まで加 熱される必要なく低出力/低温度記録を可能にしたことを特徴とする請求の範囲 第1項ないし第4項のいずれかの項に記載された発明。 13、 前記アイランドの平均サイズと平均間隔が、そのような記録の間に、そ のような°“集塊化″を可能にして、各記録されたビット位置で著しい反射率の 変化を起こすように形成されるよう選択されて用いられることを特徴とする請求 の範囲第1項ないし第4項のいずれかの項に記載された発明。 14、 前記アイランド層が記録に際してそのような変化を生じ、さらに記録ビ ット位置からほとんど吸収体材料の排除を伴うことを必要としないことを特徴と する請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかの項に記載された発明。 15、 前記アイランド層が保護的デフオーカシンク・オーバコートで覆われて おり、さらに反射防止ベースの部分として働く透明な熱絶縁的ポリマー上に析出 させられることを特徴とする請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかの項に記 載された発明。 16、 光学記録システムにおいて用いられる光学データ記録媒体としての媒体 の製造方法。前記システムは予め決められた波長と処方された書込エネルギのデ ータ調節されたレーザ書込ビームを備え、前記ビームは前記媒体上に集光されて 、一方、前記ビームと前記媒体の間には相対的な動きが与えられる。前記方法は 次のステップを含む。 その上に処方された誘電体スペーサ(2)を有する反射性の支持手段を提供する ステップ。 前記スペーサ層上のアイランド形状の1蔵またはそれ以上の吸収体層であって、 少なくともこれらの層の1つが金を含むように析出させるステップ。 前記層の厚さや光学特性は、前記書込波長にお(プる反射防止状態が前記媒体の 記録されていない部分で優勢であるように選択される。 さらに前記層の厚さと光学的特性は次のように選択される。前記書込ビームのデ ータ調節は、前記吸収体層の選択されたビット位置へ、前記書込エネルギの処方 された書込パルスを与える。そのような各位置への照射はその位置の反射防止状 態を検知し得るほど改変し、処方された光学的続出を可能にするようにその光学 的特性を変える。 17、 前記吸収体層は、処方されIC低い反射率レベルが最初に検知されるま で蒸着されることを特徴とする請求の範囲第16項記載の発明。 18、 改良された照射記録用の記録ブランク(blank )を調製する方法 。それによれば情報層はサブストレート手段上に配置されており、処方された書 込1ネルキと波長の光エネルギ書込ビームを与えることによって、ディジクル・ データ・ビットを記録するために用いられる、この方法は次のステップを含む。 前記サブストレート手段上への処方された比較的微小厚さの第1金の゛吸収体材 料″を析出させるス1ツブ。それによって、分離された゛′アイランド″配列を 示しかつ処方された初期反射率を有する不連続な記録フィルムを形成する。前記 フィルムは前記書込ビームに対して゛光学的に連続″のように見える。そうして 、そのような1込ビームを前記記録フィルム中の″ヒラト位置″へ当てることが 可能で、かつ選択された位置へ前記1込エネルギの処方された書込パルスを与え るためにデータ調節することができる。 こうして前記吸収体アイランドの処方された゛集塊化″を引起こし、前記フィル ムを光学的に不連続とし、そこに光学的な孔をあけ、それによって前記データを 表わす各書込位置の検知される反射率に変化を及ぼす。前記吸収体材料は、°“ 集塊化″を起こすように周囲の光学的2/熱的環境と関連して選択されて蒸着さ れる。 19、 前記サブストレート手段が熱絶縁的誘電体表面を含む光学的反割防止ベ ースからなり、処方された低レベルの最初の反射率を示すまで前記吸収体材料が 蒸着されることを特徴とする請求の範囲第18項記載の方法。 20、 前記吸収体4jJ料が、最初の初期反射率を示すまで蒸着される金また は金合金の°゛吸収体金屈″の主要部分を含むことを特徴とする請求の範囲第1 9項記載の方法。 21、 前記金属が前記誘電体表面への付着性を向上させるために用いられる少 なくとも1種類の他の金属と組合わされることを特徴とする請求の範囲第19項 記載の方法。 22、 低出力記録照射源を用いるもので、比較的長期の記録保存寿命にわたっ て用いられる記録ブランクを提供する方法。前記照射源は成る与えられた波長と 比較的低い書込エネルギの書込ビームを与える。前記方法は次のものを含む。 成る与えられた波長において処方された光学的熱的特性を示す記録部分を有する サブストレートの提供。 前記サブストレートの前記部分上への処方された情報コーティングの付与。この コーティングのための材料は少なくとも1種類のパ吸収体金属″を含みかつ成る 与えられた波長で処方された吸収能と゛初期反射率″を示すように選択され、ま た前記書込エネルギの書込パルスを受取って処方された°゛読出反!Fl$ ” まで変化させられる。これは前記コーティング上の処方されたパビット位置″に 記録されるつは金または金合金である。 この情報コーチインクは、処方された初期反射率を示すような寸法と間隔に分i 1されたアイランドの形成された1勝また(ユそれ以上の極薄の不連続アイラン ド習として析出させられる。また前記書込エネルギのパルスの付与によってパ集 塊化゛′され、そして前記続出反射率レベル(こ対する反射率において変化を生 じ、それによって初期反射率を示す記録されていない#4域に比べて良好に検知 さねる読出コントラス1−を与える。 2:3. 前記サブストレートが反用防1Fにかつ非常に低い熱伝導性に形成さ れており、前記情報コーティング金属が初期反射率として°゛最初最小反射率″ を生じるに充分な深さだけ蒸着さねで、比較的数が少なくて間隔の大きな゛アイ ランド″を形成するよう集塊化するように用いられることを特徴とする請求の範 囲第22項記載の方法。 24、 前記サブストしノートが誘電体スペーサとその下にある反射体表面を含 み、これらに金属アイランド層を重ねて″゛3重層重層形成されることを特徴と する請求の範囲第23項記載の方法。 25、 前記サブストレートが低熱伝導性のポリマーからなっていることを特徴 とする請求の範囲第23項記載の発明。 26、 前記金アイランド層に先立って前記ポリマー上へ極薄のアイランド゛ス トライク(strike) ”層が施され、前記金アイランド層の付着性を向上 させることを特徴とする請求の範囲第8項または第25項記載の発明。 27、 前記ポリマーがポリテトラフルオロエチレンからなり、前記ス1〜ライ クが前記第1金のアイランドの前記ポリマーに対する付着性を向上させる第1金 でない金属で形成されていることを特徴とする請求の範囲第26項記載の発明。1. In optical data recording systems, a combination comprising the following: optical recording medium. A means for providing recording radiation of a prescribed wavelength. Gives the prescribed minimum write energy according to the given data Means for adjusting said irradiation. means for focusing a regulated illumination of the prescribed beam onto the recording medium; . to provide relative movement between the focused recording beam and the recording medium; means of. The recording medium is used for reading with a similar radiation beam, but the radiation beam is the reduced output level. The medium is deposited in an island shape. at least one ultrathin discontinuous layer of absorbent material containing gold; The bud is applied to the recording medium at the prescribed bit position at the one-input energy level. is "agglomerated" by giving a changes its optical properties and is detected by associated readout means. Said island fee The beam has a distinct separation of absorber material with an average width significantly smaller than the width of the beam. "Island Pa" is shown. 