JPS5944822A - ウエ−ハを傾斜支承する拡散治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はシリコンウェーハ等の半導体物質に不純物を拡
散させる加エエ稈に使用する拡散治具に関し、特に厚さ
の異なったウェーハの何れにも合うようにウェーハを傾
斜させて支承するようにした拡散治具に係る。

一般に拡散工程では、不純物金属を高温炉中においてガ
ス化させて炉内で半尋体ウェーハ中（−拡散させること
によって接合を作るものであり、治具の素材として石英
ガラスやシリコン等が知られており、その形状としては
第１図及び第２図に示すように、同情式と組立式とがあ
り、また滴宜支承体１とそれ（−横架したウェーハ支持
体２．２・・・・・・　とから構成され、それら何れの
ウェーハ支持体２．２・・・・・・にもその長手方向に
用１則的に並列したウェーハ支承溝３．３　・・・が適
数個形成されており、かつウェーハ支持体２．２・・・
・・・は水平に支承されている。

しかしてウェーハ支持体２．２・・・・は上方に２個が
並列し、その中央でかつ下方に他の１個が１−下に並列
されていて、いわゆる三点支持の形で各ウェーハ支祇溝
３．３．３・・・・・・に円形のウェーハＰを委直状（
＝嵌挿して支承している。

前記ウェーへの直径は例えば３インチ、４インチ等の各
々異なった直径のものがあり、それら径の異なる缶に適
宜の厚さ、例えば０．５ミ’Ｊ、０、８　ミ！Ｉ等の厚
さが適宜選択されて製作されているので、前記ウェーハ
支承溝３．３・・・・・・もそれらの各サイズに合わせ
て各々個別の溝幅に形成されている。従って例えば溝幅
０．８ミ！Ｉのウェーハ支承溝に厚さ０．３ミリのウェ
ーハを支承させるとウェーハはぐらついて安定性が悪く
、炉内へ入れる過程、炉から取り出して検品位置までに
運吊する過程などでウェーハを落下或いは揺動による損
傷等を起生じやすいし、ウェーハの各サイズに合わせて
ウェーハ支承溝の各サイズを取り揃えることも費用の点
で大変なものである。

特にウェーハは一枚何十万円もする高価なものもあり、
１つの拡散治具に５０枚とか７０枚とか多数をセットし
ていて、ウェーハ支承溝の幅が広いものに厚さの薄いウ
ェーハを支承させていて、ちょっとしたはずみでウェー
ハをぐら大きな損害を起生ずることになる。

本願発明はそういう難点を解消したものであり、ウェー
ハの厚さが厚くても薄くても支＝ｉｋできる拡散治具を
提供することを目的としており、その構成は複数個のウ
ェーハ支持体と、これを並行状（二゛溝架支承する趨宜
支承休とで一体に構成される拡散治具において、各ウェ
ーハ支持体には長手方向に規則的に並列してウェーハの
、一定クラスにおける壺大級厚さに適する幅を有する複
数個のウェーハ支承溝を形成すると共（二、各ウェーハ
支持体はその長手方向において一方に傾斜するよう構成
し、前記ウェーハ支承溝にその溝幅より薄いウェーハを
支承するにつき、該ウェーハ広面方向へ傾斜状に支承す
るよう構成して成ることを特徴としている。

本発明は上述のように構成したので、例えばウェーハ支
承溝の幅を０．８ミ！７メートルに形成しておけば、ウ
ェーハの厚さが０２〜０．８ミリメートルの間のものす
べてをウェーハ支持体の低い方に傾斜させて安定した支
承をさせることができるものである。

以下本願発明の実施例を図について説明する。

狛′３３図は本１１１・ＩＩ発明拡散治具の斜視図、第
４図は側面図である。

本１〜（６発明に係る拡１ｔｋ治興は支承体４．４′に
ウェーハ支持体５．５．５を１黄架して体に構成し、該
ウェーハ支持体５．５．５はその長手方向において一方
に傾斜させである。

前記支承体４．４′は略方形板状に形成し、その二個を
直立させて並列し、各対向広面には両側端部に各−個の
ウェーハ支持体嵌合部６・・・・・・、６′・・・・を
＠通形成し、その画成合部の中央で下方に位置して他の
ウェーハ支持体嵌合部６．６を各−個Ｎｉ通形成しであ
る。しかして、図中左方の支承体４の三個のウェーハ支
持体嵌合部６・・・・・・・・・は全般に低目位置（−
形成し、図中右方の支承体４′の三個のウェーハ支持体
嵌合部６′・・・・・・は前記図中左方のウェーハ支持
体嵌合部６．６．６の同配置であるが高目位置に形成し
である。

