JPS5943304A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS5943304A JPS5943304A JP15262582A JP15262582A JPS5943304A JP S5943304 A JPS5943304 A JP S5943304A JP 15262582 A JP15262582 A JP 15262582A JP 15262582 A JP15262582 A JP 15262582A JP S5943304 A JPS5943304 A JP S5943304A
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- Japan
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- permanent magnet
- coil
- magnetic field
- counter
- field generating
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、内部に電流を流す心線を有する、強磁性体で
成る導波管と、可動部材とともに動く永久磁石と、該永
久磁石の部分で発生する音響パルスの伝播時間と測定す
る手段とから成る位置検出装置に関する。
成る導波管と、可動部材とともに動く永久磁石と、該永
久磁石の部分で発生する音響パルスの伝播時間と測定す
る手段とから成る位置検出装置に関する。
可動部材の位置を非接触的に検出表示する方法には種々
の方式があるが、中でも特に密封状態にある可動部材の
位置と検出する方式として、磁歪効果を応用する方式が
あることは周知である。
の方式があるが、中でも特に密封状態にある可動部材の
位置と検出する方式として、磁歪効果を応用する方式が
あることは周知である。
この方式の従来の一実施例の概略を示したのが第1図で
あり、この図を用いて測定原理を説明する。
あり、この図を用いて測定原理を説明する。
第1図で10は導波管であり、その内部には電流パルス
を流すための心線11がストローク全長に亘って設けら
れている。
を流すための心線11がストローク全長に亘って設けら
れている。
可動部材の一部には、永久磁石12を設置し、この部分
の位置をたとえば第1図の右端を基準として測定する。
の位置をたとえば第1図の右端を基準として測定する。
13はパルス発生回路であり、このパルス信号を増幅器
14で増幅して、心線11にパルス電流を流す。
14で増幅して、心線11にパルス電流を流す。
このパルス電流が作る磁界と、永久磁石12の磁界によ
り、強磁性体(たとえば鉄、ニッケル合金で作る)の導
波管を10に磁歪超音波が発生し、それが導波管10を
伝わって端部に設けた検出コイル15の位置まで伝播す
る。
り、強磁性体(たとえば鉄、ニッケル合金で作る)の導
波管を10に磁歪超音波が発生し、それが導波管10を
伝わって端部に設けた検出コイル15の位置まで伝播す
る。
この部分には磁石21があるため、逆磁歪効果により超
音波がコイル15に電圧を生じさせる。
音波がコイル15に電圧を生じさせる。
16は増幅器で、17はフリップフロップ、18および
19はフリップフロップ出力を平滑するためのそれぞれ
抵抗およびコンデンサ、20は指示計である。
19はフリップフロップ出力を平滑するためのそれぞれ
抵抗およびコンデンサ、20は指示計である。
今パルス発生回路13から第2図(イ)のようにパルス
を1個発生すると、心線11に電流が流れて導波管10
に超音波が発生し、時間t1後に端部の検出コイル部に
到達して、検出コイルからは第2図(ロ)のような信号
が出力される。したがって、電流パルスを印加するとき
、フリップフロップ17をセットし、検出パルスでリセ
ットすると、その出力は第2図(ハ)のようになる。こ
のパルス幅は、永久磁石12の位置が点線位置にあると
きは時間t2後に零となる点線のようになる。したがっ
て、これを平均化して指示計に与えれば、指示計20は
永久磁石12の位置と1対1に対応する指示をすること
になる。
を1個発生すると、心線11に電流が流れて導波管10
に超音波が発生し、時間t1後に端部の検出コイル部に
到達して、検出コイルからは第2図(ロ)のような信号
が出力される。したがって、電流パルスを印加するとき
、フリップフロップ17をセットし、検出パルスでリセ
ットすると、その出力は第2図(ハ)のようになる。こ
のパルス幅は、永久磁石12の位置が点線位置にあると
きは時間t2後に零となる点線のようになる。したがっ
