JPS5929804B2 - spectrometer - Google Patents

spectrometer

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JPS5929804B2
JPS5929804B2 JP8900976A JP8900976A JPS5929804B2 JP S5929804 B2 JPS5929804 B2 JP S5929804B2 JP 8900976 A JP8900976 A JP 8900976A JP 8900976 A JP8900976 A JP 8900976A JP S5929804 B2 JPS5929804 B2 JP S5929804B2
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JP
Japan
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light
diffraction grating
mirror
light source
spectrometer
Prior art date
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Expired
Application number
JP8900976A
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Japanese (ja)
Other versions
JPS5315848A (en
Inventor
富治 「峰」金
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、光源からの放射を分散してスペクトルとし
、所望の波長の単色光を取り出す分光器に係シ、なお、
特に分散素子に凹面回折格子を使用した分光器に関する
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a spectrometer that disperses radiation from a light source into a spectrum and extracts monochromatic light of a desired wavelength.
In particular, it relates to a spectrometer using a concave diffraction grating as a dispersive element.

現在計測の分野に於いては、分光分析が盛におこなわれ
ている。
In the field of measurement, spectroscopic analysis is currently being widely used.

この分光分析は、物質が放射または吸収する光のスペク
トルを測定し、解析することによつて認められる物質の
分光学的特性を利用して行う化学分析をいい、一般に紫
外、可視分光分析、赤外分光分析等がある。
Spectroscopic analysis refers to chemical analysis performed using the spectroscopic properties of substances that are found by measuring and analyzing the spectrum of light emitted or absorbed by substances, and is generally performed using ultraviolet, visible, or red spectroscopy. Examples include external spectroscopic analysis.

この分光分析には、光源からの放射を分散してスペクト
ルとし、所望の単色光を取り出す分光器が使用されてい
る。
This spectroscopic analysis uses a spectrometer that disperses radiation from a light source into a spectrum and extracts desired monochromatic light.

この従来の分光器の一例を第1図を参照して説明する。An example of this conventional spectrometer will be explained with reference to FIG.

第1図に於いて従来の分光器は、可視光源1と、紫外線
光源2と、この光源2からの光を反射する光源ミラー3
からの特定の波長を吸収または透過するフィルタ4と、
このフィルタ4を透過した光が通過する入射スリット5
と、この入射スリット5を通過した光が反射するミラー
6と、このミラー6を反射した光を反射平行する凹面鏡
7と、この凹面鏡7で反射平行された光を反射回折する
第1の平面回折格子8と、この第1の平面回折格子8で
反射回折された光を反射平行する凹面鏡9と、この凹面
鏡9で反射平行された光を反射するミラー10と、この
ミラー10で反射された光が通過するスリット11と、
このスリット11を通過した光が反射するミラー12と
、このミラー12を反射した光が反射平行する凹面鏡1
3で反射平行された光を反射回折する第2の平面回折格
子14と、この第2の平面回折格子14で反射回折され
た光を反射平光する凹面鏡15と、この凹面鏡15で反
射平行された光を反射するミラー16と、このミラー1
6で反射された光が通過する出射スリットITを有して
いる。
In FIG. 1, a conventional spectrometer includes a visible light source 1, an ultraviolet light source 2, and a light source mirror 3 that reflects light from the light source 2.
a filter 4 that absorbs or transmits a specific wavelength from
An entrance slit 5 through which the light transmitted through this filter 4 passes
A mirror 6 that reflects the light that has passed through the entrance slit 5, a concave mirror 7 that reflects and parallels the light reflected by this mirror 6, and a first plane diffraction that reflects and diffracts the parallel light reflected by this concave mirror 7. a grating 8, a parallel concave mirror 9 that reflects the light reflected and diffracted by the first flat diffraction grating 8, a mirror 10 that reflects the parallel light reflected by the concave mirror 9, and a mirror 10 that reflects the light reflected by the first plane diffraction grating 8; a slit 11 through which the
A mirror 12 on which the light passing through this slit 11 is reflected, and a concave mirror 1 on which the light reflected from this mirror 12 is reflected in parallel.
3, a concave mirror 15 that reflects and diffracts the light reflected and diffracted by this second plane diffraction grating 14; A mirror 16 that reflects light and this mirror 1
It has an exit slit IT through which the light reflected by 6 passes.

この従来の分光器は、平面回折格子や多数のミラー使用
しているためミラー等の光吸収が多く、特に波長が紫外
線領域の場合分光器から出射する単色光のエネルギーが
少いという欠点があった。
This conventional spectrometer uses a flat diffraction grating and a large number of mirrors, so there is a lot of light absorption by the mirrors, etc., and the drawback is that the energy of the monochromatic light emitted from the spectrometer is low, especially when the wavelength is in the ultraviolet region. Ta.

又、この従来の分光器は、構成が複雑で製造コストも高
いものとなつていた。本発明の目的は、上述の欠点を除
き、分光器か、ら出射する単色光のエネルギーの高い分
光器を提供することにある。
Furthermore, this conventional spectrometer has a complicated structure and is expensive to manufacture. An object of the present invention is to provide a spectrometer which eliminates the above-mentioned drawbacks and which emits monochromatic light with high energy.

本発明の他の目的は、構成が簡単で製造コストごも安い
分光器を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a spectrometer that is simple in construction and inexpensive to manufacture.

