JPS5924274B2 - 熱式作動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は熱式作動装置に関し、更に詳細に言えば容積可
変室内に流体貯蔵室を有する熱式作動装置に関するもの
である。

本発明はまだ電気抵抗ヒータを有する熱式作動装置用の
電力供給方式及び熱式作動装置の復帰（リサイクリング
）に要する時間を短縮するための仕組に関するものであ
る。

従来の典型的な作動装置は、内部圧力の上昇下降に伴っ
て容積が増加減少する容積可変室を有する。

容積可変室の容積の変化は直線的出力又は他の機械的出
力に容易に変換することができ、これによって外部の装
置に対して仕事を行なう。

ある種の流体作動装置においては、容積可変室の容積を
変化させるため外部から流体が供給される。

他種の作動装置においては、容積可変室は密閉され、内
部に膨張収縮可能な媒体が収納されている。

この場合媒体の膨張収縮は、エネルギー、例えば熱エネ
ルギーを該媒体に加えることによって行なうことができ
る。

熱エネルギーは、作動装置の本体、ケース等の一部を通
して、例えば熱伝導性窓を通して加えることができる。

熱エネルギーはまだ、容積可変室内に配置されたヒータ
によって供給することもできる。

媒体にエネルギーを加えて媒体を膨張収縮させる方式の
作動装置は、そのエネルギーが如何なる形のものであれ
、本明細書では熱式作動装置と呼ばＩ’−する。

熱式作動装置に用いる媒体としては、加熱すると気相に
変化する液体、熱応答性ワックス、その他エネルギーを
加えられて容積可変室内の圧力を上昇させるものであれ
ばいかなるものでもよい。

加熱によって気相に変化する液体を用いた作動装置にお
いては、過度の温度上昇を防止するため加熱される領域
に常に一定量の液体が存在することが望ましい。

特に、電気ヒータを用いた作動装置においては、液体は
ヒータを冷却してヒータの焼付を防ぐ。

また、作動装置においては、例えば伸縮性部材（例えば
ダイアフラム）における浸透などによって媒体が漏洩す
るから、作動装置に貯蔵室を付けておけば、比較的長期
間にわたってヒータ周辺への液体の供給が十分に行なわ
れる。

吸収性即ち灯心型（ｗｉｃｋｉｎｇ−ｔｙｐｅ ）の貯
蔵室の一例は米国特許第３８０５５２８号に開示されて
いる。

また内部に電気抵抗ヒータ等を有する熱式作動装置にお
いては、ヒータ及びヒータへの電気的接続の故障を防ぐ
とともに容積可変室の密閉状態を維持することが必要で
ある。

通常、熱式作動装置を容積可変室が最大に膨張し、アウ
トストローク（ｏｕｔｓｔｒｏｋｅ ）の状態（ピスト
ンが最も外側に突出した状態）に達するまでの時間は作
動装置の復帰時間、即ち作動装置が冷やされてインスト
ローク（ｉｎｓｔｒｏｋｅ腔状態（ピストンが最も内側
に引込んだ状態）に戻るまでの時間よりも短いが、復帰
時間を短縮することは、作動装置の動作特性を改善し、
作動装置の融通性を向ヒさせる上で望ましい。

本発明の目的は、上記の点において改善された流体作動
装置を提供することにある。

本発明の一実施例によれば、電気−熱式直線型作動装置
の焼付を回避し、特に作動装置の内部に配置された電気
抵抗ヒータの焼付を貯えられた予備の流体によって回避
することができる。

本発明の一実施例によれば、熱式作動装置用の液体貯蔵
室を提供Ｊ−ることにある。

本発明の他の目的は、作動装置の容積可変室の密閉性を
維持し、該容積可変室内における電気ヒータの正確な位
置決めを容易にするヒータアセンブリを提供することに
ある。

本発明によれば例えば加熱されると気相に変化する液状
媒体を用いた熱式作動装置の容積可変室内に、スリーブ
状の仕切壁が設けられ電気ヒータからの熱が直接に加わ
らないように一定量の液状媒体が隔離されている。