2. A read irradiation beam having a predetermined wavelength and width corresponding to the recording beam. The invention as claimed in claim 1, further comprising means for providing a light beam. means and said means for imparting relative motion, each of which has successive images on said medium. It is used to focus the beam and to provide the relative motion. of said medium The change in optical properties between the focused reading beam and the medium The light reflected from the medium during the relative movement changes according to the so-called data. selected and employed in relation to the energy level and wavelength of said reading beam so as to be done. Further, the reading energy level of the reading beam is such that the reading energy level of the reading beam is indicative of the optical change. . It is chosen so as not to significantly affect the subsequent readability of the data. 3. In an optical data recording system, a combination comprising the following: having data recorded thereon as an array of optically detectable changes in said medium. optical media. to provide a read illumination beam having a predetermined wavelength and writing energy level. means of means for focusing the read beam onto the medium; means for imparting relative motion between the focused reading beam and the medium; The medium comprises at least one of the first gold absorber material deposited in the form of islands. comprising discontinuous layers of layers, said discontinuous layers having a prescribed Iζ bit of said medium; By applying the read beam at the write energy level to the ” then receives the prescribed sensing by the associated reading means during said movement. as it takes, detectably changes its optical properties. The layer may be one or more absorbing layers. showing clearly demarcated islands of body material, said islands being adjacent to said beads. It has an average width that is considerably smaller than the width of the gam. 4. Directing the data-adjusted and focused writing beam onto the medium for recording irradiation. A prescription for drawing data bits by giving them to and at the same time giving a relative value between them a light beam in which the beam may be data-modulated to provide pulses of written energy; Optical media used in scientific data storage systems. The medium is an absorbent material of gold or gold alloy deposited in a discontinuous island shape. at least one layer of material, said layer being capable of applying said beam pulses. ``agglomerated'' at the prescribed bit position on it by in order to be able to read out during said movement by associated optical sensing means, We will change this so that it can be detected optically. The width of the island layer is greater than the width of the beam. to show clearly demarcated “islands” of absorber material with smaller average widths. It is formed like a sea urchin. 5. Any claim stated in any one of claims 1 to 4 that includes the following: invention. The irradiation is from a laser source. The medium is a reflective layer, the reflective a transparent dielectric low thermal conductivity spacer layer overlying the layer; and said spacer layer. It consists of several layers, including an island-shaped absorbent body overlying the the layer The thickness and optical properties of the absorber layer and the optically detected changes in the absorber layer are relevant. is selected in conjunction with the energy level and wavelength of the reading laser, so that the focused During the relative movement between the read laser beam and the medium, the read laser reflected the read beam from the medium, which changes the read data accordingly. The intensity of the reading beam significantly degrades the subsequent reading characteristics of the altered optical properties. Selected to avoid being overshadowed. 6. The absorber island layer is not deposited by evaporation from the melt in vacuum. The invention according to claim 5, characterized in that: 7. The overall thickness of the absorber island layer is several orders of magnitude. of the order of angstroms or less The invention described in item 6. 