以下本発明の分光器の−実施例を図を参照して説明する
Embodiments of the spectrometer of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第2図に於いて本考案の分光器は、可視光源21と、紫
外線光源22と、この両光源21,22を切v換える光
源ミラー23と、この光源ミラー23からの光の特定の
波長光を吸収または透過するフイルタ24と、このフイ
ルタ24を透過した光を反射回折する第1の凹面回折格
子25と、この第1の凹面回折格子25で反射回折され
た光が通過する入射スリツト26と、この入射スリツト
26を通過した光を更に反射回折する第2の凹面回折格
子27と、この第2の凹面回折格子27で反射回折され
た光か通過する出射スリツト28とを有している。
In FIG. 2, the spectrometer of the present invention includes a visible light source 21, an ultraviolet light source 22, a light source mirror 23 that switches between the two light sources 21 and 22, and a light source with a specific wavelength from the light source mirror 23. a first concave diffraction grating 25 that reflects and diffracts the light transmitted through the filter 24; and an entrance slit 26 through which the light reflected and diffracted by the first concave diffraction grating 25 passes. , a second concave diffraction grating 27 that further reflects and diffracts the light that has passed through the input slit 26, and an output slit 28 through which the light reflected and diffracted by the second concave diffraction grating 27 passes.

可視光源21を出た光は、光源ミラー23で反射され、
フイルタ一24に致達される。
The light emitted from the visible light source 21 is reflected by the light source mirror 23,
The filter 24 is reached.

この光源ミラー23は、回動することによつて可視光源
21と紫外光源22の光を切シ換えるものである。この
フイルタ24に致達された光は、所定の波長光を選択的
に吸収または透過され、第1の凹面回折格子25に致達
される。この第1の凹面回折格子25は、その曲率半径
を直径とするローランド円の一点から発した光はローラ
ンド円上の一点で特定波長の光が結像するため、この凹
面回折格子25を回動することによつて所望の波長を選
択して入射スリツト26を通過することができるもので
ある。この凹面回折格子で反射回折された光は入射スリ
ツト26を通過し、更に波長選択するための第2の凹面
回折格子27に到達される。
The light source mirror 23 switches the light from the visible light source 21 and the ultraviolet light source 22 by rotating. The light reaching this filter 24 selectively absorbs or transmits light of a predetermined wavelength, and reaches the first concave diffraction grating 25 . This first concave diffraction grating 25 is rotated because light of a specific wavelength is imaged at one point on the Rowland circle when light is emitted from a point on a Rowland circle whose diameter is the radius of curvature of the first concave diffraction grating 25. By doing so, a desired wavelength can be selected and passed through the entrance slit 26. The light reflected and diffracted by this concave diffraction grating passes through an entrance slit 26 and reaches a second concave diffraction grating 27 for further wavelength selection.

この第2凹面回折格子27に致達された光は更に反射回
折され、出射スリツト28から単色光として出射される
The light reaching the second concave diffraction grating 27 is further reflected and diffracted, and is emitted from the output slit 28 as monochromatic light.

以上述べたように本発明の分光器は、フイルタと2個の
凹面回折格子を使用して特定選長に波長選択しているた
めコリメータ、凹面鏡等のミラーを使用しないので光吸
収による光エネルギーの損失が少く、光エネルギーの高
い単色光を出射することができ、なお特に波長が紫外線
領域の光には、その効果が著しい。
As described above, the spectrometer of the present invention uses a filter and two concave diffraction gratings to select wavelengths at specific wavelengths, so it does not use mirrors such as collimators or concave mirrors, so light energy is reduced by light absorption. It is possible to emit monochromatic light with low loss and high optical energy, and its effect is particularly remarkable for light with a wavelength in the ultraviolet region.

又、本発明の分光器は、コリメータ、凹面鏡等の多数の
ミラーを使用しないため構成が簡単になり、製造コスト
も安くすることができる。
Further, since the spectrometer of the present invention does not use a large number of mirrors such as a collimator and a concave mirror, the configuration is simple and the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、従来の分光器の一例の光学系説明図である。 第2図は、本発明の分光器の一実施例の光学系説明図で
ある。21・・・・・・可視光源、22・・・・・・
外線光源、23・・・・・・光源ミラー、25・・−・
・・第1の凹面回折格子、27・・・・・・第2の凹面
回折格子、28・・・・・・出射スリツ ト。
FIG. 1 is an explanatory diagram of an optical system of an example of a conventional spectrometer. FIG. 2 is an explanatory diagram of the optical system of an embodiment of the spectrometer of the present invention. 21... Visible light source, 22...
External light source, 23...Light source mirror, 25...
...first concave diffraction grating, 27...second concave diffraction grating, 28...output slit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 少なくとも2個の光源と、該光源を切り換える光源
ミラーと、該光源ミラーからの光を集光反射回折する第
1の凹面回折格子と、該第1の凹面回折格子からの光が
通過する入射スリットと、該入射スリットを通過した光
を反射回折する第2の凹面回折格子と、該第2の凹面回
折格子からの光が通過する出射スリットを有することを
特徴とする分光器。
1 At least two light sources, a light source mirror that switches the light sources, a first concave diffraction grating that collects, reflects, and diffracts the light from the light source mirror, and an incident light source through which the light from the first concave diffraction grating passes. A spectrometer comprising a slit, a second concave diffraction grating that reflects and diffracts light that has passed through the input slit, and an output slit through which light from the second concave diffraction grating passes.
JP8900976A 1976-07-28 1976-07-28 spectrometer Expired JPS5929804B2 (en)

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JPS60142507U (en) * 1984-02-28 1985-09-20 澤藤 正 antenna structure
JP2018119946A (en) * 2017-01-20 2018-08-02 株式会社リコー Spectroscope and analyzer
JP2022111364A (en) * 2017-01-20 2022-07-29 株式会社リコー Spectroscope and analyzer

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60142507U (en) * 1984-02-28 1985-09-20 澤藤 正 antenna structure
JP2018119946A (en) * 2017-01-20 2018-08-02 株式会社リコー Spectroscope and analyzer
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