JPS5941714U - 無接触寸法測定装置 - Google Patents

無接触寸法測定装置

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Publication number
JPS5941714U
JPS5941714U JP13666882U JP13666882U JPS5941714U JP S5941714 U JPS5941714 U JP S5941714U JP 13666882 U JP13666882 U JP 13666882U JP 13666882 U JP13666882 U JP 13666882U JP S5941714 U JPS5941714 U JP S5941714U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
receiving surface
movement amount
detection means
measuring device
Prior art date
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Pending
Application number
JP13666882U
Other languages
English (en)
Inventor
僚 福田
Original Assignee
株式会社フクダ
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社フクダ filed Critical 株式会社フクダ
Priority to JP13666882U priority Critical patent/JPS5941714U/ja
Publication of JPS5941714U publication Critical patent/JPS5941714U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示すブロック図、第2図
〜第6図は第1図の実施例の作用を説明するための概略
図、第7図は圧縮空気圧と距離との関係を示す図である
。 1・・・・・・ノズル、1a・・・・・・ノズル1の噴
出孔、5・・・・・・受面、7・・・・・・圧力センサ
(圧力検出手段)、11・・・・・・パルスモータ、2
8・・・・・・可逆カウンタ(移動量検出手段)、29
・・・・・・表示装置(表示手段)、30・・・・・・
ワーク(被測定物)、30a・・・・・・ワーク30の
被測定面(第2の受面)、31・・・・・・載置部(第
1の受面)。 し1 〕a          7747□747↓74碍)
3031 ノ /////′         距離

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (イ)  噴出孔前方の受面に圧縮空気を噴出させるノ
    ズルと、 (ロ) 上記ノズルの背圧を検出する圧力検出手段と、
    (ハ)上記圧力検出手紐の検出出力にもとづき、上記ノ
    ズル背圧が噴出口と受面との間の所定距離に対応した圧
    力になるまで、上記ノズルを受面に対して相対的に移動
    させる駆動制御手段と、に)上記噴出口と第1の受面と
    が所定距離離間した時のノズルの位置と、上記噴出口と
    第2の受面とが同距離離間した時のノズルの位置とによ
    り決定されるノズルの相対的な移動量を検出する移動量
    検出手段と、 (ホ)上記移動量検出手段からの出力にもとづき、第1
    の受面と第2の受面との間の寸法を表示す第2図   
         第5図 ”゛″パl る表示手段 とを具備したことを特徴とする無接触寸法測定装置。
JP13666882U 1982-09-10 1982-09-10 無接触寸法測定装置 Pending JPS5941714U (ja)

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JP13666882U JPS5941714U (ja) 1982-09-10 1982-09-10 無接触寸法測定装置

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JPS5941714U true JPS5941714U (ja) 1984-03-17

Family

ID=30307217

Family Applications (1)

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JP13666882U Pending JPS5941714U (ja) 1982-09-10 1982-09-10 無接触寸法測定装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7797985B2 (en) 2004-12-15 2010-09-21 Asml Holding N.V. Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff
JP2013504738A (ja) * 2009-09-11 2013-02-07 アルストム テクノロジー リミテッド 空気予熱器における2つの処理流れ間の漏洩を最少にするために非接触検出するシステム及び方法
JP2017087376A (ja) * 2015-11-16 2017-05-25 富士機械製造株式会社 ワーク搬送システム

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7797985B2 (en) 2004-12-15 2010-09-21 Asml Holding N.V. Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff
JP2013504738A (ja) * 2009-09-11 2013-02-07 アルストム テクノロジー リミテッド 空気予熱器における2つの処理流れ間の漏洩を最少にするために非接触検出するシステム及び方法
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