JPS5941714U - 無接触寸法測定装置 - Google Patents
無接触寸法測定装置Info
- Publication number
- JPS5941714U JPS5941714U JP13666882U JP13666882U JPS5941714U JP S5941714 U JPS5941714 U JP S5941714U JP 13666882 U JP13666882 U JP 13666882U JP 13666882 U JP13666882 U JP 13666882U JP S5941714 U JPS5941714 U JP S5941714U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- receiving surface
- movement amount
- detection means
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はこの考案の一実施例を示すブロック図、第2図
〜第6図は第1図の実施例の作用を説明するための概略
図、第7図は圧縮空気圧と距離との関係を示す図である
。 1・・・・・・ノズル、1a・・・・・・ノズル1の噴
出孔、5・・・・・・受面、7・・・・・・圧力センサ
(圧力検出手段)、11・・・・・・パルスモータ、2
8・・・・・・可逆カウンタ(移動量検出手段)、29
・・・・・・表示装置(表示手段)、30・・・・・・
ワーク(被測定物)、30a・・・・・・ワーク30の
被測定面(第2の受面)、31・・・・・・載置部(第
1の受面)。 し1 〕a 7747□747↓74碍)
3031 ノ /////′ 距離
〜第6図は第1図の実施例の作用を説明するための概略
図、第7図は圧縮空気圧と距離との関係を示す図である
。 1・・・・・・ノズル、1a・・・・・・ノズル1の噴
出孔、5・・・・・・受面、7・・・・・・圧力センサ
(圧力検出手段)、11・・・・・・パルスモータ、2
8・・・・・・可逆カウンタ(移動量検出手段)、29
・・・・・・表示装置(表示手段)、30・・・・・・
ワーク(被測定物)、30a・・・・・・ワーク30の
被測定面(第2の受面)、31・・・・・・載置部(第
1の受面)。 し1 〕a 7747□747↓74碍)
3031 ノ /////′ 距離
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (イ) 噴出孔前方の受面に圧縮空気を噴出させるノ
ズルと、 (ロ) 上記ノズルの背圧を検出する圧力検出手段と、
(ハ)上記圧力検出手紐の検出出力にもとづき、上記ノ
ズル背圧が噴出口と受面との間の所定距離に対応した圧
力になるまで、上記ノズルを受面に対して相対的に移動
させる駆動制御手段と、に)上記噴出口と第1の受面と
が所定距離離間した時のノズルの位置と、上記噴出口と
第2の受面とが同距離離間した時のノズルの位置とによ
り決定されるノズルの相対的な移動量を検出する移動量
検出手段と、 (ホ)上記移動量検出手段からの出力にもとづき、第1
の受面と第2の受面との間の寸法を表示す第2図
第5図 ”゛″パl る表示手段 とを具備したことを特徴とする無接触寸法測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13666882U JPS5941714U (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 無接触寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13666882U JPS5941714U (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 無接触寸法測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5941714U true JPS5941714U (ja) | 1984-03-17 |
Family
ID=30307217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13666882U Pending JPS5941714U (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 無接触寸法測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5941714U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7797985B2 (en) | 2004-12-15 | 2010-09-21 | Asml Holding N.V. | Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff |
JP2013504738A (ja) * | 2009-09-11 | 2013-02-07 | アルストム テクノロジー リミテッド | 空気予熱器における2つの処理流れ間の漏洩を最少にするために非接触検出するシステム及び方法 |
JP2017087376A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 富士機械製造株式会社 | ワーク搬送システム |
-
1982
- 1982-09-10 JP JP13666882U patent/JPS5941714U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7797985B2 (en) | 2004-12-15 | 2010-09-21 | Asml Holding N.V. | Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff |
JP2013504738A (ja) * | 2009-09-11 | 2013-02-07 | アルストム テクノロジー リミテッド | 空気予熱器における2つの処理流れ間の漏洩を最少にするために非接触検出するシステム及び方法 |
JP2017087376A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 富士機械製造株式会社 | ワーク搬送システム |
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