JPS5937285A - ヘリウム用吸着ポンプ - Google Patents

ヘリウム用吸着ポンプ

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Publication number
JPS5937285A
JPS5937285A JP14661482A JP14661482A JPS5937285A JP S5937285 A JPS5937285 A JP S5937285A JP 14661482 A JP14661482 A JP 14661482A JP 14661482 A JP14661482 A JP 14661482A JP S5937285 A JPS5937285 A JP S5937285A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adsorption
plate
helium
metallic
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14661482A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideyuki Oota
英之 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP14661482A priority Critical patent/JPS5937285A/ja
Publication of JPS5937285A publication Critical patent/JPS5937285A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
    • F04B37/04—Selection of specific absorption or adsorption materials

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ヘリウムガスを排気する吸着ポンプに関する
。
高真空の雰囲気中に存在するヘリウム（Ｈｅ　）ガスを
排気する手段として、吸着ポンプがある。
この種吸着ポンプは、熱遮蔽に囲まれた金属製吸着板を
液体ヘリウム等で極低温に冷却し、ンエプロンバソフル
（山形断面のパンフル板ヲ複数間隔をおいて配置したも
の）を通過してくるヘリウムガスの分子を吸着板にて吸
着・排気するものである。
しかるに、前述の構成の吸着ポンプの容量が小さいとい
う問題があった。
本発明者は、吸着ポンプの吸着容量を増大するため、前
記問題点の原因につき、種々研究した結果次のことを発
見した。すなわ１ち、（１）排気されるヘリウムガスの
量は、吸着板に作られた結晶層の表面積にほぼ比例して
いる。
（２）吸着速度は、結晶層へ排気すべきヘリウムガスが
吸着された時発生する吸着熱を金属製メタルへ逃がす速
度に比例する。
（８）このため、金属吸着板上のヘリウム吸着用の結晶
層を厚くして吸着量を増加させる事に限界のある。
本発明は、前記した問題点及びその原因に鑑みなされた
もので、吸着用結晶層が形成される吸着板の外面を多孔
質金属で構成し、結晶層の生成面積を大きくすることに
より吸着容量を増大した吸着ポンプを提供することを目
的とする。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
図面は、実施例の概念図であり、１は冷却剤すなわち液
体ヘリウムが入れられる貯槽である。
貯槽１の外面には、吸着板３が添設され、貯槽１中の液
体ヘリウムによって冷却されるが、基板５とその外側の
多孔質金属板７からなる。金属板７は、熱良導性金属（
銅、ニッケル等）の繊維をフェルト状に成形したもので
、金属接着剤によシ基板５に接着されている。
金属板７は、他の周知の方法例えば発泡法により製作し
てもよい。
貯槽１の上部は、部分的にボす熱遮蔽に設けられたシェ
ブロンバッフル９にパイプ１１ヲ介シて連絡している。
金属板７の表面（孔の内面を含む）には、吸着ガス（ア
ルゴン、窒素等）の結晶層（図示しない）が生成されて
いる。吸着ガスは熱遮蔽内に突出したノズル１３から供
給される。
シェブロンバッフル９に添設した冷却ガス管（図示しな
い）は、熱遮蔽１５の冷却管に連絡し、低温のヘリウム
ガスは、熱遮蔽１５も所定温度に冷却する。
冷却により若干昇温したヘリウムガスは、回収される。
高真空雰囲気に連絡し、シェブロンバッフル９をもつ入
口からヘリウムガスの分子が入り、吸着板５の金属板７
に接触してヘリウムガスの分子は吸着・排気される。
以上説明した本実施例によれば、次の効果を奏する。
（１）表面積の大きい多孔質金属板７を吸着板６の外面
に用いるので、結晶層の生成面積が大きくなり排気すべ
きヘリウムの吸着容量が増加する。
（２）吸着面積を大きく取れるので、従来のものと同一
の［吸着容量／パネル面積」の場合、結晶層の厚みをう
すくし、結晶層の伝熱抵抗を小さくして、吸着速度の大
きくすることができる。
（３）多孔質金属板７の厚を加減することにょシ、目的
に応じた吸着量と吸着速度を持つ吸着ポンプを作成する
ことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
図面は、本発明の実施例の概念図である。 １・・・貯槽、３・・・吸着板、５・・・基板、７・・
・金属板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 冷却剤槽の外面に添設される吸着板を金属基板と該基板
    の外面に接着された多孔質金属板で構成し、該多孔質金
    属板の表面にガス結晶層を形成し友ことを特徴とするヘ
    リウム用吸着ポンプ。
JP14661482A 1982-08-24 1982-08-24 ヘリウム用吸着ポンプ Pending JPS5937285A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102094786A (zh) * 2011-01-28 2011-06-15 北京航空航天大学 一种液氮液氦双介质兼容羽流吸附泵及其制冷方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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