JPS59500151A - マイクロスイツチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 マイクロスイッチ 技術分野 本発明は電気工業に関し、特にマイクロスイッチに関する。

背景技術 自動ラインおよび生産制御システムの運転の正確さは、そこに用いられているマ イクロスイッチの感度に大きく左右される。それらのマイクロ２インチは正確に は情報の伝達手段である。マイクロスイッチの使用中においてマイクロスイッチ によって発生される誤動作を実際に除去することは困離である。

マイクロスイッチにおける可動接点は好ましくは金属板によって作動され、この 金属板は温度や圧力の変化゛に応動しがちであり、この金属板は引っ張りあるい は圧縮されている場合には僅かな曲げを受けるだけである。従ってマイクロスイ ッチの主な特徴の１つは、作動リンクの移動ストロークの長さく簡単には可動接 点要氷全操作するために必要な移動距離であり、詳しくはマイクロスイッチの感 度である）、およびマイクロスイッチを操作して電流を入り切りするために必要 な工・ネルギの量によって決められる感度である。マイクロスイッチが可動リン クの低速動作の際でも振動および衝撃にさらされるような状態においてマイクロ スイッチが確実にかつ支障なしに動作しなければならないようなマイクロスイッ チには重要な要件が課せられている。この要件は接触抵抗によって決めら几、こ の接触抵抗は接触圧力に三右される。この接触圧力はｌた運転中に生ずる振励お よび衝撃に対するマイクロスイッチの抵抗を決定する。

米国特許第１０９８０７４号明細書にｖｉ高感度のマイクロスイッチが記載され ている。このマイクロスイッチは、絶縁ベース１′　、この絶縁ベース１′に固 定された固定接点２１，３１　、可動接点４′　、およびこの可動接点４′の位 置を選択的に切り替えるために用いる３リンクレバー域構５′からなっている（ 第１図参照）。この３リンクレバ一機構５′は作動リンク６′、中間リンク７′ 　、および接点リンク８′から構成され、これらのリンクは互に直列に接続され ている。作動リンク６′および接点リンク８′は絶縁ベース１′に揺動可能に留 められ、接点リンク８′に取り付けられた可動接点４′および一方のリンク即ち 中田ｊリンク７′は弾性的に作られている。

マイクロスイッチがその初期位置にある場合、予め引つ考られている中間リンク ７′は力Ｐで接点リンク８′の一端に作用している。接、触圧力を発生する垂直 力Ｐ□はＰ１＝Ｐ−ｓｉｎαであり、その場合αは接点リンク８′と中間リンク ７′との間の角度である。

外力Ｆ′が作用する場合、作動リンク６′は変位し、中間リンク７′は接点リン ク８′との相対位置が変り、その場合角度αは減少し、その結果接′触圧力Ｐ０ が減少する。作動リンク６′がマイクロスイッチの直接操作の位置に達すると（ 即ち点Ａが接点リンク８′の不安定初期状態の線であるＩ−Ｉｇに達し、位置Ａ □になると）、角度αおよび接触圧力Ｐ□は零となる。

第２図は作動リンク６′の移動ストロークと接触圧力との関係を示す接触圧力線 図である。その場合ｌは作動リンク６′の点Ａの移動ストロークである。

作動リンク６′がさらに移動し、点ＡがＩ−１線に交差すると、接点４′は自然 速度の操作で切り香り、その場合作動リンク６′の点Ａは行き過ぎ位置（点Ａ２ ）に達する。

外力Ｆ′がもはや作動リンク６′に作用しなくなると、作動リンク６′はばねの 作用で移動し、点Ａは接点リンク８′の不安定変更位置の臓でめる■−■線に達 する（位置Ａ３）。

作動リンク６′の点Ａ　ｉＣ＞ける差動ストロークＬＡ間の接点間隔であり、Ｌ は接点リンク８′の回転中心０と接点２　／　、　３　／の軸心との間の距離で あり、これは同時に作動リンク６′の長さであり、ΔＬは細心０からの点Ａの変 位距離であり、これらは接点４′のスナップ動作のために必要である。上述の式 から次の式がめられる。

