JPS5937606B2 - 弾性波共振器装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、弾性波を伝搬しうる基板と、複数の異なる共
振モード周波数で基板内に弾性定在波を支持する共振空
胴を形成する離間して配置された１組の反射器と、１組
の端子と、これら端子にインクデジタル的に接続され前
記反射器の組の間の前記基板の表面に設けられた電極配
列を有し、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結
合するためのトランスジューサとを具える弾性波共振器
装置に関するものである。

米国特許３９６１２９３号明細書は、上述した種類の表
面弾性波装置を開示している。

この米国特許明細書の第１図は、２つの対向する反射グ
レーティング構造によって形成される共振空胴と、この
空胴内に配置された１個のインタデジタル・トランスジ
ューサとを示している。

同じく第２図は、反射グレーティング構造の実効中心に
対する、３つの隣り合うモード周波数に対する定在波共
振パターンの波節の位置を示しており、共振空胴内の第
１図のインクデジタル・トランスジューサの位置が第２
図に関連して論じられている。

第６欄２３〜３２行には、インタデジタル・トランスジ
ユーザが、２個の反射グレーティング構造の間のほぼ中
間点に配置され、３つのモードのうちの１つを効果的に
励振できるように配置され、すなわちトランスジューサ
の隣接するフィンガ間の中間点を、そのモードの共振パ
ターンにおげろ波節に一致させる場合について、３つの
モードの励振が論じられている。

第６欄３２〜３６行には、「前述したところから、反射
グレーティング構造の間のほぼ中間に設けた入力インタ
デジタル・トランスジューサが、共振空胴のすべての他
のモードのみを効果的に励振することができることが発
見的にわかる。

」と述べられている。しかし、入力インタデジタル・ト
ランスジューサが反射グレーティング構造の１つの近（
に設けられている場合には、共振空胴のすべてのモード
を効果的に励振することができる。

本発明は、弾性定在波共振空胴によって支持される交互
（ａｌ ｔｅｒｎａｔｅ ）モードの抑制に関係してい
る。

交互モードの抑制を欲する１つの理由は、フィルタが非
常に高いＱ値を有することが要求される場合には、非常
に大きな共振空胴が必要となり、このことが隣り合うモ
ードが特定の応用に対して要求されるよりも小さい周波
数間隔を有するということである。

したがって、交互モードの抑制は、可能なモード間のそ
の周波数間隔を２倍にする。

前記米国特許第３９６１．２９３号明細書の前述の内容
、すなわちインタデジタル・トランスジューサを反射器
の近辺よりはむしろ共振空胴の中間に配置することによ
って、インタデジタル・トランスジユーザが共振空胴の
交互モードのみと結合するようにすることができるとい
う内容における不利益な制限は、まず第１に、反射器間
の一定間隔に対しては、要求される共振空胴への結合強
度に必要とされるよりも小さくすることのできる小型サ
イズのトランスジューサによって前記内容を固守できる
だけであり、第２は、２個のインクデジタル・トランス
ジューサが共振空胴に配置されることを必要とする共振
器装置に対しては、前記内容はトランスジューサの１つ
に対して固守できるのみであるということである。

本発明の目的は、上述した不利益な制限がな（、インタ
デジタル・トランスジューサが交互モードに対する正味
零結合（ｎｅｔ ｚｅｒｏ ｃｏｕｐｌｉｎｇ）を有す
る弾性波共振器装置を提供すること’ｖｃある。

本発明の基本的な着想は、トランスジューサ内でインタ
デジタル的に接続された電極配列を、複数個の組の電極
を形成するように、共振空胴の中心点に対して対称的に
配置し、各組の電極を前記中心点から反対方向に等距離
に配置するということである。

各組の２個の電極を同じ端子に接続する場合には、トラ
ンスジューサは１組の交互モードと零正味結合を有し、
各組の２個の電極を反対の端子に接続する場合には、ト
ランスジューサは他の組の交互モードとの零正味結合を
有する。

このように、トランスジューサは、２つの等しい半分構
造（各半分は共振空胴の半分内にある）から構成されて
いるものとみなすことができる。

共振空胴に１個のトランスジューサがある場合には、ト
ランスジューサの各半分は、中心の近辺または反射器の
近辺とすることのできる共振空胴の半分のわずかな部分
から、共振空胴の半分の全部まで占領することができる
。

共振空胴に２個のトランスジューサが必要となる場合に
は、１個のトランスジューサの２つの半分を他のトラン
スジューサの２つの半分の間の領域内で隣接させること
により、両トランスジューサは要求される組の交互モー
ドの等しい有効抑制を有することができる。

本発明の第１実施例によれば、 弾性波を伝搬しうる基板と、 複数の異なる共振モード周波数で前記基板内に弾性定在
波を支持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記反射器の
組の間の前記基板の表面に設けられた電極配列を有し、
前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するため
のトランスジューサとを具える弾性波共振器装置におい
て、 前記電極配列を、奇数モード周波数および偶数モード周
波数での定在波のそれぞれ波腹および波節に一致する共
振空胴の中心点に対し対称に配置し、また前記電極配列
を複数組の電極によって形成し、各組の２個の電極の実
効中心を共振空胴の前記中心点の反対側に等距離に配置
し、各１つの組の電極を同一の前記端子に共通に接続し
、また前記電極配列の電極を、この電極により形成され
るトランスジューサが偶数モードにおける定在波エネル
ギーとの結合を有さす、少なくとも１つの奇数モードに
おける定在波エネルギーとの非零結合を有するように共
振空胴内に構成したことを特徴とする弾性波共振器装置
を提供する。

特開昭５２−３９３８４号（特願昭５１−１１１９２７
号）「音響表面波装置およびこれを具える電気フィルタ
ー」には、２つの類似の電極配列を有するインタデジタ
ル・トランスジューサを具える表面弾性波共振空胴が第
３図に示されており、各配列の電極は所定周波数での半
波長の中心間間隔を有しており、２個の電極配列間の間
隔はその周波数での波長の３／４であり、２個の電極配
列間の中間点は共振空胴の中心にある。

２個の電極配列は電極の組を形成し、各組の２個の電極
は、共振空胴の中心から反対方向に等距離に配置されて
おり、トランスジユーザの反対端子に接続されている。

所定周波数は、共振空胴が定在波を支持できる周波数で
あり、記述は、共振空胴がその周波数付近の他の周波数
で定在波を支持できることをも（ろんでいる。

第３図に示されているトランスジューサは、導電ストリ
ップの２つの配列を具える共振空胴における表面弾性波
と結合するだめの結合手段の一例である（他の例はマル
チストリップ結合器であり、この結合器では、ストリッ
プは互いに電気的に絶縁されており、結合手段内の表面
弾性波の内部反射に対する応答の抑制を確保するという
指針に従って配置されている）。

導電ストリップの２つの配列の間の中間点を共振空胴の
中心から半波長だけまたは半波長の整数倍だけ離すよう
にするというこの内容によれば、第３図に示されている
共振空胴の中心に対する、導電ストリップの２つの配列
の対称配置は重要ではない。