仕切用スリーブはこのようにして作動装置内に液体貯蔵
室を形成する。

貯蔵室の液体は、ヒータが常に液体に漬かった状態を維
持するために必要に応じて供給され冷却及び付勢に対す
る急速な動作をなすべく機能する。

貯蔵室は作動装置に入れられる流体を補完し、流体の漏
洩その他の損失を補償する。

作動装置用のヒータアセンブリは、作動装置の本体即ち
ケースに設けられた開口部に取付けられた取付部材によ
って機械的に支持されるとともに電気的に接続された電
気抵抗ヒータを含む。

ヒータアセンブリは、作動装置のケースとヒータアセン
ブリとの密封盤ひに電気抵抗ヒータの正確な取付が容易
になるような構造を有する。

ダイアフラム、ベローズ、直列に接続された複数の同軸
スリーブ等から成る伸縮性部材は、作動装置に取付けら
れて容積可変室を形成する。

作動装置のガイド即ち運動規制キャップは、伸縮性部材
が容積可変室の膨張収縮のために運動する間作縮性部材
を案内する。

ガイドキャップはまた外部の物体によって損傷を受けな
いよう伸縮性部材を保護するとともに、容積可変室の容
積の変化を機械的出力に変換するピストンアセンブリを
直線的に運動させるように案内する。

容積可変室が膨張した状態において、ガイドキャップの
壁部と伸縮性部材との間に接触面がかなり大きくなるよ
うにしかつ媒体が伸縮性部材のガイドキャップの壁部に
接している部分に接触するようにすることによって、媒
体は比較的急速に冷却され作動装置の復帰時間が短縮さ
れる。

以下本発明の一実施例として、加熱されると液相から気
相に変化する液状媒体と該液状媒体を加熱するだめの電
気抵抗ヒータとを有する作動装置につき説明する。

この実施例においては、容積可変室は比較的堅牢な本体
と該本体に取付けられた伸縮性のダイアフラムとによっ
て形成される。

以下図面を参照して本発明の実施例について説明する。

第１図及び第２図において、１は電気−熱式直線型作動
装置である。

作動装置１は、第１図においては付勢されていない状態
（以下非付勢状態という）にあるものとして、また第２
図には付勢された状態（以下付勢状態という）にあるも
のとして示されている。

容積可変流体室２は作動装置１内において、円筒状の本
体即ちケース３によって形成されている。

ケース３のひだ状シール接続部５には伸張可能なダイア
フラム４が密封的に係合している。

ダイアフラム４は強化されない天然のゴム又は合成のゴ
ム状材料製のものがよい。

ダイアフラム４は流体室２に突出する円筒状のキャップ
部６を含む。

ダイアフラム４の一端には略平担で円形の而１が形成さ
れ、ダイアフラム４の他端には環状の折返し部８が形成
される。

ダイアフラム４はまだ、環状の折返し部８と比較的平担
な環状のフランジ部１０との間の部分に形成される脚部
９を含む。

この脚部９の長さとキャップ部６の長さとは互いに逆の
変化をする。

フランジ部１０はひだ状のカバ一部１１によって本体３
ｖコ保持されて密封接続部を形成する。

ダイアフラム４は、作動装置１が付勢されたときにいく
らか伸長することができるように強化されない型のもの
であることが望ましい。

しかし、ダイアフラムの強度、作動装置の復帰時間等要
求される作動装置の仕様に応じて、繊維又は他の物質で
強化されたダイアフラムを用いることもできる。

コイル型電気抵抗ヒータ１２（第４図、第５図）が流体
室２の中に取付けられていて、このヒータが流体室２の
中の液状媒体１３を加熱し、その液体の一部を蒸発させ
ることにより流体室内の圧力を上昇させる。

ヒータ１２はヒータアセンブリ１４の一部である。

ヒータアセ／フリ１４は本体３０基部１６に形成されだ
円形開口部１５を貫通して本体３に固定されている。

第３図、第４図及び第５図に詳細に図示されたヒータア
センブリ１４は導電性取付部材１７を含む。

取付部材１７は直立タブ１８を有し、直立タブ１８には
ヒータ１２の一端が、例えばスポット溶接によって取付
けられ、ヒータ１２はこれにより取付部材１１に機械的
に支持されるとともに電気的に接続されている。

取付部材１７は短い円筒部１９を有し、円筒部１９は平
担な環状即ちワッシャー状の上面部２０を有する一円筒
部１９の内側には耐熱性で非導電性の材料２１、例えば
融解ガラスが配設され、導電性のスタッド２２を支持す
るとともに流体室の密閉を図っている。