外力Ｆ′が供給される点における作ｄ　ＩＪンツク′の差動ストロークＬＦは次 式でめられる。

この場合Ｌｌは作動リンク６′の回転中心から外力Ｆ′がかかる点までの作動リ ンク６′の長さである。

小さな値ΔＬ／Ｌ、　Ｌ１／ＬおよびＨを考慮に入れると、実際に差動運動をめ ることができ、これはＬＦ′＝０．０５〜０．００１ｍｍである。

従来のマイクロスイッチの動作についての上述の説明かられかるように、可動接 点４′の直接２よび逆転の切り替え時間は実際に作動リンク６′の位置および移 動速度に左右されない。しかしこのように敏感なマイクロスイッチにおける接触 圧力は作動リンク６′の変位距離がその移動速度において定格値から最低の値に 変化し、作動リンク６′がマイクロスイッチが動作する位置に近い位置において 零と等しくなってしｌう（第２図参照）。

マイクロスイッチの作動リンク６′の低速動作において、接点が不充分な接触圧 力で閉じら几る長い時間の間に、接点は焼損、溶融、別の部品との固着が生じて しまう。

従来のマイクロスイッチの障害のない動作を行なわせるために、マイクロスイッ チの作動リンク６′の動作速度は５ｍｍ　／　ｓ　ｅ　０以上にしなければなら ない。

作動リンク６′の動作速度が５ｍｍ／ｓｅｅ　より小さいと（リミットスイッチ 、圧力センサおよび温度センサのような場合）、作動機構が可動接点を操作する ために用いら１、その作動機構は４リンクレバ一機得からなり、マイクロスイッ チが動作する前の作動リンクの位置および作動リンクの移動速度に実際に左右さ れないような接点動作時間および接触圧力を生ずるために用いられる。

絶縁ペース１“、この絶縁ペース１″に取り付けられた固定接点２“、３“、可 動接点４“、および４リンクレバ一機構５”からなっているマイクロスイッチが ソ連発明者証第７５２５２８号（国際分類、ＨＯＩＨ１３／２６）で知られてい る（第３図参照）。４リンクレーマー＠ｓ５“、は作動リンク６“、１つは中間 リンクで６ｔ）１つは接点リンクである２つの中間リンク７”、８“　、２よび サポートリンク９″ケ有するチェーンである。作動リンク６″およびサポートリ ンク９“は終端リンクであり、これらは揺動可能に絶縁ペース１“に取り付けら れ、一方の中間リンク即ち接点リンク８“は固定接点２“・と３“に交互に接す る可動接点４“を支持している。マイクロスイッチはまた制限ストツノソ１０“ およびり−ｒ藝ｕ“を有し、制限ストツノぐｌＯ“は絶縁ペースに取り付けられ 、中間リンク７“と８“の一方を可動接点４”の変位方向において保持するため に用いられ、リード線１１“も絶縁ベース１“に取り付けられ、可動接点４“と 眠気的に接続される。

中間リンク７“は弾性面に作られている。

マイクロスイッチがその初期位置に必る場合、予め引っ張られている中間リンク ７“はストリンクｌＯ“に突き当たっている接点リンク８”の端部にｐ６与える 。

接触圧力を発生上るＰ３はＰ　ｓ　＝Ｐ　２１　ｉ　ｎβ＝Ｐｃｏａαｓｉｎβ であり、この場合αは接点リンク８“と中間リンク７“のなす角度であり、βは 接点リンク８”とす、１？−）リンク９“のなす角度である。

外力Ｆ”が作用すると、作動リンク６“は変位し、中１間リンク７“は引っ張ら れ、接点リンク８“に対する位置を変え、その場合角度αは減少し、角度βは一 定のままでおり、中間リンク７“を引っ張るための接触圧力は増加する。

作動リンク６“が直接操作の位置に向けて押されると（即ち点Ａが接点りツノ８ “の不安定状態の１−１線に達し、位置Ａ０となると）、角度αは零となり、接 触圧力はＰ’３＝Ｐ工’ｓｉｎβとなる。

第４図は作動リンク６″のストロークと接触圧力との・欄係を示す接触圧力１図 であり、その場合ｌは作動リンクの点Ａのストロークである。

作動リンク６“かさらに動き、点ＡがＩ−Ｉ線と交差すると、接点４“はその自 然速度で切り替えられる。この場合作動リンク６“の点Ａは位置Ａ２に達する外 力Ｆ“が作動リンク６“にもはや供給されなくなると、作動リンク６“は戻りば ねの作用により移動し、その点Ａは接点リンク８“の不安定：２更位置の臓であ る■−■線に達し、即ちマイクロスイッチの逆転操作の位置である点Ａ３に達す る。