本発明の第２実施例によれば、 弾性波を伝搬しうる基板と、 複数の異なる共振モード周波数で前記基板内に弾性定在
波を支持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
組の反射器と、 １組の端子と、 これから端子にインタデジタル的に接続され前記反射器
の組の間の前記基板の表面に設けられた電極配列を有し
、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するた
めのトランスジューサとを具える弾性波共振器装置にお
いて、 前記電極配列を、奇数モード周波数および偶数モード周
波数での定在波のそれぞれ波腹および波節に一致する共
振空胴の中心点に対し対称に配置し、また前記電極配列
を複数組の電極によって形成し、各組の２個の電極の実
効中心を共振空胴の前記中心点から反対側に等距離に配
置し、各組の電極を異なる前記端子に接続し、また前記
電極配列の電極を、トランスジューサが奇数モードにお
ける定在波エネルギーとの結合を有さす、少な（とも１
つの偶数モードにおける定在波エネルギーとの非零結合
を有するように共振空胴内に構成し、各電極を、電極の
実効中心から反対側に等距離だけ離間した２個の電極部
に分割したことを特徴とする弾性波共振器装置を提供す
る。

この第２実施例に基づ（分割電極の使用は、前記特開昭
５１−３９３８４号（ドイツ国公開公報２６４１０９０
号）の内容とは逆である。

本発明の第３実施例によれば、 弾性波を伝搬しうる基板と、 複数の異なる共振モード周波数で前記基板内に弾性定在
波を支持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記反射器の
組の間の前記基板の表面に設けられた電極配列を有し、
前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するため
のトランスジューサとを具える弾性波共振器装置におい
て、 前記各反射器を前記基板表面に周期的グレーティング構
造により形成し、中間モードが偶数モードである３つの
隣り合う共振モードのみで共振空胴に弾性定在波を支持
できるように、前記グレーティング構造をそれらの相互
距離を組合わせて形成し、共振空胴の中心点をそれぞれ
偶数モードおよび奇数モードでの定在波のそれぞれ波節
および波腹に一致させ、前記電極配列を、共振空胴の前
記中心点に対し対称に配置し、且つ複数組の電極によっ
て形成し、これら複数組の電極の実効中心を前記中心点
から反対方向に等距離に配置し、各組の電極を異なる前
記端子に接続し、またトランスジューサが、両方の奇数
モードでの定在波エネルギーとの結合を有さす、偶数モ
ードでの定在波エネルギーとの非零結合を有するように
したことを特徴とする弾性波共振器装置を提供する。

共振空胴のＱ値は、＝ｌＲ１に逆比例し、共振空胴の実
効長しに比例する。

ここにＲは、１に近いＩＲＩの値に対する反射器の反射
率である。

したがって、共振空胴の高いＱ値が要求される場合には
、第１の例においては、Ｒをできるだけ１に近づけるこ
とにより達成される。

反射器がグレーティング構造である場合には、Ｒの高い
値は各グレーティングにおける非常に多数の不連続部す
なわち反射素子に関係している。

しかし、素子の数が最終的に増大すると、グレーティン
グの寸法は不都合に大きくなる。

したがって、Ｑ値をさらに改善するためには、共振空胴
の実効長Ｌ（反射器が離間されている距離に依存する）
を太き（しなげればならない。

共振空胴が強力に支持することのできる共振モードは、
反射器の組合わせ反射周波数通過域内の周波数で発生す
るモードである。

各グレーティング反射器における非常に多数の反射素子
は、狭い反射周波数通過域を生じ、２つのグレーティン
グ反射器間の距離が太きいと、隣り合うモード周波数間
の周波数分離が小さくなる。

反射器間の距離が大きい場合には、反射器の反射周波数
通過域を小さくして、隣り合うモード周波数間の周波数
分離が相応的に小さくならないようにし、これにより少
数のモード周波数のみを含むようにする。

しかし本願人は、３つの共振モードのみを含むように反
射周波数通過域を減少させる場合、反射周波数通過域の
より以上の減少または実効長りの減少は、２つの外側モ
ードの排除を生じない、すなわち、これら２つの外側モ
ードは中心モードに接近するようになり、反射周波数通
過域の縁部に残留することを見い出した。

したがって、装置が単一モード動作を有することが要求
される場合には、反射器が離間されている距離に関する
グレーティング反射器の形状は、反射器の組の組合わせ
反射周波数通過域が３つの隣り合う別個の共振モード周
波数のみを含むように構成することができ、本発明の基
本的な着想に従って共振空胴にトランスジューサを設け
て、２つの外側モード周波数で共振空胴の定在波エネル
ギーとの零正味結合を有し、中間モード周波数で定在波
エネルギーとの非零正味結合を有するようにすることが
できる。

本発明の第４実施例によれば、 弾性波を伝搬しうる基板と、 複数の異なる共振モード周波数で前記基板内に弾性定在
波を支持しうる共振空胴な形成する離間して配置した１
組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインクデジタル的に接続され前記反射器の
組の間の前記基板の表面に設けられた電極配列を有し、
前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するため
のトランスジューサとを具える弾性波共振器装置におい
て、 前記トランスジューサが前記端子に供給された電気エネ
ルギーを弾性波エネルギーに変換するための入カドラン
スジューサであり、さらに１組の出力端子と、これら出
力端子にインタデジタル的に接続され前記共振空胴の前
記基板の表面に設けられた電極配列を有する出カドラン
スジューサとを具え、前記入カドランスジューサおよび
出カドランスジューサの両方に対し、各電極配列を、奇
数モードおよび偶数モードでの定在波のそれぞれ波腹お
よび波節と一致する共振空胴の中心点に対し対称に配置
し、前記各電極配列を複数組の電極によって形成し、各
組の２個の電極の実効中心を前記中心点から反対側に等
距離に配置し、各組の電極を前記入力端子または出力端
子に接続し、前記入カドランスジューサおよび出カドラ
ンスジューサの両方が、奇数モードとの結合を有し、少
な（とも１つの偶数モードとの非零正味結合を有するよ
うにしたことを特徴とする弾性波共振器装置を提供する
。

共振空胴の中心点に対し対称的に配置されインタデジタ
ル的に接続された電極配列をそれぞれ有する共振空胴の
２個のトランスジューサの本発明の前述の特徴は、前記
特開昭５２−３９３８４号のいずれの内容にも従わない
。

これに反して、結合手段の２つの配列間の中間点を、共
振空胴の中心から半波長だけまたは半波長の整数倍だけ
離間させるようにした特開昭５２−３９３８４号の内容
は、２個の結合手段（それぞれをトランスジューサとす
ることができる）が同一共振空胴に設けられる場合には
このような離間配置を用いるべきであるということを示
している。

本発明弾性波共振器装置を２個具える電気フィルタを提
供することができ、この電気フィルタでは、これら共振
器装置のうちの一方におけるトランスジューサは入力変
換手段を構成し、他方の共振器装置におけるトランスジ
ューサは出力変換手段を構成し、定在波エネルギーを一
方の共振器装置から他方の共振器装置へ結合させる手段
が設けられている。

結合共振器電気フィルタの公知の特性は、一定のＱ値を
有する共振器に対しては、共振器間の強い結合はフィル
タの低挿入損およびその（または各）結合モード周波数
で大きな帯域幅通過域に関係し、共振器間の弱い結合は
、フィルタの高挿入損およびその（または各）結合モー
ド周波数で小さい帯域幅通過域に関係している。