コイル型ヒータ１２の内側の端部はスポット溶接等によ
りスタッド２２に固定され、このスタッドに機械的に支
持されるとともに電気的Ｖて接続されている。

径方向に伸びだ比較的平らな指状片２３がいくつか上面
部２０から突出し、これらの指状片がヒータアセンブリ
を補強するとともに本体の開口部１５に対するヒータア
センブリの位置決めを容易にする役割を果たしている。

指状片２３を本体基部１６の内面に係合させるように配
置すると、流体室内において取付部材及び融解ガラス２
１に加わる圧力が基部１６に直接伝達される。

また、ヒータアセンブリが開口部１５に配置された後に
、密閉剤２４を塗布して、アセンブリを本体に固定する
とともに、流体室２からの液体漏れを防止することもで
きる。

ヒータアセンブリ１４の開口部１３への設置は、本体３
の上部からヒータアセンブリを挿入することにより行な
われる。

ヒータ１２は流体室２の底部から適当な距離だけ上方に
正確に配置され、流体室内の液体の中に浸漬される。

上記のように、ヒータ１２の一方の電気接続はスタッド
２２によって行なわれ、ヒータ１２の他方の電気接続は
、タブ１８によって例えば導電性材料の本体３を介して
行なわれる。

本体３は安全な電位、例えば接地電位に保持される。

ヒータ１２を液状媒体１３の中に入れることが望ましい
のは、ヒータ１２が付勢されたとき液体がヒータを冷却
し、ヒータの焼付を防ぐことができるからである。

従って流体室２に入れる液体の量は作動装置が第１図及
び第２図に示すように鉛直に配置されたとき液体がヒー
タ１２を完全にまたは略完全に覆うのに十分でなければ
ならない。

好ましい実施例においては、液体の量は作動装置１が３
０°乃至６０°傾けられてもヒータ１２が完全に液体の
中につかるのに十分な量である。

場合によっては、液体の量は、作動装置１がどのように
配向されても作動装置１が非付勢状態にあるときに液体
が流体室を略完全に満たす程度であってもよい。

流体室ｙＣ入れられる液体の量によって差動装置の動作
時間が変る。

従って、液体の量を定めるに当たっては、応答速度、差
動装置の配向、漏洩もしくは浸透率等を考慮に入れなけ
ればならない。

液状媒体としては、種々のものを用いることができる。

好ましい液状媒体はスリー・エム（３−Ｍ）社からエフ
・シー（ＦＣ）なる商標で販売されてい０沸化不活性液
（ｆｌｕｏｒｏ −１ｎｅｒｔ １ｉｑｕｉｄ）である
。

エフ・シー液は沸素七炭素とを含む。エフ・シー液には
種々のものがあり、それぞれが異なる温度において液相
から気相に転する。

エフ・シー液を用いることによる大きな利点は、何種類
かのエフ・シー液を混合することにより、液相から気相
への転移温度を作動装置の設計上の要求に丁度適合する
ようにすることができる点にある。

液状媒体としてはこの外、沸素原子を含むハロゲン化さ
れた炭化水素（ｈａｌｏｇｅｎｅｒａｔｅｄ ｈｙｄｒ
ｏｃａｒ −ｂｏｎ）、例えばデ、１ポア （ＤｕＰｏ
ｎｔ）社からフレオン（Ｆ’ＲＥＯＮ）なる商標で販売
されている材料を用４・ることもできる。

エフ・シー液及びフレオンは不活性で、誘電性があり、
ヒータ１２ｖこよって加熱すると容易に蒸発する。

上記の外、種々の不活性で誘電性の液状媒体を用いるこ
ともできる。

流体室２の内部には、流体貯蔵室３０がスリーブ即ち円
筒状仕切壁３１の外面と本体の内面とり間に形成され、
貯蔵室内の液体はヒータ１２が発生する熱が直接には伝
わらないように遮蔽されている。

仕切壁３１は本体３と略同軸に配置され、径が拡大され
た上端部３２において本体３の内面に係合し、上端部３
２といくつかの（例えば３つの）折曲げて形成されたス
ペーサ指状片３３とによって本体３の内面から所定の間
隔を維持する。