前記ウェーハ支持体５．５．５は略角柱状で、その横置
時の上面にウェーハ支承溝７．７・・・・・を刻設しで
ある。該ウェーハ支承溝７．７・・・・・は支持体の長
手方向に規則的に並列形成し、切ｎりはＶ字状もしくは
略Ｙ字形に切刻している。

しかして略Ｙ字形切溝の下部切溝幅は幅広に刻設してい
る。

ＰｉＱ記２個の支承体４．４′をその広面を対向させ゛
Ｃ並列し、その中間にウェーハ支持体５．５．５を配し
、その両端部を各々対向する支承体４．４′のウェーハ
支持体嵌合部６・・・６′・・・・・・に１代挿し、そ
の嵌合部ど支持体先端部との間隙に固定部材としての楔
８．８．・・・・・・を置台させて一体に固定する。こ
のｔ！ｈ合、前述した略Ｙ字形のウェーハ支承溝を形成
したウェーハ支持体は下方だけに一木を用いる場合と、
二本を−Ｌ両側に用いる場合とがある。

第４図は組立て完了時の正向を示し、ウェーハ支持体５
．５、は図中左方が低く傾斜している。また下方に略Ｙ
字形切溝のウェーハ支承溝を形成したウェーハ支持体を
配し、かつその支ｉｆ＜　、１．ｌνの幅は広く形成し
である。

従って、この支承７ｍの幅より薄いウェーハＰを嵌挿さ
せると第４図（＝示すように、ウェーハＰはその広面方
向でかつウェーハ支持体５の傾斜している方向（図中左
方）に側糸′１して支承される。従来のウェーハ支持体
はすべて水平状に支承されているから、ウェーハの厚さ
よりもつニー八支承溝の切溝幅が幅広であると、ウェー
ハはその両店面方向に不安定に揺動するが、本発明にあ
ってはウェーハ支承溝の溝幅が広くてもウェーハ支持体
を傾斜させて支承体に支承させたためにウェーハは初め
から傾斜して支承され、その下端部が支承溝壁面で係止
されて安定が保たれる。

そのため、ウェーハ支承溝の切溝幅を或程度広くしてお
いてもｙ専いウェーハがぐらつくということがないため
、本拡散治具は一基で数種の異った厚さのウェーハ支承
に利用することができる効果がある。

なお、本発明は上記実施例に示す構成に限定されるもの
ではなく、溶接代のもの（二も当然に実施できる。

また、第５図に示すように支承体９のウェーハ支持体嵌
合部１０．１０．１０は」−下に太きく形成しておき、
該嵌合部１０・・・・・・の下部に高さ調顛座台１１．
１１・・・・・・を嵌着できるようにして、ウェーハ支
持体１２、・・・・・・を水平状にも傾斜状にもするこ
とができるようにすることもできる。

第６図は他の実施例を示し、一方の支承体１：３の下端
部に高さ調節用座台１４を装若してウェーハ支持体１５
を傾斜さぜるようにしである。

該座台１４は直方体の上面に支承体１３の面会する置台
溝１４ａを形成して嵌合させる形状でもよいし、また、
支承体１３の下面（：ネジ孔を螺刻して座台ネジを螺合
させるよう４・１−１成してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は従来の拡散冶具斜視図、第３図以下は
本願発明に係り、第３図は斜視図、’６４図は正面図、
第５図は他の実施例を示す側面図、第６図はその実施例
を示す要部正面図。 ４．４′　・・・・支承体　　５・・・・・・　ウェー
ハ支持体６．６′　・　ウェーハ支持体嵌合部 ７　・・・・・　ウェーハ支承溝 ８　・・・　固定部材 Ｐ　・・・・・・　ウェーハ １０　　・・・・・　ウェーハ支持体嵌合部１１　　・
・・・・・座台 １２　　・・・・・・　ウェーハ支持体１３　　・・・
・・・　支承体 １４　　・・・・・・座台 １５　　・・・・・・ウェーハ支持体 特許出願人　　株式会社　テクニスコ −９？

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数個のウェーハ支持体と、これを並行状（＝横架支承
   する滴宜支承体とで一体に構成される拡散治具において
   、各ウェーハ支持体には長平方向に規則的に並列してウ
   ェーハのそのクラスにおける最大級厚さに適する幅を有
   する複数個のウェーハ支承？Ｍを形成すると共に、各ウ
   ェーハ支持体はその長手方向において一方に傾斜するよ
   う構成し、前記ウェーハ支承溝にその溝幅より薄いウェ
   ーハを支承する（二つき、該ウェーハを一広面側へ傾斜
   させて支承するよう構成して成ることを特徴とするウェ
   ーハを傾斜支承する拡散治鴎。