て、これを平均化して指示計に与えれば、指示計20は
永久磁石12の位置と1対1に対応する指示をすること
になる。
以上が本方式の位置検出原理であるが、超音波の伝播速
度は第3図に示すように温度によって大幅に変化する。
度は第3図に示すように温度によって大幅に変化する。
このため、磁石12が同一位置にあっても、導波管10
の温度が変化すれば異なった位置を示すことになり、特
に温度が広範囲に変化する場合にはこれを補償する必要
があった。
の温度が変化すれば異なった位置を示すことになり、特
に温度が広範囲に変化する場合にはこれを補償する必要
があった。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的とす
るところは、温度変化の影響を極めて小さくした、密封
構造に適した位置検出器を提供することにある。
るところは、温度変化の影響を極めて小さくした、密封
構造に適した位置検出器を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明による、冒頭に述べ
た種類の位置検出装置は、さらに、導波管の軸方向に固
定した他の磁界発生手段と、該磁界発生手段により発生
せらる音響パルスを用いて、前記永久磁石の位置信号を
較正する手段とを有することを要旨とする。上記固定し
た他の磁界発生手段はコイルであることも永久磁石であ
ることもできる。本発明の有利な実施の態様においては
、前記永久磁石の位置信号を較正する手段は、前記永久
磁石および前記他の磁界発生手段の位置に対応するパル
スの数を計数する手段と、そのようにして得られるデイ
ジタル数をアナログ数に変換するためのD/A変換器と
、該D/A変換器によって得られる二つのアナログ数の
商を求める除算器を含んでいる。
た種類の位置検出装置は、さらに、導波管の軸方向に固
定した他の磁界発生手段と、該磁界発生手段により発生
せらる音響パルスを用いて、前記永久磁石の位置信号を
較正する手段とを有することを要旨とする。上記固定し
た他の磁界発生手段はコイルであることも永久磁石であ
ることもできる。本発明の有利な実施の態様においては
、前記永久磁石の位置信号を較正する手段は、前記永久
磁石および前記他の磁界発生手段の位置に対応するパル
スの数を計数する手段と、そのようにして得られるデイ
ジタル数をアナログ数に変換するためのD/A変換器と
、該D/A変換器によって得られる二つのアナログ数の
商を求める除算器を含んでいる。
以下本発明の具体的一実施例について、図面を用いて詳
細に説明する。
細に説明する。
第4図は本発明位置検出器の具体的一実施例であり、第
1図と番号の等しい部分は相等部分である。第4図の検
出部は断面を示したもので第1図と異っているところは
、導波管10の内部に較正用のコイル41、42を設置
していることであり、これらのコイルに電流を流すため
に、切替スイッチ43が設置してある。
1図と番号の等しい部分は相等部分である。第4図の検
出部は断面を示したもので第1図と異っているところは
、導波管10の内部に較正用のコイル41、42を設置
していることであり、これらのコイルに電流を流すため
に、切替スイッチ43が設置してある。
また信号処理部では、スイッチ43、カウンタ51、5
2、ラッチ53、54およびフリップフロップ45、4
6を制御するための制御回路44、ならびにラッチのデ
イジタル出力をアナログ値に変換するD/A変換器55
、56、計数器57、58、加算器59、除算器60な
どを設けている。
2、ラッチ53、54およびフリップフロップ45、4
6を制御するための制御回路44、ならびにラッチのデ
イジタル出力をアナログ値に変換するD/A変換器55
、56、計数器57、58、加算器59、除算器60な
どを設けている。
この回路の動作を第5図を第5図を用いて説明すると、
パルス発生回路13の出力に同期して、制御回路44か
ら第5図(イ)のようなラッチ信号が出力され、ラッチ
53および54にカウンタ51および52の前回の計数
値が記憶される。その直後カウンタ51、52は制御回
路44から出る第5図(ロ)の信号によりクリアされ、
内容が零となる。
パルス発生回路13の出力に同期して、制御回路44か
ら第5図(イ)のようなラッチ信号が出力され、ラッチ
53および54にカウンタ51および52の前回の計数
値が記憶される。その直後カウンタ51、52は制御回
路44から出る第5図(ロ)の信号によりクリアされ、
内容が零となる。
この状態では前回の計数値に対応したアナログ信号がD
/A変換器55、56から出力されている。
/A変換器55、56から出力されている。
この後、第5図(ハ)に示すスイッチ切替信号が制御回