スペーサ指状片３３は例えば第１図及び第２図に示すよ
うに逆向きに折曲げられ、ある程度の弾性を有して仕切
壁３１０本体３内への挿入を容易にする。

スペーサ指状片３３の先端は鋭くして、本体３の内面に
食い込み仕切壁３１が本体３内から容易に抜けることが
できないようにすることもできる。

ヒータ１２の周囲と貯蔵室１２との間に比較的抵抗の少
ない液体の流路を形成するだめに、円筒状仕切壁３１の
下端３４は本体３の底部運びにヒータアセンブリの取付
部材１７の上面２０及び指状片２３よりも上にあること
が好ましい。

しかし、スペーサ指状片３３を折曲げて作成することに
より形成される開部３５が液体の流通に十分な面積を有
する場合には、仕切壁の下端３４は本体の基部１６に当
接してもよい。

円筒状仕切壁３１の上端付近には真空解放孔３６が設け
られている。

仕切壁３１は、導電性又は非導電性の材料で形成するこ
とができる。

仕切壁はヒータ１２及びタブ８と直接接触しないのが好
ましいが、特に本体３が導電性材料で形成され本体３に
よりヒータの一方の電気的接続が行なわれている場合等
には、仕切壁３１がヒータ１２やタブ１８に接触したと
しても作動装置の正常な動作の妨げとはならない。

作動装置１のピストンアセンブリ４０は、ダイアフラム
４のキャップ部６の裏面に接して、ダイアフラムを支持
ないしは補強する円筒状ピストン４１を含む。

ピストンアセンブリ４０は、長い棒４２を有する。

棒４２はピストン４１と一体に形成することができる。

棒４２は、作動装置１が付勢されたとき、力をそのスト
ロークにわたって外部に伝達するために設けられている
。

円筒状ガイドキャップ４３は、折曲げて形成されたフラ
ンジ接続部４４において本体３に固定されている。

ガイドキャップ４３の内面にはピストンスカート４５が
摺動可能に係合し、またガイドキャップの上端に設けら
れた径の小さい円筒状出口４６の内面には棒４２が摺動
可能に係合していて、これらは協働してピストンアセン
ブリ４０を直線的に運動させる。

ガイドキャップ４３の平担な上壁４７は、ピストンアセ
ンブリ４０の上方部チ外側への運動を規制してアウトス
トロークを決定する。

一方、棒４２の端部に螺合したスナップ・オン（ｓｎａ
ｐ ｏｎ）ナツト、例えばパル（ＰＡＬ）ナツトはガイ
ドキャップの円筒状出口４６の上端４９と協働して、ピ
ストンアセンブリ４０の下向きの即ち内側への運動を規
制し、インストロークを決定しダイアフラムの端部７が
ヒータ１２に衝突するのを防ぐ。

復帰用ばね５０は一端においてガイドキャップの上端壁
４７に当接し、他端においてピストン４１に当接してい
て、常にピストンアセンブリに下向きの力を与えている
。

作動装置が付勢されたときにのみ、即ち一方向にのみ出
力を発生することが要求される場合には、ばね５０は比
較的小さな復帰力のものを用いればよい。

一方、作動装置が付勢されたときのみならず付勢が解か
れたときにも、即ち双方向に出力を発生することが要求
される場合には、比較的復帰力の大きなばねを用いる必
要がある。

ピストンスカート４５に設けられたスロット５１はダイ
アフラムの破裂を容易にし、流体室内に過度の圧力が蓄
積されるのを防止する。

本発明の作動装置は以下のようにして容易に製造するこ
とができる。

例えば、本体２、仕切壁３１、キャップ４３は鋼又はア
ルミニウムにアイレット（ｅｙｅｌｅｔ）７７０工を施
こすことによって容易に製造することができる。

ヒータアセンブリ１４は、作動装置の内径が２５．４ｍ
ｍ （１１ｎｃｈ）以下の場合にも、容易に本体内に組
込んで密閉剤２４によって密閉することができる。

液体媒体が充填された後、ダイアフラム４が環状フラン
ジ部にはさみ込まれ流体室が密閉される。

次いで、ピストンアセンブリ、復帰はね及びガイドキャ
ップが取付けられれば作動装置は完成する。

作動装置１の付勢は、液体中のヒータ１２によって行な
うのが好ましい。

スイッチ５２を閉じると例えばバッテリ５３の如き電源
からリード線５４及びスタッド２２を介してヒータ１２
に電力が供給されるーバツテリ５３の他方の端子は例え
ば符号５５で示すように接地されている。