接点４“の切り替えを保証するために、作動リンク６″の動きを制限するストツ ノぞｌＯ“の要素の間の距離は２Ｈよりも幾分長くなければならない。

計算を簡単にするためにストッパ１０“における制限要素間のすき間を２Ｈと仮 定する。作動リンク６“の点Ａにおける差動ストロークは点へ〇とＡ３との距離 と同じであり、この距離は次の式でめられる。

ＬＡ＝Ｈ＋２Δｈ この場合Ｈは接点２“と４“との間の接点間隔である。

ΔＢＣＤ“はΔＯ″ＦＪ人□　に相似しているので（第３図参照）、ストローク ΔＨの長さは次の式でめられるこの場合ΔＬは点Ａの軸心０　／／からの変位距 離であり、これは接点４“のスナップ操作のために必要である。

Ｌは接点リンク８“の回転軸心Ｏ“とストンＡ１０”との間の距離であり、これ は同時に作動リンク６“の長さでもある。

差動ストロークＬＡは次のようになる。

上述の説明から明らか、なように、第３図に示したマイクロスイッチの作動リン ク６″における点Ａの差動ストロークは２つの成分からなり、値Ｈは１〜１．５ ｍｍであり、値３ＨｊＬ　は従来のマイクロスイッチ（第１図参照）の点Ａにお ける作動リンク６′の差動ストロークの３倍であり、値Ｈ９ΔＬ、Ｌは同じであ るこのようにして第３図に示したマイクロスイッチは１マイクロスイツチが運転 中において振動および衝撃にさらされるような状態において作動リンクの低速運 動に２いてのみ確実な切Ｖ暦え劾作金行なう。しかし作動リンクの変位距離のス トローク（差動ストローク）によって決定される感度は充分に高くない。

発明の開示 本発明は、作動リンクの短い垂軸ストローク２よび従ってマイクロスイッチの高 い感度が全体として一定した接点圧力において保証されるように可動接点および 制限ストッパが配置さ几ているようなマイクロスイッチを提供しようとするもの である。

不発明の目的は上述の欠点を除去することにある。

本発明のこの目的は、絶縁ベースに一定された固定接点、４リンクレバ一機得、 および前記絶縁ベースに固定さ几た制限ストツノξからなり、前記４リンクレバ 一機構が作動リンク、一方が接点リンクであり他方が中間リンクである２つの一 中間リンク２よびサポートリンクを有するチェーンの形に作られ、作動リンクお よびサポートリンクが絶縁ベースに揺動可能に設けられた終端リンクであり、中 間リンクの一方が固定接点に交互に接触する可動接点を叉持する接点リンクであ り、前記制限ストッノクが中間リンクの一方を可動接点の変位方向において終端 位置に保狩するようなマイクロスイッチにおいて、可、ｊｊＪ接点が中間リンク に接続された接点リンクの端部に位置され、制限ストンｌぞが中間リンクとサポ ートリンクとの間の接続箇所の近くに位置されていることによって達成される。

かかる本発明に基づく制限ストンＡと可動接点との配置構造によれば、レバー機 構の作動リンクは景動ストロークが短くでき、それによってマイクロスイッチの 感度および憬械的な摩耗抵ｆｃ’ｅ改嵜でき、また作動リンクが運転位置に達す る前に作動リンクの低速運動において一定した接触圧力を保証することができる 。

一方の中間リンクが引っ張り応力を受けている場合、制限ストン・ぞが可動接点 と接点リンクのサポートリンクとの接続箇所との間に位置されているとよい。こ れはマイクロスイッチが運転する位置に作動リンクが移動する場合に接触圧力が 零に下らないようにしている。

一方の中間リンクが正補応力を受けている場合、接点リンクがそのサポートリン クと接続されている端部に突起を有し、制限ストンパが接点リンクのこの突起と 相互に作用すると良い。

本発明のマイクロスイッチにおいて両方の中１司リンクおよびサポートリンクを 板ばねの形に一体にすることができ、この場合７１′クロスイツチの丁法を小さ くでき、その構造全簡単にできる。

