JPS5879711U - 距離検出制御装置 - Google Patents

距離検出制御装置

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JPS5879711U
JPS5879711U JP17537381U JP17537381U JPS5879711U JP S5879711 U JPS5879711 U JP S5879711U JP 17537381 U JP17537381 U JP 17537381U JP 17537381 U JP17537381 U JP 17537381U JP S5879711 U JPS5879711 U JP S5879711U
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JP
Japan
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control device
detection control
distance detection
detector
distance
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Pending
Application number
JP17537381U
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Inventor
河村　喜雄
利栄 黒崎
高梨　明紘
伸治 国吉
純男 保坂
恒男 寺澤
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、　　ｂは従来の距離検出制御装置の正面断面
図とその平面図、第２図ａ、　　ｂは本考案による距離
検出制御装置の正面断面図とその平面図である。 １．１１・・・投影レンズ、２，１２・・・鏡筒、３゜
４・・・空気噴出孔、５．１５・・・ウェーハ、６，１
６　　　　　。 ・・・ウェーハ端部、７．１７・・・投影領域、９，１
９・・・圧力導管用孔、１０．２０・・・給気孔、１３
・・・検出ノズル先端、１４・・・溝、１８・・・検出
孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 気体を試料の一面に向って噴出して上記試料と上記気体
    を噴出する検出器との間の距離を圧力の大きさとして検
    出し、上記検出した圧力信号を電気信号に変換すること
    によって上記試料と上記検出器との間の距離を制御する
    距離検出制御装置において、上記検出器の噴出孔の周辺
    に上記噴出孔を囲む形状の溝を設け、上記溝の内の圧力
    の大きさを第２の圧力信号としてとらえて上記試料の端
    面を検知するように構成してなることを特徴とする距離
    検出制御装置。
JP17537381U 1981-11-27 1981-11-27 距離検出制御装置 Pending JPS5879711U (ja)

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JP17537381U JPS5879711U (ja) 1981-11-27 1981-11-27 距離検出制御装置

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JP17537381U JPS5879711U (ja) 1981-11-27 1981-11-27 距離検出制御装置

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JPS5879711U true JPS5879711U (ja) 1983-05-30

Family

ID=29967711

Family Applications (1)

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JP17537381U Pending JPS5879711U (ja) 1981-11-27 1981-11-27 距離検出制御装置

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JP (1) JPS5879711U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02148810A (ja) * 1988-11-30 1990-06-07 Toshiba Corp ガス絶縁電気機器の高電圧部支持装置

Cited By (1)

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