本体３も同様にリード線５６を介して接地され、閉回路
が形成される。

作動装置１が付勢されると、ヒータ１２の近傍の液体は
加熱されて蒸発し、流体室２内の圧力が上昇し、ダイア
フラムのキャップ部６及びピストン４１に上向きの力が
加わる。

仕切壁３１は貯蔵室３０内の液体に熱が直接加わるのを
防止するので、貯蔵室内の液体は比較的低温である。

仕切壁３１には孔３６が設けられているので、ヒータの
近傍の液体か気化すると、気化した媒体が孔３６を通っ
て貯蔵室に入ることができる。

従って貯蔵室内の液体は仕切壁の下端３４をくぐっであ
るいは開部３５を通って、ヒータ１２の近傍に達する。

このだめヒータ１２を完全に又は略完全に液体に浸漬し
た状態が維持されるので、ヒータの過熱あるいは焼付が
起こらない。

流体室２内の圧力が上昇すると、ダイアフラムの平担な
面１に加わる力が増大し、この力かばね５０による下向
きの力に打勝つと、ピストンアセンブリ４０及びダイア
フラムの円筒状キャップ部６は上向きに動く。

この際、ダイアフラムの環状の折返し部８の位置が移り
、円筒状脚部９の長さが増加しながら、キャップ部６が
上昇し、キャップ部６の流体室内への突出長は短くなる
。

ダイアフラム４が比較的柔軟であれば、第２図のように
作動装置がアウトストロークの状態にあるとき、円筒状
脚部９がガイドキャップ４３の内面にかなり広い面積で
接触し、脚部９とキャップ部６と環状の折返し点８との
間にキャップ部６を取巻くかなシ容積の大きな空間６０
が形成される。

ガイドキャップ４３は、このようにしてダイアフラムに
対して一定の支持を与えるとともに、ダイアフラムの動
きを制限する。

ガイドキャップ４３を例えばアルミニウム、鋼の如き良
好な熱伝導性材料で形成すれば、ガイドキャップとダイ
アフラムの脚部９との間の熱伝導によって、蒸発した流
体は空間６６の内部において比較的急速に冷却されるの
で、作動装置の冷却に要する時間即ち復帰時間を短縮す
ることができる。

作動装置に入れる液体の量は、作動装置がアウトストロ
ークの状態にあるときにも、ヒータ１２が液体中に浸漬
された状態を維持するのに十分であることが好ましい。

そうすれば、ヒータの付勢が解かれたときに液体でヒー
タを急速に冷却して復帰時間を縮少することができ、過
熱を防止することができるため作動装置の寿命を延長す
ることができる。

作動装置のピストンが適当な位置まで上昇したときに、
スイッチ５６を自動的に址たは手動で開くようにしても
よい。

流体室２内の蒸気は凝縮して液体に戻り、流体室内の圧
力が下がる。

復帰用ばね５０は、ピストンアセンブリ４０及びダイア
フラムのキャップ部６を下向きに動かす。

最終的に作動装置は、第１図に示すような非付熱状態に
復帰する。

以上好ましい実施例について詳細に説明しだが、本発明
の原理は他の種々の熱式作動装置、例えば異なる種類の
媒体を用いた熱式作動装置、あるいは他種の伸縮性部材
を用いた熱式作動装置にも適用することができる。

また加熱手段としても、流体室の内部もしくは外部にお
いて高温を加えるもの、また流体室の内部もしくは外部
において低温を加えるもの、その他種々のエネルギー人
力を加えるものも用いることができる。

以上のように、本発明によれば、流体を加熱手段に供給
する手段を備えた仕切手段を設けたので、作動装置の内
部に配置された加熱手段の過熱を防止することができる
利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はそれぞれ非付勢状態及び付勢状態に
ある本発明一実施態様の電気−熱式直線型作動装置を入
部分断面にて示す立面図、第３図は本発明の差動装置の
基部を示す第２図の３−３線断面図、第４図はヒータア
センブリの平面図、第５図は第４図の５−５線の方向か
ら見た入部分断面の立面図である。 １・・・・・・電気−熱式作動装置、２・・・・・・容
積可変流体室、３・・・・・・本体、４・・・・・・伸
縮性ダイアフラム、６・・・・・・キャップ部、８・・
・・・・折返し部、９・・・・・・脚部、１４・・・・
・・電気ヒータアセンブリ、１５・・・・・・開口部、
１７・・・・・・導電性取付部材、１８・・・ タブ、
１９・・・・・・非導電性材料、２２・・・・・・スタ
ッド、２３・・・・・・指状片、３０・・・・・・貯蔵
室、３１・・・・・・仕切壁、４０・・・・・・ピスト
ンアセンブ１几