本発明のマイクロスイッチにおいて、マイクロスイッチの構造を而単にしその寸 法を小さくするために、レノマー機構のすべてのリンクを板ばねの形にまとめる ことができる。

図面の簡単な説明 次に添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。

端１図は３リンクレバー機構を待った従来のマイクロスイッチの動作説明図、第 ２図は第１図のマイクロスイッチに２ける接触圧力と作動リンクの変位距離との 関係を示す接触圧力線図、第３図は４リンクレバ一機構を持った従来のマイクロ スイッチの動作説明図、第４図は第３図のマイクロスイッチにおける接触圧力と 作動リンクの変位距離との関係を示す接触圧力線図、第５図および第６図は不発 明に基づくマイクロスイッチの動作説明図、第７図は中間リンクが弾性要素とな っている本発明のマイクロスイッチの斜視図、第８図は接点リンクがレバー機構 の弾性要素となっている本発明のマイクロスイッチの斜視図、第９図は作動リン フカレバー機構の弾性要素となっている本発明のマイクロスイッチの縦断面図、 第１０図は２つの中間リンクおよびサポー）　ＩＪンツク板ばねの形にまとめら れている本発明のマイクロスイッチの縦断面図、第１１図は第１０図における板 ばねの平面図、第１２図は板ばねが異なった形をしている第１０図に相応した縦 断面図、第１３図は第１２図に２けるＸＩ−ＸＩ線に沿う断面図、第１４図はレ バー機構のすべてのリンクが引っ張り板ばねの形にまとめられているマイクロス イッチの斜視図、第１５図は圧縮ばねが設けられている第１４図に相応したマイ クロスイッチの側面図、第１６図は第１５図におけるマイクロスイッチの平面図 、第１７図は第１５図および第１６図のマイクロスイッチの板ばねの平面図、第 １８図は第１５図のマイクロスイッチの斜視図、Ｍ２Ｏ図は４極形マイクロスイ ツチを除く第１５図に示したマイクロスイッチの変形列の側面図、第２０図は第 １９図のマイクロスイッチの平面図、第２１図は第１９図のマイクロスイッチの 斜視図、第２２図ないし第２４図はそれぞれ不発明のマイクロスイッチにおける 接触圧力と作動リンクの変位距離との関係を示す接触圧力線図である。

本発明の最適の実用例 マイクロスイッチは、絶縁ベース１に固定された固定接点２，３．可動接点４、 この可動接点４をその終端位置に選択的に切り誉えるための４リンクレバ一機構 ５．および絶縁ベース１に設けられた制限ストン、ｅ６からなっている（鵠５図 参照）。

３極形マイクロスイツチはまた絶縁ベース１に設けられ可動接点４と電気的に接 続するリード線７を有している。

４リンクレノ々−機構５は、２つの終端リンク８，９即ち作動リンク８とサポー トリンク９．および２つの中間リンク１０．１１即ち接点リンクと中間リンクを 有し、これらのリンクの少なくとも１つばばねリンクである。各リンクのいずれ かばねリンクでよく、即ち中間リンク１１（第７図参照）、接点リンク１０（第 ８図参照）、あるいは作動リンク８（第９図参照）の八ずれかがばねリンクであ る。

各終端リンク８，９の一端は一般的な方法（たとえばヒンジ接続）で揺動可能に 絶縁ベース１に接続され、各中間リンク１０．１１の一端は他方の中間リンクの 一端に接続され、他端は終端リンク８．９の一端に接続されている。

作動リンク８に接続された中間リンクは引っ張りあるいは圧縮のｂずれかが作用 する。

１／パ一磯ｍ５のすべてのリンク８，９，１０．１１が独立した部材である場合 、それらは互に普通の方法で締め付は要素によって接続されている。

マイクロスイッチの可動接点４は接点リンク１０に同定されている。

本発明に基づいて可動接点４は中間リンク１１と接続されている接点リンク１０ の端部に配置され、甲間リンク１０．１１の一方を可動接点４の変位方回におけ る終端位置に保持するための制限ストツノに６が、中間リンク１０または１１の サポートリンク９との接続箇所の近くに位、ｔされている。

このような配置構造によれば作動リンク８の差動ストロークヲ減少でき、それに よってマイクロスイッチの感度およびその賊械的摩耗抵抗を改嵜でき、またマイ クロスイッチが動作する位置に作動リンク８が達する前における作動リンク８の 低速運動に２いて一足した接触圧力を保証することができる。