路44から出力されて、スイッチは較正用コイル41に
増幅器14の出力を接続し、第5図(ニ)のような電流
を流す。これと同時に、第5図(へ)に示すように、心
線11にも電流が流れるため、アンプ16の出力信号は
、第5図(ヌ)のようにコイル41および磁石12の双
方の分が連続して出力される。
路44から出力されて、スイッチは較正用コイル41に
増幅器14の出力を接続し、第5図(ニ)のような電流
を流す。これと同時に、第5図(へ)に示すように、心
線11にも電流が流れるため、アンプ16の出力信号は
、第5図(ヌ)のようにコイル41および磁石12の双
方の分が連続して出力される。
一方フリップフロップ45は、第5図(ハ)のスイッチ
切替信号と同一の時刻のパルスでセットされ(フリップ
フロップ46はリセットの状態を保持している)、アン
ドゲート47を通じて発信器27のパルス(第5図(ト
))を計数している。そしてカウンタ51の計数値が一
定値になると、アンドゲート49の二つの入力が“1”
となり、増幅器16に較正コイル41に対応するパルス
が到来した瞬間、フリップフロップ45をリセツトする
。
切替信号と同一の時刻のパルスでセットされ(フリップ
フロップ46はリセットの状態を保持している)、アン
ドゲート47を通じて発信器27のパルス(第5図(ト
))を計数している。そしてカウンタ51の計数値が一
定値になると、アンドゲート49の二つの入力が“1”
となり、増幅器16に較正コイル41に対応するパルス
が到来した瞬間、フリップフロップ45をリセツトする
。
この後制御回路44からラッチ信号が出て、カウンタ5
1の内容がラッチ53に記憶され、D/A変換器55は
その値に対応した出力を計数器57に出力する。
1の内容がラッチ53に記憶され、D/A変換器55は
その値に対応した出力を計数器57に出力する。
次にカウンタ51および52のリセット信号が制御回路
44から出力され、スイッチ切替信号が再出力される。
44から出力され、スイッチ切替信号が再出力される。
これによって増幅器14の出力は較正用コイル42に接
続されて、前述と同様にして第5図(ホ)に示すように
電流を流し、最終的にはその位置に対応したパルスが出
力されるまで、カウンタ52がアンドゲート48を通じ
て発信器27のパルスを計数する。
続されて、前述と同様にして第5図(ホ)に示すように
電流を流し、最終的にはその位置に対応したパルスが出
力されるまで、カウンタ52がアンドゲート48を通じ
て発信器27のパルスを計数する。
以上によって較正の動作が完了したことになるが、この
後では、スイッチが較正用コイルから切離され、心線に
電流を流すときにフリップフロップ17をセットする。
後では、スイッチが較正用コイルから切離され、心線に
電流を流すときにフリップフロップ17をセットする。
この場合には、検出パルスは磁石12の位置に対応した
もののみが現われ、それによってフリップフロップ17
をリセットする。したがって、この出力は第5図(ル)
のようになる。
もののみが現われ、それによってフリップフロップ17
をリセットする。したがって、この出力は第5図(ル)
のようになる。
D/A変換器55、56の出力は、計数器57、58を
介して除算器の除数部に入力するとともに、フリップフ
ロップ17の出力は、平滑用抵抗18、コンデンサ19
を通して被除算入力に与える。
介して除算器の除数部に入力するとともに、フリップフ
ロップ17の出力は、平滑用抵抗18、コンデンサ19
を通して被除算入力に与える。
以上のようにすることによって、たとえば磁石12が同
一にあっても、導波管10の両端に温度差を生ずると、
第6図aに示したように出力電圧が変化したものが、較
正用の電圧が同様にbのように変化するので、除算した
結果は同図の点線のように一定になる。
一にあっても、導波管10の両端に温度差を生ずると、
第6図aに示したように出力電圧が変化したものが、較
正用の電圧が同様にbのように変化するので、除算した
結果は同図の点線のように一定になる。
すなわち、磁石12の位置一定であれば、導波管10の
両端に温度差が生じても、出力電圧を一定に保つことが
できるようになるのである。
両端に温度差が生じても、出力電圧を一定に保つことが
できるようになるのである。
第4図および第5図の例をでは、位置を検出すべき磁石
12が、較正用コイル41と42の中間にある場合を説
明したが、これがどこにあっても正しく補正されること
は容易に理解されよう。
12が、較正用コイル41と42の中間にある場合を説
明したが、これがどこにあっても正しく補正されること
は容易に理解されよう。