共振器間の適切な弱い結合度に関係した必要とされる小
さな帯域幅を有するフィルタに対しては、共振器のＱ値
が大きな場合には挿入損は小さくなる。

したがって、低損失で非常に狭い帯域幅の結合共振器フ
ィルタは、非常に高いＱ値を有する共振器を必要とする
。

この場合には、非常に高いＱ値を有するこれら共振器が
周期グレーティング反射器を有する弾性波共振空胴型で
あり、結合共振器フィルタが低損失単一共振モード狭通
過域の外側に非常に低い減衰域レベルを有することが要
求される場合には、共振空胴によって強力に支持される
要求単一モードの周波数のそれぞれ上下の隣り合う２つ
の外側モードが、これら外側モードは前述したように反
射器の反射周波数通過域の外側に持っていくことができ
ないので、問題となる。

単一要求モードの周波数が、反射周波数通過域の中心に
あるように配置され、したがってこれら２つの外側モー
ドの振幅が、反射周波数通過域の傾斜サイドの結果、前
記中心モードよりも小さくなる。

共振空胴のこれら３つの結合共振モードの外側のフィル
タの減衰域応答のブ般的レベルは、共振空胴を縦続接続
することによって、２つの外側モードの振幅より小さい
非常に低いレベルに低下させることができる。

この場合には、本発明の基本的な着想に基づくトランス
ジューサの構成（したがってこれらトランスジューサは
これら２つの外側モードと結合しない）は、フィルタの
害されない減衰域応答を、要求される非常に狭い低損失
単一モード通過域の外側における縦続接続された非常に
低いレベルで達成することができる。

前記低損失単一モード通過域は、２つの前記外側モード
に基づく応答が前記非常に低いレベルより高いところに
存在する周波数範囲にある。

本発明共振器装置または電気フィルタでは、基板が伝搬
しうる弾性波を、トランスジューサおよび反射器が設け
られている基板の表面内を伝搬する表面弾性波とするこ
とができ、あるいは基板の表面に平行かつ密接して伝搬
するバルク弾性波とすることができる。

この種のバルク弾性波の可能な使用は、英国特許１４５
１３２６号明細書に遅延線帰還発振器と関連して説明さ
れており、この目的に適するＸ軸に垂直な伝搬を有する
回転Ｙカットの石英の範囲は、１９７７年３月３日に発
行されたＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ第１
３巻、Ａ３０１２８〜１３０ページに記載されている。

以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。

第１図は、共振空胴と、この共振空胴によって支持され
る偶数モードと零結合させるために共振空胴に配置した
インクデジタル・トランスジューサとを具える本発明弾
性波共振器装置の略平面図である。

第１図には、弾性波を伝搬しうる基板１を平面図で示す
。

この基板は、表面内に表面弾性波を伝搬しうる公知の圧
電基板たとえばニオブ酸リチウムまたは石英とすること
ができ、あるいは表面に平行かつ近接したバルク弾性波
を伝搬しうる圧電基板、たとえば１９７７年３月３日に
発行されたＥ １ｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ
、第１３巻、應５．１２８〜１３０ページに記載され
ている回転Ｙカット、Ｘ軸に垂直方向伝搬の石英とする
ことができる。

以降の本発明の説明においては、基板１はこれら２種類
のうちの１つとし、弾性波に対する言及は適切な表面弾
性波または特定種類のバルク波を意味している。

間隔を置いて配置した１組の反射器Ｒ１とＲ２は、基板
１内に弾性定在波を複数の異なる共振モード周波数で支
持しうる共振空胴を形成する。

それぞれの反射器Ｒ１およびＲ２は、表面１に複数個の
分離不連続部２および３をそれぞれを具える周期的グレ
ーティング構造である。

たとえば表面上の導電ストリップまたは表面内の溝とす
ることのできる各不連続部は、そこに入射する弾性波エ
ネルギーの一部を反射するために設ける。

反射器Ｒ１およびＲ２はそれぞれ反射周波数通過域を有
しており、代表的な例では、反射器Ｒ１およびＲ２のそ
れぞれは、１００ ＭＨｚ の周波数で弾性波の半波長
λ／２の実効間隔を有する２００個の不連続部２および
３により構成されており、前記１００ＭＨｚの周波数を
中心とした２ＭＨｚの反射通過域を与える。

共振空胴の実効長しは、それぞれの共振モード周波数で
の半波長のほぼ整数倍である。

代表的な例では、実効長りは１００ＭＨｚで５００λで
あり、反射器Ｒ１およびＲ２の最も近い素子２と３との
間の間隔は４００λである。

この実効長しは、隣り合う共振モード周波数間の１００
ＫＨｚ の間隔を決定し、したがって共振空胴は、２Ｍ
Ｈｚの反射通過域内に２０の共振モードを支持すること
が可能である。

各モードに対する定在波共振パターンは、弾性ひずみ中
の波節と波腹、および表面で測定された電位中の波節と
波腹を示す。

本明細書では、波節および波腹に関しては、表面で測定
した電位のそれぞれ最小および最大に言及するようにし
ている。

第１図に示すラインＩ −Ｉ上にある共振空胴の中心点
は、共振空胴により支持されるモード周波数の各隣り合
う組を形成する偶数モード周波数および奇数モード周波
数での定在波のそれぞれ波節および波腹と一致する。

連続的に減少する周波数ですなわち増大する波長での３
つの隣り合うモードＭｌ 、Ｍ２ 、Ｍ３に対する共振
パターンを、第１図に示す。

モードＭ１およびＭ３は、中心線Ｉ −■で波節Ｎを有
する偶数モード周波数にあり、モードＭ２は、中心線Ｉ
−Ｉで波腹ＡＮを有する奇数モード周波数にある。

第１図の＋および一符号は、ある瞬時における中心線Ｉ
−Ｉに対する、３つのモードの共振パターンの相対位相
を示している。

トランスジューサＴＤ１は、電極Ｙｌ 、Ｘｌ 。

Ｘ２ 、Ｙ２の配列を具えている。

どれら電極は、共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結
合するために１組の反射器Ｒ１とＲ２との間の表面１上
に配置され、母線ＢＸおよびＢＹによって１組の端子Ｔ
１およびＴ２にインタデジタル的に接続されている。

電極配列は、中心線Ｉ−Ｉに対して対称的に配置されて
おり、２組の電極を形成する。

各組の２個の電極の実効中心（破線で示されている）は
、中心線Ｉ−Ｉから共振空胴の長さ方向に平行、）・つ
反対方向に等間隔に配置されている。

ＸｌおよびＸ２の組は中心線から距離Ｘだげ離れて配置
されており、ＹｌおよびＹ２の組は中心線Ｉ −Ｉから
距離ｙだげ離れて配置されている。

ＸｌおよびＸ２の組は母線ＢＸを経て端子Ｔ１に電気的
に共通に接続されており、￥１およびＹ２の組は母線Ｂ
Ｙを経て端子Ｔ２に電気的に共通に接続されている。

偶数モードＭ１およびＭ３の両方に対しては、電極Ｘ１
およびＸ２は定在波パターンの等しい大きさの反対位相
に配置されており、電極￥１およびＹ２も定在波パター
ンの等しい大きさの反対位相に配置されている。