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 本体と、前記本体と協働して容積可変の流体室を形
   成する流体室形成手段と、前記流体室内に収納された熱
   膨張性流体と、前記流体を膨張させ前記流体室内の圧力
   を上昇させるため前記流体の少なくとも一部に熱を加え
   る加熱手段と、前記流体の一部を前記加熱手段から隔離
   するため前記流体室を区分する仕切手段とを有し、前記
   仕切手段は前記加熱手段の過熱を防止するだめ前記仕切
   手段によって隔離された流体を前記加熱手段に供給する
   だめの手段を含むことを特徴とする熱式作動装置。 ２ 前記仕切手段は、筒状の仕切壁を有することを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の熱式作動装置。 ３ 前記流体室は略円柱形の形状を有し、前記筒状仕切
   壁は前記流体室の円柱形部分と略同軸的にかつ前記本体
   の内面との間に間隔をあけて配置された円筒状仕切壁で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の熱式
   作動装置。 ４ 前記仕切壁が前記流体室から抜は出るのを防止する
   だめの手段を含む位置決め手段によって前記仕切壁が前
   記本体の内面との間に間隔をあけて配置されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の熱式作動装置
   。 ５ 前記加熱手段は、前記流体室内に配置された電気抵
   抗ヒータと、前記ヒータを電源に接続するだめの手段と
   を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   熱式作動装置。 ６ 前記流体室形成手段は、前記本体と協働することが
   できるダイアフラムを有することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の熱式作動装置。 ７ 前記ダイアフラムは、前記流体室に突出する円筒状
   のキャップ部と、長さ可変の円筒状脚部と、前記キャッ
   プ部及び前記脚部を連結する環状の折返し部とを有し、
   前記折返し部の位置が移りながら前記キャップ部の前記
   流体室への突出長が変化するとともに、前記脚部の長さ
   が逆に変化することにより前記流体室の容積が変えられ
   、また前記流体室は略円柱形であり、さらに前記仕切手
   段は、前記ダイアフラムのキャップ部と略同軸的にかつ
   前記本体の内面との間に間隔をあけまた前記キャップ部
   の外側に該キャップ部から間隔をあけて配置されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の熱式作動
   装置。 ８ 前記ダイアフラムのキャップ部は、ピストンアセン
   ブリによって支持され、前記流体室内の圧力が上昇し前
   記キャップ部に力が加わると、出力が前記ピストンを介
   して伝達され、また前記ダイアフラム及び前記ピストン
   アセンブリは略直線的に運動するように案内されること
   を特徴とする特許請求の範囲第７項記載の熱式作動装置
   。 ９ 前記熱膨張性流体は、加熱によって気相に変化する
   流体であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の熱式作動装置。 １０ 前記加熱手段は、前記本体に設けられた開口部
   に配置され前記流体室を密閉するように前記本体に固定
   することができまた前記流体室の内部に向かって延びる
   直立タブが一体に形成された導電性取付部材と、前記取
   付部材の略中心に設けられた開口部を貫通して延びた導
   電性のスタッドと、前記取付部材の開口部を貫通した前
   記スタッドを前記取付部材から電気的に絶縁して前記開
   口部を密封する非導電性手段衣、前記流体室内の圧力を
   上昇させるため前記流体を加熱して前記流体の少なくと
   も１μを蒸発させる電気ヒータとを有し、前記電気ヒー
   タは、前記タブ及び前記スタッドにより機械的に支持さ
   れ、かつ前記タブ及び前記スタッドが前記電気ヒータへ
   の付勢のだめの電気的接続を行なっていることを特徴と
   する特許請求の範囲第９項記載の熱式作動装置。 １１ 前記流体室は、軸方向に一定の長さを有し、前
   記加熱手段は、前記流体室の一端の付近に位置し、前記
   仕切手段は前記流体室の長さに略対応した軸方向の長さ
   を有する円筒状部材を備え、前記流体室の他端付近にお
   いて前記円筒状部材に真空解放孔が設けられていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱式作動装置
   。