なお上述の説明から明らかなように、アンドゲート49
および50の出力(それぞれ第5図(4)および(1)
)は、較正用コイル41および42のパルスが到来する
とき“1”になるように幅を定めているので、磁石12
がコイル41または42の近傍にくると、フリップフロ
ップ45または46がその出力パルスによってリセット
されるようになるが、それはもともと磁石12がコイル
41または42の近傍にあるためで、検出誤差に与える
影響は極めて小さい。
および50の出力(それぞれ第5図(4)および(1)
)は、較正用コイル41および42のパルスが到来する
とき“1”になるように幅を定めているので、磁石12
がコイル41または42の近傍にくると、フリップフロ
ップ45または46がその出力パルスによってリセット
されるようになるが、それはもともと磁石12がコイル
41または42の近傍にあるためで、検出誤差に与える
影響は極めて小さい。
以上の説明では、較正用コイルが2個の場合を説明した
が、この数をさらに多くすることも可能であり、複雑な
温度分布をする場合でもコイル数を多くすることによっ
て、理論的には誤差を零近くにすることができる。
が、この数をさらに多くすることも可能であり、複雑な
温度分布をする場合でもコイル数を多くすることによっ
て、理論的には誤差を零近くにすることができる。
さらに第4図は、較正用パルスを生成せしめるために、
コイルを設ける例を示したが、増幅器16の増幅度を適
当に設定すれば、コイルの代りに永久磁石を用いること
もできる。また除算器の部分は、可変ゲインの増幅器な
どの置換することも可能である。
コイルを設ける例を示したが、増幅器16の増幅度を適
当に設定すれば、コイルの代りに永久磁石を用いること
もできる。また除算器の部分は、可変ゲインの増幅器な
どの置換することも可能である。
以上述べたように本発明によれば、検出器を設置した状
態でオンラインの較正が可能となり、温度変化の影響を
無視できる値まで減少させることができるので、密封状
態の位置検出器、特に原子炉制御棒などの位置検出器に
適用すると、その工業的価値は極めて■である。
態でオンラインの較正が可能となり、温度変化の影響を
無視できる値まで減少させることができるので、密封状
態の位置検出器、特に原子炉制御棒などの位置検出器に
適用すると、その工業的価値は極めて■である。
第1図は非接触位置検出装置の原理を説明するための構
成図、第2図は第1図に示す装置のタイミングを示す図
、第3図は超音波の伝播速度の温度による変化を示す曲
線図、第4図は本発明による位置検出装置の構成を示す
ブロック図、第5図は第4図に示す装置のタイミングを
示す図、第6図は本発明による位置検出装置における出
力重力と温度差の関係を示す曲線図である。 10・・・導波管、11・・・心線、12・・・永久磁
石、13・・・パルス発生回路、14・・・増幅器、1
5・・・検出コイル、16・・・増幅器、17・・・フ
リップフロップ、18・・・平滑用抵抗、19・・平滑
用コンデンサ、20・・・指示計、27・・・発信器、
41、42・・・較正用コイル、43・・・切替スイッ
チ、44・・・制御回路、45、45・・・フリップフ
ロップ、47、48、49、50、61、62・・・ア
ンドゲート、51、52・・・カウンタ、53、54・
・・ラッチ、55、56・・・D/A変換器、57、5
8・・・計数器、59・・・加算器、60・・・除算器
。 代理人 弁理士 高橋明夫 □・曽J・ 第 S 図 −29− 第 6 四 逼彦左
成図、第2図は第1図に示す装置のタイミングを示す図
、第3図は超音波の伝播速度の温度による変化を示す曲
線図、第4図は本発明による位置検出装置の構成を示す
ブロック図、第5図は第4図に示す装置のタイミングを
示す図、第6図は本発明による位置検出装置における出
力重力と温度差の関係を示す曲線図である。 10・・・導波管、11・・・心線、12・・・永久磁
石、13・・・パルス発生回路、14・・・増幅器、1
5・・・検出コイル、16・・・増幅器、17・・・フ
リップフロップ、18・・・平滑用抵抗、19・・平滑
用コンデンサ、20・・・指示計、27・・・発信器、
41、42・・・較正用コイル、43・・・切替スイッ
チ、44・・・制御回路、45、45・・・フリップフ
ロップ、47、48、49、50、61、62・・・ア
ンドゲート、51、52・・・カウンタ、53、54・
・・ラッチ、55、56・・・D/A変換器、57、5
8・・・計数器、59・・・加算器、60・・・除算器
。 代理人 弁理士 高橋明夫 □・曽J・ 第 S 図 −29− 第 6 四 逼彦左