したがって、各組が組ＸＩ 、Ｘ２および組Ｙ１゜Ｙ２
と同様に配置されている複数個の組より成るトランスジ
ユーザＴＤ１は、距離Ｘおよびｙの実際の値とは無関係
に、共振空胴が支持することのできる定在波のすべての
偶数モード周波数での定在波エネルギーとの零正味結合
を有する。

このため、前記トランスジューサが入カドランスジュー
サであって、これら偶数モードの周波数で端子Ｔ１およ
びＴ２に交流電位差が供給される場合には、これらの偶
数モード定在波は励振されず、偶数モード定在波が共振
空胴内に存在しトランスジューサが出カドランスジュー
サで蜆る場合には、これらの偶数モード周波数で端子Ｔ
１およびＴ２に零出力電気信号が発生する。

奇数モードＭ２に対しては、電極Ｘ１およびＸ２は定在
波パターンの等しい大きさの同一位相に配置されており
、電極Ｙ１およびＹ２も定在波パターンの等しい大きさ
の同一位相に配置されている。

第１図に示すように、ＸはモードＭ２の周波数での半波
長の整数倍であり、ｙはその周波数でＸよりも半波長太
き（、したがってこのトランスジューサは、モードＭ２
の周波数での定在波エネルギーとの最大結合を有する。

このため、トランスジューサが入カドランスジューサで
あり、モードＭ２の周波数で端子Ｔ１およびＴ２に交流
電位差が供給される場合には、その奇数モード定在波は
最大効率で励振され、また奇数モードＭ２定在波が共振
空胴内に存在しトランスジューサが出カドランスジュー
サである場合には、最大振幅を有するモードＭ２の周波
数で端子Ｔ１およびＴ２に電気信号が発生する。

トランスジューサＴＤ１を有効にするためには、トラン
スジューサが共振空胴の支持しうる少なくとも１つの奇
数モード周波数での定在波エネルギーとの非零正味結合
を有することができるように、距離Ｘおよびｙの実際の
値を整えなげればならない。

たとえば、距離Ｘおよびｙが、特定の奇数モードの波節
上にすべての電極が位置するようなものであり、または
特定の奇数モードの同一位相の波腹上にすべての電極が
位置するようなものである場合には、およびこのような
場合のいずれかにおいて、その奇数モードが共振空胴の
支持できる唯一のものである場合には、トランスジュー
サは有効とならない。

第２図は、第１図の装置に類似する装置の略平面図であ
るが、共振空胴によって支持される奇数モードへの零結
合のためのインタデジタル・トランスジューサを設けた
ものである。

この第２図において、基板１は第１図に示した基板と同
じであり、不連続部２および３を具える反射器Ｒ１およ
びＲ２は第１図に示した反射器と同じである。

３つの隣り合うモードＭ４ 、Ｍ５ 。Ｍ６に対する共
振パターンを示し、モードＭ４およびＭ６は中心線Ｉ−
Ｉに波腹ＡＮを有する奇数モード周波数にあり、モード
Ｍ５は中心線Ｉ−Ｉに波節Ｎを有する偶数モード周波数
にある。

トランスジューサＴＤ２は、電極Ｘ３ 、Ｙ３ 。

Ｘ４ 、Ｙ４の配列を有しており、これら電極は、共振
空胴内の弾性表面波エネルギーへの結合のために１組の
反射器Ｒ１とＲ２との間の表面１上に配置されており、
母線ＢＸおよびＢＹを経て１組の端子Ｔ３およびＴ４に
インクデジタル的に接続されている。

それぞれの電極は、２個の電極部に分割されている。

これら電極部は、電極の実効中心（破線で示す）から共
振空胴の長さ方向に平行に且つ反対方向に等距離だけ離
間されている。

電極配列は、中心線Ｉ −Ｉに対し対称に配置されてお
り、２組の電極を形成する。

各組の２個の電極の実効中心は、中心線■−■から共振
空胴の長さ方向に平行に且つ反対方向に等しく離間され
ている。

Ｙ３とＸ４の組は中心線Ｉ−Ｉから距離Ｘだげ離れてお
り、Ｘ３とＹ４の組は中心線Ｉ−Ｉから距離ｙだげ離れ
ている。

￥３とＸ４の組は、母線ＢＹおよびＢＸによってそれぞ
れ端子Ｔ４およびＴ３に電気的に接続されており、Ｘ３
とＹ４の組は、母線ＢＸおよびＢＹによってそれぞれ端
子Ｔ３およびＴ４に接続される。

奇数モードＭ４およびＭ６の両方に対しては、電極￥３
およびＸ４を定在波パターンの等しい大きさの同一位相
に配置し、電極Ｘ３およびＹ４も定在波パターンの等し
い大きさの同一位相に配置する。

各組が組Ｙ３゜Ｘ４および組Ｘ３ 、Ｙ４と同様に配置
された複数個の電極の組より成るトランスジューサＴＤ
２は、距離Ｘおよびｙの実際の値とは無関係に、共振空
胴が支持しうる定在波のすべての奇数モード周波数にお
ける定在波エネルギーとの零正味結合を有する。

偶数モードＭ５に対しては、電極Ｙ３およびＸ４を定在
波パターンの等しい大きさの反対位相に配置し、電極Ｘ
３およびＹ４も定在波パターンの等しい大きさの反対位
相に配置する。

第２図に示すように、ＸはモードＭ５の周波数での半波
長の整数倍であり、ｙはその周波数でＸよりも半波長だ
け太き（、このトランスジューサはモードＭ５の周波数
における定在波エネルギーとの最大結合を有する。

トランスジューサＴＤ２を有効にするためには、トラン
スジューサが、共振空胴の支持しうる少な（とも１つの
偶数モード周波数における定在波エネルギーとの非零正
味結合を有することができるように距離Ｘおよびｙの実
際の値を整えなげればならない。

第３図は、共振空胴と、この空胴により支持される偶数
モードに零結合するようにそれぞれ配置した２個のイン
タデジタル・トランスジューサとを有する本発明弾性波
共振器装置の略平面図である。

この図において、基板１は第１図および第２図に示す基
板と同じであり、不連続部２および３を具える反射器Ｒ
１およびＲ２は第１図および第２図に示す反射器と同じ
である。

２個のトランスジューサＩＴＤＩと０ＴＤＩ １．０Ｔ
Ｄ１２ とを設ける。

それぞれのトランスジューサは、第１図のトランスジュ
ーサＴＤ１と同様に偶数モードを抑制するように構成す
る。

入カドランスジューサＩＴＤ１ のそれぞれ半分は、
反射器Ｒ１およびＲ２によって形成される共振空胴の中
心線１−Ｉにおける電極の両側に位置しており、各半分
は４個の電極を具えている。

トランスジューサＩＴＤ１の電極配列は、母線ＩＢＸお
よびＩＢＹを経て１組の入力端子ＩＴ１およびＩＴ２に
インタデジタル的に接続されている。

トランスジユーザＩＴＤ１ の電極配列は、中心線Ｉ
−Ｉ、さらにはこの中心線Ｉ−Ｉ上にある電極ＩＹ３
に対して対称に配置されており、４組の電極を形成する
。

各組の２個の電極の実効中心は、中心線Ｔ−Ｉから共振
空胴の長さ方向に平行に且つ逆方向に等距離に配置され
ている。

たとえば、外側の組の電極をＩＹｌおよびＩＹ２で示し
、中心Ｉ−Ｉから距離ｙだけ離間させ、また隣接する組
の電極をＩＸｌおよびＩＸ２で示し、中心線Ｔ−Ｔから
距離Ｘだけ離間させる。