8. Claim 7, wherein the spacer layer is made of a polymer. The invention described. 9. The medium has an antireflection base on which the island layer is deposited. formed by the non-recorded portion of said medium, and thereby prescribed Any one of claims 1 to 4, characterized in that it exhibits a minimum reflective layer. The invention described in the section. 10. Allow the island layer to deposit until it exhibits the prescribed initial minimum reflectance value. The invention according to claim 9, characterized in that: 11. The island heat is formed by welding while its reflectance is monitored. The invention according to claim 10, characterized in that: 12. The island layer is deposited on a dielectric material with very low thermal conductivity. to retain the writing energy incident on the pips 1 to 1 position during such recording. is used to heat the absorber material to its bulk melting temperature. Claims characterized in that low power/low temperature recording is possible without the need for heating. The invention described in any one of paragraphs 1 to 4. 13. The average size and average spacing of said islands will vary during such recording. ° “Agglomeration” allows significant reflectivity at each recorded bit position. A claim characterized in that it is selected and used to be shaped to cause a change. The invention described in any one of Items 1 to 4 of the scope of the invention. 14. The island layer causes such changes during recording, and furthermore, the recording bit characterized in that it does not require the removal of almost any absorber material from the spot position. The invention described in any one of claims 1 to 4. 15. The island layer is covered with a protective differential focus overcoat. and is further deposited on a transparent thermally insulating polymer that serves as part of the anti-reflective base. According to any one of claims 1 to 4, the invention is characterized in that Inventions listed. 16. Medium as an optical data recording medium used in an optical recording system manufacturing method. The system uses a predetermined wavelength and prescribed writing energy. a regulated laser writing beam, the beam being focused onto the medium; , while relative motion is provided between the beam and the medium. The method is Includes the following steps: providing a reflective support means with dielectric spacers (2) prescribed thereon; step. one or more absorber layers in the form of islands on the spacer layer, Depositing at least one of these layers to include gold. The thickness and optical properties of the layer are such that the anti-reflection state of the medium at the writing wavelength is Selected to predominate in unrecorded areas. Furthermore, the thickness and optical properties of the layers are selected as follows. The writing beam The data adjustment prescribes the write energy to selected bit locations of the absorber layer. gives a write pulse. Irradiation to each such location is performed using anti-reflection coatings at that location. to detectably alter the state of the change the characteristics of 17. The absorber layer is formulated so that IC low reflectance levels are first detected. 17. The invention according to claim 16, characterized in that it is deposited by vapor deposition. 18. Method for preparing a recording blank for improved irradiation recording . According to it, the information layer is placed on the substrate means, and the prescribed By providing a writing beam of optical energy with 1 energy and wavelength, the digital The method used to record data bits includes the following steps. a relatively minute thickness of primary gold "absorbent material" formulated onto the substrate means; A tube in which the material is deposited, thereby creating an array of isolated “islands”. A discontinuous recording film is formed having a specified and prescribed initial reflectance. Said The film appears ``optically continuous'' to the writing beam. , it is possible to apply such a single beam to the "hilt