JPS5949206U - 真空容器内被加工体の位置制御装置 - Google Patents

真空容器内被加工体の位置制御装置

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JPS5949206U
JPS5949206U JP14293882U JP14293882U JPS5949206U JP S5949206 U JPS5949206 U JP S5949206U JP 14293882 U JP14293882 U JP 14293882U JP 14293882 U JP14293882 U JP 14293882U JP S5949206 U JPS5949206 U JP S5949206U
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JP
Japan
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vacuum container
control device
position control
workpiece
rotating shaft
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Application number
JP14293882U
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JPH0348648Y2 (ja
Inventor
康正 福田
Original Assignee
東京精密測器株式会社
堀越　源一
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Publication date
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Landscapes

  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例の概略構成図、第２図は、
同要部の拡大断面図、第３図は、回転位置検出手段の動
作を説明するための説明図である。 １・・・・・・真空容器、３・・・・・・スライドシャ
フト、４・・・・・・モータ支持枠、６・・・・・・ス
ライドベアリング、８ａ・・・・・・回動軸、９・・・
・・・回動板、１０．１１・・・・・・ローラ、１２・
・・・・・駆動軸、１３．１４・・・・・・係合部材、
１６．１７・・・・・・トルクモータ、１６ａ、１７ａ
・・・・・・回転軸、１８．１９・・・・・・治具、２
０ａ。 ２０ｂ・・・・・・冷却用の配管、２７・・・・・・回
転位置検出手段、２９・・・・・・ウォータジャケット
、Ｗ・・・・・・被加工体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器と、この真空容器の内部に回転自在に支持され
    るとともに被加工体を着脱自在に支持する治具を備えた
    回転軸と、この回転軸を回転駆動するためのモータと、
    このモータを冷却するための冷却手段と、前記回転軸の
    回転方向の位置を検出するための回転位置検出手段と、
    前記回転軸をその軸線方向と異なる方向に移動するため
    の軸移動機構とを具備してなることを特徴とする真空容
    器内被加工体の位置制御装置。
JP14293882U 1982-09-21 1982-09-21 真空容器内被加工体の位置制御装置 Granted JPS5949206U (ja)

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JPS5949206U true JPS5949206U (ja) 1984-04-02
JPH0348648Y2 JPH0348648Y2 (ja) 1991-10-17

Family

ID=30319215

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4995584A (ja) * 1972-10-13 1974-09-10
JPS50109883A (ja) * 1974-02-09 1975-08-29
JPS51131481A (en) * 1975-05-12 1976-11-15 Shinko Seiki Kk A vacuum vaporizing apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4995584A (ja) * 1972-10-13 1974-09-10
JPS50109883A (ja) * 1974-02-09 1975-08-29
JPS51131481A (en) * 1975-05-12 1976-11-15 Shinko Seiki Kk A vacuum vaporizing apparatus

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JPH0348648Y2 (ja) 1991-10-17

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