中１４リンク１０．１１の一方が引つ張りを受けているマイクロスイッチの場合 、制限ストンＡ６が接点リンク１０に曖かれた可動接点４（第７図ないし第９・ 図、第１４図参照）と接点リンク１ｏのサポートリンク９との接続箇所との間に 配置されているとよい。かがるコ装置構造は作動リンクが操作位置に移動する場 合に接点圧力が＄まで下らないようにしている。

本発明のマイクロスイッチにおいて、中間リンク１１がその中央位置に移動する ことを制限するために制限ストンＡ６を配置することができる。

一方の中間リンクが圧ｉｔ受けるマイクロスイッチにおいて、接点リンク１０（ 第１０図ないし第１３図および第１５図ないし第２１図参照）がそのす、ｆ−） リンク９と接続された端部に突起１２を有し、制限ストツノぞ６が接点リンク１ ｏのこの突起１２と相互作用することが好ましい。

この突起１２は中間リンクｌｌに設けることができることは明らかであり、この 場合制限ストツノぞ６は中間リンク１１の突起１２と相互作用して中間リンク１ １の運動を制限する。

マイクロスイッチの寸法を減少しその構造ｔｌ−簡単にするために、中間リンク １０．１１およびサポートリンク９は板ばねの形に一体に作られる（４１０図な いし第１４図参照）。本発明のマイクロスイッチのこの実施形態において、中１ 間リンクとす、ｔｉ’−ドリンクとの接ｔｉ所は閉じており、一方のリンクから 他方のリンクへの移行部となっており、ととては制限ストツノソロが位置されて いる。

小さくされたマイクロスイッチの寸法およびその構造は、すべてのリンク８，１ ０．１１．９または８゜１１．１０，９が板ばねの形に一体にされることによっ て簡単化される（第１４図ないし第１６図参照）。

本発明のマイクロスイッチは次のように動作する。

マイクロスイッチがその初期位置にある場合、予め引つ張りがかけられている中 間リンク１１Ｖ′ｉ、接点リンク１０の端部に力Ｐ’Ｚ−作用する（第５図２よ び渠６図参照）。

このようにして生ずる接触圧力は２つの成分がらな合Ｐ、＝ＰｓｉｎαおよびＰ ３＝Ｐ２ＩＩｉｎβである。この場合αは接点リンク１０と中Ｉ…リンツク１と のなす角度、βは接点リンク１０とサポートリンク９とのなす角度、ΔＬ２　は 接点リンク１０とサポートリンク９との接続点から接点リンク１０と制限ストッ パとの接触点までの距離、ＰＩ　＊　Ｐｚ　は中間リンク１１によって発生され る力Ｐの分力、Ｐ３は力Ｐ２の垂直分力、Ｌは接点リンク１０の長さである。

外力Ｆが作用すると、作動リンク８は変位し、中間リンク１１はその接点リンク １０との相対位置が変わる。

この場合角度αは減少し、角度βは一定のままである。

作ｍ　ＩＪンツクがマイクロスイッチの直接操作の点に達すると（点Ａが接点リ ンク１ｏの不安定状態の線であるＩ−１線に達し、位置Ａ１となると）、角度α は零になり、接触圧力は定格暗となる。

第２２図ないし第２４図は接触圧力と作動リンク８の移動ストロークとのＩＡ係 を示す接触圧力線図であるこれらの線図（第２２図ないし第２４図）がら明ら刀 １なようにマイクロスイッチにおける接触圧力は、作動す／り８が操作位置に移 動する間、ばね圧２よび角度α、βを選択することによって一定に維持できる。

作動リンク８がさらに移動し、点ＡがＩ−１腺と交差すると、接点４ばその自然 速度で切り替えが行なわル、作動リンク８における点Ａが行き過ぎ位置（位置Ａ ２）に達する； 外力が作動リンク８に供給さ扛なくなると、乍劾リンク８はばね中間リンク１１ の作用でその初期位置に押し戻される。