position" in the recording film. applying prescribed write pulses of said one-input energy to possible and selected locations; The data can be adjusted to This causes a prescribed "agglomeration" of the absorber islands and optically discontinuous, and an optical hole is drilled therein, thereby transmitting the data. changes in the sensed reflectance of each writing position represented. The absorbent material is The deposited material is selected in conjunction with the surrounding optical/thermal environment to cause "agglomeration". It will be done. 19. The substrate means is an optical anti-repulsion base comprising a thermally insulating dielectric surface. the absorber material until it exhibits a prescribed low level of initial reflectance. 19. A method according to claim 18, characterized in that the method is evaporated. 20. Gold or gold vapor deposited until the absorber 4jJ material exhibits the first initial reflectance. Claim 1, characterized in that the main part of the absorber is made of gold alloy. The method described in Section 9. 21. A small amount of metal used to improve the adhesion of the metal to the dielectric surface. Claim 19, characterized in that it is combined with at least one other metal. Method described. 22. It uses a low-power recording irradiation source and has a relatively long storage life. method of providing recording blanks for use in The radiation source consists of a given wavelength and Provides a writing beam with relatively low writing energy. The method includes: having a recording portion exhibiting prescribed optical and thermal properties at a given wavelength consisting of Substrate provision. Application of a formulated information coating onto said portion of said substrate. this The material for the coating comprises and comprises at least one absorbent metal. selected to exhibit the prescribed absorption power and “early reflectance” at a given wavelength. The prescribed reading pulse is received by receiving the write pulse of the write energy. Fl$ ” It can be changed up to. This is at the prescribed pavit location on the coating. The one recorded is gold or gold alloy. This information coach ink is divided into dimensions and spacings to indicate the prescribed early reflectance. 1 island formed by 1 win (U) or more ultra-thin discontinuous island It is precipitated as a de-xi. In addition, the power is collected by applying the write energy pulse. agglomerated, and said successive reflectance levels (which produce changes in reflectance). As a result, detection is better than in the unrecorded #4 region, which shows initial reflectance. Gives a cursory reading contrast of 1-. 2:3. The substrate is formed to be 1F reusable and have very low thermal conductivity. The information coating metal has an initial reflectance of °゛initial minimum reflectance''. A relatively small number and widely spaced "eyes" are deposited deep enough to produce Claims characterized in that the invention is used in an agglomerated manner to form a land. The method according to paragraph 22. 24. The substrate note includes a dielectric spacer and an underlying reflector surface. The metal island layer is layered on top of these to form a triple-layer structure. 24. The method according to claim 23. 25. The substrate is made of a polymer with low thermal conductivity. The invention as set forth in claim 23. 26. Ultra-thin island coating on the polymer prior to the gold island layer A “strike” layer is applied to improve the adhesion of the gold island layer. The invention according to claim 8 or 25, characterized in that: 27, The polymer is made of polytetrafluoroethylene, and the a first gold which improves the adhesion of the first gold islands to the polymer; The invention according to claim 26, characterized in that the invention is made of a metal that is not.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS58121156A (en) * 1981-12-31 1983-07-19 インタ−ナシヨナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−シヨン Optical memory medium

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