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、内部に電流を流す心線を有する、強磁性体で成る導
波管と、可動部材とともに動く永久磁石と、該永久磁石
の部分で発生する音管パルスの伝播時間とから成る位置
検出装置において、さらに、前記導波管の軸方向に固定
した他の磁界発生手段と、該磁界発生手段によって発生
させられる音響パルスを用いて、前記永久磁石の位置信
号を較正する手段とを有することを特徴とする位置検出
装置。 2、上記固定した他の磁界発生手段がコイルであること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の位置検出装置
。 3、上記固定した他の磁界発生手段が永久磁石であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の位置検出装
置。 4、前記永久磁石の位置信号を較正する手段が、前記永
久磁石および前記他の磁界発生手段の位置に対応するパ
ルスの数を計数する手段と、そのようにして得られるデ
ィジタル数をアナログ数に変換するためのD/A変換器
と、該D/A変換器によって得られる二つのアナログ数
の商を求める除算器を含んでいることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15262582A JPS5943304A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15262582A JPS5943304A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 位置検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5943304A true JPS5943304A (ja) | 1984-03-10 |
Family
ID=15544466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15262582A Pending JPS5943304A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5943304A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6352784A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-05 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | クラツド金属板の製造方法 |
US5150049A (en) * | 1991-06-24 | 1992-09-22 | Schuetz Tool & Die, Inc. | Magnetostrictive linear displacement transducer with temperature compensation |
JPH04288982A (ja) * | 1991-03-16 | 1992-10-14 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 熱間圧延用複合スラブの製造方法 |
-
1982
- 1982-09-03 JP JP15262582A patent/JPS5943304A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6352784A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-05 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | クラツド金属板の製造方法 |
JPH04288982A (ja) * | 1991-03-16 | 1992-10-14 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 熱間圧延用複合スラブの製造方法 |
US5150049A (en) * | 1991-06-24 | 1992-09-22 | Schuetz Tool & Die, Inc. | Magnetostrictive linear displacement transducer with temperature compensation |
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