出カドランスジューサは、中心線Ｉ −Ｉの両側であっ
て入カドランスジューサＩＴＤ１ により隔てられて
いる側に、各半分０ＴＤ１１および０ＴＤ１２を有して
いる。

各半分は４個の電極を具えている。

トランスジューサ０ＴＤ１１．０ＴＤ１２の電極配列は
、母線０ＢＸ１．０ＢＸ２．０ＢＹ１．０ＢＹ２を経て
、１組の出力端子ＯＴＩおよびＯＴ２にインタデジタル
的に接続されている。

トランスジューサ０ＴＤ１１．０ＴＤ１２の電極配列は
、中心線Ｉ−■に対して対称に配置されており、４組の
電極を形成する。

各組の２個の電極の実効中心は、中心線Ｉ−Ｉかも共振
空胴の長さ方向に平行に且つ反対方向に等距離に離間さ
れている。

たとえば、外側の組の電極はＯＹｌおよびＯＹ２で示さ
れ、中心Ｔ−Ｉから距離ｑだげ離間されており、隣り合
う組の電極はＯＸｌおよびＯＸ２で示され、中心Ｉ−Ｉ
から距離ｐだげ離間されている。

入カドランスジューサＩＴＤＩ および出カドランス
ジューサ０ＴＤ１１．０ＴＤ１２の両方に対しては、上
述したように各組の２個の電極を、各組の入力端子また
は出力端子の一方または他方に共通に電気的に接続する
。

これにより、入カドランスジユーザおよび出カドランス
ジューサの両方は、共振空胴が弾性定在波を支持しうる
各偶数モード周波数での定在波エネルギーとの零正味結
合を有する。

共振空胴の中心線からの各配列の電極の距離、すなわち
Ｘ、ｙ、ｐ、ｑの実際の値は、入カドランスジューサＩ
ＴＤ１ および出カドランスジューサ０ＴＤ１１．０
ＴＤ１２０両方が、共振空胴が弾性波を支持しうる少な
くとも１つの奇数モード周波数での定在波エネルギーと
の非零正味結合を有することができるように整える。

入カドランスジューサに対しインタデジタル電極の規則
的に間隔を置いて配置された配列を完成させ、上述の電
極の組に付加される入カドランスジユーザＩＴＤ １
の重連ＩＹ３は、中心線■−■上に設けられることに
よって、すべての偶数モードに対し波節上にある。

それはこれら偶数モードへの零結合と一致し、奇数モー
ドへの結合に貢献する。

第４図は、第３図の装置には類似しているが、共振空胴
によって支持される奇数モードへ零結合されるために２
個のトランスジユーザを設けた装置の略平面図である。

この図において、基板１は第１図および第２図に示す基
板と同じであり、不連続部２および３を具える反射器Ｒ
１およびＲ２は、第１図および第２図に示した反射器と
同じである。

２個のトランスジューサ０ＴＤ２とＩＴＤ２１ 、ＩＴ
Ｄ２２を設ける。

それぞれのトランスジユーザは、第２図のトランスジュ
ーサＴＤ２と同様に奇数モードを抑制するように構成す
る。

入カドランスジユーザ０ＴＤ２のそれぞれ半分は、反射
器Ｒ１およびＲ２によって形成される共振空胴の中心Ｉ
−Ｉの両側に隣り合っており、各半分は４個の電極を具
えている。

トランスジューサ０ＴＤ２ の電極配列は、母線ＯＢＸ
およびＯＢＹを経て１組の出力端子ＯＴ３およびＯＴ４
に、インタデジタル的に接続されている。

トランスジューサ０ＴＤ２ の電極配列は、中心線Ｉ−
Ｉに対し対称に配置されており、４組の電極を形成する
。

各組の２個の電極の実効中心は、共振空胴の長さ方向に
平行に且つ反対方向に中心線Ｉ−Ｉから等距離に配置す
る。

たとえば、外側の組の電極はＯＸ３およびＯＹ４で示さ
れ、中心線Ｉ−Ｉから距離ｙだげ離間され、近接する組
の電極はＯＹ３およびＯＸ４で示され、中心線Ｉ−Ｉか
ら距離Ｘだげ離間されている。

入カドランスジューサは、中心線Ｉ −Ｉの両側であっ
て出カドランスジューサ０ＴＤ２によって隔てられた側
に各半分ＩＴＤ２１およびＩＴＤ２２を有し、これら各
半分は４個の電極を具えている。

トランスジューサＩＴＤ２１ 、ＩＴＤ２２の電極配列
は、母線ＩＢＸ１ 、ＩＢＸ２ 、ＩＢＹｌ 、ＩＢＹ
２を経て、１組の入力端子ＩＴ３およびＩＴＪにインタ
デジタル的に接続されている。

トランスジューサＩＴＤ２１ 、ＩＴＤ２２の電極配列
は、中心線■−■に対して対称に配置されており、４組
の電極を形成する。

各組の２個の電極の実効中心は、共振空胴の長さ方向に
平行に且つ反対方向に中心線Ｉ−Ｉから等距離に配置さ
れている。

たとえば、外側の組の電極はＩＸ３およびＩＹ４で示さ
れ、中心線Ｉ −Ｉから距離ｑだけ離間されており、隣
接する組の電極はＩＹ３およびＩＹ４で示され、中心線
Ｉ−Ｉから距離ｐだげ離間されている。

出カドランスジユーザ０ＴＤ２および入カドランスジユ
ーザＩＴＤ２１ 、ＩＴＤ２２の両方に対しては、上述
したように各組の２個の電極を、それぞれ各組の出力端
子または入力端子に電気的に接続する。

これにより、出カドランスジューサおよび入カドランス
ジューサは、共振空胴が弾性定在波を支持しうる各奇数
モード周波数での定在波エネルギーとの零正味結合を有
し、各配列の電極の中心線■−Ｉからの間隔、すなわち
距離Ｘ、ｙ、ｐ、ｑの実際の値は、出カドランスジュー
サ０ＴＤ２ および入カドランスジューサＩＴＤ２１
、ＩＴＤ２２の両方が、共振空胴が弾性定在波を支持し
つる少なくとも１つの偶数モード周波数での定在波エネ
ルギーとの非零正味結合を有することができるように構
成する。

第３図および第４図において、トランスジューサの電極
は、第１図のトランスジューサＴＤＩに示されるような
単一電極、または第２図のトランスジューサＴＤ２に示
されているような分割電極とすることができる。

第５図は、２つの共振空胴をトランスジューサ結合した
本発明結合弾性波共振器電気フィルタの略平面図である
。

奇数モードへの零結合を有するために第４図に示すよう
に構成した２個のトランスジューサをそれぞれ具える、
同一基板１上の２個の装置は互いに結合されている。

反射器Ｒ１１とＲ２１の組、および反射器Ｒ１２とＲ２
２の組を、第１図および第２図に示す反射器Ｒ１とＲ２
の組と同じように構成配置する。

トランスジューサＩＴＤ２ と０ＴＤ２１，０ＴＤ２
２の形状配置、およびトランスジューサＯＴＤ ２ と
ＩＴＤ２１ 、ＩＴＤ２２の形状配置は、第４図のそれ
ぞれの共振空胴におけるトランスジューサ０ＴＤ２とＩ
ＴＤ２１の形状配置と同じである。