作動リンクにおける点Ａが受点リンク１ｏの不安定状態の線であるＩＩ−ＩＩ線 と変歪すると、即ち点Ａが位置Ａ３に遅すると、可動接点４は切り瞥えが行なわ れる。

作動リンク８の点Ａにおける作動ストロークＬ　はＡ、とＡ３との距趨と同じで あり、次の氏からＸめられる。

動ストロークはＬＡ＝（０，０２〜０．０５）Ｈｍｍ　である上述の説明から明 らかなように本発明のマイクロスイッチの作動リンク８の差動ストロークは、従 来のマイクロスイッチにおける作動リンク６“の差動ストロークより数１００倍 はど小さい。

予め圧縮されている千間リンクの場合、マイクロスイッチは同じように動作する ことは容易に理解できる以上有利な央逓例について不発ｒ−Ａを詳細に説明した が、本発明の思想および請求の範囲から逸脱することなしに色々に変更すること ができる。

産東上の利用可能性 不発明は、＠き上げ機、コンベヤ、磯、痘工具および別の生産５ｃ置の眠気駆劾 裟直における目動ライン２よび制御装置および保護信号系統に有利に使用するこ とかでさ、たとえば戒磁石装置を接続したり切り離したりするため、あるいは域 講３よび機械の流れ立置、圧力、温室２よび制・即すべき別の：直についての渭 撮を形成するために用いら几るリミットスイッチとして使用できる。

国際調査報告 第１頁の続き （跨発　明　者　シチュツキー・ヴイタリー・イワノウイツチ ソヴイエト連邦１１７３４２モスクワ・ウーリ（η）発　明　者　コツフッエフ ・ウラジスラフ・アレクサンＦロウイツチ ソヴイエト連邦３１０１２０ハルコフ・プロスペクト・トラクトロストロイテレ イ・デー７７カーヴエー３３５ ・ル）発　明　者　チャリー・フイヨードル・ピョートロウイツチ ソヴイエト連邦３１０１２９ハルコフ・ブロス（ゆ発　明　者　ザグベルユク・ ウラジスラフ・フイヨードロウイツチ ソヴイエ１〜連邦３１０１２９ハルコフ・ウーリ（７′８）発　明　者　フイラ トフ・ニコライ・イワノウイツチソヴイエト連邦３６８８０２キズリアル・ダゲ スタンスカヤ・アーエスエスエル・ポセロク・コムソモルスキー・ウーリツツア ・ソヴ工１−スカヤ・デ゛−６ ■り出　願　人　スペチアルノエ・コンストルクトルスコ工・ビューロー・ハル コフスコボ・エレクトロアバラドノボ・ザヴオーダ ソヴイエト連邦３１００００ハルコワ・ウーリツツア・コトロワ１０６

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．絶縁ペースに固定された固定接点、４リンクレバ一機構、および前記絶縁ベ ースに固定された制限ストッパからなり、前記４リンクレバ一機構が作動リンク 、一方が接点リンクであり他方が中間リンクである２つの中１司リンクおよびす Ｉ−ドリンクを有するチェーンの形に作られ、作動リンクおよびサポートリンク が絶嫌ペースに揺動可能に設けられた終端リンクであり、中間リンクの一方が固 定接点に交互に接触する可動接点を支持する接点リンクであり、前記制限スト２ ノ（が中間リンクの一方を可動接点の変位方向において終端位置に保持するよう なマイクロスイッチにおいて、可動接点（４）が接点リンク（１０）の中間り／ り（１１）と接続されている端部に配置され、制限ストン／ｅ　（６）が一方の 中間リンク（１０または１１）とす２−ドリンク（９）との接続開所の近くに設 けられていることｔ−特徴とするマイクロスイッチ。 ２、制限ストッパ（６）が可動接点（４）と接点リンク（１０）のサポートリン ク（９）との接続箇所との間に位置されていることを特徴とする請求の範囲第１ 項に記載のマイクロスイッチ。 ３、　接点リンク（１０）がす、１？−）リンク（９）に接続されている端部に 突起（１２）を有し、制限ストン／ぞ（６）が接点リンク（１０）の突起（１２ ）と相互作用することを特徴とする請求の範囲第１項に記載のマイクロスイッチ 。 ４、　両方の中間リンク（１０，１１）およびサポートリンク（９）が板ばねの 形に一体に作られていることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第３項のいず れかに記載のマイクロスイッチ。 ５、すべてのリンク（８，９，１０，１１）が板ばねの形に一体に作られている ことを特徴とする請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載のマイクロス イッチ。