JPS593534U - クライオスタツト - Google Patents

クライオスタツト

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Publication number
JPS593534U
JPS593534U JP9752282U JP9752282U JPS593534U JP S593534 U JPS593534 U JP S593534U JP 9752282 U JP9752282 U JP 9752282U JP 9752282 U JP9752282 U JP 9752282U JP S593534 U JPS593534 U JP S593534U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
measurement container
sample stage
cryostat
measurement
Prior art date
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Pending
Application number
JP9752282U
Other languages
English (en)
Inventor
啓太郎 森
Original Assignee
島田理化工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 島田理化工業株式会社 filed Critical 島田理化工業株式会社
Priority to JP9752282U priority Critical patent/JPS593534U/ja
Publication of JPS593534U publication Critical patent/JPS593534U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のクライオスタットの縦断面図、第２図は
本考案に係るクライオスタットの一実施例の縦断面図で
ある。 ７・・・試料、１６・・・筒体、１７・・・底板、１８
・・・測定容器、１９・・・冷却器、２０・・・脚、２
１・・・試料台、２２．２３・・・冷媒用配管、２４・
・・ヒータ、２５・・・温度センサー、２８・・・コネ
クタ、２９・＝・測定ヘッド支持台、３２・・・測定ヘ
ッド、３３・・・測定用探針、３６・・・コネクタ、３
８・・・除湿用配管、３９・・・開閉蓋。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 測定容器内の試料台と、前記試料台上の試料を冷却する
    冷却器と、前記試料台上の試料を加熱するヒータと、前
    記試料台上の試料の測定を行うための測定ヘッドとが該
    測定容器の底板に支持されて配設され、且つ前記測定容
    器の底板には前述した内部機器につながるコネクタ及び
    冷媒用配管と前記測定容器内を除湿するための配管とが
    支持され、前記測定容器の上部には気密に開閉蓋が取付
    けられていることを特徴とするクライオスタット。
JP9752282U 1982-06-30 1982-06-30 クライオスタツト Pending JPS593534U (ja)

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JP9752282U JPS593534U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 クライオスタツト

Applications Claiming Priority (1)

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JP9752282U JPS593534U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 クライオスタツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS593534U true JPS593534U (ja) 1984-01-11

Family

ID=30231939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9752282U Pending JPS593534U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 クライオスタツト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS593534U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01158372A (ja) * 1987-12-15 1989-06-21 Tokyo Electron Ltd プローブ装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01158372A (ja) * 1987-12-15 1989-06-21 Tokyo Electron Ltd プローブ装置

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