入カドランスジューサＩＴＤ２ は、端子ＩＴ３および
ＩＴＪを経て、電気エネルギー源Ｓに接続され、出ブ月
・ランスジユーザ０ＴＤ２１゜０ＴＤ２２ は端子０Ｉ
Ｔ１および０ＩＴ２に接続される。

入カドランスジューサＩＴＤ２１ 、ＩＴＤ２２は端子
０ＩＴ１およびＯＩＴ ２に接続され、出力ｌ・ランス
ジューサ０ＴＤ２は端子ＯＴ３およびＯＴ４を経て負荷
Ｚに接続される。

２個の弾性波共振器装置は、第５図に示すように、第１
装置の出力端子を第２装置の出力端子に電気的に接続す
ることによって互いに結合され、結合共振器電気フィル
タを形成する。

３個以上のこのような装置を結合して電気フィルタを形
成することができる。

この場合には第１装置および第２装置は電気フィルタの
＝部を構成する。

第６図は、２個の共振空胴をマルチストリップ結合器に
よって結合した本発明結合弾性波共振器電気フィルタの
略平面図である。

この図では、偶数モードに対して零結合を有するように
構成した２部分トランスジューサをそれぞれ有する、同
一基板１上の２個の装置が相互に結合されている。

反射器Ｒ１１とＲ２１の組および反射器Ｒ１２とＲ２２
の組を設けて、第１図および第２図に示す反射器Ｒ１と
Ｒ２の組と同じように構成する。

トランスジューサＩＴＤ１１゜ＩＴＤ１２ と０ＴＤ
１１．０ＴＤＩ ２の構成配置は、第３図の各共振空胴
のトランスジューサ０ＴＤ１１゜０ＴＤ１２ の構成配
置と同じである。

入カドランスジューサＩＴＤＩ １ 、ＩＴＤ１２は、
端子ＩＴＩおよびＩＴ２を経て電気エネルギー源Ｓに接
続され、出カドランスジューサ０ＴＤＩ １．０ＴＤＩ
２は、端子ＯＴ１およびＯＴ２を経て負荷２に接続さ
れる。

２個の弾性波共振器装置の共振空胴は、マルチストリッ
プ結合器ＭＳＣによって結合される。

この結合器は、互いに電気的に絶縁され２個の共振空胴
内に設げられこれら共振空胴間に延在する、基板１上の
個別の平行導電ストリップの配列より成っている。

反射器Ｒ１１およびＲ２１によって形成される共振空胴
にトランスジューサＩＴＤＩ １ 、ＩＴＤ１２によっ
て放射される弾性波エネルギーは、その共振空胴内に弾
性定在波エネルギーを形成し、この定在波エネルギーの
一部は結合器配列ＭＳＣストリップによって電気エネル
ギーとして伝達され、反射器Ｒ１２およびＲ２２によっ
て形成される共振空胴に弾性波エネルギーとして再放射
されて、その共振空胴に弾性定在波エネルギーを形成し
、このエネルギーはトランスジューサ０ＴＤＩ １．０
ＴＤ１２によって受けとられる。

結合された２個の共振器装置は、電気フィルタを形成す
る。

あるいはまた、結合された３個以上の共振器装置を有す
る電気フィルタを構成することもできる。

第５図および第６図について説明した結合共振器フィル
タの特定の構成に対する可能な変更を以下に説明する。

第５図のトランスジューサを、奇数モードを抑制する代
りに偶数モードを抑制するように構成することができ、
また内側トランスジューサの接続によって共振空胴を結
合して、外側トランスジューサをそれぞれ電気エネルギ
ー源および負荷への接続用とすることができ、あるいは
一方の共振空胴内の外側トランスジューサと他方の共振
空胴内の内側トランスジューサとを、それぞれ電気エネ
ルギー源および負荷への接続用とし、これら共振空胴を
他の２個のトランスジューサの接続によって結合するこ
とができる。

第６図のトランスジューサを、偶数モードを抑制する代
りに奇数モードを抑制するように構成することができ、
また各共振空胴内の１つのトランスジューサの各半分の
間の領域に１個のマルチストリップ結合器が設けられて
いる構成の代りに、共振空胴の中心付近に各半分を有す
る各共振空胴内の単一トランスジューサの両側に２個の
マルチストリップ結合器を設けることができる。

第７図は、低損失狭通過域を有するように設計したトラ
ンスジユーザ結合表面弾性波結合共振器電気フィルタの
代表的な周波数応答特性を示す。

この特性では、共振器反射器の組合わせ反射周波数通過
域が３つの共振モードのみを含むように設計し、および
トランスジューサがこれら３つのモードのうちの中間の
モードのみに結合するようにトランスジューサを構成す
ることによって、通過域の外側に低い減衰域レベルが達
成されている。

第７図に応答特性が示されているフィルタは、一般に第
５図に示す構成に基づいている。

すなわち、２個の共振空胴があり、各共振空胴は２個の
周期的グレーティング反射器によって形成され、各共振
空胴内に交互モード抑制のためにそれぞれ構成された２
個のトランスジューサがあり、一方の共振空胴内の１個
のトランスジューサは入カドランスジューサであり、他
方の共振空胴内の１個のトランスジューサは出カドラン
スジューサであり、他の２個のトランスジューサは２個
の共振空胴を結合するために接続されている。

以下に述べるこのフィルタの詳細な説明において示され
る数字は、第７図に示す応答特性を有するフィルタの実
現に指針を与えるためのみの概略値である。

基板は、表面弾性波を支持しうるＳＴカット石英である
。

共振空胴を形成する反射器のそれぞれは、基板の表面上
に設けた７５０本の金属ストリップより成る。

これらの金属ストリップは、１６０ＭＨ２の中心周波数
での表面弾性波の半波長の実効間隔を有しており、前記
１６０ＭＨｚの中心周波数を中心とする６００ＫＨ，Ｚ
、の反射通過域を与える。

各共振空胴の２個の反射器間の間隔は前記中心周波数で
１５０波長であり、各共振空胴の実効長は約２５０波長
であり、共振空胴の隣り合う共振モードの周波数間に３
００ ＫＨ２５の分離を与える。

反射器が離間されている距離に関する反射器の形状は、
共振器の反射器の組合わせ反射周波数通過域が、中心モ
ード周波数が前記１６０ＭＨｚの中心周波数である３つ
の隣り合う別個の共振モード周波数のみを含むようなも
のである。

各共振空胴内では、中間トランスジューサは６０波長の
距離を占め、外側トランスジューサのそれぞれ半分は、
共振空胴の長さ方向に沿って前記中心周波数で３０波長
の距離を占める。

すべてのトランスジューサは、実効中心を前記１６０Ｍ
Ｈ７，の中心周波数で半波長だけ離間させた分割電極を
有するインタデジタル・トランスジューサであり、トラ
ンスジューサは、１６０ＭＨｚの中心周波数で共振モー
ドに最大効率で結合し、共振空胴がそれぞれ１５９．７
ＭＨｚおよび１６０．３ＭＨｚで支持しうる２つの他の
共振モードへの零結合を有するように構成する。

第７図に示すこのフィルタの周波数応答（実線）は、１
６０ＭＨ２，のピーク応答周波数で５０オ一ム方式にお
いて１０ ｄｂ の挿入損を有する帯域通過応答である
。

この挿入損は、外部回路への入カドランスジューサおよ
び出カドランスジューサの適切なインピーダンス整合に
よって約６ ｄｂ に減少させることができる。

結合トランスジューサを経るインダクタンスを接続する
ことによって挿入損を約３ ｄｂ にさらに減少させる
ことができる。

ピーク応答より３ ｄｂ 下の応答の帯域幅は２０ＫＨ
ｚである。

帯域応答に近接する領域における応答の減衰域レベルは
、ピーク応答より約６０ ｄｂ小さい。

点線は、１５９．７ＭＨｚおよび１６０．３ ＭＨｚで
の２つのモードに対する応答を示し、トランスジューサ
がこれら２つのモードへの零結合を有するように構成さ
れていない場合には、前記応答はピーク応答よりそれぞ
れ３０ｄｂおよび４５ ｄｂ低いレベルに表われる。

一点鎖線は、共振器の反射器の組合わせ反射周波数通過
域を示す。

したがって、交互モード抑制できるようにトランスジュ
ーサを構成することによって達成される、フィルタ応答
の減衰域レベルにおける改良は明白である。

【図面の簡単な説明】

第１図は共振空胴とこの共振空胴によって支持される偶
数モードと零結合するように構成した共振空胴内のイン
クデジタル・トランスジューサとを具える本発明弾性波
共振器装置の略平面図、第２図は第１図に示す装置に類
似するがインクデジタル・トランスジューサを共振空胴
により支持される奇数モードと零結合するように構成し
た弾性波共振器装置の略平面図、第３図は共振空胴とこ
の共振空胴により支持される偶数モードに零結合するよ
うにそれぞれ構成した共振空胴内の２個のインタデジタ
ル・トランスジューサとを具える本発明弾性波共振器装
置の略平面図、第４図は第３図の装置に類似するが２個
のトランスジューサを共振空胴により支持される奇数モ
ードと零結合するようにそれぞれ構成した弾性波共振器
装置の略平面図、第５図は２個の共振空胴をトランスジ
ューサ結合した本発明結合弾性波共振器電気フィルタの
略平面図、第６図は２個の共振空胴をマルチストリップ
結合器により結合した本発明結合弾性波共振器電気フィ
ルタの略平面図、第７図は、２個の共振空胴が、３つの
共振モードのみを有する組合わせ反射周波数通過域を有
し、共振空胴内のトランスジューサを、中間モード周波
数での定在波エネルギーとの最大結合を有し、２つの外
側モード周波数での定在波エネルギーと零結合を有する
ように構成したトランスジューサ結合表面弾性波結合共
振器電気フィルタの代表的な周波数応答特性を示す図で
ある。 １・・・・・・基板、２，３・・・・・・分離不連続部
、Ｒ１゜Ｒ２・・・・・・反射器、Ｎ・・・・・・波節
、ＡＮ・・・・・・波腹、ＴＤｌ、ＴＤ２・・・・・・
トランスジューサ、■ＴＤ１・・・・・・入カドランス
ジューサ、０ＴＤＩ １．０ＴＤＩ ２・・・・・・出
カドランスジューサ、Ｘｌ 、Ｘ２ 、Ｙｌ 。 Ｙ２・・・・・・電極配列、ＢＸ 、ＢＹ・−・・・・
母線、ＴＩ。 Ｔ２・・・・・・端子、ＩＴｌ、ＩＴ２・・・・・・入
力端子、ＯＴｌ、ＯＴ２ ・・・・・・出力端子、Ｓ・
・・・・・電気エネルギー源、Ｚ・・・・・・負荷、Ｍ
ＳＣ・・・・・・マルチストリップ結合器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 弾性波を伝搬しうる基板と、 この基板内に複数の異なる共振モード周波数で弾性定在
   波を維持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
   組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記１組の反
   射器の間で前記基板の表面に設けられた電極配列を有し
   、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するた
   めのトランスジューサとを具える弾性波共振器装置にお
   いて、 各反射器を基板表面における周期的なグレーティング構
   造体を以って構成し、これらグレーティング構造体およ
   びこれらの互いの離間距離を、前記の組の反射器の合成
   反射周波数通過帯域が隣り合う３つのみの共振モード周
   波数を含みそのうちの真中の共振モード周波数が奇数モ
   ードとなるように設定し、共振空胴の中心を奇数モード
   および偶数モードでそれぞれ定在波の波腹および波節と
   一致するようにし、前記の電極配列を前記の共振空胴の
   中心に対して対称的に配置し、この電極配列を複数組の
   電極を以って構成し、各組の電極の実効中心を前記の共
   振空胴の中心から両側に等距離で配置し、各組の電極を
   同じ端子に接続し、トランスジューサが双方の偶数モー
   ドで定在波エネルギーと結合せず、奇数モードで非零結
   合するようにしたことを特徴とする弾性波共振器装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の弾性波共振器装置に
   おいて、前記の電極の各々を、この電極の実効中心から
   共振空胴の長手方向に平行で互いに反対の方向に等距離
   だけ離間して配置した２つの電極部分に分割したことを
   特徴とする弾性波共振器装置。 ３ 弾性波を伝搬しうる基板と、 この基板内に複数の異なる共振モード周波数で弾性定在
   波を維持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
   組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記１組の反
   射器の間で前記基板の表面に設けられた電極配列を有し
   、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するた
   めのトランスジューサとを具える弾性波共振器装置にお
   いて、 各反射器を基板表面における周期的なグレーティング構
   造体を以って構成し、これらグレーティング構造体およ
   びこれらの互いの離間距離を、前記の組の反射器の合成
   反射周波数通過帯域が隣り合う３つのみの共振モード周
   波数を含みそのうちの真中の共振モード周波数が偶数モ
   ードとなるように設定し、共振空胴の中心を偶数モード
   および奇数モードでそれぞれ定在波の波節および波腹と
   一致するようにし、前記の電極配列を前記の共振空胴の
   中心に対して対称的に配置し、この電極配列を複数組の
   電極を以って構成し、各組の電極の実効中心を前記の共
   振空胴の中心から両側に等距離で配置し、各組の電極を
   互いに異なる端子に接続し、トランスジューサが双方の
   奇数モードで定在波エネルギーと結合せず、偶数モード
   で非零結合するようにしたことを特徴とする弾性波共振
   器装置。 ４ 特許請求の範囲第３項に記載の弾性波共振器装置に
   おいて、前記の電極の各々を、この電極の実効中心から
   共振空胴の長手方向に平行で互いに反対の方向に等距離
   だけ離間して配置した２つの電極部分に分割したことを
   特徴とする弾性波共振器装置。 ５ 弾性波を伝搬しうる基板と、 この基板内に複数の異なる共振モード周波数で弾性定在
   波を維持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
   組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記１組の反
   射器の間で前記基板の表面に設けられた電極配列を有し
   、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するた
   めのトランスジューサとを具える弾性波共振器装置にお
   いて、 前記トランスジューサを、前記端子に供給された電気エ
   ネルギーを弾性波エネルギーに変換するための入カドラ
   ンスジューサとし、さらに１組の出力端子と、これら出
   力端子にインタデジタル的に接続され前記共振空胴内で
   前記基板の表面に設けられた電極配列を有する出カドラ
   ンスジューサとを具え、入カドランスジューサおよび出
   カドランスジューサの双方において、各別の電極配列を
   、奇数モードおよび偶数モードでそれぞれ定在波の波腹
   および波節と一致する共振空胴の中心に対して対称的に
   配置し、前記の電極配列の各々を複数組の電極を以って
   構成し、各電極組の２つの電極の実効中心を前記の共振
   空胴の中心から両側に等距離に配置し、各電極組の電極
   を前記の各別の入力端子或いは出力端子の１つに共通に
   接続し、入力および出カドランスジューサの双方が偶数
   モードで定在波エネルギーと殆んど結合せず、少くとも
   １つの奇数モードで非零正味結合するようにしたことを
   特徴とする弾性波共振器装置。 ６ 特許請求の範囲第５項に記載の弾性波共振器装置に
   おいて、各反射器を基板表面における周期的なグレーテ
   ィング構造体を以って構成し、これらグレーティング構
   造体およびこれらの互いの離間距離を、前記の組の反射
   器の合成反射周波数通過帯域が隣り合う３つのみの共振
   モード周波数を含みそのうちの真中の共振モード周波数
   が奇数モード周波数となるように設定したことを特徴上
   する弾性波共振器装置。 ７ 特許請求の範囲第５項に記載の弾性波共振器装置に
   おいて、前記の電極の各々を、この電極の実効中心から
   互いに反対側に等距離だけ離間して配置した２つの電極
   部分に分割したことを特徴とする弾性波共振器装置。 ８ 弾性波を伝搬しうる基板と、 この基板内に複数の異なる共振モード周波数で弾性定在
   波を維持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
   組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記１組の反
   射器の間で前記基板の表面に設けられた電極配列を有し
   、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するた
   めのトランスジューサとを具える弾性波共振器装置にお
   いて、 前記トランスジューサを、前記端子に供給された電気エ
   ネルギーを弾性波エネルギーに変換するための入カドラ
   ンスジューサとし、さらに１組の出力端子と、これら出
   力端子にインタデジタル的に接続され前記共振空胴内で
   前記基板の表面に設けられた電極配列を有する出カドラ
   ンスジューサとを具え、入カドランスジューサおよび出
   カドランスジューサの双方において、各別の電極配列を
   、奇数モードおよび偶数モードでそれぞれ定在波の波腹
   および波節と一致する共振空胴の中心に対して対称的に
   配置し、前記の電極配列の各々を複数組の電極を以って
   構成し、各電極組の２つの電極の実効中心を前記の共振
   空胴の中心から両側に等距離に配置し、各電極組の電極
   をそれぞれ前記の各別の入力端子或いは出力端子のうち
   の異なる１つに接続し、入カドランスジューサおよび出
   カドランスジューサの双方が奇数モードで定在波エネル
   ギーと殆んど結合せず、少くとも１つの偶数モードで非
   零正味結合するようにしたことを特徴とする弾性波共振
   器装置。 ９ 特許請求の範囲第８項に記載の弾性波共振器装置に
   おいて、各反射器を基板表面における周期的なグレーテ
   ィング構造体を以って構成し、これらグレーティング構
   造体およびこれらの互いの離間距離を、前記の組の反射
   器の合成反射周波数通過帯域が隣り合う３つのみの共振
   モード周波数を含みそのうちの真中の共振モード周波数
   が偶数モード周波数となるように設定したことを特徴と
   する弾性波共振器装置。 １０ 特許請求の範囲第８項に記載の弾性波共振器装
   置において、前記の電極の各々を、この電極の実効中心
   から互いに反対側に等距離だけ離間して配置した２つの
   電極部分に分割したことを特徴とする弾性波共振器装置
   。 １１ 弾性波を伝搬しうる基板と、 この基板内に複数の異なる共振モード周波数で弾性定在
   波を維持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
   組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記１組の反
   射器の間で前記基板の表面に設けられた電極配列を有し
   、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するた
   めのトランスジューサとを具える弾性波共振器装置であ
   って、前記トランスジューサを、前記端子に供給された
   電気エネルギーを弾性波エネルギーに変換するための入
   カドランスジューサとし、さらに１組の出力端子と、こ
   れら出力端子にインクデジタル的に接続され前記共振空
   胴内で前記基板の表面に設けられた電極配列を有する出
   カドランスジューサとを具え、入カドランスジューサお
   よび出カドランスジューサの双方において、各別の電極
   配列を、奇数モードおよび偶数モードでそれぞれ定在波
   の波腹および波節と一致する共振空胴の中心に対して対
   称的に配置し、前記の電極配列の各々を複数組の電極を
   以つて構成し、各電極組の２つの電極の実効中心を前記
   の共振空胴の中心から両側に等距離に配置し、各電極組
   の電極を前記の各別の入力端子或いは出力端子の１つに
   共通に接続し、入カドランスジューサおよび出カドラン
   スジューサの双方が偶数モードで定在波エネルギーと殆
   んど結合せず、少（とも１つの奇数モードで非零正味結
   合するようにした弾性波共振器装置を２個具える電気フ
   ィルタにおいて、 前記の１つの共振器装置の出力端子を他の１つの共振器
   装置の端子に電気的に接続したことを特徴とする電気フ
   ィルタ。 １２ 弾性波を伝搬しうる基板と、 この基板内に複数の異なる共振モード周波数で弾性定在
   波を維持しうる共振空胴を形成する離間して配置した１
   組の反射器と、 １組の端子と、 これら端子にインタデジタル的に接続され前記１組の反
   射器の間で前記基板の表面に設けられた電極配列を有し
   、前記共振空胴内の弾性定在波エネルギーと結合するた
   めのトランスジューサとを具える弾性波共振器装置であ
   って、前記トランスジューサを、前記端子に供給された
   電気エネルギーを弾性波エネルギーに変換するための入
   カドランスジューサとし、さらに１組の出力端子と、こ
   れら出力端子にインタデジタル的に接続され前記共振空
   胴内で前記基板の表面に設けられた電極配列を有する出
   カドランスジューサとを具え、入カドランスジューサお
   よび出カドランスジューサの双方において、各別の電極
   配列を、奇数および偶数モードでそれぞれ定在波の波腹
   および波節と一致する共振空胴の中心に対して対称的に
   配置し、前記の電極配列の各々を複数組の電極を以って
   構成し、各電極組の２つの電極の実効中心を前記の共振
   空胴の中心から両側に等距離に配置し、各電極組の電極
   をそれぞれ前記の各別の入力端子或いは出力端子のうち
   の異なる１つに接続し、入カドランスジューサおよび出
   カドランスジューサの双方が奇数モードで定在波エネル
   ギーと殆んど結合せず、少くとも１つの偶数モードで非
   零正味結合するようにした弾性波共振器装置を２個具え
   る電気フィルタにおいて、 前記の１つの共振器装置の出力端子を他の１つの共振器
   装置の端子に電気的に接続したことを特徴とする電気フ
   ィルタ。